KR102094618B1

KR102094618B1 - 마이크로 접촉 핀

Info

Publication number: KR102094618B1
Application number: KR1020180139217A
Authority: KR
Inventors: 백병선; 방인우
Original assignee: 주식회사 새한마이크로텍
Priority date: 2018-11-13
Filing date: 2018-11-13
Publication date: 2020-03-30

Abstract

본 발명은 전기 소자의 전기적 특성 측정에 사용되는 마이크로 접촉 핀에 관한 것이다. 본 발명은, 제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와, 제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와, 상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서, 상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다. 본 발명에 따른 마이크로 접촉 핀은 제1 접촉자와 제2 접촉자의 쐐기 형태의 면이 서로 접촉되어 전기적 신호가 전달되므로, 전기 신호를 더욱 안정적으로 전달하면서도, 외경은 최소화된다는 장점이 있다.

Description

마이크로 접촉 핀{Micro contact pin}

본 발명은 전기 소자의 전기적 특성 측정에 사용되는 마이크로 접촉 핀에 관한 것이다.

반도체 소자는 웨이퍼(Wafer)의 제조에서부터 웨이퍼의 테스트, 다이(Die)의 패키징(Packaging) 등 많은 공정을 통하여 제조된다. 웨이퍼의 테스트는 반도체 소자의 전기적 특성을 테스트하기 위한 이른바 전기적 다이 소팅 테스트(Electrical Die Sorting Test)이다. 전기적 다이 소팅 테스트에서는 반도체 소자의 패드(Pad)들에 프로브 카드의 프로브들을 접촉하여 전기신호를 입출력하고, 그 신호에 따라 반도체 소자의 양품과 불량품을 분류한다.

프로브 카드는 반도체 소자의 테스트 이외에도 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OEL(Organic Electro Luminescence) 등 평면디스플레이(Flat Display)의 셀(Cell)공정에서 데이터/게이트 라인(Data/Gate Line)의 테스트에 사용되고 있다.

프로브 카드는 크게 테스터(Tester)의 테스트 헤드(Test Head)와 접속되어 있는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)과, 웨이퍼의 패드들과 직접 접촉되는 복수의 프로브들과, 프로브들을 지지하는 서포터(Supporter)로 구성되어 있다. 이러한 프로브 카드의 인쇄회로기판과 프로브들 사이에는 스페이스 트랜스포머(Space Transformer)와 인터포저(Interposer)가 구비되기도 한다. 스페이스 트랜스포머는 복수의 프로브들을 미세한 피치(Pitch)로 배열할 수 있도록 구성되어 있다. 인터포저는 인쇄회로기판과 스페이스 트랜스포머 사이에서 전기 신호를 전달하고, 프로브 카드의 평탄도를 유지하도록 구성되어 있다. 또한, 인터포저는 평탄도가 변화하여도 안전하게 접촉을 유지시킬 수 있도록 충분한 탄성력과 스트로크(Stroke)를 가진다.

인터포저는 복수의 관통구멍들이 형성된 기판과 관통구멍들에 삽입되는 복수의 접촉 핀들을 구비한다. 접촉 핀으로는 배럴과 플런저 및 스프링으로 구성된 포고 핀, 서로에 대해서 슬라이딩하는 한 쌍의 접촉자와 스프링을 구비하는 형태의 접촉 핀, 중심부에 굽어 있는 스프링부를 구비한 와이어 형태의 접촉 핀 등 다양한 형태의 접촉 핀들이 사용된다.

예를 들어, KR 10-1330995 B1에는 일측 종단에는 외부와의 전기적 접촉을 위한 제1 접점부가 구비되고 타측 종단에는 제1 연결부가 구비되며 일자형의 판 형태로 형성되는 제1 탐침; 일측 종단에는 외부와의 전기적 접촉을 위한 제2 접점부가 구비되고 타측 종단에는 제2 연결부가 구비되는 제2 탐침; 상기 제1 탐침 및 상기 제2 탐침의 적어도 일부분이 내삽된 상태에서, 상기 제1 탐침 및 상기 제2 탐침에 대하여 길이방향으로 탄성력을 가하는 스프링을 포함하며, 상기 제1 탐침의 상기 제1 연결부는 상기 제2 탐침의 상기 제2 연결부와 면 접촉을 이룰 수 있으며 서로 접촉된 상태에서 슬라이딩하는 것을 특징으로 스프링 프로브 핀이 개시되어 있다.

