KR101536644B1

KR101536644B1 - 엘이디소자검사장치

Info

Publication number: KR101536644B1
Application number: KR1020090042613A
Authority: KR
Inventors: 유홍준; 황제선; 이용식
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2009-05-15
Filing date: 2009-05-15
Publication date: 2015-07-14
Anticipated expiration: 2029-05-15
Also published as: KR20100123402A

Abstract

본 발명은 엘이디소자검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 상태에서 개별 칩으로 절단된 엘이디소자들을 패키징 전에 엘이디소자들의 발광특성 등을 검사하여 분류하는 엘이디소자검사장치에 관한 것이다.

본 발명은 웨이퍼에서 절단된 상태의 엘이디소자들을 웨이퍼링에 부착시켜 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부의 엘이디소자들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하는 복수의 소자안착부들을 통해 적어도 하나씩 전달받아 검사하는 소자검사부와; 상기 소자검사부에서 검사완료된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 버퍼부와; 상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 소자검사부의 검사결과에 따라 각각의 소팅플레이트에 분류하여 언로딩하는 언로딩부를 포함하며, 상기 로딩부와 소자검사부 사이, 상기 소자검사부와 버퍼부 사이 및 상기 버퍼부와 언로딩부의 사이에서 상기 엘이디소자들을 복수의 로터리암을 통해 픽업하여 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하여 이송하는 제1 내지 제3 이송툴들을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치를 개시한다.

엘이디소자, 검사, 버퍼

Description

엘이디소자검사장치 {Apparatus for inspecting LED device}

엘이디소자 LED(Light Emitting Diode Device)는 도 1에 도시된 바와 같이, p-n접합 다이오드의 일종으로, 순방향으로 전압이 걸릴 때 단파장광(monochromatic light)이 방출되는 현상인 전기발광효과(electroluminescence)를 이용한 반도체소자이다. 즉 순방향 전압 인가시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합 하면서 전도대(conduction band)와 가전대(valance band)의 높이차이(에너지 갭)에 해당하는 만큼의 에너지를 발산 하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산 되면 엘이디소자가 되는 것이다.

상기와 같은 엘이디소자는 반도체공정들을 웨이퍼에 전극을 형성 후 절단하여 개별 칩으로서 생산된다. 그리고 개별 칩으로 생산된 엘이디소자는 칩 상태로 패키징 등 후속 공정을 수행하는 제조업체로 출하되거나, 리드와의 연결, 몰딩 등의 패키징 공정을 거쳐 또는 추가로 모듈 공정을 거쳐 시장에 출하된다.

한편 소자 자체의 결함, 기준미달 등 불량의 소자들임에도 불구하고 패키징 공정 또는 모듈 공정 등의 후속 공정들이 수행된다면 불필요한 공정을 수행한 결과가 되어 전체적인 생산성 및 채산성을 저하시키는 문제점이 있다.

또한 엘이디소자는 웨이퍼 상태에서 반도체 공정 수행시 위치에 따라서 발광특성이 달라지는 등 위치에 따라서 편차가 발생할 수 있는바 칩 상태에서 검사하여 검사된 발광특성에 따라 소자들을 분류할 필요가 있다.

