JP2002048815A - プローブヘッド - Google Patents
プローブヘッドInfo
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- JP2002048815A JP2002048815A JP2000230776A JP2000230776A JP2002048815A JP 2002048815 A JP2002048815 A JP 2002048815A JP 2000230776 A JP2000230776 A JP 2000230776A JP 2000230776 A JP2000230776 A JP 2000230776A JP 2002048815 A JP2002048815 A JP 2002048815A
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- probe
- leaf spring
- contact
- holder
- pad
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 探針を被測定物のパッドに高速で接触させて
も振動を起こさず、しかもそのパッドに大きな傷をつけ
ることのないプローブヘッドを提供すること。 【解決手段】 板ばねプローブ１をホルダ２が片持ち支
持する構造のプローブヘッドであって、板ばねプローブ
１は固定部11が第一板ばね部６を、第一板ばね部６が第
二板ばね部７をそれぞれ片持ち支持し、第二板ばね部７
の自由端に形成された先端部18に探針９が取り付けられ
たものであり、ホルダ２には予圧ピン３が固着されてお
り、探針９が被測定物のパッドと非接触の状態では予圧
ピン３が第一板ばね部６の自由端近傍に接して板ばねプ
ローブ１に予圧を与え、探針９がパッドと接触して板ば
ねプローブ１に所定以上の荷重がかかった状態で第一板
ばね部６が予圧ピン３から離れるような位置関係で板ば
ねプローブ１がホルダ２に固着されている。
も振動を起こさず、しかもそのパッドに大きな傷をつけ
ることのないプローブヘッドを提供すること。 【解決手段】 板ばねプローブ１をホルダ２が片持ち支
持する構造のプローブヘッドであって、板ばねプローブ
１は固定部11が第一板ばね部６を、第一板ばね部６が第
二板ばね部７をそれぞれ片持ち支持し、第二板ばね部７
の自由端に形成された先端部18に探針９が取り付けられ
たものであり、ホルダ２には予圧ピン３が固着されてお
り、探針９が被測定物のパッドと非接触の状態では予圧
ピン３が第一板ばね部６の自由端近傍に接して板ばねプ
ローブ１に予圧を与え、探針９がパッドと接触して板ば
ねプローブ１に所定以上の荷重がかかった状態で第一板
ばね部６が予圧ピン３から離れるような位置関係で板ば
ねプローブ１がホルダ２に固着されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の電気的試験を行う装置に使用されるプローブヘッドに
係り、特に、二個のプローブを適宜に移動して導体間の
抵抗測定等を順次行う可動二点プローブ方式の自動試験
装置に適したプローブヘッドに関する。
の電気的試験を行う装置に使用されるプローブヘッドに
係り、特に、二個のプローブを適宜に移動して導体間の
抵抗測定等を順次行う可動二点プローブ方式の自動試験
装置に適したプローブヘッドに関する。
【０００２】この可動二点プローブ方式の自動試験装置
は多品種の試験に容易に対応できるが、測定点の増加に
伴って試験に要する時間が増加する。近年、プリント配
線板の高密度化が進み、測定点が増加しているため、こ
れに使用するプローブヘッドは高速で動作させる必要が
ある。また、高密度のプリント配線板ではパッドが微小
化されているから、プローブの接触によるパッド表面の
傷を極力小さくする必要がある。
は多品種の試験に容易に対応できるが、測定点の増加に
伴って試験に要する時間が増加する。近年、プリント配
線板の高密度化が進み、測定点が増加しているため、こ
れに使用するプローブヘッドは高速で動作させる必要が
ある。また、高密度のプリント配線板ではパッドが微小
化されているから、プローブの接触によるパッド表面の
傷を極力小さくする必要がある。
【０００３】
【従来の技術】可動二点プローブ方式の自動試験装置に
使用されるプローブとしては、二本の探針の先端を接近
させ易い板ばねプローブが主に採用されている。この板
ばねプローブからなるプローブヘッドの従来例を、図４
により説明する。図４は従来例を示す模式側面図であ
る。同図において、１１は板ばねプローブであり、固定
部１５と、固定部１５に片持ち支持された板ばね部１６
と、板ばね部１６の自由端に形成された先端部１８と、
先端部１８に固着された探針９から成る。この板ばねプ
ローブ１１がその固定部１５でねじ４によりホルダ１２