KR 10-1330995 B1 KR 10-1352419 B1

본 발명은 새로운 구조의 마이크로 접촉 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은,

제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와,

제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와,

상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서,

상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 제1 팁부는 제1 단자와 접촉하는 제1 접촉면을 구비하고, 상기 제2 팁부는 제2 단자와 접촉하는 제2 접촉면을 구비하며, 상기 제1 접촉면과 제2 접촉면은 서로 대각선 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 제1 몸체부는 쐐기 형태의 제1 본체부와 상기 제1 본체부의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제1 스토퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 제2 몸체부는 쐐기 형태의 제2 본체부와 상기 제2 본체부의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제2 스토퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 제1 연결부의 상기 제1 몸체부 측 끝 부분인 제1 전이부는 상기 제1 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지며, 상기 제2 연결부의 상기 제2 몸체부 측 끝 부분인 제2 전이부는 상기 제2 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 스프링은 양단부의 내경이 중심부의 내경에 비해서 작도록 양쪽 끝 부분이 경사진 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 제1 연결부의 상기 제2 몸체부 측 끝 부분은 상기 제2 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지며, 상기 제2 연결부의 상기 제1 몸체부 측 끝 부분은 상기 제1 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 스프링은 삼각통형으로 감긴 선재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

또한, 상기 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면을 가진 선재를 이용하여 제작한 스프링인 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀을 제공한다.

본 발명에 따른 마이크로 접촉 핀은 제1 접촉자와 제2 접촉자의 쐐기 형태의 면이 서로 접촉되어 전기적 신호가 전달되므로, 전기 신호를 더욱 안정적으로 전달하면서도, 외경은 최소화된다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 접촉 핀의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀이 기판에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 접촉자의 전개도이다.
도 6은 도 1에 도시된 제2 접촉자의 전개도이다.
도 7은 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 A-A 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 B-B 단면도이다.
도 9는 제1 팁부 또는 제2 팁부의 다른 실시예들을 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 접촉 핀의 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 마이크로 접촉 핀의 측면도이다. 도 1 내지 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 접촉 핀(10)은 제1 접촉자(100), 제2 접촉자(200) 및 스프링(300)을 포함한다.

도 4에 도시되 바와 같이, 마이크로 접촉 핀(10)은 예를 들어, 프로브 카드의 인터포저 기판(20)에 형성된 관통 구멍(21)들에 배치되어, 프로브 핀들이 결합된 MLC 기판(스페이스 트랜스포머, 미도시)의 단자들과 인쇄회로기판(미도시)의 단자들을 전기적으로 연결하는 용도로 사용될 수 있다. 예를 들어, 제2 접촉자(200)는 MLC 기판의 단자들과 접촉하고, 제1 접촉자(100)는 인쇄회로기판의 단자들과 접촉할 수 있다.

제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)는 Be-Cu 합금과 같은 전기 전도성 소재로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)의 표면에는 Ni-Au 도금 층이 형성될 수 있다.

제1 접촉자(100)는 도 5에 도시된 바와 같은 형태의 금속판을 절곡하여 형성할 수 있다. 금속판의 두께는 30 ~ 40㎛정도일 수 있다.

제1 접촉부(100)는 제1 몸체부(110), 제1 연결부(120) 및 제1 팁부(130)를 구비한다. 도 7에 가장 잘 도시되어 있는 바와 같이, 제1 몸체부(110)의 종단면은 대체로 안이 비어 있는 하트 형태이다. 즉, 쐐기 형태의 제1 본체부(111)와 제1 본체부(111)의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제1 스토퍼부(112)를 포함한다. 제1 스토퍼부(112)는 스프링(300)이 제1 몸체부(110) 쪽으로 빠지는 것을 방지하는 역할을 한다.

제1 연결부(120)는 제1 몸체부(110)의 길이방향을 따라서 제1 몸체부(110)의 일단부로부터 연장된다. 제1 연결부(120)의 종단면은 쐐기 형태이다. 제1 연결부(120)의 제1 몸체부(110) 측 끝 부분인 제1 전이부(121)는 제1 몸체부(110)에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사진다. 높이는 마이크로 접촉 핀(10)의 길이방향과 직교하는 방향으로서, 도 3에서, 상하 방향으로의 길이를 의미한다. 또한, 제1 연결부(120)의 자유단인 제2 몸체부(210) 측 끝 부분(122)도 제2 몸체부(210)에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사진다.

제1 팁부(130)는 제1 몸체부(110)로부터 제1 연결부(120) 반대방향으로 연장된다. 제1 팁부(130)의 종단면은 쐐기 형태이다. 제1 팁부(130)는 제1 몸체부(110)에서 멀어질수록 높이가 낮아지도록 경사진다. 즉, 끝 부분이 사선으로 절개되어 있다. 제1 팁부(130)는 제1 접촉면(131)을 구비한다. 제1 접촉면(131)은 외부 단자와 접촉하는 쐐기 형태의 표면이다.

제2 접촉자(200)는 도 6에 도시된 바와 같은 형태의 금속판을 절곡하여 형성할 수 있다.

제2 접촉부(200)는 제2 몸체부(210), 제2 연결부(220) 및 제2 팁부(230)를 구비한다. 제2 몸체부(210)의 종단면은 대체로 쐐기 형태이며, 제2 연결부(220) 쪽 끝 부분에는 쐐기 형태의 제2 본체부(211)의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제2 스토퍼부(212)가 형성된다. 제2 스토퍼부(212)는 스프링(300)이 제2 몸체부(210) 쪽으로 빠지는 것을 방지하는 역할을 한다.

또한, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 스토퍼부(212)는 기판(20)의 관통구멍(21)의 형성된 걸림턱(22)에 걸려서 마이크로 접촉 핀(10)이 기판(20)에서 빠지는 것을 방지하는 역할도 한다.

제2 연결부(220)는 제2 몸체부(210)의 길이방향을 따라서 제2 몸체부(210)의 일단부로부터 제1 몸체부(110)를 향해서 연장된다. 제2 연결부(220)의 종단면은 쐐기 형태이다. 제2 연결부(220)의 제2 몸체부(210) 측 끝 부분인 제2 전이부(221)는 제2 몸체부(210)에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사진다. 또한, 제2 연결부(220)의 자유단인 제1 몸체부(110) 측 끝 부분(222)도 제1 몸체부(110)에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사진다.

도 8에 잘 도시된 바와 같이, 제2 연결부(220)는 제2 연결부(220)의 외면이 제1 연결부(120)의 내면에 접촉하도록 제1 연결부(120)에 끼워진다. 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)는 제1 연결부(120)와 제2 연결부(220)를 통해서 전기적으로 연결된다. 또한, 제2 연결부(220)는 제1 연결부(120)를 따라서 슬라이딩할 수 있다. 제2 연결부(220)는 제1 연결부(120)에 비해서 길이가 길어서, 제2 연결부(220)의 자유 단 쪽 끝 부분(222)은 제1 몸체부(110) 안으로 들어간다.

제2 팁부(230)는 제2 몸체부(210)로부터 제2 연결부(220) 반대방향으로 연장된다. 제2 팁부(230)의 종단면은 쐐기 형태이다. 제2 팁부(230)는 제2 몸체부(210)에서 멀어질수록 높이가 낮아지도록 경사진다. 즉, 끝 부분이 사선으로 절개되어 있다. 제2 팁부(230)는 제2 접촉면(231)을 구비한다. 제2 접촉면(231)은 외부 단자와 접촉하는 표면으로서 두 조각으로 분할되어 있다.

제2 팁부(230)의 제2 접촉면(231)과 제1 팁부(130)의 제1 접촉면(131)은 서로 대각선 방향에 위치한다. 즉, 제1 접촉면(131)은 마이크로 접촉 핀(10)의 길이방향 중심 면을 기준으로 위쪽에 배치되며, 제2 접촉면(231)은 아래쪽에 배치된다. 마이크로 접촉 핀(10)에 압력이 가해질 때 마이크로 접촉 핀(10)이 한쪽으로 치우치는 것을 방지하기 위함이다.

스프링(300)은 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 가까워지는 방향으로 압력이 가해졌을 때, 상기 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하여, 확실한 전기적 접촉이 일어나도록 한다. 또한, 스프링(300)은 제1 연결부(120)와 제2 연결부(220)를 둘러싸서 제1 연결부(120)와 제2 연결부(220)가 서로 분리되는 것도 방지한다.

스프링(300)은 제1 스토퍼부(112)와 제2 스토퍼부(212) 사이에 배치된다. 스프링(300)은 양단부(320)의 내경이 중심부(310)의 내경에 비해서 작도록 양쪽 끝 부분이 경사진다. 내경이 작은 양단부(320)는 제1 연결부(120)의 다른 부분에 비해서 높이가 낮은 제1 전이부(121)와 제2 연결부(220)의 다른 부분에 비해서 높이가 낮은 제2 전이부(221)에 끼워진다. 따라서 스프링(300)이 결합된 상태에서 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)를 서로에 대해서 멀어지는 방향으로 당길 때 스프링(300)의 양단부(320)가 제1 연결부(120) 및 제2 연결부(220)에 걸려서, 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 쉽게 분리되지 않는다. 따라서 교체 등을 위해서 제1 접촉자(100)를 잡아당겨서, 기판(20)으로부터 마이크로 접촉 핀(10)을 분리할 때, 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 분리되는 것을 방지할 수 있다.