따라서 각 공정을 수행하기 전에 그 불량 여부 또는 발광특성 등을 검사하여 양품의 소자들에 대해서만 후속공정을 수행하도록 하거나, 발광특성에 따라서 미리 분류한다면 그만큼 생산성 및 채산성이 높일 필요가 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 필요성을 인식하여 엘이디소자를 칩 상태에서 발광특성 등을 검사하고 그 검사결과에 따라서 엘이디소자들을 분류하는 엘이디소자검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 엘이디소자를 칩 상태에서 발광특성 등을 검사하는 검사모듈 및 검사결과에 따라서 엘이디소자들을 분류하는 분류모듈을 직선으로 배치하여 장치가 차지하는 공간을 절감하고 검사 및 분류공정을 신속히 수행할 수 있는 엘이디소자검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 반도체공정을 마친 웨이퍼 상태에서 절단되어 칩 상태의 복수개의 엘이디소자들이 웨이퍼링에 부착된 상태로 로딩되며, 검사 및 분류공정을 위하여 임시로 부착한 웨이퍼링에 의하여 로딩되는 엘이디소자들 모두 수용가능한 버퍼링을 구비함으로써 검사 및 분류공정을 신속히 수행할 수 있는 엘이디소자검사장치를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 웨이퍼에서 절단된 상태의 엘이디소자들을 웨이퍼링에 부착시켜 로딩하는 로딩부와; 상기 로딩부의 엘이디소자들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하는 복수의 소자안착부들을 통해 적어도 하나씩 전달받아 검사하는 소자검사부와; 상기 소자검사부에서 검사완료된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 버퍼부와; 상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 소자검사부의 검사결과에 따라 각각의 소팅플레이트에 분류하여 언로딩하는 언로딩부를 포함하며, 상기 로딩부와 소자검사부의 사이, 상기 소자검사부와 버퍼부의 사이 및 상기 버퍼부와 언로딩부의 사이에서 상기 엘이디소자들을 복수의 로터리암을 통해 픽업하여 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하여 이송하는 제1내지 제3이송툴들을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치를 개시한다.

상기 로딩부, 상기 소자검사부, 상기 버퍼부 및 상기 언로딩부는 일방향으로 평행하게 배치될 수 있다. 그리고 상기 로딩부에서 상기 웨이퍼링의 인입방향과 상기 언로딩부에서의 소팅플레이트의 배출방향이 같은 방향으로 구성될 수 있다.

상기 제1내지 제3이송툴은 엘이디소자를 픽업하는 복수개의 로터리암들과, 상기 로터리암들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전시키는 회전구동장치를 포함할 수 있다.

상기 소자검사부는 하나 이상의 엘이디소자들이 안착되는 복수개의 소자안착부들과; 상기 소자안착부들을 상기 로딩부의 엘이디소자들을 전달받는 로딩위치, 상기 엘이디소자들을 검사하는 검사위치 및 상기 버퍼부로 엘이디소자들을 전달하는 언로딩위치 순으로 정해진 각도 씩 단계적으로 회전이동시키는 안착부회전부와; 상기 검사위치에 설치되어 상기 소자안착부에 안착된 엘이디소자를 검사하는 검사부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로딩위치 및 검사위치 사이, 상기 검사위치 및 상기 언로딩위치 사이에 는 상기 소자안착부에 안착된 엘이디소자들을 정렬하는 소자정렬부가 추가로 설치될 수 있다.

상기 버퍼부는 상기 소자검사부에서 검사된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 제1버퍼부와; 상기 제1버퍼부로부터 상기 버퍼링을 전달받아 상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 언로딩부로 전달하는 제2버퍼부와; 상기 제1버퍼부와 제2버퍼부 사이에서 상기 버퍼링을 이송하는 버퍼링이송로봇을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 버퍼부는 상기 제1버퍼부에 엘이디소자들이 부착되지 않은 버퍼링을 공급하는 버퍼링로딩부와; 상기 제2버퍼부에서 상기 언로딩부로 엘이디소자들이 모두 이송되어 비워진 버퍼링을 배출하는 버퍼링언로딩부로 구성될 수 있다.

상기 버퍼부에 사용되는 버퍼링은 상기 엘이디소자들이 부착될 수 있도록 표면에 접착성을 가지는 접착테이프와; 상기 접착테이프가 고정되는 링 형태의 고정부재를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 버퍼링에 부착되는 엘이디소자들의 개수는 상기 웨이퍼링에 부착되는 엘이디소자들의 개수에 비해 많거나 적어도 동일하도록 구성될 수 있다.