に固定されてプローブヘッドとなっている。
使用されるプローブとしては、二本の探針の先端を接近
させ易い板ばねプローブが主に採用されている。この板
ばねプローブからなるプローブヘッドの従来例を、図４
により説明する。図４は従来例を示す模式側面図であ
る。同図において、１１は板ばねプローブであり、固定
部１５と、固定部１５に片持ち支持された板ばね部１６
と、板ばね部１６の自由端に形成された先端部１８と、
先端部１８に固着された探針９から成る。この板ばねプ
ローブ１１がその固定部１５でねじ４によりホルダ１２
に固定されてプローブヘッドとなっている。
【０００４】このプローブヘッドが試験装置に装着さ
れ、ホルダ１２を板ばねプローブ１１と共に降下させ、
探針９が被測定物と接触し、被測定物を押圧して板ばね
プローブ１１に撓みが生じた状態で測定が行われる。
れ、ホルダ１２を板ばねプローブ１１と共に降下させ、
探針９が被測定物と接触し、被測定物を押圧して板ばね
プローブ１１に撓みが生じた状態で測定が行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のプロ
ーブヘッドでは、板ばねのばね定数が大きいと、探針を
被測定物のパッドに高速で接触させた際に探針がパッド
表面に大きな傷をつけ易い、という問題があり、一方、
この傷を小さくするために板ばねの長さを長くしてその
ばね定数を小さくすると、探針をパッドに高速で接触さ
せた際に板ばねが振動して測定に影響を及ぼす、という
問題があった。振動の問題を避け、安定した測定を行う
ためには、探針のスピードをパッドに接触する直前に落
とすとか、接触後振動が収まるのを待って（タイマによ
る）測定を開始する等、試験装置のスループットを落と
す方向の対策を必要としていた。
ーブヘッドでは、板ばねのばね定数が大きいと、探針を
被測定物のパッドに高速で接触させた際に探針がパッド
表面に大きな傷をつけ易い、という問題があり、一方、
この傷を小さくするために板ばねの長さを長くしてその
ばね定数を小さくすると、探針をパッドに高速で接触さ
せた際に板ばねが振動して測定に影響を及ぼす、という
問題があった。振動の問題を避け、安定した測定を行う
ためには、探針のスピードをパッドに接触する直前に落
とすとか、接触後振動が収まるのを待って（タイマによ
る）測定を開始する等、試験装置のスループットを落と
す方向の対策を必要としていた。
【０００６】本発明は、このような問題を解決して、探
針を被測定物のパッドに高速で接触させても振動を起こ
さず、しかもそのパッドに大きな傷をつけることのない
プローブヘッドを提供することを目的とする。
針を被測定物のパッドに高速で接触させても振動を起こ
さず、しかもそのパッドに大きな傷をつけることのない
プローブヘッドを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、板ばねプローブと、該板ばねプ
ローブを片持ち支持するホルダと、該ホルダに固着され
た予圧ピンとを有し、該板ばねプローブは該ホルダに固
着される固定部と、該固定部に片持ち支持された第一板
ばね部と、該第一板ばね部の自由端に片持ち支持され且
つ該第一板ばね部よりばね定数が大きい第二板ばね部
と、該第二板ばね部の自由端に形成された先端部と、該
先端部の下方に突出する探針とを有し、該探針が接触対
象物と非接触の状態で該予圧ピンが該第一板ばね部の自
由端近傍に接して該板ばねプローブに予圧を与え、該探
針が接触対象物と接触して該板ばねプローブに所定以上
の荷重がかかった状態で該第一板ばね部が該予圧ピンか
ら離れるような位置関係で該板ばねプローブが該ホルダ
に固着されていることを特徴とするプローブユニットと
している。
め、本発明においては、板ばねプローブと、該板ばねプ
ローブを片持ち支持するホルダと、該ホルダに固着され
た予圧ピンとを有し、該板ばねプローブは該ホルダに固
着される固定部と、該固定部に片持ち支持された第一板
ばね部と、該第一板ばね部の自由端に片持ち支持され且
つ該第一板ばね部よりばね定数が大きい第二板ばね部
と、該第二板ばね部の自由端に形成された先端部と、該
先端部の下方に突出する探針とを有し、該探針が接触対
象物と非接触の状態で該予圧ピンが該第一板ばね部の自
由端近傍に接して該板ばねプローブに予圧を与え、該探
針が接触対象物と接触して該板ばねプローブに所定以上
の荷重がかかった状態で該第一板ばね部が該予圧ピンか
ら離れるような位置関係で該板ばねプローブが該ホルダ
に固着されていることを特徴とするプローブユニットと
している。
【０００８】即ち、探針が接触対象物であるパッドに接
触すると、先ずばね定数の大きい第二板ばねだけに荷重
がかかり、その後、ばね定数の小さい第一板ばねにも荷
重がかかるようになるから、探針が高速でパッドに接触
