JP4008599B2 - コンタクトプローブ用固定具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プロービング対象体にプローブ本体を接触させて電気的検査を行うためのコンタクトプローブ用固定具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種のコンタクトプローブ用固定具を備えたコンタクトプローブ(以下、「プローブ」ともいう)として、図5に示すプローブ31が従来から知られている。このプローブ31は、先端Paがプロービング対象体に接触させられるプローブ本体Pと、プローブ本体Pを固定するための固定用アーム32とを備えて構成されている。固定用アーム32の一端側には、プローブ案内機構(図示せず)に固定するための固定用孔34a,34bが形成されると共に、他端側には、プローブ本体Pを固定するためのプローブ固定部33が形成されている。この場合、プローブ本体Pおよび固定用アーム32は、導電性素材でそれぞれ形成されており、プローブ本体Pをプローブ固定部33に圧入することにより一体化されると共に、先端Paと固定用アーム32とが互いに電気的に接続される。
【0003】
プローブ31を用いてプロービング対象体に対するプロービングを行う場合には、まず、図6(a)に示すように、プローブ案内機構によってプローブ31の先端Paをプロービング対象体Xの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構の案内に従って同図(a)の矢印Aの向きで固定用アーム32を下動させ、同図(b)に示すように、先端Paをプロービング対象体Xの表面Xaに接触させる。次いで、固定用アーム32をさらに矢印Aの向きで下動させると、同図(c)に示すように、固定用アーム32が、矢印Bの方向に弾性変形し、その弾性力によって先端Paが、同図に示す矢印Aの向きでプロービング対象体X側に付勢される。これにより、先端Paとプロービング対象体Xの表面Xaとの電気的接続が完全となる。この後、プローブ案内機構が、固定用アーム32およびプローブ本体Pの先端Paを介して出力した測定用電圧をプロービング対象体Xに印加することにより、所定の電気的検査を実行する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のプローブ31には、以下の問題点がある。
すなわち、従来のプローブ31では、プローブ案内機構によって固定用アーム32が下動させられることにより、図7に示すように、まず、先端Paがプロービング対象体Xの表面Xaに接触する。次いで、さらに下動させられることにより、固定用アーム32が一点鎖線で示すように弾性変形すると共に、先端Paが一点鎖線で示すプロービング対象体Xの表面Xa側に付勢される。なお、同図では、動作原理の理解を容易にするために、一点鎖線で示すプローブ31およびプロービング対象体Xについては、固定用アーム32の固定用孔34a,34bを基準とした相対的な位置に図示している。
【0005】
この場合、先端Paは、固定用孔34a,34bの位置を基準とすれば、矢印Cで示すように、固定用孔34bの近傍を中心とした円弧状の軌跡で移動する。この結果、先端Paは、図8に示すように、最初に接触させられた位置から、プロービング対象体Xの表面Xaを矢印Dの方向に距離Sだけ移動させられる。このため、このプローブ31には、先端Paがプロービング対象体Xの表面Xaを移動することにより、大きな接触痕を残してしまうという問題がある。
【0006】
また、この従来のプローブ31は、プロービング対象体Xの表面側に付勢された際の許容変形量が小さいため、その破損を防止するために、その付勢量を監視しなければならない。このため、従来のプローブ31には、監視装置などを設けることにより装置の大型化を避けられず、しかも装置コストが高騰しているという問題がある。
【0007】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、プロービングの際の接触痕を可能な限り小さくすることが可能なコンタクトプローブ用固定具を提供することを主目的とする。また、プロービングの際の許容変形量が大きなコンタクトプローブ用固定具を提供することを他の目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載のコンタクトプローブ用固定具は、プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、プローブ固定部をベース部に対して上下動可能にベース部にそれぞれ連結する第1のリンク部および第2のリンク部とを備え、第1のリンク部は、その一端が案内方向に直交する第1の方向に沿って形成された弾性変形部を介してベース部に連結されると共に他端が第1の方向に沿って形成された弾性変形部を介してプローブ固定部に連結され、第2のリンク部は、その一端が案内方向に直交し第1の方向と交差する第2の方向に沿って形成された弾性変形部を介してベース部に連結されると共に他端が第2の方向に沿って形成された弾性変形部を介してプローブ固定部に連結されていることを特徴とする。
【0009】