또한 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치는 엘이디소자를 칩 상태에서 발광특성 등을 검사하는 검사모듈 및 검사결과에 따라서 엘이디소자들을 분류하는 분류모듈, 즉, 로딩부, 소자검사부, 버퍼부 및 언로딩부 등 각 모듈들을 직선으로 배치 하여 장치가 차지하는 공간을 절감하고 검사 및 분류공정을 신속히 수행할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치는 로딩부, 소자검사부, 버퍼부 및 언로딩부 등 각 모듈들을 직선으로 배치하여 각 모듈로의 접근이 용이하여 수리, 교체 등이 필요한 경우 그 접근이 용이하게 유지 및 보수가 용이한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치는 로딩부에서 웨이퍼링의 인입방향과 언로딩부에서의 소팅플레이트의 배출방향이 같게 하여 엘이디소자검사장치가 복수개로 배치될 때 장치의 공간효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치는 반도체공정을 마친 웨이퍼 상태에서 절단되어 칩 상태의 복수개의 엘이디소자들이 웨이퍼링에 부착된 상태로 로딩되며, 검사 및 분류공정을 위하여 임시로 부착되며 웨이퍼링에 의하여 로딩되는 엘이디소자들 모두 수용가능한 버퍼링을 구비함으로써 검사 및 분류공정을 신속히 수행할 수 있는 이점이 있다.

이하 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 엘이디소자검사장치는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 웨이퍼에서 절단된 상태의 엘이디소자(1)들을 웨이퍼링(10)에 부착시켜 로딩하는 로딩부(100)와; 상기 로딩부(100)의 엘이디소자(1)들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하는 복수의 소자안착부들을 통해 적어도 하나씩 전달받아 검사하는 소자검사부(200)와; 상기 소자검사부(200)에서 검사완료된 엘이디소자(1)들을 전달받아 버퍼링(30)에 부착시키는 버퍼부(300)와; 상기 버퍼링(30)에 부착된 엘이디소자(1)들을 상기 소자검사부(200)의 검사결과에 따라 각각의 소팅플레이트(40)에 분류하여 언로딩하는 언로딩부(400)를 포함하며, 상기 로딩부(100)와 소자검사부(200) 사이, 상기 소자검사부(200) 및 버퍼부(300) 사이, 및 상기 버퍼부(300)와 언로딩부(400) 사이에서 상기 엘이디소자(1)들을 복수의 로터리암(512, 522, 532)을 통해 픽업하여 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하여 이송하는 제1 내지 제3이송툴(510, 520, 530)들을 포함하여 구성된다.

상기 엘이디소자검사장치에 의하여 검사되는 엘이디소자(1)는 웨이퍼 상태에서 엘이디의 기능을 수행할 수 있도록 반도체공정 및 전극형성 공정을 마친 후에 소잉 공정에 의하여 절단된 칩 상태의 소자를 말한다.

상기 엘이디소자검사장치에 의하여 검사된 엘이디소자(1)는 검사 및 분류된 후 엘이디소자(1)가 칩 상태로 출하되거나, 패키징 공정, 더 나아가 모듈공정의 후속공정을 거쳐 시장에 출하된다.

상기 로딩부(100)는 외부로부터 하나 이상의 웨이퍼링(10)을 공급받아 소자검사부(200)로 전달하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 소자검사부(200)가 엘이디소자(1)를 검사할 수 있도록 복수개의 엘이디소자(1)들이 접착된 웨이퍼링(10)에 의하여 로딩되도록 구성된다.