しても振動は殆ど起こらず、しかもパッドの傷は大きく
ならない。
触すると、先ずばね定数の大きい第二板ばねだけに荷重
がかかり、その後、ばね定数の小さい第一板ばねにも荷
重がかかるようになるから、探針が高速でパッドに接触
しても振動は殆ど起こらず、しかもパッドの傷は大きく
ならない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
１〜３を参照しながら説明する。
１〜３を参照しながら説明する。
【００１０】図１は本発明のプローブヘッドを示す斜視
図である。同図において、１は板ばねプローブ、２はホ
ルダ、３は予圧ピン、４はねじである。板ばねプローブ
１は固定部５、第一板ばね部６、第二板ばね部７、先端
部８、探針９からなり、固定部５が第一板ばね部６を片
持ち支持し、第一板ばね部６がその自由端６ａ側で第二
板ばね部７を片持ち支持し、第二板ばね部７の自由端７
ａ側に先端部８が形成され、先端部８に探針９が固着さ
れている。
図である。同図において、１は板ばねプローブ、２はホ
ルダ、３は予圧ピン、４はねじである。板ばねプローブ
１は固定部５、第一板ばね部６、第二板ばね部７、先端
部８、探針９からなり、固定部５が第一板ばね部６を片
持ち支持し、第一板ばね部６がその自由端６ａ側で第二
板ばね部７を片持ち支持し、第二板ばね部７の自由端７
ａ側に先端部８が形成され、先端部８に探針９が固着さ
れている。
【００１１】固定部５、第一板ばね部６、第二板ばね部
７、先端部８は一体であり、材質は燐青銅やベリリウム
銅等の金属若しくは軽くしかもばね弾性を有するエンジ
ニアリング・プラスチックである。第一板ばね部６はば
ね定数を小さく且つストロークを大きく取るために全長
を長くし、一方、第二板ばね部７は全長を短くしてばね
定数を第一板ばね部６のそれより大幅に大きくしてある
（例えば、前者の６ｇ／mmに対して後者は６０ｇ／m
m）。
７、先端部８は一体であり、材質は燐青銅やベリリウム
銅等の金属若しくは軽くしかもばね弾性を有するエンジ
ニアリング・プラスチックである。第一板ばね部６はば
ね定数を小さく且つストロークを大きく取るために全長
を長くし、一方、第二板ばね部７は全長を短くしてばね
定数を第一板ばね部６のそれより大幅に大きくしてある
（例えば、前者の６ｇ／mmに対して後者は６０ｇ／m
m）。
【００１２】この例では、第一板ばね部６と第二板ばね
部７は共に平行ばねである。これらは一枚の板ばねであ
ってもよいが、一枚板ばねの場合、撓む際に湾曲して先
端部８に固着した探針９の先端が横方向にも変位するか
ら、少なくとも、ばね定数の小さい第一板ばね部６は平
行ばねであることが望ましい。尚、平行ばねでも僅かな
湾曲を生じるが、この例では、四隅をくびらせて所望の
ばね定数を得るようにすることで、この湾曲を防止して
いる。
部７は共に平行ばねである。これらは一枚の板ばねであ
ってもよいが、一枚板ばねの場合、撓む際に湾曲して先
端部８に固着した探針９の先端が横方向にも変位するか
ら、少なくとも、ばね定数の小さい第一板ばね部６は平
行ばねであることが望ましい。尚、平行ばねでも僅かな
湾曲を生じるが、この例では、四隅をくびらせて所望の
ばね定数を得るようにすることで、この湾曲を防止して
いる。
【００１３】探針９は硬質の材料（例えば、超硬合金）
が使用されており、先端は尖っている。探針９はその先
端が板ばねプローブ１の長手方向の最先端となるよう
に、先端部８の下方に斜めに突出している。従って、二
組の板ばねプローブを対向させて近接した二つのパッド
間の測定を行う際に、双方の探針９を十分に近付けるこ
とができる。
が使用されており、先端は尖っている。探針９はその先
端が板ばねプローブ１の長手方向の最先端となるよう
に、先端部８の下方に斜めに突出している。従って、二
組の板ばねプローブを対向させて近接した二つのパッド
間の測定を行う際に、双方の探針９を十分に近付けるこ
とができる。
【００１４】予圧ピン３はホルダ２の表面から突出する
ように固着されている。板ばねプローブ１は、その第一
板ばね部６の自由端６ａ近傍で予圧ピン３に接し、第一
板ばね部６が若干撓んで所望の予圧を生じるような位置
関係で、ホルダ２にねじ４により固定されている。
ように固着されている。板ばねプローブ１は、その第一
板ばね部６の自由端６ａ近傍で予圧ピン３に接し、第一
板ばね部６が若干撓んで所望の予圧を生じるような位置
関係で、ホルダ２にねじ４により固定されている。
【００１５】このプローブヘッドは試験装置に装着さ
れ、ホルダ２を板ばねプローブ１と共に降下させ、探針
９が被測定物と接触し、板ばねプローブ１に撓みが生じ
た状態で測定が行われる。図２は本発明のプローブヘッ
ドの動作状態を示す模式側面図である。同図において、
図１と同じものには同一の符号を付与した。同図（Ａ）
