JP2007240403A - スパイラルプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】球状またはフラット状の接続端子を有する半導体デバイスや電子部品と電気的に接続を行い、先端をフリーとする凸形の渦巻き部2aと、前記渦巻き部2aを支持するベース部2bと、から構成されたスパイラルプローブ2であって、このベース部2bの輪郭を四角形とする単体にしたことを特徴とするスパイラルプローブ2である。
【選択図】図2
Description
図5に示すように、従来のたとえば、プローブ・カードに使用されているカンチレバー型のプローブ(接触子)50は、プリント基板51の外周部の下面に片持ち支持され、モールド台座52によって中間部がガイドされ、左右の振れが防止されている。そして、カンチレバー53の接触子54の先端部は下方に折れ曲がり、プローブニードルを形成している。
図6はカンチレバーの間隔を狭ピッチにした最近のカンチレバー型を示し、下方から見上げた斜視図である。図6に示すように、プローブ(接触子)60には、従来、存在したモールド台座などはなく、狭ピッチで並んだカンチレバー61の先端には、プローブ(接触子)62が配置されている。
図7の(a)に示すように、シリコンウエーハ70の上面にはIC回路パターンが作り込まれており、ダイシングにより切り離す前に、ICチップの特性のチェックを行う。
図7の(b)に示すように、従来のペリフェラルタイプのICチップ71のように、一辺に、例えば、9個ずつ外周の四辺に配置された接続端子(電極パッド)の場合は、カンチレバー型のプローブ・カードも同様に、一辺に9本ずつ並べ、外周の四辺に同様に配置することによって、ICチップ1個の全電極パッド(接続端子)にプローブ・カードを当てて順次測定する。
しかし、図7の(c)、(d)に示すようなエリア・アレイタイプのICチップ72,73のように、格子状に配置された接続端子の場合は、従来のカンチレバー61では対応できないという問題があった。
図8はこのスパイラルコンタクタの平面図、図9は図8に示すG−G線の断面図である。
図8に示すように、このスパイラル状接触子7,7…は、渦巻き部7aを接触子とし、渦巻き部7aをフリーとし、渦巻き部7aの先端から根元に近づくにしたがってスパイラル状接触子7の渦巻き部の幅が広くなるように形成されている。
なお、このスパイラルコンタクタ6とは、平面視してスパイラル形状を有する複数のスパイラル状接触子7,7…が絶縁基板5上に格子状に配置されている全体をいう。
また、球状の接続端子9との接触の際には、図9に示すように、接続端子9によって窪み8の中に押し込まれ、接続端子9の表面に形成された酸化膜に対して、スパイラル状接触子7先端7aの角により摺動して切り裂き、電気的接続を行うことをその特徴としている。
<第1実施の形態>
図1は本発明の第1実施の形態のスパイラルプローブを示し、(a)は斜視図、(b)は拡大平面図、(c)は(b)に示すA−A線の断面図である。
図1の(b)に示すように、ベース部1bの外周の輪郭を円形とする単体にしたことにより、据わりがよく、安定した姿勢を保つことができる。また、単体にしたことにより、マテハンロボットによる搬送が容易であり、単体の組み立てが容易にできる。
また、図1の(b)、(c)に示すように、渦巻き部1aは凸状になっており、その巻き数は約2回転と、従来の2倍に延長し、撓みやすくヘタリにくいという性能の向上を図っている。
図2は、本発明の第2実施の形態のスパイラルプローブを示し、(a)は斜視図、(b)拡大平面図、(c)は(b)に示すB−B線の断面図である。
図2の(b)に示すように、ベース部2bの外形の輪郭の4辺(D,E,F,G)を四角形にしたことにより、単位面積当たりの設置数を大幅に増やすことができる。また、ベース部2bを四角形の単体にしたことにより、マテハンロボットによる搬送が容易になり、単体の組み立てが容易にできる。また、図2の(a)、(c)に示すように、渦巻き部1aは凸状になっており、その巻き数は約2回転と、従来の2倍に延長し、撓みやすくヘタリにくいという性能の向上を図っている。
つまり、三日月状の第1、第2領域d,eと、三日月状の第3、第4領域f,gを削除した結果、横幅W1=L−(g1+g2)、縦幅W2=H−(h1+h2)となる。
また、螺旋状の巻き数を、従来は1回転と1/4回転であったが、2回転と1/8に約2倍に増すことができるため、より接触機会を増やすことができることから、信頼性の向上が図られる。
一方、スパイラルプローブ2の四角形の一辺のW1、W2は0.13mmであり、図3の(b)に示すような配列にした場合のピッチP1は0.15mmである。この単位面積(100mm2)当たりの設置個数は、縦に66個、横に66個がマトリックスのように並び、4356個(66×66)、配置できる。
その結果、4356個/3025個は、144%という設置個数の大幅な拡大ができる。
図3の(b)に示すように、例えば、プリント基板12のパッケージの上面には、本発明のスパイラルプローブ1を配置するための四角形の枠12aが形成され、これらの枠内にハンダ、または、導電性接着剤3(図4参照)が塗布され、その上にスパイラルプローブ1が載置されている。
に示すD−D線の断面図である。
図4の(a)に示すように、プリント基板12のパッケージには、本発明のスパイラルプローブ2を配置するためのガイドとなる四角形の枠12aが形成されている。そして、これらの枠内にはハンダ、または、導電接着剤3が塗布されている。
なお、ハンダ、または、導電接着剤3の塗布領域は、ベース部の輪郭を円形にしたスパイラルプローブ1であれば全面であってもよいが、スパイラルプローブ2の場合は第1コーナー部、第2コーナー部、第3コーナー部を含めた塗布領域であればよい。