상기 웨이퍼링(10)은 웨이퍼에서 개별 칩으로 절단된 엘이디소자(1)를 부착 시킨 상태에서 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 각 소자별로 절단된 웨이퍼가 상면에 부착되도록 표면에 접착성을 가지는 접착테이프(11)와; 접착테이프(11)가 결합되는 제1결합링(12)과, 상기 제1결합링(12)에 결합된 접착테이프(11)를 외경방향으로 장력을 가하여 접착테이프(11)를 외경방향으로 변형시켜 각 엘이디소자(1)들을 미세하게 이격시키는 제2결합링(13)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로딩부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이, 엘이디소자(1)가 후술하는 제1이송툴(510)에 의하여 픽업될 수 있도록 웨이퍼링(10)을 X-Y방향, 더 나아가 X-Y-θ방향으로 이동시키기 위한 로딩테이블(110)과, 복수개의 웨이퍼링(10)들이 적재된 웨이퍼링매거진부(20)로부터 웨이퍼링(10)을 인출하여 로딩테이블(110)로 안착시키는 등 웨이퍼링(10)을 이송하기 위한 웨이퍼링이송로봇(140)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로딩테이블(110)은 웨이퍼링(10)이 안착된 상태에서 제1이송툴(510)이 엘이디소자(1)를 픽업할 수 있도록 제1이송툴(510)에 대한 엘이디소자(1)의 상대위치로 이동시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 로딩테이블(110)의 하측에는 엘이디소자(1)의 픽업이 용이하도록 상측으로 이동하여 웨이퍼링(10)의 접착테이프(11)를 가압하는 가압핀(130)이 추가로 설치될 수 있다.

상기 소자검사부(200)는 엘이디소자(1)를 검사하기 위한 구성으로서, 휘도, 발광색 등과 같은 발광특성 등의 검사항목에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 엘이디소자(1)가 안착되는 복수개의 소자안착부(220)들과; 소자안착부(220)들을 회전시켜 상기 로딩부(100)로부터 엘이디소자(1)를 전달받아 상기 소자안착부(220)에 안착되는 로딩위치(LP), 엘이디소자(1)들을 검사하는 검사위치(IP) 및 상기 소자안착부(220)로부터 상기 버퍼부(300)로 엘이디소자(1)를 전달하는 언로딩위치(UP) 순으로 회전이동시키는 안착부회전부(230)와; 상기 검사위치(IP)에 설치되어 상기 소자안착부(220)에 안착된 엘이디소자(1)를 검사하는 검사부(240)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 소자안착부(220)는 후술하는 검사위치(IP)에서 검사가 가능하도록 엘이디소자(1)가 안착되는 구성으로서, 엘이디소자(1)의 구조, 특히 엘이디소자(1)의 테스트를 위하여 엘이디소자(1)의 전극에 전원을 공급할 수 있도록 엘이디소자(1)의 전극구조에 대응되는 구성을 가지는 것이 바람직하다.

한편 상기 소자안착부(220)는 복수개로 배치됨이 바람직하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 안착부회전부(230)의 회전 중심을 기준으로 원주방향으로 배치될 수 있다.

특히 상기 소자안착부(220)는 로딩위치(LP), 검사위치(IP), 언로딩위치(UP), 다시 로딩위치(LP)를 순환하도록 안착부회전부(230)에 의하여 회전되도록 구성된다.

이때 상기 로딩위치(LP), 검사위치(IP), 언로딩위치(UP)는 안착부회전부(230)의 회전중심을 기준으로 다양하게 배치가 가능하나, 각 모듈 즉, 로딩부(100), 소자검사부(200) 및 버퍼부(300), 더 나아가 언로딩부(400)까지 직선으로 배치되도록 로딩위치(LP) 및 언로딩위치(UP)는 안착부회전부(230)의 회전중심을 기준으로 서로 대향되어 배치됨이 바람직하다.

한편 상기 소자안착부(220)의 수는 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치의 처리속도에 따라서 그 수가 적절하게 선택된다.

상기 안착부회전부(230)는 소자안착부(220)를 회전시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 특히 로딩위치(LP), 검사위치(IP), 언로딩위치(UP)에서 엘이디소자(1)의 안착, 인출, 검사가 용이하도록 소정 각도의 회전 후 정지 다시 소정 각도의 회전이 가능하도록 구성된다.

한편 상기 로딩위치(LP) 및 검사위치(IP) 사이, 검사위치(IP) 및 언로딩위치(UP) 사이에는 정렬위치(251, 252)로서, 상기 소자안착부(220)에 안착된 엘이디소자(1)를 정렬하는 소자정렬부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.

또한 상기 엘이디소자(1)가 소자안착부(220)에서의 안착상태의 확인, 소자정렬부가 엘이디소자(1)를 정렬 등이 가능하도록 정렬위치(251, 252)에 대응되는 위치에 카메라(253)가 설치될 수 있다.

