JP5065489B2 - ヒンジ構造を有するカンチレバー型微細接触プローブ - Google Patents
ヒンジ構造を有するカンチレバー型微細接触プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5065489B2 JP5065489B2 JP2010519162A JP2010519162A JP5065489B2 JP 5065489 B2 JP5065489 B2 JP 5065489B2 JP 2010519162 A JP2010519162 A JP 2010519162A JP 2010519162 A JP2010519162 A JP 2010519162A JP 5065489 B2 JP5065489 B2 JP 5065489B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- probe
- extension
- cantilever
- hinge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
- G01R1/06727—Cantilever beams
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06733—Geometry aspects
- G01R1/06738—Geometry aspects related to tip portion
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
また、この時の延長部123の形状は、図2のように直線の二重ビーム形状を有する代わりに、1つ以上の変曲点を有して互いに異なる方向へ屈曲しているベローズ型二重ビーム形状を有する。
前記ヒンジ部は、前記凹部が延長されて前記凸部を囲むように形成される突出片をさらに含むことができる。
前記延長部は、前記第1ビームの付着部側端部と接触部側端部とを連結する仮想の線と前記第2ビームの付着部側端部と接触部側端部とを連結する仮想の線とが交差するように形成される。
本発明によれば、モーメントを受けないヒンジ構造を有する二重ビームカンチレバー型微細接触プローブが提供されることによって、微細接触プローブに変形が生じる場合に発生する応力集中現象が除去される。
また、図4乃至図7でヒンジ部の凸部と凹部とは円形に形成されたことを示しているが、ヒンジの役割を果たすことができれば、円形の他にも、楕円形、三角形や四角形などの多角形形状に形成することもできる。
13、23、33、43 延長部
13a、23a、33a、43a 上部ビーム
13b、23b、33b、43b 下部ビーム
13c、23c、33c、43c 開口
14、24、34、44 間隙
15、25、35、45 接触部
16a、26a、36a、46a 凸部
16b、26b、36b、46b 凹部
17、27、37、47 チップ
26c、46c 突出片
Claims (12)
- 半導体チップの電気的検査を行うカンチレバー型微細接触プローブであって、
プローブカードに付着される付着部と、
前記付着部から側方向へ伸びていて、二重ビーム形状を有する延長部と、
前記延長部の末端部分に突出形成されて、前記半導体チップのパッドと接触するチップを有する接触部と、
前記延長部と前記接触部との間に設置されて、前記接触部から前記延長部にモーメントを伝達しないヒンジ部と、を含み、
前記ヒンジ部は、互いに形状的に符合する凸部と凹部とを備え、
前記凸部は、前記微細接触プローブが外部から加えられる力によって変形する時に旋回中心になり、前記凹部は、前記凸部を案内することを特徴とするカンチレバー型微細接触プローブ。 - 前記ヒンジ部は、前記凹部と凸部との間に間隙を形成して、
前記微細接触プローブの外部から力が加えられない時には、前記凸部と凹部とを互いに離隔した状態に維持することを特徴とする請求項1に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。 - 前記ヒンジ部は、前記凹部が延長されて前記凸部を囲むように形成される突出片をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記延長部は、上下に配列される第1ビームと第2ビームとを含み、前記第1ビームと前記第2ビームとの間に開口が形成されたことを特徴とする請求項1に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記第1ビームと前記第2ビームとのうちの少なくとも1つは、1つ以上の変曲点を有して屈曲されているベローズ形状を有することを特徴とする請求項4に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記ヒンジ部は、前記延長部の前記第2ビームと前記接触部との間に形成されることを特徴とする請求項4または5に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記ヒンジ部は、互いに形状的に符合する凸部と凹部とを備え、前記凹部と前記凸部との間に間隙を形成して、前記微細接触プローブの外部から力が加えられる時には、前記延長部の前記第2ビームと前記接触部とが互いに接した状態でヒンジ構造を形成し、前記微細接触プローブの外部から力が加えられない時には、前記延長部の前記第2ビームと前記接触部とを互いに離隔した状態に維持することを特徴とする請求項6に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記ヒンジ部は、前記凹部が延長されて前記凸部を囲むように形成される突出片をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記凸部は、前記延長部の前記第2ビーム及び前記接触部のうちのいずれか1つに形成され、前記凹部は、前記延長部の前記第2ビーム及び前記接触部のうちの他の1つに形成されることを特徴とする請求項7に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記延長部は、前記第1ビームの付着部側端部と接触部側端部とを連結する仮想の線と前記第2ビームの付着部側端部と接触部側端部とを連結する仮想の線とが交差するように形成されたことを特徴とする請求項4または5に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。
- 前記付着部及び前記延長部は、ニッケル、ニッケル合金、及び燐青銅からなる群より選択された金属材料で製作され、
前記接触部は、コバルト、コバルト合金、ロジウム、ロジウム合金、及びこれらの合金からなる群より選択された金属材料で製作されることを特徴とする請求項1に記載のカンチレバー型微細接触プローブ。 - 側方向に伸びて第1端は固定され、第2端は自由なカンチレバー形状の微細接触プローブにおいて、
前記第1端と前記第2端との間に前記微細接触プローブの前記第2端に対して外部から荷重が加えられる時に発生するモーメントを前記第1端側に伝達しないようにするヒンジ部を含み、
前記ヒンジ部は、互いに形状的に符合する凸部と凹部とを備え、
前記凸部は、前記微細接触プローブが外部から加えられる力によって変形する時に旋回中心になり、前記凹部は、前記凸部を案内することを特徴とするカンチレバー型微細接触プローブ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020080062492A KR100947862B1 (ko) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 힌지 구조를 갖는 캔틸레버형 미세 접촉 프로브 |
KR10-2008-0062492 | 2008-06-30 | ||
PCT/KR2009/000875 WO2010002091A1 (ko) | 2008-06-30 | 2009-02-24 | 힌지 구조를 갖는 캔틸레버형 미세 접촉 프로브 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010534851A JP2010534851A (ja) | 2010-11-11 |
JP5065489B2 true JP5065489B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=41466149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010519162A Expired - Fee Related JP5065489B2 (ja) | 2008-06-30 | 2009-02-24 | ヒンジ構造を有するカンチレバー型微細接触プローブ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8242797B2 (ja) |
JP (1) | JP5065489B2 (ja) |
KR (1) | KR100947862B1 (ja) |
