KR101049767B1

KR101049767B1 - 전기적 접속장치

Info

Publication number: KR101049767B1
Application number: KR1020097006797A
Authority: KR
Inventors: 에이치 오사토; 후쿠히토 신마; 토모하루 아라이
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2006-10-05
Filing date: 2007-09-18
Publication date: 2011-07-19
Also published as: US20100022104A1; JP2008089555A; KR20090061024A; DE112007002370T5; WO2008044467A1; CN101523229B; DE112007002370B4; JP5134803B2; CN101523229A

Abstract

전기적 접속장치는, 피검사체의 전극에 접속해야 할 도전성부를 갖는 기판과 평행인 면내를 제1 방향으로 연장하여 아래쪽으로 개방하는 제1 요소와, 제1 방향으로 간격을 두고 상기 면내를 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 복수의 슬릿을 가지며, 각 슬릿이, 그 길이 방향의 한쪽 끝에서 제1 요소에 연결되어 있음과 동시에, 적어도 위쪽으로 개방되어 있는 하우징과, 도전성부와 전극을 전기적으로 접속하는 판상의 복수의 접촉자로서 각각이 전극에 눌리는 선단을 가짐과 동시에 구부러진 바깥면을 가지며, 또한 바깥면을 아래쪽으로 한 상태에서 제1 요소 내에서부터 슬릿 내를 연장하는 상태로 하우징에 배치된 복수의 접촉자와, 접촉자의 바깥면을 도전성부에 접촉시키도록 제1 요소에 배치되어 접촉자의 바깥면과 반대쪽인 부분에 접하는 프로브 홀더를 포함한다. 이에 의해, 접촉자의 선단에 의해 깎인 부스러기가 슬릿을 통해 기판에 도달하는 것을 방지한다.

선택도: 도6

Description

전기적 접속장치{Electrically Connecting Apparatus}

기술분야

본 발명은, 집적회로와 같은 평판형 피검사체의 통전시험에 사용하는 전기적 접속장치에 관한 것으로, 특히 기판에 형성된 도전성부와 피검사체의 전극을 전기적으로 접속하는 장치에 관한 것이다.

배경기술

집적회로와 같은 반도체 디바이스는, 복수의 전극을 디바이스 본체로부터 돌출시키고 있다. 이러한 종류의 반도체 디바이스는, 소켓이라 불리는 전기적 접속장치를 사용하여, 통전시험(검사)을 받는다. 이러한 종류의 전기적 접속장치의 하나로서, 특허문헌 1 및 2에 기재된 것이 있다.

[특허문헌 1] 일본 특허출원 공개 평11-31566호 공보

[특허문헌 2] 일본 특허출원 공개 제2003-297506호 공보

특허문헌 1 및 2에 기재된 전기적 접속장치는, 상하 방향으로 개방하는 복수의 슬릿을 병렬로 갖는 판상의 하우징과, 슬릿에 배치된 복수의 접촉자와, 접촉자의 배열 방향으로 연장하는 상태로 하우징에 배치된 막대 형태의 프로브 홀더(probe holder)를 포함한다. 각 접촉자는, 구부러진 바깥면을 갖는다.

하우징은, 배선기판과 같은 기판에 복수의 나사 부재에 의해 설치된다. 접촉자는, 하우징이 기판에 설치된 상태에서, 구부러진 바깥면이 프로브 홀더에 의해 기판의 배선 패턴과 같은 도전성부에 눌려 있다.

각 접촉자는, 그 선단(先端)(침선)이 피검사체의 전극에 눌림으로써, 전극의 일부를 깎아내고, 피검사체의 전극을 기판의 도전성부에 전기적으로 접속한다. 이 상태로, 피검사체의 통전시험이 실시된다.

그러나 상기 전기적 접속장치에서는, 어느 것이나, 각 접촉자를 그 선단이 슬릿의 위쪽에 위치하는 상태로 하우징에 배치하고 있으므로, 접촉자의 선단에 의해 깎인 부스러기가 슬릿을 통해 기판에 도달하여 기판의 서로 이웃하는 도전성부를 전기적으로 단락시키는 경우가 있다.

발명의 개시

발명이 해결하고자 하는 과제

본 발명의 목적은, 접촉자의 선단에 의해 깎인 부스러기가 슬릿을 통해 기판에 도달하는 것을 방지하는데 있다.