상기 검사부(240)는 엘이디소자(1)에 대한 광학 특성 등을 검사하기 위한 구성으로서, 검사대상에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서, 엘이디소자(1)에 전원을 인가하여 발광시키고 발광된 빛의 세기, 휘도 등 발광특성을 검사하도록 구성될 수 있다.

상기 버퍼부(300)는 소자검사부(200)에서 엘이디소자(1)를 전달받아 임시로 적재하는 한편 후술하는 언로딩부(400)에서 검사결과에 따라서 엘이디소자(1)를 분 류하기 위하여 언로딩부(400)로 엘이디소자(1)를 전달하기 위한 구성으로서 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 버퍼부(300)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 소자검사부(200)에서 검사된 엘이디소자(1)들을 버퍼링로딩부(50)로부터 로딩된 버퍼링(30)에 부착시키는 제1버퍼부(310)와; 상기 제1버퍼부(310)로부터 상기 버퍼링(30)을 전달받아 상기 버퍼링(30)에 부착된 엘이디소자(1)들을 상기 언로딩부(400)로 전달하고, 비워진 버퍼링(30)을 버퍼링언로딩부(60)로 언로딩하는 제2버퍼부(320)와; 상기 제1버퍼부(310)와 상기 제2버퍼부(320) 사이에서 상기 버퍼링(30)을 이송하는 버퍼링이송로봇(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1버퍼부(310)는 엘이디소자(1)들이 부착되지 않은 버퍼링(30)을 공급받도록 구성되고, 소자검사부(200)의 소자안착부(220)로부터 제2이송툴(520)에 의하여 버퍼링(30)의 적절한 위치에 부착시키는 구성으로서, 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 제1버퍼부(310)는 다양한 구성이 가능하나, 앞서 설명한 로딩부(100)와 유사한 구성을 가질 수 있는데, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 엘이디소자(1)가 후술하는 제2이송툴(520)에 의하여 버퍼링(30)의 적절한 위치에 부착될 수 있도록 버퍼링(30)을 X-Y방향, 더 나아가 X-Y-θ방향으로 이동시키기 위한 제1버퍼테이블(311)과, 복수개의 버퍼링(30)들이 적재된 버퍼링로딩부(50)로부터 버퍼링(30)을 인출하여 제1버퍼테이블(311)로 안착시키는 버퍼링이송로봇(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 제1버퍼테이블(311)은 버퍼링(30)이 안착된 상태에서 제2이송툴(520)이 엘이디소자(1)를 부착시킬 수 있도록 제2이송툴(520)에 대한 엘이디소자(1)의 상대위치를 이동시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2버퍼부(320)는 제1버퍼부(310)에서 버퍼링(30)에 엘이디소자(1)들이 모두 채워지면 제1버퍼부(310)로부터 버퍼링(30)을 전달받아 후술하는 언로딩부(400)로 엘이디소자(1)를 전달하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2버퍼부(320)는 제1버퍼부(310)와 유사하게 구성될 수 있으며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 엘이디소자(1)가 후술하는 제3이송툴(530)에 의하여 버퍼링(30)에서 인출될 수 있도록 버퍼링(30)을 X-Y방향, 더 나아가 X-Y-θ방향으로 이동시키기 위한 제2버퍼테이블(321)과, 엘이디소자(1)가 모두 인출된 버퍼링(30)을 버퍼링언로딩부(60)로 버퍼링(30)을 배출하는 웨이퍼링이송로봇(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 제2버퍼부(320)에서의 버퍼링(30)의 배출방향은 제1버퍼부(310)에서의 버퍼링(30)의 인입방향과 동일한 것이 바람직하다.

상기 제2버퍼테이블(321)은 버퍼링(30)이 안착된 상태에서 제3이송툴(530)이 엘이디소자(1)를 부착할 수 있도록 제3이송툴(530)에 대한 엘이디소자(1)의 상대위치를 이동시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 제2버퍼테이블(321)의 하측에는 엘이디소자(1)의 픽업이 용이하도록 상측으로 이동하여 버퍼링(30)의 접착테이프(31)를 가압하는 가압핀(333)이 추가로 설치될 수 있다.