図4の(c)に示すように、このプリント基板は4枚のプリント基板を貼付した多層のプリント基板12を用意する。このとき、別途トレー(図示せず)には、スパイラルプローブ2が整列されている。
ハンダペースト3を塗布する。
そして、このスパイラルプローブ2を、マイクロハンド(図示せず)を有するマテハンロボットにより把持し、図4の(a)に示すプリント基板のランドに置いてゆく。ただ置くだけであり、この動作を毎秒2〜10個の速さで行う。
その後、ハンダペースト3にリフローをかけると、スパイラルプローブ2が浮遊してランドに合わせてスパイラルプローブ2の位置の修正が行われ、位置合わせができたところでハンダ3に硬化する。
このように、複数のスパイラルプローブ2はプリント基板12に固着される(図2の(b)参照)。要するに、置くだけ、つまり、載せるだけで組立てが終了する。
また、接続端子がフラット状の接続端子(図示せず)の場合も同様に、このスパイラルプローブ2は、フラット状接続端子の厚みのバラツキにも柔軟に適合し、フラット状接続端子の表面をぬぐう動きのほかに、スパイラルプローブ2の角(エッジ)が根元から先端に向って摺動することにより、フラット状接続端子の表面の酸化膜を切り込むように摺動し、電気的な接続を行う。
さらに、スパイラルプローブ1,2は、渦巻き部1a,2aを逆円錐状としてもよいし、それ以外のスパイラルであっても構わない。
1a,2a 渦巻き部
1b,2b ベース部
3 ハンダ、ハンダペースト(導電接着剤)
5 絶縁基板
6 スパイラルコンタクタ
7 スパイラル状接触子
7a 渦巻き部
8 窪み
9 球状の接続端子
12 プリント基板
12a 枠
c 輪郭
d 第1領域
e 第2領域
f 第3領域
g 第4領域
D,E,F,G 辺
Claims (3)
- 球状またはフラット状の接続端子を有する半導体デバイスや電子部品と電気的に接続を行い、先端をフリーとする凸形の渦巻き部と、前記渦巻き部を支持するベース部と、から構成されたスパイラルプローブであって、
前記ベース部の輪郭を円形とする単体にしたことを特徴とするスパイラルプローブ。 - 球状またはフラット状の接続端子を有する半導体デバイスや電子部品と電気的に接続を行い、先端をフリーとする凸形の渦巻き部と、前記渦巻き部を支持するベース部と、から構成されたスパイラルプローブであって、
前記ベース部の輪郭を四角形とする単体にしたことを特徴とするスパイラルプローブ。 - 前記四角形は3箇所のコーナー部が形成されたことを特徴とする請求項2に記載のスパイラルプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006065320A JP2007240403A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | スパイラルプローブ |
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JP2006065320A JP2007240403A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | スパイラルプローブ |
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Family Applications (1)
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JP2006065320A Pending JP2007240403A (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | スパイラルプローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007240403A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI708949B (zh) * | 2019-09-12 | 2020-11-01 | 吳俊杰 | 探針及測試裝置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005129428A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 竹の子状コンタクトの製造方法、その方法により製造されたコンタクトおよびそのコンタクトを備える検査装置または電子機器 |
JP2005209419A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Advanced Systems Japan Inc | 電子部品用接続端子、コネクタおよびその製造方法 |
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2006
- 2006-03-10 JP JP2006065320A patent/JP2007240403A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005209419A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Advanced Systems Japan Inc | 電子部品用接続端子、コネクタおよびその製造方法 |
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