과제를 해결하기 위한 수단

본 발명에 따른 전기적 접속장치는, 피검사체의 전극에 접속해야 할 도전성부를 갖는 기판과 평행인 면내(面內)를 제1 방향으로 연장하여 아래쪽으로 개방하는 제1 요소(凹所)와, 상기 제1 방향으로 간격을 두고 상기 면내를 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 복수의 슬릿을 갖는 하우징으로서, 각 슬릿이 그 길이 방향의 한쪽 끝에서 상기 제1 요소에 연결되어 있음과 동시에 적어도 위쪽으로 개방되어 있는, 하우징과, 상기 도전성부와 상기 전극을 전기적으로 접속하는 판상의 복수의 접촉자로서 각각이 상기 전극에 눌리는 선단을 가짐과 동시에 구부러진 바깥면을 가지며, 또한 상기 바깥면을 아래쪽으로 한 상태에서 상기 제1 요소 내에서부터 상기 슬릿 내를 연장하는 상태로 상기 하우징에 배치된 복수의 접촉자와, 상기 제1 요소에 배치된 프로브 홀더로서 상기 접촉자의 상기 바깥면을 상기 도전성부에 접촉시키도록 상기 접촉자의 상기 바깥면과 반대쪽인 부분에 접하는 프로브 홀더를 포함한다.

각 접촉자의 상기 선단은, 평면적으로 볼 때, 상기 슬릿으로부터 그 슬릿의 길이 방향으로 이간(離間)되어 있다.

게다가, 상기 하우징은, 위쪽으로 개방함과 동시에 상기 슬릿의 다른쪽 끝에 연결된 제2 요소를 가질 수 있다.

또한, 각 슬릿은, 그 다른쪽 끝에서 상기 제2 요소에 연결되어 있어도 된다.

각 접촉자는, 상기 슬릿 내를 비스듬히 위쪽으로 연장하고 있음과 동시에 상기 슬릿 내를 그 슬릿의 길이 방향의 다른쪽 끝을 향해 수평으로 연장하고, 나아가, 상기 제2 요소 내를 비스듬히 위쪽으로 연장하고 있어도 된다.

게다가, 전기적 접속장치가, 상기 슬릿의 다른쪽 끝을 그 위쪽에서 폐쇄하도록 상기 제1 방향으로 연장하는 고무 부재로서 상기 제2 요소에 배치되어, 적어도 상기 접촉자의 선단이 피검사체의 전극에 눌렸을 때, 상기 접촉자에 의해 탄성 변 형된 고무 부재를 포함할 수 있다.

또한, 상기 하우징은, 상기 제2 요소 내를 상기 제1 방향으로 연장하여 상기 슬릿에 연결되어 있음과 동시에 위쪽으로 개방하는 제3 요소를 가질 수 있으며, 또 상기 고무 부재는 상기 제3 요소에 배치되어 있어도 된다.

또한, 전기적 접속장치는, 상기 제2 요소에 배치된 가이드 판으로서 피검사체를 그 전극이 상기 접촉자의 선단에 접하도록 안내하는 제4 요소를 갖는 가이드 판을 포함할 수 있다.

상기 제1 요소를 형성하고 있는 면은, 상기 접촉자가 상기 제1 요소에서 탈락하는 것을 상기 접촉자의 후단부(後端部)와 공동으로 방지하는 탈락 방지부를 후단부에 가질 수 있다.

각 접촉자는, 상기 탈락 방지부에 걸릴 수 있게 뒤쪽으로 돌출하는 돌출부를 후단부에 가질 수 있다.

각 접촉자는, 상기 선단을 상기 하우징의 위쪽으로 돌출시키고 있어도 된다.

발명의 효과

본 발명에 따르면, 각 접촉자를, 그 선단이 평면적으로 볼 때 슬릿에서 그 슬릿의 길이 방향으로 이간하는 위치까지 연장시키고 있으므로, 접촉자의 선단에 의해 깎인 부스러기는 슬릿 이외의 부분에 낙하한다. 이 때문에, 접촉자의 선단에 의해 깎인 부스러기가 슬릿을 통해 기판에 도달하는 일이 방지된다.

도면의 간단한 설명

도1은, 본 발명에 따른 전기적 접속장치의 제1 실시예를 나타낸 평면도이다.

도2는, 도1의 2-2선을 따라 얻은 단면도이다.

도3은, 도1에 나타나 있는 전기적 접속장치의 가이드 판을 떼어낸 평면도이다.

도4는, 도1에 나타나 있는 전기적 접속장치의 접촉자 근방의 확대 평면도이다.

도5는, 도1에 나타나 있는 전기적 접속장치의 접촉자 근방의 확대 저면도이다.

도6은, 도1에 나타나 있는 전기적 접속장치의 접촉자 근방의 확대 단면도로서, 피검사체의 전극이 접촉자의 선단에 눌리지 않은 상태를 나타낸 도면이다.

도7은, 도1에 나타나 있는 전기적 접속장치의 접촉자 근방의 확대 단면도로서, 피검사체의 전극이 접촉자의 선단에 눌린 상태를 나타낸 도면이다.

도8은, 본 발명에 따른 전기적 접속장치에서 사용하는 고무 부재의 제2 실시예를 나타낸, 접촉자 근방의 확대 단면도이다.

도9는, 본 발명에 따른 전기적 접속장치에서 사용하는 고무 부재의 제3 실시예를 나타낸, 접촉자 근방의 확대 단면도이다.

도10은, 본 발명에 따른 전기적 접속장치에서 사용하는 고무 부재의 제4 실시예를 나타낸, 고무 부재 근방의 확대 단면도이다.

[부호의 설명]

10: 전기적 접속장치

12: 피검사체

14: 본체

16: 전극

20: 기판

22: 판재

24: 도전성부(導電性部)

26: 하우징

28: 접촉자

30: 프로브 홀더(probe holder)

32: 고무 부재

34: 가이드 판(板)

36: 제1 요소(凹所)

38: 슬릿(slit)

40: 제2 요소

42: 제3 요소

44: 탈락 방지부(drop preventing portion)

46: 격벽(隔璧)

48: 판상부

50: 접촉자의 선단(先端)

52: 접촉자의 바깥면

54, 64: 접촉자의 요소

56: 접촉자의 돌출부(凸部)

58: 가이드 판의 요소

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

[용어에 관하여]

본 발명에 있어서는, 도2에서, 좌우 방향을 X방향이라 하고, 종이 뒷방향을 Y방향이라 하며, 상하 방향을 상하 방향 또는 Z방향이라 한다. 그러나 이들 방향은, 피검사체를 검사장치에 배치하는 자세에 따라 다르다.

따라서 상기 방향은, 실제 검사장치에 따라, X방향 및 Y방향이, 수평면, 수평면에 대해 경사진 경사면, 및 수평면에 수직인 수직면 중 어느 하나의 면내(面內)가 되도록 결정해도 되고, 이들 면의 조합이 되도록 결정해도 된다.

또한, 본 발명에 있어서는, 접촉자의 침선 쪽을 선단이라 하고, 이와 반대인 쪽을 후단(後端)이라 한다.

[실시예]

도1∼도7을 참조하여 살펴보면, 전기적 접속장치(10)는, 평판형 피검사체(12)의 통전시험(즉, 검사)에 보조장치로서 사용된다. 피검사체(12)는, 도시된 예에서는, 패키지(package) 또는 몰드(mold)로 된 집적회로, 패키지 및 몰드로 되어 있지 않은 집적회로 등, 반도체 디바이스이다.

피검사체(12)는, 직사각형 판과 같은 형상을 갖는 본체(14)와, 본체(14)의 한쪽 면에서 직사각형의 각 변에 설치된 복수의 전극(16)을 갖는다. 전극(16)은, 직사각형의 형상을 갖고 있으며, 또한 본체(14)의 직사각형의 각 변에 대응된 4개의 전극 그룹으로 나뉘어 전극 그룹마다 병렬로 배치되어 있다.

전기적 접속장치(10)를 부착하는 기판(20)은, 도6 및 도7에 나타나 있듯이, 도전성 배선 패턴을 유리함유 에폭시 수지와 같은 전기절연 재료제인 판재(22)의 한쪽 면에 인쇄 배선 기술에 의해 형성한 배선기판이고, 각각이 피검사체(12)의 각 전극(16)에 대응된 띠 형태의 복수의 배선부 즉 도전성부(24)를 판재(22)의 한쪽 면에 갖는다.

각 도전성부(24)는, 배선 패턴의 일부이다. 도전성부(24)는, 피검사체(12)의 본체(14)의 직사각형의 각 변에 대응된 4개의 도전성부 그룹으로 나뉘어져 있고, 또한 대응하는 변의 근방에서, 대응하는 변과 교차하는 방향으로 연장하여 그 변의 길이 방향으로 이간한 상태로, 도전성부 그룹마다 병렬로 형성되어 있다.

기판(20)은, 일반적으로, 피검사체(12)의 통전시험을 하는 유저에 있어, 피검사체(12)의 종류에 따라 제작된다. 그러나 기판(20)은 접속장치(10)의 제조업자 쪽에서 제작해도 된다.

