JP2009229410A - 電気試験用接触子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電気試験用接触子は、上下方向へ伸びる取付部、該取付部の下端部から左右方向における少なくとも一方の側へ伸びるアーム部、及び該アーム部の先端部から下方へ突出する台座部を備える板状の接触子本体と、台座部の下端部から下方へ突出する接触部であって当該接触部の下端を半導体デバイスの電極に当接される針先とする接触部と、接触部及び台座部の少なくとも境界部近傍に配置された補強部とを含む。補強部は、接触子本体と異なる金属材料であって接触部よりも高い靱性を有する金属材料で形成されている。
【選択図】 図3
Description
12 半導体デバイス(被検査体)
14 接触子
16 プローブカード
18 チャックトップ
20 検査ステージ
22 エリアセンサ
24 取付部
26 アーム部
28 台座部
30 接触部
30a 針先
40 補強部
Claims (6)
- 上下方向へ伸びる取付部、該取付部の下端部から左右方向における少なくとも一方の側へ伸びるアーム部、及び該アーム部の先端部から下方へ突出する台座部を備える板状の接触子本体と、
前記台座部の下端部から下方へ突出する接触部であって当該接触部の下端を半導体デバイスの電極に当接される針先とする接触部と、
前記接触部及び前記台座部の少なくとも境界部近傍に配置された補強部とを含み、
前記補強部は、前記接触子本体と異なる金属材料であって前記接触部よりも高い靱性を有する金属材料で形成されている、電気試験用接触子。 - 前記補強部は、前記台座部の下端部から前記接触部にわたる表面領域であって前記針先を除く残りの全ての表面領域にわたって被覆した膜を含む、請求項1に記載の接触子。
- 前記補強部を形成している前記金属材料は少なくとも2種類の金属元素で形成された合金を含む、請求項1又は2に記載の接触子。
- 前記補強部は積層された少なくとも2種類の金属材料層を含む、請求項1から3のいずれか1項に記載の接触子。
- 板状の接触子本体と、該接触子本体から突出して先端を針先とする接触部とを備える電気試験用接触子を製造する方法であって、
少なくとも前記接触部を模る第1の凹所を有する第1のフォトレジスト層をベース部材の上に形成し、犠牲層を適宜な材料の堆積により前記第1の凹所に形成する第1の工程と、
前記第1のフォトレジスト層を除去した後、前記接触部と該接触部に近傍の前記接触子本体の部位を模る第2の凹所を有する第2のフォトレジスト層を前記ベース部材の上に形成し、前記接触部より高い靱性を有する導電性材料の堆積により第1の補強層を前記第2の凹所に形成し、さらに前記第1の補強層より高い硬度を有する導電性材料の堆積により前記接触部を前記第2の凹所に形成する第2の工程と、
前記第2のフォトレジスト層を除去し、前記接触子本体を模る第3の凹所を有する第3のフォトレジスト層をベース部材の上に形成し、前記第1の補強層と異なる導電性材料であって前記接触部より高い靭性の導電性材料の堆積により前記接触子本体を前記第3の凹所に形成する第3の工程と、
前記第3のフォトレジスト層を除去した後、前記接触部と該接触部に近傍の前記接触子本体の部位を模る第4の凹所を有する第4のフォトレジスト層を前記ベース部材の上に形成し、前記接触部より高い靱性を有する導電性材料であって前記プローブ本体と異なる導電性材料の堆積により第2の補強層を前記第4の凹所に形成する第4の工程と、
前記第1の補強層、前記接触部、前記接触子本体、及び前記第2の補強層を含む接触子を前記ベース部材から分離する第5の工程とを含む、電気試験用接触子の製造方法。 - 前記した各凹所への材料の堆積は、電気メッキ技術、スパッタリング技術及び蒸着技術を含むグループから選択された少なくとも1つにより形成される、請求項5に記載の製造方法。
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