WO (1) | WO2010002091A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011242377A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Kimoto Gunsei | プローブ |
JP5886694B2 (ja) * | 2012-06-14 | 2016-03-16 | 株式会社日本マイクロニクス | カンチレバー型プローブとそれを備えるプローブカード又はプローブユニット |
DE102016004520A1 (de) * | 2016-04-13 | 2017-10-19 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Kontaktstift und Testsockel mit Kontaktstiften |
JP7353859B2 (ja) * | 2019-08-09 | 2023-10-02 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
JP2021028603A (ja) * | 2019-08-09 | 2021-02-25 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接触子及び電気的接続装置 |
CN111579831B (zh) * | 2020-05-18 | 2023-03-14 | 武汉精毅通电子技术有限公司 | 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器 |
CN111579834B (zh) * | 2020-05-18 | 2023-03-31 | 武汉精毅通电子技术有限公司 | 一种适用于大电流高速信号测试的探针及连接器 |
KR102386462B1 (ko) * | 2020-09-02 | 2022-04-15 | (주)티에스이 | 프로브 카드 및 이의 얼라이닝 장치 |
WO2024062559A1 (ja) * | 2022-09-21 | 2024-03-28 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード用カンチレバー型プローブ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6127832A (en) * | 1998-01-06 | 2000-10-03 | International Business Machines Corporation | Electrical test tool having easily replaceable electrical probe |
JPH11304835A (ja) * | 1998-04-22 | 1999-11-05 | Hioki Ee Corp | コンタクトプローブ用固定具 |
JP2000171381A (ja) | 1998-12-09 | 2000-06-23 | Angstrom Technology Partnership | カンチレバー |
JP2003270266A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Tadashi Tomoi | 弾性直動装置 |
DE60314548T2 (de) * | 2003-05-13 | 2008-02-28 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics, Musashino | Sonde zur prüfung der elektrischen leitfähigkeit |
JP4571511B2 (ja) | 2005-01-07 | 2010-10-27 | 株式会社日本マイクロニクス | 通電試験用プローブ |
JP4974021B2 (ja) | 2006-02-19 | 2012-07-11 | 軍生 木本 | プローブ組立体 |
TW200815763A (en) * | 2006-09-26 | 2008-04-01 | Nihon Micronics Kabushiki Kaisha | Electrical test probe and electrical test probe assembly |
JP2009300218A (ja) | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Japan Electronic Materials Corp | プローブ、及びプローブカード |
-
2008
- 2008-06-30 KR KR1020080062492A patent/KR100947862B1/ko active IP Right Grant
-
2009
- 2009-02-24 JP JP2010519162A patent/JP5065489B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2009-02-24 WO PCT/KR2009/000875 patent/WO2010002091A1/ko active Application Filing
- 2009-02-24 US US12/452,730 patent/US8242797B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100002557A (ko) | 2010-01-07 |
WO2010002091A1 (ko) | 2010-01-07 |
US20100127728A1 (en) | 2010-05-27 |
US8242797B2 (en) | 2012-08-14 |
JP2010534851A (ja) | 2010-11-11 |
KR100947862B1 (ko) | 2010-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5065489B2 (ja) | ヒンジ構造を有するカンチレバー型微細接触プローブ | |
US20020070743A1 (en) | Testing head having vertical probes | |
KR20090071393A (ko) | 콘택트 및 인터포저 | |
TW201640122A (zh) | 測試頭之接觸探針 | |
TWI399544B (zh) | Contactors for electrical testing and methods for their manufacture | |
JP2012173263A (ja) | 電気的接触子及び電気的接触子ユニット | |
JPWO2014073368A1 (ja) | 接続端子およびこれを用いた導通検査器具 | |
TWI417553B (zh) | 用於測試半導體元件之合成探針 | |
KR100991429B1 (ko) | 캔틸레버형 미세 접촉 프로브 | |
TWI404936B (zh) | 具有樞紐結構之懸臂式微探針 | |
JP4704843B2 (ja) | プローブ | |
US11372023B2 (en) | Slip-plane MEMs probe for high-density and fine pitch interconnects | |
JP2007163288A (ja) | 片持ち梁型のプローブおよびその製造方法 | |
CN109581006A (zh) | 探针装置及其矩形探针 | |
KR101425701B1 (ko) | 반도체 장치를 테스트하기 위한 포크형 탐침 | |
US20100109697A1 (en) | Probe card, needles of probe card, and method of manufacturing the needles of probe card | |
KR20130051842A (ko) | 프로브, 프로브 어셈블리 및 이를 포함하는 프로브 카드 | |
JP6301680B2 (ja) | 弾性プローブ | |
JP6770798B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2012042448A (ja) | 半導体素子のプローブカード及びその垂直型プローブ | |
JP2010127901A (ja) | プローブカードおよびその製造方法 | |
CN112526178A (zh) | 探针及测试装置 | |
TWI824436B (zh) | 探針 | |
JP6373011B2 (ja) | プローブカード | |
JP2002005962A (ja) | プローブカード |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110922 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120809 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5065489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |