KR20220125157A

KR20220125157A - 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 지그 유닛

Info

Publication number: KR20220125157A
Application number: KR1020220015937A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2021-03-04
Filing date: 2022-02-08
Publication date: 2022-09-14
Also published as: JP2022135106A; TW202235883A; TWI788203B; CN115015602A

Abstract

탄성부가 신축할 때의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 프로브 핀을 제공하는 것.
프로브 핀이, 탄성부와, 탄성부의 일단에 배치된 제1 접촉부와, 탄성부의 타단에 배치된 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가, 제1 탄성편 및 제2 탄성편과, 제1 탄성편 및 제2 탄성편 사이에 마련된 관통 구멍을 가진다. 제1 탄성편 및 제2 탄성편 각각이, 복수의 직선부와, 인접하는 직선부의 각각의 양단의 어느 것에 접속된 만곡부를 가진다. 제1 접촉부의 가장 근처에 배치된 제1 직선부가, 제1 접촉부에 대하여 제2 방향의 일단 측으로부터 접속되고, 제2 접촉부의 가장 근처에 배치된 제2 직선부가, 제2 접촉부에 대하여 제1 접촉부와 동일 측으로부터 접속되어 있다. 제1 탄성편의 만곡부 및 제2 탄성편의 만곡부 중, 탄성부의 중심선으로부터 떨어져 배치된 외측 만곡부의 중간부가, 외측 만곡부가 접속된 직선부의 폭보다도 큰 폭을 갖고 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 지그 유닛{PROBE PIN, INSPECTION JIG AND INSPECTION JIG UNIT}

본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 지그 유닛에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속시킴으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 특허문헌 1의 프로브 핀은, 관통 구멍이 마련된 탄성부와, 탄성부의 길이 방향의 일단에 배치된 제1 접촉부와, 탄성부의 길이 방향의 타단에 배치된 제2 접촉부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀의 탄성부는, 직선부 및 만곡부가 교호로 연속하는 사행 형상을 갖고 있다.

일본 특허 공개 제2017-223628호 공보

상기 프로브 핀은, 탄성부가 신축할 때의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제하는 점에 있어서, 개선의 여지가 있다.

본 개시는, 탄성부가 신축할 때의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 프로브 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시의 일 양태 프로브 핀은,

제1 방향을 따라서 신축하는 탄성부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 배치된 제1 접촉부와,

상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 배치된 제2 접촉부

를 구비하고,

상기 탄성부가,

제1 탄성편 및 제2 탄성편과,

상기 제1 탄성편 및 상기 제2 탄성편 사이에 마련된 관통 구멍

을 갖고,

상기 제1 탄성편 및 상기 제2 탄성편 각각이,

상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라서 연장되는 복수의 직선부와,

인접하는 상기 직선부의 각각에 있어서의 상기 제2 방향의 양단의 어느 것에 접속된 만곡부

를 갖고,

상기 직선부 및 상기 만곡부가 상기 제1 방향을 따라서 교호로 배치되고,

상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 접촉부의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제1 직선부가, 상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제2 방향의 일단 측으로부터 접속되고,

상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 접촉부의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제2 직선부가, 상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 접촉부와 동일 측으로부터 접속되고,

상기 제1 탄성편의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편의 상기 만곡부 중, 상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하는 중심선으로부터 상기 제2 방향으로 떨어져 배치된 외측 만곡부의 중간부가, 상기 외측 만곡부가 접속된 상기 직선부의 폭보다도 큰 폭을 갖고 있다.

본 개시의 일 양태의 검사 지그는,

상기 양태의 프로브 핀과,

상기 제1 접촉부의 일부 및 상기 제2 접촉부의 일부가 외부에 노출된 상태로 상기 프로브 핀을 수용하는 수용부를 내부에 갖는 하우징

을 구비하고,

상기 프로브 핀이,

상기 제1 접촉부 및 상기 제1 직선부를 접속시키는 접속부를 갖고,

상기 제1 직선부 및 상기 접속부가, 상기 수용부를 구성하는 상기 하우징의 내면에 상기 제1 방향에 있어서 접촉된 상태로, 상기 수용부에 수용되어 있다.

본 개시의 일 양태의 검사 지그 유닛은,

상기 양태의 검사 지그를 복수 구비한다.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 신축할 때의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.

상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀이 신축할 때의 탄성부의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.

상기 검사 지그 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 프로브 핀이 신축할 때의 탄성부의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 검사 지그 유닛을 실현할 수 있다.

도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 검사 지그를 도시하는 사시도.
도 2는 도 1의 II-II 선을 따른 단면도.
도 3은 도 1의 검사 지그에 수용되어 있는 프로브 핀의 제1 부분 평면도.
도 4는 도 1의 검사 지그에 수용되어 있는 프로브 핀의 제2 부분 평면도.
도 5는 도 1의 검사 지그를 구비한 검사 지그 유닛의 평면도.
도 6은 도 1의 검사 지그에 수용되어 있는 프로브 핀의 변형예를 도시하는 부분 평면도.