상기 버퍼부(300)에 사용되는 버퍼링(30)은 웨이퍼링(10)과 동일한 구성을 가질 수 있으나, 그 제조 및 관리가 용이하도록, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 엘이디소자(1)들이 부착될 수 있도록 표면에 접착성을 가지는 접착테이프(31)와; 상기 접착테이프(31)가 고정되는 고정부재(32)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 접착테이프(31)는 엘이디소자(1)를 부착시켜 고정시키기 위한 구성으로, 웨이퍼링(10)의 접착테이프(11)-후술하는 소팅플레이트(40)의 접착테이프(41)도 동일-와 동일한 재질이 사용될 수 있으며, 표면에 엘이디소자(1)를 소정의 접착력에 의하여 접착 고정시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 고정부재(32)는 웨이퍼링(10)과는 달리 접착테이프(41)를 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능한바 간단한 링형 구조로 금속재질이 사용될 수 있다.

한편 상기 하나의 버퍼링(30)은 하나의 웨이퍼링(10)에 부착된 엘이디소자(1)들 모두 수용가능, 즉 웨이퍼링(10)에 부착된 엘이디소자(1)의 수보다 많은 수, 바람직하게는 동일한 수의 엘이디소자(1)들이 부착될 수 있다.

상기 언로딩부(400)는 소자검사부(200)에서 검사된 검사결과에 따라 엘이디소자(1)들을 분류하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 언로딩부(400)는 엘이디소자(1)가 제3이송툴(530)에 의하여 버퍼부(300)로부터 전달받아 분류등급에 대응되어 소팅플레이트(40)의 적절한 위치에 적재될 수 있도록 소팅플레이트(40)를 X-Y방향, 더 나아가 X-Y-θ방향으로 이동시키기 위한 언로딩테이블(420)과, 다른 분류등급에 대응되는 소팅플레이트(40)에 엘이디소자(1)를 적재할 수 있도록 엘이디소자(1)가 일부 채워진 소팅플레이트(40) 를 임시로 적재하는 소팅버퍼부(450)와, 소팅플레이트(40)를 이송하기 위한 플레이트이송로봇(460)을 포함하여 구성될 수 있다.

상기 언로딩테이블(420)은 소팅플레이트(40)가 안착된 상태에서 제3이송툴(530)이 엘이디소자(1)를 적재할 수 있도록 제3이송툴(530)에 대한 엘이디소자(1)의 상대위치를 이동시키기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

상기 소팅버퍼부(450)는 분류등급이 미리 부여된 소팅플레이트(40)에 각 분류등급에 해당되는 엘이디소자(1)가 적재될 수 있도록 엘이디소자(1)가 일부 채워진 소팅플레이트(40)를 임시로 저장하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

여기서 소팅플레이트(40)에 부여되는 분류등급은 소자검사부(200)에 의한 검사결과에 따라서 부여되는 기준으로서, 엘이디소자(1)가 검사결과에 따라 양품, 불량품, 휘도불량 등이 될 수 있다.

상기 소팅플레이트(40)는 출하에 적합하도록 구성되거나, 패키징 등의 후속공정을 수행할 수 있도록 패키징 공정에 맞는 규격을 가지는 등 웨이퍼링(10) 또는 버퍼링(30)과는 다른 구성을 가진다.

특히 상기 소팅플레이트(40)는 웨이퍼링(10) 또는 버퍼링(30)과는 상대적으로 적은 수의 엘이디소자(1)가 적재되도록 구성되며, 그 형상 또한 직사각형을 가지도록 구성된다.

한편 상기 소팅플레이트(40)는 도 6에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 웨이퍼링(10) 또는 버퍼링(30)과 유사한 접착테이프(41)와, 상기 접착테이프(41)를 고정시키면서 LOT번호, 분류등급 등의 표식이 있는 지지부재(42)를 포함하여 구성될 수 있다.