はホルダ２を下げて探針９が被測定物１０のパッド１０
ａに接触した直後の状態を示しており、第一板ばね部６
はまだ予圧ピン３に接している。同図（Ｂ）はホルダ２
を更に下げてパッド１０ａと探針９との接触圧が所定の
値に達した状態を示しており、第一板ばね部６は予圧ピ
ン３から離れている。
れ、ホルダ２を板ばねプローブ１と共に降下させ、探針
９が被測定物と接触し、板ばねプローブ１に撓みが生じ
た状態で測定が行われる。図２は本発明のプローブヘッ
ドの動作状態を示す模式側面図である。同図において、
図１と同じものには同一の符号を付与した。同図（Ａ）
はホルダ２を下げて探針９が被測定物１０のパッド１０
ａに接触した直後の状態を示しており、第一板ばね部６
はまだ予圧ピン３に接している。同図（Ｂ）はホルダ２
を更に下げてパッド１０ａと探針９との接触圧が所定の
値に達した状態を示しており、第一板ばね部６は予圧ピ
ン３から離れている。
【００１６】図３は本発明の板ばねプローブの荷重−変
位線図である。同図において、直線ａは第一板ばね部６
の特性、直線ｂは第二板ばね部７の特性、直線ｃはａと
ｂを合成したものである。前出の図２においてホルダ２
を降下させて探針９がパッド１０ａに接触すると両者の
間に接触圧を生じ、これが板ばねプローブ１の荷重とな
る。接触後、更にホルダ２が降下するに従って荷重が増
え、先ず第二板ばね部７だけが撓み、直線ｂに沿ってＯ
点からＤ点に至る。Ｄ点で荷重と第一板ばね部６に作用
する予圧が釣り合い、その後は第一板ばね部６も撓ん
で、直線ｃに沿うことになる。
位線図である。同図において、直線ａは第一板ばね部６
の特性、直線ｂは第二板ばね部７の特性、直線ｃはａと
ｂを合成したものである。前出の図２においてホルダ２
を降下させて探針９がパッド１０ａに接触すると両者の
間に接触圧を生じ、これが板ばねプローブ１の荷重とな
る。接触後、更にホルダ２が降下するに従って荷重が増
え、先ず第二板ばね部７だけが撓み、直線ｂに沿ってＯ
点からＤ点に至る。Ｄ点で荷重と第一板ばね部６に作用
する予圧が釣り合い、その後は第一板ばね部６も撓ん
で、直線ｃに沿うことになる。
【００１７】以上のようなプローブヘッドを試験装置に
装着し、プリント配線板のパッドに高速で探針を接触さ
せた結果、衝撃による板ばねプローブの振動は殆ど発生
せず、しかもパッドに着く傷は大きくならなかった。
装着し、プリント配線板のパッドに高速で探針を接触さ
せた結果、衝撃による板ばねプローブの振動は殆ど発生
せず、しかもパッドに着く傷は大きくならなかった。
【００１８】本発明は以上の例に限定されることなく、
更に種々変形して実施することができる。
更に種々変形して実施することができる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
探針を被測定物のパッドに高速で接触させても振動を起
こさず、しかもそのパッドに大きな傷をつけることのな
いプローブヘッドを提供することができ、高密度プリン
ト配線板の高速試験が可能となる。
探針を被測定物のパッドに高速で接触させても振動を起
こさず、しかもそのパッドに大きな傷をつけることのな
いプローブヘッドを提供することができ、高密度プリン
ト配線板の高速試験が可能となる。
【図１】 本発明のプローブヘッドを示す斜視図であ
る。
る。
【図２】 本発明のプローブヘッドの動作状態を示す模
式側面図である。
式側面図である。
【図３】 本発明の板ばねプローブの荷重−変位線図で
ある。
ある。
【図４】 従来例を示す模式側面図である。
１，１１ 板ばねプローブ ２，１２ ホルダ ３ 予圧ピン ４ ねじ ５，１５ 固定部 ６ 第一板ばね部 ６ａ 自由端 ７ 第二板ばね部 ７ａ 自由端 ８，１８ 先端部 ９ 探針 １０ 被測定物 １０ａ パッド（接触対象物） １６ 板ばね部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AB01 AB04 AC14 AE01 2G028 AA04 BC01 CG02 HM05 HN09 MS05
Claims (3)
- 【請求項１】 板ばねプローブと、該板ばねプローブを
片持ち支持するホルダと、該ホルダに固着された予圧ピ
ンとを有し、該板ばねプローブは該ホルダに固着される
固定部と、該固定部に片持ち支持された第一板ばね部
と、該第一板ばね部の自由端に片持ち支持され且つ該第
一板ばね部よりばね定数が大きい第二板ばね部と、該第
二板ばね部の自由端に形成された先端部と、該先端部の
下方に突出する探針とを有し、該探針が接触対象物と非
接触の状態で該予圧ピンが該第一板ばね部の自由端近傍
に接して該板ばねプローブに予圧を与え、該探針が接触
対象物と接触して該板ばねプローブに所定以上の荷重が
かかった状態で該第一板ばね部が該予圧ピンから離れる
ような位置関係で該板ばねプローブが該ホルダに固着さ