이하, 본 개시의 일 예를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 그들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로, 그들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 지나지 않고, 본 개시, 그 적용물, 혹은, 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하고 있지는 않다.

본 개시의 일 실시 형태의 검사 지그(10)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하우징(20)과, 하우징(20)의 내부에 수용된 프로브 핀(30)을 갖고 있다. 본 실시 형태에서는, 검사 지그(10)는, 프로브 핀(30)을 복수 갖고 있다. 각 프로브 핀(30)은, 예를 들어, 도전성의 재료를 사용하여 전주법에 의해 형성된 가늘고 긴 박판 형상으로, 제1 방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 신축한다. 각 프로브 핀(30)은, 판 두께 방향(예를 들어, Z 방향)으로 간격을 두고 나란히 배치되어, 서로 전기적으로 독립된 상태로, 하우징(20)에 수용되어 있다.

하우징(20)은, 일 예로서, 절연성의 대략 직육면체 형상으로, 도 1에 도시하는 바와 같이, 하우징 본체(21)와, 덮개부(22)를 갖고 있다.

하우징 본체(21)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 그 내부에 마련되어 프로브 핀(30)을 수용하는 오목형의 수용부(23)와, 제1 방향(Y)의 일단에 마련된 제1 개구부(24)와, 제1 방향(Y)의 타단에 마련된 제2 개구부(25)를 갖고 있다. 본 실시 형태에서는, 하우징 본체(21)는, 복수의 수용부(23)를 갖고 있다. 각 수용부(23)는, 수용되어 있는 프로브 핀(30)의 판 두께 방향(Z)을 따라 본 경우에, 그 길이 방향으로 연장되는 대략 직사각형 형상을 갖고, 제1 개구부(24) 및 제2 개구부(25)에 접속되어 있다.

제1 개구부(24)는, 후술하는 프로브 핀(30)의 제1 접촉부(32)만을 제1 방향(Y)으로부터 삽입 가능하게 구성되어 있다. 제1 개구부(24)는, 수용부(23)의 저면(231)을 구성하는 하우징 본체(21)의 벽부(211)를 제1 방향(Y)으로 관통하는 관통 구멍(212)에 접속되어 있다. 관통 구멍(212)의 제1 방향(Y)에 교차하는 제2 방향(예를 들어, X 방향)의 일단은, 수용부(23)의 한쪽의 측면(232)에 접속되어 있다. 관통 구멍(212)의 제2 방향(X)의 타단은, 수용부(23)의 저면(231)에 접속되어 있다. 관통 구멍(212) 및 수용부(23)의 저면(231)이 접속된 모서리부(233)는, C 모따기되어 있다. 이에 의해, 프로브 핀(30)이 신축할 때에 하우징 본체(21)에 접촉하여 손상되는 것을 방지하고 있다.

제2 개구부(25)는, 프로브 핀(30) 전체를 제1 방향(Y)으로부터 삽입 가능하게 구성되어 있다. 제2 개구부(25)의 제2 방향(X)의 일단은, 수용부(23)의 제2 방향(X)에 있어서의 한쪽의 측면(232)에 접속되고, 제2 개구부(25)의 제2 방향(X)의 타단은, 수용부(23)의 제2 방향(X)에 있어서의 다른 쪽의 측면(234)에 접속되어 있다.

덮개부(22)는, 하우징 본체(21)의 제2 개구부(25) 측의 단면에 설치되고, 제2 개구부(25)를 덮고 있다. 덮개부(22)는, 제2 접촉부(33)만을 수용 가능한 관통 구멍(26)을 갖고 있다. 관통 구멍(26)은, 덮개부(22)가 하우징 본체(21)에 설치된 상태로, 제1 개구부(24)를 통해 제1 방향(Y)을 따라 연장되는 가상 직선(L1) 상에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 하우징 본체(21)의 관통 구멍(212)과, 덮개부(22)의 관통 구멍(26)은, 가상 직선(L1)을 축으로 하는 동축상에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 가상 직선(L1)은, 제1 접촉부(32)의 본체부(321)의 제2 방향(X)의 중심과, 제2 접촉부(33)의 제3 접점부(332)를 통과한다. 관통 구멍(26)의 제2 방향(X)의 일단은, 수용부(23)의 제2 방향(X)에 있어서의 한쪽의 측면(232)에 접속되어 있다.

수용부(23)의 수용된 프로브 핀(30)은, 후술하는 프로브 핀(30)의 탄성부(31)를 구성하는 제1 직선부(41)가, 수용부(23)의 저면(231)을 구성하는 하우징 본체(21)의 내면에 접촉하고 있다. 제1 개구부(24)를 통하여, 제1 접촉부(32)의 일부가 하우징(20)의 외부에 노출되어 있다. 또한, 수용부(23)에 수용된 프로브 핀(30)은, 후술하는 프로브 핀(30)의 탄성부(31)를 구성하는 제2 직선부(45) 및 접속부(70)가, 수용부(23)를 구성하는 덮개부(22)의 하우징 본체(21)에 대향하는 면(221)에 접촉하고 있다. 제2 개구부(25)를 통하여, 후술하는 프로브 핀(30)의 제2 접촉부(33)가 하우징(20)의 외부에 노출되어 있다.

프로브 핀(30)은, 예를 들어, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 방향(Y)을 따라 신축하는 탄성부(31)와, 탄성부(31)의 제1 방향(Y)의 일단에 배치된 제1 접촉부(32)와, 탄성부(31)의 제1 방향(Y)의 타단에 배치된 제2 접촉부(33)를 구비하고 있다.

탄성부(31)는, 일 예로서, 도 2에 도시하는 바와 같이, 전체적으로 사행 형상을 갖고 있다. 탄성부(31)는, 도 3 및 도 4에 도시하는 바와 같이, 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50)과, 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50) 사이에 마련된 관통 구멍(60)을 갖고 있다.

제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50) 각각은, 복수의 직선부와, 적어도 하나의 만곡부를 갖고, 직선부 및 만곡부가 제1 방향(Y)을 따라 교호로 배치되어 있다. 각 직선부는, 제2 방향(X)을 따라 연장되어 있다. 만곡부는, 인접하는 직선부의 각각에 있어서의 제2 방향(X)의 양단의 어느 것에 접속되어 있다.

복수의 직선부는, 제1 직선부(41)와, 제2 직선부(45)와, 제3 직선부(42, 51)를 포함한다. 제1 직선부(41)는, 제1 방향(Y)에 있어서 제1 접촉부(32)의 가장 근처에 배치되어 있다. 제2 직선부(45)는, 제1 방향(Y)에 있어서 제2 접촉부(33)의 가장 근처에 배치되어 있다. 제3 직선부(42)는, 제1 방향(Y)에 있어서 제1 직선부(41) 및 제2 직선부(45) 사이에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제1 직선부(41) 및 제2 직선부(45)는, 모두 제1 탄성편(40)의 일부를 구성하고 있다. 제1 직선부(41), 제2 직선부(45) 및 제3 직선부(42, 51)는, 대략 동일한 폭 W1(바꾸어 말하면, 제1 방향(Y)의 길이)을 갖고 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 제1 직선부(41)는, 제1 접촉부(32)에 대하여 제2 방향(X)의 일단 측(예를 들어, 도 3의 좌측)으로부터 접속되어 있다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 제2 직선부(45)는, 제2 접촉부(33)에 대하여 제2 방향(X)에 있어서 제1 접촉부(32)와 동일 측(예를 들어, 도 4의 좌측)으로부터 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제2 직선부(45)는, 접속부(70)를 통하여 제2 접촉부(33)에 접속되어 있다. 접속부(70)는, 제1 방향(Y)에 있어서의 제1 탄성편(40)의 직선부의 외측 단부로부터 제2 탄성편(50)의 외측 단부까지의 길이와 대략 동일한 폭(바꾸어 말하면, 제1 방향(Y)의 길이)을 갖고, 관통 구멍(60)이 마련되어 있지 않다.

만곡부는, 외측 만곡부(43, 52)와, 내측 만곡부(44, 53)를 포함한다. 외측 만곡부(43, 52)는, 제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 중, 탄성부(31)의 제2 방향의 중심을 통과하는 중심선(CL)으로부터 제2 방향(X)으로 떨어져 배치된 만곡부를 구성하고 있다. 내측 만곡부(44, 53)는, 제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 중, 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)의 근처에 배치된 만곡부를 구성하고 있다. 본 실시 형태에서는, 내측 만곡부(44, 53)의 직선부가 접속된 양단 부분을 제외한 중간부는, 외측 만곡부(43, 52)의 중간부의 폭 W2보다도 작은 폭 W3을 갖고 있다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 외측 만곡부(43, 52)의 중간부(432, 522)는, 외측 만곡부(43, 52)가 접속된 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W2(바꾸어 말하면, 외측 만곡부(43, 52)의 곡률 중심에 대한 직경 방향의 길이)를 갖고 있다. 즉, 외측 만곡부(43, 52)는, 중간부(432, 522)의 폭이, 직선부가 접속된 단부(431, 521)의 폭보다도 크게 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 외측 만곡부(43, 52)의 폭 W2는, 중간부(432, 522) 중, 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)으로부터 가장 떨어진 부분의 폭 W21이 가장 크고, 이 부분으로부터 중심선(CL)에 접근함에 따라 점점 작게 되어 있다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 내측 만곡부(44, 53)의 중간부(442, 532)는, 내측 만곡부(44, 53)가 접속된 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W3(바꾸어 말하면, 내측 만곡부(44, 53)의 곡률 중심에 대한 직경 방향의 길이)을 갖고 있다. 즉, 내측 만곡부(44, 53)는, 중간부(442, 532)의 폭이, 직선부가 접속된 단부(441, 531)의 폭보다도 크게 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 내측 만곡부(44, 53)의 폭 W3도 외측 만곡부(43, 52)와 마찬가지로, 중간부(442, 532) 중, 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)으로부터 가장 떨어진 부분의 폭 W31이 가장 크고, 이 부분으로부터 중심선(CL)에 접근함에 따라 점점 작게 되어 있다.

관통 구멍(60)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 탄성부(31)의 형상을 따라, 탄성부(31)가 연장되는 방향에 있어서의 일단으로부터 타단까지 연속하여 연장되어 있다. 즉, 제1 탄성편(40)의 직선부 및 제2 탄성편(50)의 직선부 사이의 관통 구멍(60)과, 제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 사이의 관통 구멍(60)은, 서로 접속되어 있다. 본 실시 형태에서는, 만곡부에 있어서의 관통 구멍(60)이, 직선부에 있어서의 관통 구멍(60)의 폭 W4 이하의 폭 W5를 갖고 있다. 관통 구멍(60)의 폭 W4, W5는, 예를 들어, 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50) 사이의 직선 거리의 길이이다.

제1 접촉부(32)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 탄성부(31)의 제1 직선부(41)가 접속된 본체부(321)와, 본체부(321)로부터 제1 방향(Y)을 따라 제1 직선부(41)로부터 떨어지는 방향으로 각각 연장되는 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)를 갖고 있다. 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)는, 제2 방향(X)으로 간극(324)을 두고 각각 배치되어 있다.

제1 다리부(322)는, 제1 방향(Y)에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 제2 방향(X)에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 접점부(325)를 갖고 있다. 제1 다리부(322)의 제1 방향(Y)에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에는, 제2 방향(X)에 있어서 제2 다리부(323)에 접근하는 방향으로 돌출하는 돌출부(326)가 마련되어 있다. 각 제1 접점부(325)는, 돌출부(326)의 제2 방향(X)의 양단에 각각 배치되어 있다. 돌출부(326)의 한 쌍의 제1 접점부(325) 사이의 부분은, 제1 방향(Y)을 따라 본체부(321)를 향하는 방향으로 오목해져 있다.

제2 다리부(323)는, 제1 방향(Y)에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 제2 방향(X)에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제2 접점부(327)를 갖고 있다. 제2 다리부(323)의 제1 방향(Y)에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에는, 제2 방향(X)에 있어서 제1 다리부(322)에 접근하는 방향으로 돌출하는 돌출부(328)가 마련되어 있다. 각 제2 접점부(327)는, 돌출부(328)의 제2 방향(X)의 양단에 각각 배치되어 있다. 돌출부(328)의 한 쌍의 제2 접점부(327) 사이의 부분은, 제1 방향(Y)을 따라 본체부(321)를 향하는 방향으로 오목해져 있다.

본 실시 형태에서는, 한 쌍의 제1 접점부(325) 및 한 쌍의 제2 접점부(327)는, 동일한 제2 방향(X)을 따라 연장되는 가상 직선 L2 상에 배치되어 있다. 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323) 사이의 간극(324)은, 돌출부(326, 328)가 마련되어 있는 부분이, 제2 방향(X)에 있어서 가장 작게 되어 있다.

제2 접촉부(33)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 접속부(70)가 접속된 본체부(331)와, 본체부(331)에 마련된 제3 접점부(332)를 갖고 있다. 본체부(331)는, 예를 들어, 제1 방향(Y)을 따라 연장되는 대략 직사각형 형상을 갖고 있다. 제3 접점부(332)는, 본체부(331)의 제1 방향(Y)에 있어서의 탄성부(31)로부터 먼 단에 마련되고, 제1 방향(Y)을 따라 상기 탄성부(31)로부터 떨어지는 방향으로 돌출하는 만곡 형상을 갖고 있다. 본체부(331)의 제1 방향(Y)에 있어서의 탄성부(31)에 가까운 단에는, 절결(333)이 마련되어 있다. 절결(333)은, 제2 방향(X)에 있어서 본체부(331)의 접속부(70)가 접속되어 있는 단과는 반대측의 단에 마련되어 있다.

프로브 핀(30)은, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.

프로브 핀(30)이, 제1 방향을 따라서 신축하는 탄성부(31)와, 탄성부(31)의 제1 방향의 일단에 배치된 제1 접촉부(32)와, 탄성부(31)의 제1 방향의 타단에 배치된 제2 접촉부(33)를 구비한다. 탄성부(31)가, 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50)과, 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50) 사이에 마련된 관통 구멍(60)을 가진다. 제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50) 각각이, 제2 방향을 따라서 연장되는 복수의 직선부와, 인접하는 직선부의 각각에 있어서의 제2 방향의 양단의 어느 것에 접속된 만곡부를 가진다. 직선부 및 만곡부가 제1 방향을 따라서 교호로 배치되어 있다. 제1 방향에 있어서 제1 접촉부(32)의 가장 근처에 배치된 제1 직선부(41)가, 제1 접촉부(32)에 대하여 제2 방향의 일단 측으로부터 접속되어 있다. 제1 방향에 있어서 제2 접촉부(33)의 가장 근처에 배치된 제2 직선부(45)가, 제2 접촉부(33)에 대하여 제2 방향에 있어서 제1 접촉부(32)와 동일 측으로부터 접속되어 있다. 제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 중, 중심선(CL)으로부터 제2 방향으로 떨어져 배치된 외측 만곡부(43, 52)의 중간부(432, 522)가, 외측 만곡부(43, 52)가 접속된 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W2를 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(30)이 제1 방향을 따라서 신축할 때에, 탄성부(31)의 인접하는 직선부 간의 접촉을 회피할 수 있다. 그 결과, 탄성부(31)가 신축할 때의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 프로브 핀(30)을 실현할 수 있다. 또한, 프로브 핀(30)을 압축한 경우에 탄성부(31)에 가해지는 응력을 전체적으로 만곡부로부터 직선부로 분산시켜, 프로브 핀(30)의 내구성을 향상시킬 수 있다.

만곡부에 있어서의 관통 구멍(60)이, 직선부에 있어서의 관통 구멍(60)의 폭 W4 이하의 폭 W5를 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(30)이 제1 방향을 따라서 신축할 때에, 탄성부(31)의 인접하는 직선부 간의 접촉을 보다 확실하게 회피할 수 있다. 또한, 프로브 핀(30)을 압축한 경우에 탄성부(31)에 가해지는 응력을 보다 확실하게 분산시킬 수 있다.

제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 중, 제2 방향에 있어서 중심선(CL)의 근처에 배치된 내측 만곡부(44, 53)의 중간부(442, 532)가, 외측 만곡부(43, 52)의 중간부(432, 522)의 폭 W2보다도 작은 폭 W3을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(30)을 압축한 경우에 탄성부(31)에 가해지는 응력을 보다 확실하게 분산시킬 수 있다.

제1 탄성편(40)의 만곡부 및 제2 탄성편(50)의 만곡부 중, 제2 방향에 있어서 중심선(CL)의 근처에 배치된 내측 만곡부(44, 53)의 중간부(442, 532)가, 내측 만곡부(44, 53)가 접속된 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W3을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 프로브 핀(30)을 압축한 경우에 탄성부(31)에 가해지는 응력을 보다 확실하게 분산시킬 수 있다.

제1 접촉부(32)가, 제1 직선부(41)가 접속된 본체부(321)와, 본체부(321)로부터 제1 방향을 따라서 제1 직선부(41)로부터 떨어지는 방향으로 각각 연장됨과 함께, 제2 방향으로 간극(324)을 두고 각각 배치된 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)를 가진다. 제1 다리부(322)가, 제1 방향에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 접점부(325)를 가진다. 제2 다리부(323)가, 제1 방향에 있어서의 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제2 접점부(327)를 가진다. 이와 같은 구성에 의해, 한 쌍의 제1 접점부(325) 및 한 쌍의 제2 접점부(327)가, 검사 대상물 또는 검사 장치에 대하여 제2 방향으로 미끄러지면서 접촉(와이핑)하여, 검사 대상물 또는 검사 장치에 부착된 이물을 제거할 수 있다. 또한, 와이핑에 의해 제거된 이물을 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)의 간극(324)으로부터 배출할 수 있다. 그 결과, 프로브 핀(30)의 접촉 신뢰성을 높일 수 있다.

검사 지그(10)는, 다음과 같은 효과를 발휘할 수 있다.

검사 지그(10)가, 프로브 핀(30)과, 제1 접촉부(32)의 일부 및 제2 접촉부(33)의 일부가 외부에 노출된 상태로 프로브 핀(30)을 수용하는 수용부(23)를 내부에 갖는 하우징(20)을 구비한다. 프로브 핀(30)이, 제2 접촉부(33) 및 제2 직선부(45)를 접속시키는 접속부(70)를 갖고, 제2 직선부(45) 및 접속부(70)가, 수용부(23)를 구성하는 하우징(20)의 내면에 제1 방향에 있어서 접촉된 상태로, 수용부(23)에 수용되어 있다. 프로브 핀(30)이 신축할 때의 탄성부(31)의 인접하는 직선부 간의 간섭을 억제 가능한 검사 지그(10)를 실현할 수 있다. 또한, 탄성부(31)의 탄력성을 확보하면서, 프로브 핀(30)이 제1 접촉부(32)로부터 제2 접촉부(33)를 향하여 압박되었을 경우의 검사 지그(10)의 강도를 확보할 수 있다.

수용되어 있는 프로브 핀(30)의 외측 만곡부가, 만곡부의 제2 방향에 있어서 중심선(CL)으로부터 먼 외면으로부터 중심선(CL)에 접근하는 방향으로 연장되는 폭을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 수용부(23)의 스페이스에 제약이 있는 경우에도, 프로브 핀(30)을 정상적으로 동작시킬 수 있다.

검사 지그(10) 및 프로브 핀(30)은, 다음과 같이 구성할 수도 있다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 복수의 검사 지그(10)로 검사 지그 유닛(1)을 구성할 수 있다. 검사 지그 유닛(1)은, 복수의 검사 지그(10)를 수용하여 위치 결정하는 하우징을 구비하고 있어도 된다.

상기 실시 형태에서는, 프로브 핀(30)은, 가상 직선(L1)의 근처에 배치된 외측 만곡부(예를 들어, 만곡부(52))와, 가상 직선(L1)으로부터 떨어져 배치되어 있는 외측 만곡부(예를 들어, 만곡부(43))가 대략 동일한 형상을 하고, 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)으로부터 가장 떨어진 부분의 폭 W21이 대략 동일한 탄성부(31)를 구비하고 있지만, 이에 한정되지 않는다. 도 6에 도시하는 바와 같이, 프로브 핀(30)은, 가상 직선(L1)의 근처에 배치된 외측 만곡부(예를 들어, 만곡부(52))와, 가상 직선(L1)으로부터 떨어져 배치되어 있는 외측 만곡부(예를 들어, 만곡부(43))가 상이한 형상을 갖는 탄성부(31)를 구비해도 된다. 도 6의 프로브 핀(30)에서는, 만곡부(52)의 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)으로부터 가장 떨어진 부분의 폭 W22가, 만곡부(43)의 제2 방향(X)에 있어서 중심선(CL)으로부터 가장 떨어진 부분의 폭 W23보다도 크게 되어 있다. 만곡부(43)의 중간부(432)의 폭 W2는, 만곡부(43)가 접속된 직선부의 폭 W1보다도 약간 큰 폭 W2를 갖고 있다. 이와 같이 구성함으로써, 탄성부(31)의 신축을 직선화하여, 제1 접촉부(32) 및 제2 접촉부(33)의 횡방향 미끄러짐(즉, 제2 방향(X)으로의 이동)을 방지할 수 있다.

탄성부(31)의 직선부는, 복수 마련되어 있으면 된다. 탄성부(31)의 만곡부는, 적어도 하나 마련되어 있으면 된다.

제1 접촉부(32) 및 제2 접촉부(33)는, 프로브 핀(30)의 설계 등에 따라서 임의의 구성을 채용할 수 있다. 예를 들어, 검사 대상물 또는 검사 장치에 따라, 임의의 형상 및 구성의 접점을 제1 접촉부(32) 및 제2 접촉부(33)에 마련할 수 있다. 즉, 제1 접촉부(32)가, 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)를 갖는 경우에 한정되지 않고, 제2 접촉부(33)가, 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)를 갖고 있어도 된다. 제1 접촉부(32) 및 제2 접촉부(33)의 양쪽이, 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)를 갖고 있어도 된다.

하우징(20)은, 적어도 하나의 프로브 핀(30)을 수용 가능한 임의의 구성을 채용할 수 있다.

접속부(70)는, 제2 직선부(45) 측이 아니고, 제1 직선부(41) 측에 마련해도 된다. 즉, 프로브 핀(30)은, 제1 직선부(41) 및 접속부(70)가, 수용부(23)를 구성하는 하우징(20)의 저면(231)에 제1 방향(Y)에 있어서 접촉된 상태로, 수용부(23)에 수용되어 있어도 된다.

이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 양태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일 예로서, 참조 부호도 첨부하여 기재한다.

본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(30)은,

제1 방향을 따라서 신축하는 탄성부(31)와,

상기 탄성부(31)의 상기 제1 방향의 일단에 배치된 제1 접촉부(32)와,

상기 탄성부(31)의 상기 제1 방향의 타단에 배치된 제2 접촉부(33)

를 구비하고,

상기 탄성부(31)가,

제1 탄성편(40) 및 제2 탄성편(50)과,

상기 제1 탄성편(40) 및 상기 제2 탄성편(50) 사이에 마련된 관통 구멍(60)

을 갖고,

상기 제1 탄성편(40) 및 상기 제2 탄성편(50) 각각이,

를 갖고,

상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 접촉부(32)의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제1 직선부(41)가, 상기 제1 접촉부(32)에 대하여 상기 제2 방향의 일단 측으로부터 접속되고,

상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 접촉부의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제2 직선부(45)가, 상기 제2 접촉부(33)에 대하여 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 접촉부(32)와 동일 측으로부터 접속되고,

상기 제1 탄성편(40)의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편(50)의 상기 만곡부 중, 상기 탄성부(31)의 상기 제2 방향의 중심을 통과하는 중심선(CL)으로부터 상기 제2 방향으로 떨어져 배치된 외측 만곡부의 중간부가, 상기 외측 만곡부가 접속된 상기 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W2를 갖고 있다.