도 1 내지 4에는 스프링(300)의 선재의 단면이 원형인 것으로 도시되어 있으나, 스프링의 선재의 단면은 사각형일 수도 있다. 특히, 다수의 마이크로 접촉 핀(10)이 사용되는 인터포저에 사용되는 전도성 접촉핀(10)의 경우에는 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재를 이용하여 제작된 스프링을 사용하는 것이 바람직하다. 다수의 마이크로 접촉 핀(10)이 사용되는 인터포저의 경우에는 마이크로 접촉 핀(10)의 스프링 힘(spring force)이 상대적으로 작고, 압력이 가해졌을 때 더 많이 압축될 수 있는 스프링을 사용하는 것이 바람직하기 때문이다.

2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재를 이용하여 제작된 스프링은 동일한 스프링 높이(자유장)와 동일한 스프링 피치의 원형 단면 선재 스프링(동일 단면적)보다 더 긴 스트로크(stroke)를 가질 수 있어서 안정적인 낮은 힘(Low Force) 접촉 핀을 구현할 수 있다.

또한, 스프링(300)이 원통형으로 감긴 것으로 도시되어 있으나, 삼각통형으로 감긴 스프링을 사용할 수도 있다. 삼각통형으로 감긴 스프링을 사용하면, 스프링과 제1 접촉자(100) 및 제2 접촉자(200) 사이의 유격을 줄일 수 있으므로, 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 서로에 대해서 슬라이딩할 때에 제1 연결부(120)와 제2 연결부(220) 사이의 유격을 줄일 수 있다. 따라서 슬라이딩 작동의 안정성과 전기적 접속의 안정성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.

제1 연결부(120)와 제2 연결부(220)는 자유 단 쪽 끝단(122, 222)의 높이가 낮도록 경사져 있으므로, 마이크로 접촉 핀(10)의 작동시에 제1 연결부(120) 및 제2 연결부(220)와 스프링(300) 사이의 간섭이 작아진다는 장점이 있다.

도 9는 제1 팁부 또는 제2 팁부의 다른 실시예들을 나타낸 도면이다. 도 9는 제1 팁부 또는 제2 팁부를 측면에서 바라본 도면들이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 용도에 따라서 다양한 형태의 제1 팁부 또는 제2 팁부를 사용할 수 있다. 제1 팁부와 제2 팁부는 동일한 형태일 수도 있으며, 서로 다른 형태일 수도 있다.

이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

10: 마이크로 접촉 핀
20: 기판
100: 제1 접촉자
110: 제1 몸체부
112: 제1 스토퍼부
120: 제1 연결부
130: 제1 팁부
200: 제2 접촉자
210: 제2 몸체부
212: 제2 스토퍼부
220: 제2 연결부
230: 제2 팁부
300: 스프링

Claims

제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와,
제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와,
상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서,
상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지며,
상기 제1 팁부는 제1 단자와 접촉하는 제1 접촉면을 구비하고,
상기 제2 팁부는 제2 단자와 접촉하는 제2 접촉면을 구비하며,
상기 제1 접촉면과 제2 접촉면은 서로 대각선 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
삭제
제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와,
제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와,
상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서,
상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지며,
상기 제1 몸체부는 쐐기 형태의 제1 본체부와 상기 제1 본체부의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제1 스토퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와,
제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와,
상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서,
상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지며,
상기 제2 몸체부는 쐐기 형태의 제2 본체부와 상기 제2 본체부의 양쪽 끝단에서 안쪽으로 중앙을 향해서 곡선 형태로 말린 제2 스토퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 연결부와, 상기 제1 몸체부로부터 상기 제1 연결부 반대방향으로 연장된 제1 팁부를 구비한 제1 접촉자와,
제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 몸체부를 향해서 연장되며 그 외면이 상기 제1 연결부의 내면과 접촉하며 상기 제1 연결부를 따라서 슬라이딩하는 제2 연결부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 연결부 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 구비한 제2 접촉자와,
상기 제1 연결부와 제2 연결부를 둘러싸도록 배치되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀으로서,
상기 제1 연결부와 제2 연결부는 쐐기 형태의 단면을 가지며,
상기 제1 연결부의 상기 제1 몸체부 측 끝 부분인 제1 전이부는 상기 제1 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지며,
상기 제2 연결부의 상기 제2 몸체부 측 끝 부분인 제2 전이부는 상기 제2 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제5항에 있어서,
상기 스프링은 양단부의 내경이 중심부의 내경에 비해서 작도록 양쪽 끝 부분이 경사진 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 연결부의 상기 제2 몸체부 측 끝 부분은 상기 제2 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지며,
상기 제2 연결부의 상기 제1 몸체부 측 끝 부분은 상기 제1 몸체부에 가까워질수록 높이가 낮아지도록 경사지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스프링은 삼각통형으로 감긴 선재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.
제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면계수가 작은 직사각형 단면을 가진 선재를 이용하여 제작한 스프링인 것을 특징으로 하는 마이크로 접촉 핀.