한편, 상기 언로딩부(400)에서의 소팅플레이트(40)의 투입 및 배출은 소팅플레이트(40)가 적재되는 소팅매거진부(70)와; 소팅플레이트(40)를 상기 언로딩부(400)에 투입하는 소팅플레이트투입부(80)와; 상기 소팅매거진부(70)의 상기 소팅플레이트(40)를 상기 소팅플레이트투입부(80)로 이송하는 플레이트이송로봇(460)을 통하여 이루어진다.

따라서 상기 소팅플레이트(40)는 플레이트이송로봇(460)에 의하여 지속적으로 언로딩부(400)로 공급될 수 있다.

상기 언로딩부(400)는 소팅플레이트(40)에 엘이디소자(1)가 다 채워진 경우 플레이트이송로봇(460)에 의하여 배출되며, 특히 복수개의 소팅플레이트(40)가 적재될 수 있는 소팅매거진부(70)로 배출될 수 있다.

한편 상기 로딩부(100)와 상기 소자검사부(200) 사이, 상기 소자검사부(200) 및 상기 버퍼부(300) 사이, 상기 버퍼부(300) 및 상기 언로딩부(400) 사이에는 하나 이상의 엘이디소자(1)들을 이송하는 제1 내지 제3이송툴(510, 520, 530)들에 의하여 이송된다.

상기 제1 내지 제3이송툴(510, 520, 530)들은 하나 이상의 엘이디소자(1)를 이송하기 위한 구성으로, 다양한 구성이 가능하며, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 엘이디소자(1)를 픽업하는 복수개의 로터리암(511, 521, 531)들과, 상기 로터리암(511, 521, 531)들이 엘이디소자(1)들을 이송하도록 상기 로터리암(511, 521, 531)들을 회전시키는 회전구동장치(512, 522, 532)를 포함하여 구성될 수 있다.

특히 상기 로터리암(511, 521, 531)들은 일정한 각도를 가지도록 배치될 수 있으며, 상기 회전구동장치(512, 522, 532)는 상기 로터리암(511, 521, 531)들을 일방향으로만 회전시키거나 일정각도를 왕복회전하도록 구성될 수 있다.

한편 상기 로딩부(100), 상기 소자검사부(200), 상기 버퍼부(300) 및 상기 언로딩부(400)는 다양하게 배치될 수 있으나, 직선으로 배치되는 것이 바람직하다.

특히 상기 로딩부(100)에서 상기 웨이퍼링(10)의 인입방향과 상기 언로딩부(400)에서의 소팅플레이트(40)의 배출방향이 같은 방향인 것이 바람직하다.

상기와 같이 상기 로딩부(100), 상기 소자검사부(200), 상기 버퍼부(300) 및 상기 언로딩부(400)를 직선으로 배치하게 되면 각 로딩부(100), 상기 소자검사부(200), 상기 버퍼부(300) 및 상기 언로딩부(400)로의 접근이 용이하여 수리, 교체 등이 필요한 경우 그 접근이 용이하게 유지 및 보수가 용이한 이점이 있다.

또한 상기 로딩부(100)에서 상기 웨이퍼링(10)의 인입방향과 상기 언로딩부(400)에서의 소팅플레이트(40)의 배출방향이 같은 방향인 경우 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치가 복수개로 배치될 때 장치의 공간효율을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

도 1은 엘이디소자의 일반적인 구조를 보여주는 단면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 엘이디소자검사장치의 구성을 보여주는 평면도이다.

도 3은 도 2의 엘이디소자검사장치의 측면도이다.

도 4a 및 도 4b는 도 2의 엘이디소자검사장치에 사용되는 웨이퍼링의 일례를 보여주는 도면들이며,

도 5a 및 도 5b는 도 2의 엘이디소자검사장치에 사용되는 버퍼링의 일례를 보여주는 도면들이며,

도 6은 도 2의 엘이디소자검사장치에 사용되는 소팅플레이트의 일례를 보여주는 도면들이다.

***** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****

100 : 로딩부 200 : 소자검사부

300 : 버퍼부 400 : 언로딩부

Claims

웨이퍼에서 절단된 상태의 엘이디소자들을 웨이퍼링에 부착시켜 로딩하는 로딩부와;

상기 로딩부의 엘이디소자들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전하는 복수의 소자안착부들을 통해 적어도 하나씩 전달받아 검사하는 소자검사부와;

상기 소자검사부에서 검사완료된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 버퍼부와;

상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 소자검사부의 검사결과에 따라 각각의 소팅플레이트에 분류하여 언로딩하는 언로딩부를 포함하며,

상기 로딩부와 소자검사부의 사이, 상기 소자검사부와 버퍼부의 사이 및 상기 버퍼부와 언로딩부의 사이에서 상기 엘이디소자들을 복수의 로터리암을 통해 픽업하여 정해진 각도씩 단계적으로 회전하여 이송하는 제1내지 제3이송툴들을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 로딩부, 상기 소자검사부, 상기 버퍼부 및 상기 언로딩부는 일방향으로 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,

상기 로딩부에서 상기 웨이퍼링의 인입방향과 상기 언로딩부에서의 소팅플레이트의 배출방향이 같은 방향인 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항1에 있어서, 상기 제1 내지 제3이송툴들은 엘이디소자를 픽업하는 복수개의 로터리암들과, 상기 로터리암들을 정해진 각도 씩 단계적으로 회전시키는 회전구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 소자검사부는

하나 이상의 엘이디소자들이 안착되는 복수개의 소자안착부들과;

상기 소자안착부들을 상기 로딩부의 엘이디소자들을 전달받는 로딩위치, 상기 엘이디소자들을 검사하는 검사위치 및 상기 버퍼부로 엘이디소자들을 전달하는 언로딩위치 순으로 정해진 각도씩 단계적으로 회전이동시키는 안착부회전부와;

상기 검사위치에 설치되어 상기 소자안착부에 안착된 엘이디소자들을 검사하는 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 5에 있어서,

상기 로딩위치 및 검사위치 사이, 상기 검사위치 및 상기 언로딩위치 사이에는 상기 소자안착부에 안착된 엘이디소자들을 정렬하는 소자정렬부가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 버퍼부는

상기 소자검사부에서 검사된 엘이디소자들을 전달받아 버퍼링에 부착시키는 제1버퍼부와;

상기 제1버퍼부로부터 상기 버퍼링을 전달받아 상기 버퍼링에 부착된 엘이디소자들을 상기 언로딩부로 전달하는 제2버퍼부와;

상기 제1버퍼부와 제2버퍼부 사이에서 상기 버퍼링을 이송하는 버퍼링이송로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 7에 있어서,

상기 버퍼부는

제1버퍼부에 엘이디소자들이 부착되지 않은 버퍼링을 공급하는 버퍼링로딩부와;

상기 제2버퍼부에서 상기 언로딩부로 엘이디소자들이 모두 인출된 이송되어 비워진 버퍼링을 배출하는 버퍼링언로딩부로 구성된 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 버퍼부에 사용되는 버퍼링은 상기 엘이디소자들이 부착될 수 있도록 표 면에 접착성을 가지는 접착테이프와;

상기 접착테이프가 고정되는 링 형태의 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 버퍼링은 부착되는 엘이디소자들의 개수가 상기 웨이퍼링에 부착되는 엘이디소자들의 개수에 비해 많거나 적어도 동일한 것을 특징으로 하는 엘이디소자검사장치.
청구항 1에 있어서,

상기 언로딩부에 인접하여 설치되어 복수개의 소팅플레이트들이 적재되는 소팅매거진부와;

소팅플레이트를 상기 언로딩부에 투입하는 소팅플레이트투입부와;

소팅플레이트에 엘이디소자가 다 채워진 경우 상기 소팅플레이트를 상기 소팅매거진부로 배출하는 플레이트이송로봇을 포함하여 구성되는 엘이디소자검사장치.