れていることを特徴とするプローブヘッド。 - 【請求項２】 前記第一板ばね部は平行ばねであること
を特徴とする請求項１記載のプローブヘッド。 - 【請求項３】 前記探針は先端が尖っており、且つ該先
端が該板ばねプローブの長手方向最先端に位置するよう
に傾斜していることを特徴とする請求項１記載のプロー
ブヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000230776A JP4462732B2 (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000230776A JP4462732B2 (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | プローブヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002048815A true JP2002048815A (ja) | 2002-02-15 |
| JP4462732B2 JP4462732B2 (ja) | 2010-05-12 |
Family
ID=18723691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000230776A Expired - Fee Related JP4462732B2 (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | プローブヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4462732B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005203606A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
| WO2007060940A1 (ja) * | 2005-11-22 | 2007-05-31 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブホルダおよびプローブユニット |
| CN101071141B (zh) * | 2006-05-09 | 2010-05-26 | 飞而康公司 | 探测单元及具有该探测单元的探测装置 |
| CN105567781A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-11 | 四川大学 | 细胞黏附力的检测方法及细胞探针固定支架 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011185702A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 回路基板の電気検査方法及び電気検査装置 |
-
2000
- 2000-07-31 JP JP2000230776A patent/JP4462732B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005203606A (ja) * | 2004-01-16 | 2005-07-28 | Micronics Japan Co Ltd | 電気的接続装置 |
| JP4592292B2 (ja) * | 2004-01-16 | 2010-12-01 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置 |
| WO2007060940A1 (ja) * | 2005-11-22 | 2007-05-31 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブホルダおよびプローブユニット |
| CN101071141B (zh) * | 2006-05-09 | 2010-05-26 | 飞而康公司 | 探测单元及具有该探测单元的探测装置 |
| CN105567781A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-11 | 四川大学 | 细胞黏附力的检测方法及细胞探针固定支架 |
| CN105567781B (zh) * | 2015-12-29 | 2019-05-24 | 四川大学 | 细胞黏附力的检测方法及细胞探针固定支架 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4462732B2 (ja) | 2010-05-12 |
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