JP5016420B2 - プローブの交換方法及びプローブカード - Google Patents
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Description
20 電気配線
21 結合部
21a 除去部分
22 第1の延長部
23 第2の延長部
30 プローブ
40 交換用プローブ
50 導線
Claims (2)
- 電気配線上に設けられたプローブを交換するプローブの交換方法において、
前記プローブ及び前記電気配線の前記プローブに結合された部分を除去し、
前記電気配線の除去部分に接着剤を塗布し、
前記電気配線の除去部分の長さ寸法よりも長いベース部を有する交換用プローブの当該ベース部を前記電気配線上に接着させることを特徴とするプローブの交換方法。 - 配線基板上に略平行に配設された複数の電気配線と、
この電気配線上に各々設けられた複数のプローブと、
このプローブのうち少なくとも一本と交換された交換用プローブとを備えており、
前記電気配線は、前記プローブが結合される結合部と、この結合部の長さ方向の両端部に連続する延長部とを有しており、
前記交換用プローブは、前記電気配線の結合部よりも長いベース部を有しており、
前記結合部は、プローブ交換時にその上側部が前記プローブと共に除去され、接着剤が塗布されるような構造を有しており、
前記ベース部は、前記接着剤により前記結合部及び延長部上に接着されるようになっていることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007231033A JP5016420B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | プローブの交換方法及びプローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007231033A JP5016420B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | プローブの交換方法及びプローブカード |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009063395A JP2009063395A (ja) | 2009-03-26 |
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JP2007231033A Active JP5016420B2 (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | プローブの交換方法及びプローブカード |
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JP (1) | JP5016420B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7292921B2 (ja) | 2019-03-29 | 2023-06-19 | 株式会社日本マイクロニクス | 多ピン構造プローブ体及びプローブカード |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0737887A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-02-07 | Mitsubishi Electric Corp | 配線形成方法,配線修復方法,及び配線パターン変更方法 |
JPH0862227A (ja) * | 1994-08-18 | 1996-03-08 | Hitachi Ltd | 走査プローブ顕微鏡用探針およびこれを備えた顕微鏡 |
JP2913617B2 (ja) * | 1996-02-13 | 1999-06-28 | 日本電子材料株式会社 | 縦型プローブカード |
JPH1038925A (ja) * | 1996-07-17 | 1998-02-13 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 集積回路試験用プローブおよびこれを用いたヘッド |
JP2003202350A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd | プローブカード用探針、プローブカード用探針ユニット、プローブカード及びそれらの製造方法 |
JP2006234691A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | National Institute For Materials Science | 集積化プローブカードの修復方法及び修復装置 |
JP4849861B2 (ja) * | 2005-10-11 | 2012-01-11 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
-
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Publication number | Publication date |
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JP2009063395A (ja) | 2009-03-26 |
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