JP5046909B2 - 電気試験用接触子、これを用いる電気的接続装置、及び接触子の製造方法 - Google Patents
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Description
12 被検査体
14 接触子
24 取付部
26 アーム部
28 台座部
30 接触部
32 針先
34 金属
34a,34b 第1及び第2の部位
36 抵抗体
38 電気的絶縁層
40 導電性金属層
50」配線基板
52 セラミック基板
56 プローブ基板
Claims (13)
- 上下方向へ伸びる板状の取付部、該取付部の下端部から左右方向における少なくとも一方の側へ伸びる板状のアーム部及び該アーム部の先端部から下方へ突出する板状の台座部を備える接触子本体と、
前記台座部の下端から下方へ突出する接触部であって当該接触部の下端を針先とする接触部と、
前記接触子本体及び前記接触部より高い抵抗値を有する抵抗体であって当該接触子の抵抗値を高めるべく前記接触子本体に配置された抵抗体とを含む、電気試験用接触子。 - 前記抵抗体は、前記接触子本体に配置されて前記接触子本体と前記接触部とを電気的に接続している、請求項1に記載の接触子。
- 前記抵抗体は、少なくとも前記台座部に配置されて前記台座部と前記接触部とを電気的に接続している、請求項2に記載の接触子。
- 前記接触部と前記接触子本体の一部とは共通の金属で形成されており、該金属は、前記台座部に位置されて前記台座部の一部として作用する第1の部位と、前記台座部の下端から下方へ突出されて前記接触部として作用する第2の部位とを備える、請求項3に記載の接触子。
- 前記第1の部位は、これの一部において、少なくとも該第1の部位を除く前記台座部の他の部分に電気的に接続されている、請求項4に記載の接触子。
- 前記接触子本体は、少なくとも前記第1の部位を除いて、前記金属より高い靭性を有する第1の金属材料で形成されており、前記金属は前記第1の金属材料より高い硬度を有する第2の金属材料で形成されている、請求項4に記載の接触子。
- 少なくとも前記第1の部位は、それの一部を前記台座部の厚さ方向における一方の側面に露出させている、請求項4に記載の接触子。
- 前記抵抗体は、電気メッキ技術、スパッタリング技術及び蒸着技術を含むグループから選択された少なくとも1つにより形成されている、請求項1に記載の接触子。
- さらに、前記抵抗体の一部が少なくとも前記金属の前記第1の部位を除く前記台座部の残部に電気的に接続することを許すように少なくとも前記台座部と前記抵抗体との間に配置された電気的絶縁層を含む、請求項4に記載の接触子。
- 板状又はシート状の基板と、請求項1から7のいずれか1項に記載された複数の電気試験用接触子であって前記基板の下面に片持ち梁状に支持された複数の電気試験用接触子とを含む、電気的接続装置。
- 接触子本体と、該接触子本体から突出して先端を針先とする接触部とを備える電気試験用接触子を製造する方法であって、
前記接触子本体及び前記接触部より高い抵抗値を有する高抵抗導電性材料により形成された抵抗体層であって前記接触子の台座部の一部となる抵抗体を模る抵抗体層を板状のベース部材の上面に形成する第1の工程と、
前記台座部の残部より高い硬度を有する高硬度導電性材料による金属層であって前記台座部の一部及び前記接触部を模る金属層を前記ベース部材及び前記抵抗体層の上に形成する第2の工程と、
前記金属層より高い靱性を有する高靱性導電性材料により形成された高靱性導電体層であって前記接触子本体の残部を模る高靱性導電体層を前記抵抗体層及び前記金属層の上に形成する第3の工程とを含む、電気試験用接触子の製造方法。 - 接触子本体と、該接触子本体から突出して先端を針先とする接触部とを備える電気試験用接触子を製造する方法であって、
前記接触子本体及び前記接触部より高い抵抗値を有する高抵抗導電性材料により形成された抵抗体層であって前記接触子の台座部の一部となる抵抗体を模る抵抗体層を板状のベース部材の上面に形成する第1の工程と、
前記台座部の残部より高い硬度を有する高硬度導電性材料による金属層であって前記台座部の一部及び前記接触部を模る金属層を前記ベース部材及び前記抵抗体層の上に形成する第2の工程と、
電気的絶縁材料により形成された電気的絶縁層であって前記台座部内に位置する前記金属層の部位及び前記抵抗体層の一部を模る電気的絶縁層を、前記ベース部材、前記金属層の一部及び前記抵抗体層の上に形成する第3の工程と、
前記金属層より高い靱性を有する高靱性導電性材料により形成された高靱性導電体層であって前記接触子本体の残部を模る高靱性導電体層を前記抵抗体層及び前記金属層の上に形成する第4の工程とを含む、電気試験用接触子の製造方法。 - 接触子本体と、該接触子本体から突出して先端を針先とする接触部とを備える電気試験用接触子を製造する方法であって、
前記接触子本体及び前記接触部より高い抵抗値を有する高抵抗導電性材料により形成された抵抗体層であって前記接触子の台座部の一部となる抵抗体を模る抵抗体層を板状のベース部材の上面に形成する第1の工程と、
前記台座部の残部より高い硬度を有する高硬度導電性材料による金属層であって前記台座部の一部及び前記接触部を模る金属層を前記ベース部材及び前記抵抗体層の上に形成する第2の工程と、
電気的絶縁材料により形成された電気的絶縁層であって前記台座部内に位置する前記金属層の部位及び前記抵抗体層の一部を模る電気的絶縁層を前記金属層の一部及び前記抵抗体層の上に形成する第3の工程と、
導電性材料により形成された導電層であって前記台座部内に位置する前記金属層の部位及び前記抵抗体層の一部を模る導電層を、前記抵抗体層の一部及び前記電気的絶縁層の上に形成する第4の工程と、
前記金属層より高い靱性を有する高靱性導電性材料により形成された高靱性導電体層であって前記接触子本体の残部を模る高靱性導電体層を前記導電体層の上に形成する第5の工程とを含む、電気試験用接触子の製造方法。
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