도1∼도7에 나타나 있듯이, 접속장치(10)는, 기판(20)에 부착되는 직사각형 판상의 하우징(26)과, 하우징(26)에 병렬로 배치되어 전극(16)과 도전성부(24)의 각 조(組)에 대응된 판상의 복수의 접촉자(28)와, 접촉자(28)에 접촉하도록 하우징(26)에 배치된 긴 복수의 프로브 홀더(30)와, 하우징(26)에 배치된 긴 복수의 고무 부재(32)와, 하우징(26)에 배치된 가이드 판(34)을 포함한다.

하우징(26)은, 기판(20)과 평행인 수평면 내를 제1 방향(X방향) 또는 제1 방향과 교차하는 제2 방향(Y방향)으로 연장하여 아래쪽으로 개방하는 4개의 제1 요소(36)와, 제1 또는 제2 방향(X방향 또는 Y방향)으로 간격을 두고 상기 수평면 내를 제2 또는 제1 방향(Y방향 또는 X방향)으로 연장하는 복수의 슬릿(38)과, 하우징(26)의 중앙 영역에 설치되어 위쪽으로 개방하는 제2 요소(40)와, 제2 요소(40) 내를 제1 또는 제2 방향으로 연장하여 위쪽으로 개방하는 4개의 제3 요소(42)를 갖는다.

제1 요소(36)는, 본체(14)의 직사각형의 각 변에 대응되어 있고, 또한 대응하는 변의 길이 방향(제1 또는 제2 방향)으로 연장해 있다. 각 제1 요소(36)를 형성하고 있는 면 중에서, 후단측 안쪽 면은, 접촉자(28)가 제1 요소에서 탈락하는 것을 접촉자(28)의 후단부와 공동으로 방지하도록 후퇴한 탈락 방지부(44)를 안쪽에 갖는다.

각 제1 요소(36)의 선단측 윗모서리는, 둥근 면(弧面)으로 되어 있다. 각 제1 요소(36)의 양 단부(端部)의 폭 치수는 중간 영역 부분의 폭 치수보다 작게 되어 있고, 또한 중간 영역은 대응하는 슬릿 그룹의 슬릿(38)의 배치 영역의 길이 이상의 길이 영역으로 되어 있다.

제1 요소(36)의 각 단부는, 이것에 프로브 홀더(30)의 단부를 조여 끼우는 상태로 결합시키도록, 제1 요소(36)의 중간 영역 부분의 폭 치수의 2분의 1보다 작은 폭 치수 또는 곡률 반경과, 선단측 윗모서리의 둥근 면의 곡률 중심과 일치하는 중심 또는 곡률 중심을 갖는다.

하우징(26)의 중앙 영역은, 평면적으로 볼 때 직사각형의 형상을 갖는 판상부(48)로 되어 있다.

슬릿(38)은, 직사각형의 변 및 제1 요소(36)의 각 조(組)에 대응된 4개의 슬릿 그룹으로 나뉘어져 있고, 또한 대응하는 변 및 제1 요소(36)의 길이 방향으로 간격을 두고 대응하는 변과 교차하는 방향으로 연장해 있다. 각 슬릿 그룹의 서로 이웃하는 슬릿(38)의 사이는, 격벽(46)으로 되어 있다.

각 슬릿(38)은, 하우징(26)의 상하로 개방되어 있으며, 또한 길이 방향의 한쪽 끝(후단쪽)의 하부에서 대응하는 제1 요소(36)의 선단쪽의 하부에 연결되어 있음과 동시에, 길이 방향의 다른쪽 끝(선단쪽)의 상부에서 제2 요소(40)에 연결되어 있다.

제2 요소(40)는, 평면적으로 볼 때, 하우징(26)의 판상부(48) 둘레의 작은 제1 요소 영역과, 제1 요소 영역의 상부에 이어짐과 동시에 제1 요소 영역보다 큰 제2 요소 영역을 갖는다.

제1 및 제2 요소 영역은, 평면적으로 볼 때, 피검사체(12)의 본체(14)와 유사한 직사각형의 형상을 갖고 있고, 또한 동축적(同軸的)이며 유사형(相似形)인 형태로 형성되어 있다. 슬릿(38)은, 그 선단쪽을 슬릿 그룹마다 제1 요소 영역의 직 사각형의 1개의 변에 개구시키고 있다.

하우징(26)의 판상부(48) 둘레의 영역은, 제2 요소(40)의 제1 요소 영역에 의해, 제2 요소 영역보다 낮게 되어 있다.