본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(30)은,

상기 만곡부에 있어서의 상기 관통 구멍(60)이, 상기 직선부에 있어서의 상기 관통 구멍(60)의 폭 W4 이하의 폭 W5를 갖고 있다.

본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(30)은,

상기 제1 탄성편(40)의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편(50)의 상기 만곡부 중, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선(CL)의 근처에 배치된 내측 만곡부의 중간부가, 상기 외측 만곡부의 폭 W2보다도 작은 폭 W3을 갖고 있다.

본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(30)은,

상기 탄성부(31)가, 복수의 상기 외측 만곡부를 갖고,

복수의 상기 외측 만곡부 중, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부를 통해 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 가상 직선(L1)의 근처에 배치된 상기 외측 만곡부의 중간부가, 상기 가상 직선으로부터 떨어져 배치되어 있는 상기 외측 만곡부의 폭 W23보다도 큰 폭 W22를 갖고 있다.

본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(30)은,

상기 제1 탄성편(40)의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편(50)의 상기 만곡부 중, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선(CL)의 근처에 배치된 내측 만곡부의 중간부가, 상기 내측 만곡부가 접속된 상기 직선부의 폭 W1보다도 큰 폭 W3을 갖고 있다.

본 개시의 제6 양태의 프로브 핀(30)은,

상기 제1 접촉부(32) 및 상기 제2 접촉부(33) 중 적어도 어느 것이,

상기 직선부가 접속된 본체부(321)와,

상기 본체부(321)로부터 상기 제1 방향을 따라서 상기 직선부로부터 떨어지는 방향으로 각각 연장됨과 함께, 상기 제2 방향으로 간극(324)을 두고 각각 배치된 제1 다리부(322) 및 제2 다리부(323)

를 갖고,

상기 제1 다리부(322)가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 상기 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 접점부(325)를 갖고,

상기 제2 다리부(323)가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 본체부(321)로부터 먼 단에 마련되고, 상기 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제2 접점부(327)를 가진다.

본 개시의 제7 양태의 검사 지그(10)는,

상기 양태의 프로브 핀(30)과,

상기 제1 접촉부(32)의 일부 및 상기 제2 접촉부(33)의 일부가 외부에 노출된 상태로 상기 프로브 핀(30)을 수용하는 수용부(23)를 내부에 갖는 하우징(20)

을 구비하고,

상기 프로브 핀(30)이,

상기 제1 접촉부(32) 및 상기 제1 직선부(41) 또는 상기 제2 접촉부(33) 및 상기 제2 직선부(45)를 접속시키는 접속부(70)를 갖고,

상기 제1 직선부(41) 및 상기 접속부(70) 또는 상기 제2 직선부(45) 및 상기 접속부(70)가, 상기 수용부(23)를 구성하는 상기 하우징(20)의 내면에 상기 제1 방향에 있어서 접촉된 상태로, 상기 수용부(23)에 수용되어 있다.

본 개시의 제8 양태의 검사 지그(10)는,

상기 외측 만곡부가, 상기 만곡부의 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선(CL)으로부터 먼 외면으로부터 상기 중심선(CL)에 접근하는 방향으로 연장되는 폭을 갖고 있다.

본 개시의 제9 양태의 검사 지그 유닛(1)은,

상기 양태의 검사 지그(10)를 복수 구비한다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에게는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 따른 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

본 개시의 소켓은, 예를 들어, 카메라 모듈 등의 BtoB(Business-to-Business) 커넥터를 접속 매체로 하여 구비하는 모듈, 및 SOP(Small Outline Package), QFP(Quad Flat Package), BGA(Ball grid array) 등의 반도체 패키지의 검사에 사용되는 검사 지그에 적용할 수 있다.