請求項2記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項1記載のコンタクトプローブ用固定具において、ベース部は、互いに固着可能な第1および第2のベース部用部材で構成され、プローブ固定部は、互いに固着可能な第1および第2のプローブ固定部用部材で構成され、第1のリンク部は、その一端が弾性変形部を介して第1のベース部用部材に連結されると共に他端が弾性変形部を介して第1のプローブ固定用部材に連結され、第2のリンク部は、その一端が弾性変形部を介して第2のベース部用部材に連結されると共に他端が弾性変形部を介して第2のプローブ固定用部材に連結されていることを特徴とする。
【0010】
請求項3記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項1または2記載のコンタクトプローブ用固定具において、第1および第2のリンク部は、一端が弾性変形部を介してベース部に連結された第1の連結用アームと、一端が弾性変形部を介してプローブ固定部に連結された第2の連結用アームとをそれぞれ備え、第1および第2の連結用アームは、その他端同士が、両端に弾性変形部が形成された他の連結用アーム、または弾性変形部を介して連結されていることを特徴とする。
【0011】
請求項1から3記載のコンタクトプローブ用固定具では、プローブ案内機構によってプローブ本体の先端部がプロービング対象体に接触させられた状態で、案内方向にさらに付勢されたときに、プローブ固定部における第1のリンク部との連結部位が、ベース部における第1のリンク部との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。同時に、プローブ固定部における第2のリンク部との連結部位が、ベース部における第2のリンク部との連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。この場合、プローブ固定部とベース部とは、各弾性変形部を介して第1および第2のリンク部によって連結されており、その各弾性変形部は、プローブ案内機構の案内方向と直交し、かつ互いに交差する第1,第2の方向に沿って形成されている。このため、プローブ固定部は、結果的にベース部に対して平行に直動する。したがって、プローブ固定部に固定されたプローブ本体の先端部もベース部に対して直動する。この結果、プローブ本体の先端部が最初にプロービング対象体に接触させられてから、さらに付勢されたときまでの間において、プローブ本体の先端部の位置ずれが防止され、これにより、プロービング対象体の接触痕を限りなく小さくすることが可能になる。
【0012】
請求項1記載のコンタクトプローブ用固定具は、第1および第2のリンク部によってベース部とプローブ固定部とが互いに連結された立体的構造を有している。このため、1つの金型を用いてコンタクトプローブ用固定具を一時に樹脂成形するのには困難を伴うおそれもある。一方、請求項2記載のコンタクトプローブ用固定具では、まず、分離された状態の、第1のリンク部を介して互いに連結された第1のベース部用部材および第1のプローブ固定部用部材からなる平面的な第1の部材と、第2のリンク部を介して互いに連結された第2のベース部用部材および第2のプローブ固定部用部材からなる平面的な第2の部材とを予め製作する。次いで、第1のベース部用部材と第2のベース部用部材とを固着し、かつ第1のプローブ固定部用部材と第2のプローブ固定部用部材とを固着することにより、ベース部、プローブ固定部および第1,第2のリンク部が容易に一体化される。この場合、分離した状態の平面的な第1の部材と第2の部材とを樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、第1の部材および第2の部材の製作に際して1つの金型を共通使用できるため、製作コストのさらなる低減を図ることが可能となる。
【0013】
請求項4記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、弾性変形部は、各連結用アームにおける連結部位の一部を円弧状に切り欠いて形成された円弧切り欠き支点によって構成されていることを特徴とする。
【0014】
弾性変形部としては、ヒンジ金具とつる巻バネとを用いた支点を連結用アームの両端に配設した構造などを採用することもできる。しかし、構造が複雑化することにより、製作コストの上昇を招くことになる。一方、このコンタクトプローブ用固定具では、弾性変形部を円弧切り欠き支点によって構成することで、何ら他の部品を用いることなく構成することが可能になる。この結果、製作コストの上昇を抑えることが可能となる。また、切り欠き度合を適宜変更することにより、弾性変形部の弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【0015】
請求項5記載のコンタクトプローブ用固定具は、請求項1から4のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具において、少なくとも表面部位が導電材料で形成され、プローブ固定部にプローブ本体を固着することにより、プローブ本体と電気的に接続されることを特徴とする。
【0016】