제3 요소(42)는, 직사각형의 각 변에 대응되어 있고, 또한 대응하는 변의 길이 방향(X 또는 Y방향)으로 연장해 있다. 각 제3 요소(42)는, 하우징(26)의 판상부(48)의 바깥쪽 윗모서리에서 격벽(46)의 선단 상부에 이르는 폭 치수를 갖고 있으며, 또한 둥근 형태(弧狀)의 안쪽 바닥면(back bottom surface)을 갖는다.

제3 요소(42)의 폭 치수는, 그 길이 범위에 걸쳐서 거의 같다. 그러나 뒤에서 설명하듯이, 제3 요소(42)의 양 단부의 폭 치수를 다른 부분의 폭 치수보다 작게 해도 된다. 이 경우, 양 단부 사이의 중간 영역은 대응하는 슬릿 그룹의 슬릿의 배치 영역 이상의 길이 영역으로 되어 있다.

상기와 같은 하우징(26)은, 합성수지와 같은 전기적으로 절연성인 재료로 형성할 수 있다.

각 접촉자(28)는, 전극(16)에 눌리는 둥근 형태의 선단(즉, 침선)(50)을 선단쪽에 가짐과 동시에, 구부러진 바깥면(52)을 가지며, 또한 위쪽으로 개방하는 둥근 형태의 요소(54)를 후단쪽에 갖는다.

각 접촉자(28)는, 그 바깥면(52)을 아래쪽으로 한 상태에서 제1 요소(36) 내에서부터 슬릿(38) 내 및 제2 요소(40)의 제1 요소 영역 내를 연장하여, 선단(50)이 하우징(26)의 위쪽으로 돌출함과 동시에 평면적으로 볼 때 슬릿(38)에서 그 슬 릿(38)의 길이 방향으로 이간하는 위치까지 연장하는 상태로, 하우징(26)에 배치되어 있다.

각 접촉자(28)의 후단부는, 제1 요소(36) 내에 위치하고 있으며, 또한 제1 요소(36)의 탈락 방지부(44)에 걸리도록 후단면(後端面)의 상부에서 뒤쪽으로 돌출하는 돌출부(56)를 후단면의 상부에 갖는다. 각 접촉자(28)의 후단(後端) 가장자리의 아래모서리는, 곡률 반경이 작은 둥근 면으로 되어 있다.

각 접촉자(28) 중, 후단부의 앞쪽 영역(후단 앞쪽 영역)과 그 후단 앞쪽 영역에서 선단쪽 영역(선단 영역)은, 피검사체(12)의 전극(16)이 선단(50)에 눌렸을 때, 탄성 변형하는 암(arm)부로서 작용한다.

상기 암부는, 도시된 예에서는, 후단부에서 슬릿(38) 내를 비스듬히 위쪽으로 연장함과 동시에, 슬릿(38) 내를 슬릿(38)의 길이 방향의 다른쪽 끝을 향해 수평으로 연장하고, 나아가 제2 요소(40) 내를 비스듬히 위쪽으로 연장하고 있다.

각 접촉자(28)의 후단면은, 돌출부(56)와 후단 가장자리의 아래모서리를 제외하고, 제1 요소(36)를 형성하고 있는 면 중에서 후단측 안쪽 면의 상단(上端)에서 뒤쪽으로 후퇴하는 경사면에 접촉되어 있다.

프로브 홀더(30)는, 실리콘 고무와 같은 탄성 변형 가능한 탄성 부재에 의해 단면 원형의 막대 형상을 갖고 있고, 또한 직사각형의 변 및 제1 요소(36)의 각 조(組)에 대응되어 있다. 이 때문에, 각 프로브 홀더(30)는, 대응하는 제1 요소(36) 내를 대응하는 제1 요소(36)의 길이 방향으로 연장하고 있다.

각 프로브 홀더(30)의 양 단부는, 대응하는 제1 요소(36)의 양 단부에 조여 끼우는 상태로 결합되어 있다. 이에 의해, 각 프로브 홀더(30)는 하우징(26)에서 탈락하는 일이 방지되어 있다.

각 프로브 홀더(30)의 양 단부 사이의 중간 영역은, 제1 요소(36)의 선단측 윗모서리의 둥근 면에 접촉되어 있음과 동시에, 대응하는 접촉자 그룹의 접촉자(28)의 요소(54)에 접해 있다.

고무 부재(32)도, 실리콘 고무와 같은 탄성 변형 가능한 탄성 부재에 의해 단면 원형의 막대 형상을 갖고 있고, 또한 직사각형의 변 및 제3 요소(42)의 각 조(組)에 대응되어 있다. 이 때문에, 각 고무 부재(32)는, 일부가 대응하는 제3 요소(42) 내에 수용되어, 그 제3 요소(42)의 길이 방향으로 연장해 있다.

