JP5087371B2 - 電気試験用接触子の製造方法 - Google Patents
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Description
12 被検査体
14 接触子
24 取付部
26 アーム部
28 台座部
30 接触部
32 針先
34 被膜
70 基板
72,78,86,92 フォトレジスト
74,80,88,94凹所
76 犠牲層
82,96 第1及び第2の光低反射皮膜
84,90 部材
Claims (4)
- 接触子本体と、該接触子本体から突出して先端を針先とする接触部とを備える接触子を製造する方法であって、
前記接触子本体の少なくとも前記接触部の側の部位の表面と、少なくとも前記針先及びその近傍を除く前記接触部の表面とを模る第1の凹所を有する第1のフォトレジスト層をベース部材の上に形成し、低光反射率を有する材料の堆積により第1の低反射皮膜を前記第1の凹所に形成する第1の工程と、
前記第1の低反射皮膜より光反射率が高い導電性材料の堆積により前記接触子本体の少なくとも前記接触部の側の部位と、少なくとも前記針先及びその近傍を除く前記接触部の部位とを前記第1の低反射皮膜の上に形成する第2の工程と、
前記第1のフォトレジスト層を除去した後、前記接触子本体の残部を模る第2の凹所を有する第2のフォトレジスト層を前記ベース部材の上に形成し、導電性材料の堆積により前記接触子本体の残部を前記第2の凹所に形成する第3の工程と、
前記第2のフォトレジスト層を除去し、前記接触子本体の少なくとも前記接触部の側の部位の表面と、少なくとも前記針先及びその近傍を除く前記接触部の表面とを模る第3の凹所を有する第3のフォトレジスト層をベース部材の上に形成し、低光反射率を有する材料の堆積により第2の低反射皮膜を前記第3の凹所に形成する第4の工程と、
前記接触子本体、前記接触部、前記第1の低反射皮膜及び第2の低反射皮膜を前記ベース部材から分離する第5の工程とを含む、電気試験用接触子の製造方法。 - 前記第1及び第2の低反射皮膜は、前記接触子本体及び前記接触部よりも可視光に対する反射率が低い材料で形成される、請求項1に記載の製造方法。
- 前記第1及び第2の低反射被膜は、電気メッキ技術、スパッタリング技術及び蒸着技術を含むグループから選択された少なくとも1つにより形成される、請求項1に記載の製造方法。
- 前記第2の工程は高硬度の導電性材料を前記第1の低反射皮膜の上に堆積させることを含み、前記第3の工程は高靱性の導電性材料を前記第2の凹所に堆積させることを含む、請求項1に記載の製造方法。
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