一般的に、検査機構としての例えば回路基板検査装置では、高精度で検査するために、極めて小さいタイプのプローブ本体が用いられている。したがって、プローブ本体と、プロービング対象体への通電電流を供給する供給手段との間を配線によって接続する場合、プローブ本体に対する配線の半田付けが極めて煩雑な作業となる。一方、このコンタクトプローブ用固定具では、例えば、導電性接着剤による接着や圧入により、プローブ固定部にプローブ本体を固着する。この状態では、コンタクトプローブ用固定具とプローブ本体との表面同士が接触し合うことにより、両者が電気的に接続される。併せて、コンタクトプローブ用固定具と通電電流の供給手段とを電気的に接続する。この後、プロービング対象体についての電気的検査を行う際には、コンタクトプローブ用固定具の表面部位およびプローブ本体を介してプロービング対象体に所定の電流が通電される。したがって、小型のプローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、検査機構の製作コストを低減することが可能になる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るコンタクトプローブ用固定具を回路基板検査装置に適用した実施の形態について説明する。なお、従来のプローブ31と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0018】
最初に、本発明におけるコンタクトプローブ用固定具10(以下、「固定具10」という)を備えたプローブ1の構成について、図1(a),(b)を参照して説明する。
【0019】
プローブ1は、同図に示すように、プローブ本体Pおよび固定具10を備えている。固定具10は、プローブ案内機構PM(図2参照)に取り付けられる正方形形状のベース部3と、ベース部3に対向配置されプローブ本体Pを固定するための正方形形状のプローブ固定部2と、ベース部3に対してプローブ固定部2を上下方向に直動可能に連結するためのリンク部4,5とを備えており、全体が導電性樹脂で一体成形されている。この場合、プローブ固定部2には、固定用孔8が形成されており、プローブ本体Pを固定用孔8に圧入することにより、プローブ本体Pおよびプローブ固定部2が一体化されると共に、互いに電気的に接続される。一方、ベース部3には、取付用孔9a,9bが形成されており、この取付孔9a,9bを介してネジ止めすることにより、プローブ1は、プローブ案内機構PMに固着される。なお、プローブ案内機構PMは金属で形成されており、検査用電流を供給する電源部の出力部、または検査用電流を検出して基板検査を行う検査部の入力部と、プローブ案内機構PMの任意の部位とを導線などで接続することにより、プローブ本体Pと、電源部または検査部とを容易に電気的に接続することができる。
【0020】
リンク部4は、平板状に形成された連結用アーム4a,4bと、本発明における円弧切り欠き支点に相当し連結用アーム4a,4bの両端部を円弧状に切り欠いて形成された支点6a〜6cとから構成されている。この場合、支点6a〜6cは、プローブ案内機構PMの案内方向である同図の矢印Aの向きと直交し本発明における第1の方向に相当する矢印Eの方向に沿ってそれぞれ形成されており、支点6aは、連結用アーム4aを可動可能にベース部3に連結し、支点6bは、連結用アーム4a,4bをそれぞれ可動可能に連結し、支点6aは、連結用アーム4bおよびプローブ固定部2をそれぞれ可動可能に連結する。
【0021】
一方、リンク部5は、平板状に形成された連結用アーム5a,5bと、本発明における円弧切り欠き支点に相当し連結用アーム5a,5bの両端部を円弧状に切り欠いて形成された支点7a〜7cとから構成されている。この場合、支点7a〜7cは、プローブ案内機構PMの案内方向である矢印Aの向きと直交し本発明における第2の方向に相当する矢印Fの方向に沿ってそれぞれ形成されており、支点7aは、連結用アーム5aを可動可能にベース部3に連結し、支点7bは、連結用アーム5a,5bをそれぞれ可動可能に連結し、支点7aは、連結用アーム5bおよびプローブ固定部2をそれぞれ可動可能に連結する。したがって、プローブ固定部2は、連結用アーム4a,4b,5a,5bによって、いわゆるサーラット平行運動的に、ベース部3に対して平行状態を維持しつつ上下方向に直動するように連結される。
【0022】
次に、プロービング時のプローブ1の動作について、各図を参照して説明する。
【0023】
まず、プローブ案内機構PMが、図2(a),(b)に示すように、プローブ本体Pの先端Paをプロービング対象体Xの上方に位置させる。次に、プローブ案内機構PMが同図の矢印Aの向きでベース部3を下動させる。これにより、プローブ本体Pがプローブ固定部2と共に下動し、その先端Paは、プロービング対象体Xの表面Xaに接触させられる。次いで、プローブ案内機構PMがベース部3を矢印Aの向きにさらに下動させると、図3(a),(b)および図1(b)に示すように、支点6a〜6c,7a〜7cがそれぞれ弾性変形する。その際に、プローブ固定部2における連結用アーム4bとの連結部位が、ベース部3における連結用アーム4aとの連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。同時に、プローブ固定部2における連結用アーム5bとの連結部位が、ベース部2における連結用アーム5aとの連結部位に対して平行、かつ相対的に上動する。このため、プローブ固定部2は、結果的にベース部3に対して平行状態を維持しつつ相対的に上方に直動する。したがって、プローブ固定部2に固定されたプローブ本体Pの先端部Paもプローブ案内機構PMの案内方向に沿って直動する。次いで、例えば、回路基板における回路パターンの断線や短絡などを検査する場合には、一方のプローブ本体Pの先端Paを介してプロービング対象体Xに電圧または電流を供給すると共に、他方のプローブ本体Pの先端Paを介して電圧または電流を入力することにより、回路パターンの断線などを検査することができる。