도시된 예에서, 각 고무 부재(32)는, 전체 길이 범위에 걸쳐 거의 같은 직경 치수를 갖고 있으며, 또한 대응하는 접촉자 그룹의 접촉자(28)의 암부의 아래쪽에 위치하고 있다.

그러나 이미 설명한 바와 같이, 제3 요소(42)의 양 단부의 폭 치수를 다른 영역의 폭 치수보다 작게 하거나, 고무 부재(32)의 양 단부의 직경 치수를 중간 영역의 직경 치수보다 크게 하여, 고무 부재(32)의 양 단부를 대응하는 제3 요소(42)의 양 단부에 조여 끼우는 상태로 결합시켜도 된다. 이 경우, 각 고무 부재(32)의 중간 영역은, 대응하는 슬릿 그룹의 길이 범위 이상의 길이 치수가 된다.

가이드 판(34)은, 제2 요소(40)와 유사한 직사각형의 형상을 갖고 있으며, 또한 제2 요소(40) 내에 배치되어 있다. 가이드 판(34)은, 피검사체(12)를 그 전 극(16)이 접촉자(28)의 선단(50)에 접하도록 수용하는 직사각형의 요소(58)를 갖는다.

요소(58)는, 피검사체(12)보다 약간 크며 피검사체(12)의 본체(14)와 유사한 직사각형의 평면 형상을 갖는다. 요소(58)의 각 안쪽 면은, 피검사체(12)를 안내하도록, 가이드 판(34)의 바깥쪽에서 중심 쪽으로 향하며, 이들 안쪽 면은, 아래쪽을 향해 작아지는 직사각형의 평면 형상을 규정하는 경사면으로 되어 있다.

접속장치(10)는, 하기와 같이 조립할 수 있다.

우선, 각 프로브 홀더(30)가 제1 요소(36)에 배치되고, 고무 부재가 제3 요소(42)에 배치된다.

이어서, 각 접촉자 그룹의 접촉자(28)가 대응하는 제1 요소(36)로부터 암부를 대응하는 슬릿(38)에 통과시켜, 선단(50)을 제2 요소(40)의 제1 요소 영역에 돌출시킨 상태로 배치된다. 이에 의해, 접촉자(28)는, 그 후단부에서 하우징(26)과 프로브 홀더(30)에 유지됨과 동시에, 탈락 방지부(44)와 돌출부(56)에 의해 하우징(26)에서 탈락하는 일이 방지된다.

계속해서, 가이드 판(34)이 제2 요소(40)의 제2 요소 영역에 배치된다. 가이드 판(34)은, 이를 두께 방향으로 관통하여 하우징(26)에 결합된 복수의 나사 부재(60)에 의해 하우징(26)에 분리 가능하게 고정된다.

상기에 따라, 접속장치(10)는 분해 가능하게 조립된다. 조립된 접속장치(10)를 분해할 때는, 상기와 반대의 작업으로 행한다.

접속장치(10)에 조립된 상태에서, 각 접촉자(28)의 암부는, 도6에 나타나 있 듯이, 고무 부재(32)에서 위쪽으로 이간되어 있다.

또한, 각 접촉자(28)는, 그 선단(50)을 하우징(26)의 상단면(판상부(48)의 윗면)보다 위쪽으로 돌출시키고 있다. 그러나 피검사체(12)가 요소(58) 내에 수용되므로, 각 접촉자(28)는, 선단(50)이 요소(58) 내에 위치하는 형상을 갖고 있어도 된다.

조립된 접속장치(10)는, 하우징(26)을 관통하여 기판(20)에 결합하는 복수의 나사 부재(62)에 의해, 기판(20)에 분리 가능하게 부착된다.

상기와 같이 접속장치(10)가 기판(12)에 부착된 상태에서, 접촉자(28)는, 바깥면(52)의 일부에서 프로브 홀더(30)에 의해 기판(20)의 도전성부(24)에 접촉되고, 그 상태로 유지된다. 이에 의해, 하우징(26)에서 접촉자(28)가 탈락하는 일이 확실히 방지되어, 접촉자(28)와 도전성부(24)가 전기적으로 확실히 접속된다.

상기와 같이, 프로브 홀더(30)의 양 단부가 제1 요소(36)의 양 단부에 조여 끼우는 상태로 결합됨과 동시에 프로브 홀더(30)의 중앙 영역이 접촉자(28)의 요소(54)에 접해 있으면, 하우징(26)에 대한 접촉자(28)의 위치가 안정되어, 하우징(26)에서 접촉자(28)가 탈락하는 일이 보다 확실히 방지된다.