1: 검사 지그 유닛
10: 검사 지그
20: 하우징
21: 하우징 본체
211: 벽부
212: 관통 구멍
22: 덮개부
221: 면
23: 수용부
231: 저면
232, 234: 측면
233: 모서리부
24: 제1 개구부
25: 제2 개구부
26: 관통 구멍
30: 프로브 핀
31: 탄성부
32: 제1 접촉부
321: 본체부
322: 제1 다리부
323: 제2 다리부
324: 간극
325: 제1 접점부
326, 328: 돌출부
327: 제2 접점부
33: 제2 접촉부
331: 본체부
332: 제3 접점부
333: 절결
40: 제1 탄성편
41: 제1 직선부
42: 제3 직선부
43: 외측 만곡부
431: 단부
432: 중간부
44: 내측 만곡부
441: 단부
442: 중간부
45: 제2 직선부
50: 제2 탄성편
51: 제3 직선부
52: 외측 만곡부
521: 단부
522: 중간부
53: 내측 만곡부
531: 단부
532: 중간부
60: 관통 구멍
70: 접속부

Claims

제1 방향을 따라서 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단에 배치된 제1 접촉부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단에 배치된 제2 접촉부
를 구비하고,
상기 탄성부가,
제1 탄성편 및 제2 탄성편과,
상기 제1 탄성편 및 상기 제2 탄성편 사이에 마련된 관통 구멍
을 갖고,
상기 제1 탄성편 및 상기 제2 탄성편 각각이,
상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라서 연장되는 복수의 직선부와,
인접하는 상기 직선부의 각각에 있어서의 상기 제2 방향의 양단의 어느 것에 접속된 만곡부
를 갖고,
상기 직선부 및 상기 만곡부가 상기 제1 방향을 따라서 교호로 배치되고,
상기 제1 방향에 있어서 상기 제1 접촉부의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제1 직선부가, 상기 제1 접촉부에 대하여 상기 제2 방향의 일단 측으로부터 접속되고,
상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 접촉부의 가장 근처에 배치된 상기 직선부인 제2 직선부가, 상기 제2 접촉부에 대하여 상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 접촉부와 동일 측으로부터 접속되고,
상기 제1 탄성편의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편의 상기 만곡부 중, 상기 탄성부의 상기 제2 방향의 중심을 통과하는 중심선으로부터 상기 제2 방향으로 떨어져 배치된 외측 만곡부의 중간부가, 상기 외측 만곡부가 접속된 상기 직선부의 폭보다도 큰 폭을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 만곡부에 있어서의 상기 관통 구멍이, 상기 직선부에 있어서의 상기 관통 구멍의 폭 이하의 폭을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 탄성편의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편의 상기 만곡부 중, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선의 근처에 배치된 내측 만곡부의 중간부가, 상기 외측 만곡부의 중간부의 폭보다도 작은 폭을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 탄성부가, 복수의 상기 외측 만곡부를 갖고,
복수의 상기 외측 만곡부 중, 상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부를 통해 상기 제1 방향을 따라서 연장되는 가상 직선의 근처에 배치된 상기 외측 만곡부의 중간부가, 상기 가상 직선으로부터 떨어져 배치되어 있는 상기 외측 만곡부의 폭보다도 큰 폭을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 탄성편의 상기 만곡부 및 상기 제2 탄성편의 상기 만곡부 중, 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선의 근처에 배치된 내측 만곡부의 중간부가, 상기 내측 만곡부가 접속된 상기 직선부의 폭보다도 큰 폭을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 접촉부 및 상기 제2 접촉부 중 적어도 어느 것이,
상기 직선부가 접속된 본체부와,
상기 본체부로부터 상기 제1 방향을 따라서 상기 직선부로부터 떨어지는 방향으로 각각 연장됨과 함께, 상기 제2 방향으로 간극을 두고 각각 배치된 제1 다리부 및 제2 다리부
를 갖고,
상기 제1 다리부가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 본체부로부터 먼 단에 마련되고, 상기 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제1 접점부를 갖고,
상기 제2 다리부가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 본체부로부터 먼 단에 마련되고, 상기 제2 방향에 있어서 간격을 두고 배치된 한 쌍의 제2 접점부를 갖는, 프로브 핀.
제1항 또는 제2항의 프로브 핀과,
상기 제1 접촉부의 일부 및 상기 제2 접촉부의 일부가 외부에 노출된 상태로 상기 프로브 핀을 수용하는 수용부를 내부에 갖는 하우징
을 구비하고,
상기 프로브 핀이,
상기 제1 접촉부 및 상기 제1 직선부 또는 상기 제2 접촉부 및 상기 제2 직선부를 접속시키는 접속부를 갖고,
상기 제1 직선부 및 상기 접속부 또는 상기 제2 직선부 및 상기 접속부가, 상기 수용부를 구성하는 상기 하우징의 내면에 상기 제1 방향에 있어서 접촉된 상태로, 상기 수용부에 수용되어 있는, 검사 지그.
제7항에 있어서,
상기 외측 만곡부가, 상기 만곡부의 상기 제2 방향에 있어서 상기 중심선으로부터 먼 외면으로부터 상기 중심선에 접근하는 방향으로 연장되는 폭을 갖고 있는, 검사 지그.
제7항의 검사 지그를 복수 구비하는, 검사 지그 유닛.