【0024】
このように、プローブ1では、先端Paがプローブ案内機構PMの案内方向に沿って上下方向に直動するため、プローブ本体の先端部が最初にプロービング対象体に接触させられてから、さらに付勢されたときまでの間において、プローブ本体Pの先端部Paは、プロービング対象体X上の移動が防止されることにより、プローブ案内機構PMの案内方向の向きでプロービング対象体Xの表面Xaに付勢されつつ確実に点接触させられる。したがって、従来のプローブ31とは異なり、プロービング対象体Xの接触痕を限りなく小さくすることができるため、プロービング対象体Xの美観や機能を損なうことなくプロービングを行うことができる。
【0025】
また、このプローブ1では、円弧切り欠き支点6a〜6c,7a〜7cを弾性変形させることにより、何ら他の部品を用いることなく本発明における弾性変形部を構成することができる。このため、製作コストの上昇を抑えることができ、しかも、円弧切り欠き支点6a〜6c,7a〜7cの切り欠き度合を適宜変更することにより、その弾性変形量および弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【0026】
次に、本発明の他の実施の形態に係るコンタクトプローブ用固定具20(以下、「固定具20」という)を備えたプローブ11の構成および組立方法について、図4(a),(b)を参照して説明する。なお、前述したプローブ1と同一の構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0027】
プローブ11は、同図に示すように、プローブ本体Pおよび固定具20を備えている。固定具20は、プローブ案内機構PMに取り付けられる正方形形状の第1のベース部用部材13aおよび第2のベース部用部材13bからなるベース部13と、正方形形状の第1のプローブ固定用部材12aおよび第2のプローブ固定用部材12bからなりベース部13に対向配置されてプローブ本体Pを固定するプローブ固定部12と、第1のプローブ固定用部材12aを第1のベース部用部材13aに対して上下方向に直動可能に連結するためのリンク部4と、第2のプローブ固定用部材12bを第2のベース部用部材13bに対して上下方向に直動可能に連結するためのリンク部5とを備えている。この場合、プローブ固定部12には、固定具10のプローブ固定部2と同様にして固定用孔8が形成され、ベース部13には、固定具10のベース部3と同様にして取付用孔9a,9bが形成されている。
【0028】
リンク部4は、プローブ1のリンク部4とほぼ同様にして構成されており、連結用アーム4aの一端が、図4(a)の矢印Eの方向に沿って形成された支点6aを介して第1のベース部用部材13aの側面に連結されると共に、連結用アーム4bの一端が、矢印Eの方向に沿って形成された支点6cを介して第1のプローブ固定用部材12aの側面に連結され、これらは導電性樹脂によって一体成形されている。一方、リンク部5は、連結用アーム5aの一端が、図4(a)の矢印Fの方向に沿って形成された支点7aを介して第2のベース部用部材13bの側面に連結されると共に、連結用アーム5bの一端が、同図の矢印Fの方向に沿って形成された支点7cを介して第2のプローブ固定用部材12bの側面に連結され、これらも導電性樹脂によって一体成形されている。
【0029】
このプローブ11では、プローブ1の固定具10とは異なり、固定具20が、第1のプローブ固定用部材12aおよび第1のベース部用部材13aと一体成形されたリンク部4と、第2のプローブ固定用部材12bおよび第2のベース部用部材13bと一体成形されたリンク部5との2つの部材を互いに固着することにより構成される。したがって、プローブ11の組立てに際しては、まず、金型による樹脂成形によって両部材を製作し、次いで、両部材を導電性接着剤で接着して一体化することにより固定具20を形成する。この際に、図4(a),(b)に示すように、支点6a,6cの円弧切欠部分が平行で、かつ支点7a,7cの円弧切欠部分が平行となるように、第1のプローブ固定用部材12aと第2のプローブ固定用部材12bとを接着すると共に、第1のベース部用部材13aと第2のベース部用部材13bとを接着する。これにより、プローブ固定部12およびベース部13が形成されると共に、各部が一体化する。
【0030】
次に、プローブ固定部12に固定用孔8を形成すると共に、ベース部13に取付用孔9a,9bを形成する。これにより、プローブ1の固定具10と同様の機能を有する固定具20が完成する。この後、プローブ本体Pを固定用孔8に圧入することにより、プローブ11が完成する。このプローブ11でも、プロービング時に、図4(b)に示すように、プローブ固定部12がリンク部4,5によってベース部13に対して相対的に平行状態を維持しつつ直動する。このため、プローブ1と同様にしてプロービング対象体Xの表面Xaに大きな接触痕を残すことなくプロービングを行うことができる。
