JP4592292B2 - 電気的接続装置 - Google Patents
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Description
12 被検査体
14 パッド電極
20 配線基板
22 プローブ基板
24,24a、24b、24c、24d 接触子
28,28a、28b、28c、28d 装着部
30 プローブ基板の配線
34 座部
36 アーム部
38 針先部
40 突起部
42 アーム
44 スロット
Claims (7)
- 第1の方向に交互に位置するように配置された複数の第1及び第2の装着部をそれぞれ有する第1及び第2の装着部群を備える基板と、
前記第1及び第2の装着部にそれぞれ個々に及び片持ち梁状に装着された複数の第1及び第2の接触子をそれぞれ有する第1及び第2の接触子群とを含み、
前記第1及び第2の接触子は、前記基板への装着位置を前記第1の方向と交差する第2の方向に変位させており、
前記第1及び第2の接触子は、それぞれ、前記基板に対し傾斜して前記第2の方向における一方側及び他方側に伸びる板状の座部であって、前記基板の側に位置する端部において前記第1及び第2の装着部に装着された座部を有する、電気的接続装置。 - 前記基板は、さらに、前記第1及び前記第2の装着部に対し前記第2の方向に変位されかつ前記第1の方向に交互に位置するように配置された複数の第3及び第4の装着部をそれぞれ有する第3及び第4の装着部群を備え、
当該電気的接続装置は、さらに、前記第3及び第4の装着部にそれぞれ個々に及び片持ち梁状に装着された複数の第3及び第4の接触子をそれぞれ有する第3及び第4の接触子群を含み、
前記第3及び第4の接触子は、前記基板への装着位置を互いに、並びに第1及び第2の接触子に対し、前記第2の方向に変位させており、
前記第3及び第4の接触子は、それぞれ、前記基板に対し傾斜して前記第2の方向における一方側及び他方側に伸びる板状の座部であって、前記基板の側に位置する端部において前記第3及び第4の装着部に装着された座部を有する、請求項1に記載の電気的接続装置。 - 各接触子は、前記座部から前記第2の方向へ伸びる、弾性変形可能のアーム部と、該アーム部の先端部から前記基板と反対の側に伸びる針先部と、該針先部の先端から前記基板と反対側に突出する突起部とを有する、請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記アーム部は、これを前記座部の厚さ方向に貫通して前記基板と交差する方向に間隔をおいた一対のアームを形成しているスロットを有する、請求項3に記載の電気的接続装置。
- 各接触子は前記第1の方向を厚さ寸法とする板の形状を有する、請求項3又は4に記載の電気的接続装置。
- 各装着部は、前記第2の方向に長い帯状の形状を有しており、
前記基板は、さらに、各装着部に接続された配線を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。 - 前記第1及び第2の装着部は、前記第2の方向に変位されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
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