검사 시, 피검사체(12)는, 위쪽에서 가이드 판(34)의 요소(58)에 수용된다. 이 때, 접속장치(10)에 대한 피검사체(12)의 위치가 어긋나 있으면, 피검사체(12)는, 요소(58)의 경사면에 접하고, 그 경사면에 의해 요소(58)의 중앙으로 안내된다. 이에 따라, 피검사체(12)는, 전극(16)이 접촉자(28)의 선단에 접한 상태로, 접속장치(10)에 수용된다.

접속장치(10)에 배치된 피검사체(12)가 도시되어 있지 않은 누름체(pressure body)에 의해 눌려 내려가면, 각 접촉자(28)는, 오버드라이브 작용을 받아 도7에 점선으로 표시한 상태에서 실선으로 표시한 상태로 탄성 변형되어, 고무 부재(32)에 눌린다. 이 때, 접촉자(28)를 그 바깥면(52)을 따라 후퇴시키는 힘이 접촉자(28)에 작용한다.

그러나 각 접촉자(28)의 후단(後端)이 제1 요소(36)의 후단측 안쪽 면에 직접 접촉하고 있으므로, 각 접촉자(28)는, 후단 하부를 지점으로 도7에 실선으로 표시한 상태로 변위하여, 프로브 홀더(30)를 탄성 변형시킨다.

이에 따라, 각 접촉자(28)의 선단(50)은, 선단(50)이 전극(16)에 대해 접촉자(28)의 길이 방향으로 변위함과 동시에 도전성부(24)에 접촉자(28)가 접촉하는 부분이 선단(50) 쪽으로 변화하므로, 전극(16)의 표면에 존재하는 산화막의 일부를 깎아내는 마찰 작용(또는 스크래치 작용)을 일으킨다.

상기와 같이, 피검사체(12)가 상기 누름체에 의해 눌려 내려감으로써, 각 접촉자(28)가 도전성부(24)에 눌리므로, 전기적 접속장치에 조립된 상태 또는 피검사체(12)가 누름체에 의해 눌려 내려가지 않는 상태에서, 각 접촉자(28)가 프로브 홀더(30)에 의해 도전성부(24)에 눌려 있지 않도록, 접촉자(28)와 도전성부(24) 사이에 간극이 존재해도 된다.

도시된 예에서는, 접속장치(10)에 조립된 상태에서, 접촉자(28)와 고무 부재(32)가 이간해 있지만, 접촉자(28)의 암부와 고무 부재(32)를 접촉시켜도 되고, 고무 부재(32)를 접촉자(28)의 암부에 의해 탄성 변형시켜도 된다.

접속장치(10)에 따르면, 하기와 같은 효과를 갖는다.

각 접촉자(28)를, 그 선단(50)이 평면적으로 볼 때 슬릿(38)에서 그 슬릿(38)의 길이 방향으로 이간하는 위치까지 연장시키고 있으므로, 접촉자(28)의 선단(50)에 의해 깎인 부스러기는 슬릿(38) 이외의 부분에 낙하한다. 이 때문에, 접촉자(28)의 선단에 의해 깎인 부스러기가 슬릿(38)을 통해 기판(22)에 도달하는 것을 방지한다.

또, 접촉자(28)의 선단에 의해 깎인 부스러기는, 고무 부재(32)가 슬릿(36)의 선단측 상부를 폐쇄하고 있으므로, 그 부스러기가 슬릿(38)을 통해 기판에 도달하는 것을 보다 확실히 방지한다.

접촉자(28)가 안정적으로 유지됨에도 불구하고, 접속장치(10)의 제작이 용이하다. 피검사체(12)가 접속장치(10)에 저절로 바르게 배치된다. 피검사체(12)의 전극(16)이 접촉자(28)의 선단(50)에 확실히 접촉한다. 접촉자(28)가 프로브 홀더(30) 및 고무 부재(32)를 탄성 변형시킴으로써, 소정의 침압(probe pressure)을 도전성부(24)와 접촉자(28) 사이에 작용시킬 수 있어, 전극(16)에 마찰 작용이 효과적으로 일어난다. 프로브 홀더(30) 및 고무 부재(32)의 구조가 단순함에도 불구하고, 접촉자(28)끼리의 전기적 단락이 확실히 방지된다.

도시된 예에서, 접촉자(28)는, 선단(50)이 전극(16)에 눌렸을 때, 고무 부재(32)에 접촉하는 부분에 요소(64)를 갖고 있다. 그러나 이와 같은 요소(64)를 접촉자(28)에 설치하지 않아도 된다.