【0031】
このように、プローブ11では、それぞれ別体に形成したリンク部4およびリンク部5を導電性接着剤によって接着することによって固定具20を形成している。このため、プローブ1の固定具10とは異なり、分離した状態の平面的なリンク部4,5を樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、リンク部4,5が同一形状のため、樹脂成形に際して1つの金型を共通使用できるため、製作コストのさらなる低減を図ることができる。
【0032】
なお、本発明は、上記本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、プローブ固定部2およびベース部3を正方形形状に構成し、支点6a,6cの形成方向と支点7a,7cの形成方向とを直交させているが、プローブ固定部2およびベース部3の形状を任意の形状に構成すると共に、その形状に合致するように、支点6a,6cの形成方向と支点7a,7cの形成方向とが交差するように形成されていればよい。かかる場合であっても、プローブ固定部2を直動させることができる。
【0033】
また、本発明の実施の形態では、リンク部4(または5)は、支点6b(または7b)を介して連結用アーム4a(または5a)および連結用アーム4b(または5b)が連結されて構成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、連結用アーム4aおよび連結用アーム4bを他の連結用アームを介して連結すると共に、連結用アーム5aおよび連結用アーム5bを他の連結用アームを介して連結して構成することもできる。
【0034】
さらに、本発明の実施の形態では、固定具10,20を導電性樹脂で形成した例について説明しているが、本発明はこれに限定されず、プローブ本体Pとプローブ案内機構PMとを導線などで電気的に接続することもできる。また、本発明の実施の形態では、プローブ固定部2,12に対してプローブ本体Pを圧入することにより、両者を一体化しているが、プローブ固定部2、第1のプローブ固定用部材12aを製造する際にプローブ本体Pをインサート成形することにより両者を一体化することもできる。この場合、樹脂製の固定具10,20全体に導電性塗料を塗布することにより、固定具10,20とプローブ本体Pとを電気的に接続することができる。また、固定具10,20とプローブ本体Pとを金属などの導電性材料を用いることで電気的に接続することもできる。
【0035】
また、本発明の実施の形態では、2つのリンク部4,5でプローブ固定部2およびベース部3を連結する例について説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、3つ以上のリンク部でプローブ固定部2およびベース部3を連結してもよい。また、本発明の実施の形態では、弾性変形部として円弧切り欠き支点を用いた例について説明したが、双曲線切り欠き支点や楕円切り欠き支点などを用いることもできるし、その形状については適宜変更することができる。
【0036】
【発明の効果】
以上のように、請求項1から3に記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、第1のリンク部および第2のリンク部とによってプローブ固定部をベース部に対して上下動可能にベース部にそれぞれ連結したことにより、プローブ固定部をベース部に対して平行状態を維持しつつ直動させることができる。これにより、プローブ固定部に固定されたプローブ本体の先端部もベース部に対して直動させることができる結果、プロービング対象体の接触痕を極限まで小さくすることができる。
【0037】
また、請求項2記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、第1のリンク部を介して互いに連結された第1のベース部用部材および第1のプローブ固定部用部材と、第2のリンク部を介して互いに連結された第2のベース部用部材および第2のプローブ固定部用部材とを分離した状態で製作することができるため、樹脂成形によって容易かつ低コストで製作することができ、しかも、1つの金型を共通使用して分離した2つの部材を樹脂成形できるため、製作コストのさらなる低減を図ることができる。
【0038】
さらに、請求項4記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、弾性変形部を円弧切り欠き支点で形成したことにより、コストを低減することができると共に、切り欠き度合を適宜変更することにより、リンク機構における弾性変形量および弾性変形部の弾性力を任意の大きさに調整することができる。
【0039】
また、請求項5記載のコンタクトプローブ用固定具によれば、小型のプローブ本体に通電用の配線を直接接続する作業が不要となる結果、検査機構の製作コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るプローブ1の外観図であって、(a)は支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形していない状態の外観斜視図、(b)は支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形している状態の外観斜視図である。
【図2】支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形していない状態のプローブ1の側面図であって、(a)は図1の矢印Eの方向から見た側面図、(b)は同図の矢印Fの方向から見た側面図である。
【図3】支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形している状態のプローブ1の側面図であって、(a)は図1の矢印Eの方向から見た側面図、(b)は同図の矢印Fの方向から見た側面図である。
【図4】本発明の実施の形態に係るプローブ11の外観図であって、(a)は支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形していない状態の外観斜視図、(b)は支点6a〜6c,7a〜7cが弾性変形している状態の外観斜視図である。
【図5】従来のプローブ31の外観斜視図である。
【図6】従来のプローブ31の側面図であって、(a)はプローブ案内機構によってプロービング対象体Xの上方に位置させられた状態の側面図、(b)はプロービング対象体Xに接触させられた状態の側面図、(c)はプロービング対象体X側に付勢された状態の側面図である。
【図7】従来のプローブ31の動作を説明するための説明図である。
【図8】従来のプローブ31の動作を説明するための他の説明図である。
【符号の説明】
1 プローブ
2 プローブ固定部
3 ベース部
4 リンク部
4a 連結用アーム
4b 連結用アーム
5 リンク部
5a 連結用アーム
5b 連結用アーム
6a〜6c 支点
7a〜7c 支点
8 固定用孔
10 コンタクトプローブ用固定具
11 プローブ
12 プローブ固定部
12a 第1のプローブ固定用部材
12b 第2のプローブ固定用部材
13 ベース部
13a 第1のベース部用部材
13b 第2のベース部用部材
20 コンタクトプローブ用固定具
P プローブ本体
PM プローブ案内機構
Claims (5)
- プローブ案内機構によって所定の案内方向に案内されるベース部と、プローブ本体を固定するためのプローブ固定部と、前記プローブ固定部を前記ベース部に対して上下動可能に当該ベース部にそれぞれ連結する第1のリンク部および第2のリンク部とを備え、前記第1のリンク部は、その一端が前記案内方向に直交する第1の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記ベース部に連結されると共に他端が前記第1の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結され、前記第2のリンク部は、その一端が前記案内方向に直交し前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記ベース部に連結されると共に他端が前記第2の方向に沿って形成された弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結されていることを特徴とするコンタクトプローブ用固定具。
- 前記ベース部は、互いに固着可能な第1および第2のベース部用部材で構成され、前記プローブ固定部は、互いに固着可能な第1および第2のプローブ固定部用部材で構成され、前記第1のリンク部は、その一端が前記弾性変形部を介して前記第1のベース部用部材に連結されると共に他端が前記弾性変形部を介して前記第1のプローブ固定用部材に連結され、前記第2のリンク部は、その一端が前記弾性変形部を介して前記第2のベース部用部材に連結されると共に他端が前記弾性変形部を介して前記第2のプローブ固定用部材に連結されていることを特徴とする請求項1記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 前記第1および第2のリンク部は、一端が前記弾性変形部を介して前記ベース部に連結された第1の連結用アームと、一端が前記弾性変形部を介して前記プローブ固定部に連結された第2の連結用アームとをそれぞれ備え、前記第1および第2の連結用アームは、その他端同士が、両端に弾性変形部が形成された他の連結用アーム、または弾性変形部を介して連結されていることを特徴とする請求項1または2記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 前記弾性変形部は、前記各連結用アームにおける連結部位の一部を円弧状に切り欠いて形成された円弧切り欠き支点によって構成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
- 少なくとも表面部位が導電材料で形成され、前記プローブ固定部に前記プローブ本体を固着することにより、当該プローブ本体と電気的に接続されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のコンタクトプローブ用固定具。
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