선단(50)이 전극(16)에 눌린 상태에서 접촉자(28)를 고무 부재(32)로부터 이간시키는 대신에, 도8에 나타나 있듯이 접촉자(28)를 고무 부재(32)에 접촉시키고 있어도 되며, 고무 부재(32)를 접촉자(28)에 의해 적당히 탄성 변형시켜도 된다.

단면 원형의 고무 부재(32)를 사용하는 대신에, 도9에 나타나 있는 직사각형의 단면 형상을 갖는 고무 부재(32), 도10에 나타나 있는 반원주(semi-cylindrical)형 또는 삼각형의 단면 형상을 갖는 고무 부재(32) 등, 다른 단면 형상을 갖는 고무 부재를 사용해도 된다.

산업상 이용 가능성

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다. 예를 들어, 본 발명은 액정표시 패널과 같은 다른 평판형 피검사체의 시험용 전기적 접속장치에도 적용할 수 있다.

Claims

기판에 부착되고, 상기 기판에 형성된 도전성부와 피검사체의 전극을 전기적으로 접속하는 전기적 접속장치로서,

상기 기판과 평행인 면내를 제1 방향으로 연장하여 아래쪽으로 개방하는 제1 요소와, 상기 제1 방향으로 간격을 두고 상기 면내를 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 복수의 슬릿을 갖는 하우징으로서, 각 슬릿이 그 길이 방향의 한쪽 끝에서 상기 제1 요소에 연결되어 있음과 동시에 적어도 위쪽으로 개방되어 있는, 하우징;

상기 도전성부와 상기 전극을 전기적으로 접속하는 판상의 복수의 접촉자로서 각각이 상기 전극에 상대적으로 눌리는 선단을 가짐과 동시에 구부러진 바깥면을 가지며, 또한 상기 바깥면을 아래쪽으로 한 상태에서 상기 제1 요소 내에서부터 상기 슬릿 내를 연장하는 상태로 상기 하우징에 배치된 복수의 접촉자; 및

상기 제1 요소에 배치된 프로브 홀더로서 상기 접촉자의 상기 바깥면을 상기 도전성부에 접촉시키도록 상기 접촉자의 상기 바깥면과 반대쪽인 부분에 접하는 프로브 홀더;를 포함하며,

각 접촉자의 상기 선단은, 평면적으로 볼 때, 상기 슬릿에서 그 슬릿의 길이 방향으로 이간되고, 상기 슬릿으로부터 그 슬릿의 길이 방향으로 슬릿을 넘어 위쪽으로 연장해 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 하우징은, 위쪽으로 개방함과 동시에 상기 슬릿의 다른쪽 끝에 연결된 제2 요소를 더 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제2항에 있어서, 각 슬릿은, 또한 그 다른쪽 끝에서 상기 제2 요소에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제3항에 있어서, 각 접촉자는, 상기 슬릿 내를 비스듬히 위쪽으로 연장하고 있음과 동시에 상기 슬릿 내를 그 슬릿의 길이 방향의 다른쪽 끝을 향해 수평으로 연장하고, 나아가 상기 제2 요소 내를 비스듬히 위쪽으로 연장하고 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제2항에 있어서, 상기 슬릿의 다른쪽 끝을 그 위쪽에서 폐쇄하도록 상기 제1 방향으로 연장하는 고무 부재로서 상기 제2 요소에 배치되어, 적어도 상기 접촉자의 선단이 피검사체의 전극에 눌렸을 때, 상기 접촉자에 의해 탄성 변형되는 고무 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제5항에 있어서, 상기 하우징은, 상기 제2 요소 내를 상기 제1 방향으로 연장하여 상기 슬릿에 연결되어 있음과 동시에 위쪽으로 개방하는 제3 요소를 더 가지며, 상기 고무 부재는 상기 제3 요소에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제6항에 있어서, 상기 제2 요소에 배치된 가이드 판으로서 피검사체를 그 전극이 상기 접촉자의 선단에 접하도록 안내하는 제4 요소를 갖는 가이드 판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제1항에 있어서, 상기 제1 요소를 형성하고 있는 면은, 상기 접촉자가 상기 제1 요소에서 탈락하는 것을 상기 접촉자의 후단부와 공동으로 방지하는 탈락 방지부를 후단부에 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.
제8항에 있어서, 각 접촉자는, 상기 탈락 방지부에 걸릴 수 있게 뒤쪽으로 돌출하는 돌출부를 후단부에 갖는 것을 특징으로 하는 전기적 접속장치.