KR100297911B1 - 피검사체시험용보조장치 - Google Patents

Abstract

피검사체의 전극부에 효과적인 스크래핑작용을 부여함에도 불구하고, 프로브(probe)의 형상을 단순화하고, 프로브의 안정성을 높이고, 고주파 시험에 적합하게 하고, 제작을 용이하게 함에 있다.

시험용 보조장치는, 복수의 배선부를 일방의 면에 가지는 기판과, 복수의 프로브와, 이 프로브를 기판에 병렬적으로 조립하는 조립수단을 포함한다. 조립수단은, 프로브의 배열방향으로 신장하는 침프레서부에 의해, 프로브를 압압하여, 프로브의 만곡된 변형부의 적어도 일부를 기판의 배선부에 접촉시키고, 각 프로브는 그 변형부의 일단부에 이어지는 침선부(針先部)의 선단이 피검사체의 전극부에 압압된다. 이에 따라서, 프로브는, 기판과 침프레서부에 의해 협지되어, 그 상태로 유지되는 동시에, 전극부에 존재하는 산화막과 같은 막을 침선부의 선단에 의해 스크래핑 제거한다. 프로브의 유효범위는, 배선부로의 접촉부로부터 침끝측의 부분으로 되어, 종래의 프로브에 비해 작다.

Description

피검사체 시험용 보조장치

본 발명은, 집적회로, 액정표시패널 등의 평판상 피검사체의 시험에 이용하는 보조장치에 관한 것이다.

패키지 또는 몰드된 반도체 디바이스, 특히 집적회로(IC)의 전기적 특성의 검사 즉 시험은, 일반적으로 반도체 디바이스를 착탈 가능하게 장착하는 검사용 즉 시험용의 소켓 즉 보조장치를 이용하여 행해진다.

이 종류의 보조장치의 하나로서, 반도체 디바이스의 리드(전극부)에 접촉되는 침선부(針先部)와 기판의 배선부에 접속되는 침후부(針後部)를 역방향으로 구부린 크랭크상의 접촉자 즉 프로브를 이용하는 것이 있다(일본국 특개평 7-229949호 공보).

이 종래의 보조장치에서, 각 프로브는, 침선부가 상방으로 신장하고, 침후부가 하방으로 신장하도록, 침선부와 침후부 사이의 중앙부에서 접착제에 의해 공통의 침프레서에 장착된다. 그러나, 이 종래의 보조장치에서는, 프로브를 침프레서에 장착하는 작업, 침후부를 기판의 배선부에 납땜하는 작업 등, 조립에 숙련됨을 필요로 하고, 또 프로브의 유효범위(침끝으로부터 배선부로의 접속점까지)의 길이치수가 크기 때문에, 시험에 이용하는 전기신호의 주파수를 높이는데 한도가 있다.

시험용 보조장치의 다른 하나로서, Z자상 또는 환상으로 형성된 판상의 프로브를 이용하는 것이 있다(미국특허 제5336094호, 미국특허 제5388996호). 그러나, 이 종래의 보조장치에서는, 각 프로브가 그 호상(弧狀)의 변형면부에서 피검사체의 전극부에 압압되기 때문에, 변형면부를 피검사체의 전극부에 압압해도, 전극부에 대한 변형면부의 변위에 기인하는 스크래핑(scraping)작용이 생기지 않기 때문에, 전극부에 존재하는 산화막과 같은 막이 효과적으로 삭제되지 않아, 그 결과 프로브와 전극부와의 사이에 양호한 전기적 접촉이 얻어지지 않는다.

패키지 또는 몰드되지 않은 반도체 디바이스, 특히 IC칩의 전기적 특성의 시험용 보조장치의 하나로서, C자상으로 구부러진 프로브를 이용하는 것이 있다(특개평 5-299483호 공보). 그러나, 이 종래의 보조장치에서는, 각 프로브를 그 스프링력에 의해 소켓에 유지시키는데 지나지 않으므로, 프로브가 불안정하고, 또 프로브의 C상의 양단을 더욱 만곡시켜야만 하기 때문에, 프로브의 형상이 복잡하고, 고가이다.

그러므로, 피검사체 시험용 보조장치에서, 피검사체의 전극부에 효과적인 스크래핑작용을 부여함에도 불구하고, 프로브의 형상을 단순화하고, 프로브의 안정성을 높이고, 고주파 시험에 적합하게 하고, 제작을 용이하게 하는 것이 중요하다.

도 1은 본 발명에 관한 시험용 보조장치의 제1의 실시예를 나타낸 평면도이다.

도 2는 도 1의 2-2선에 따라 얻은 단면도이다.

도 3은 도 1에 나타낸 시험용 보조장치의 기판을 제거한 상태의 일부의 저면도이다.

도 4는 도 1의 4-4선에 따라 얻은 단면도이다.

도 5는 피검사체를 보조장치에 배치했을 때의 프로브(probe)의 상태를 설명하기 위한 단면도이다.

도 6은 피검사체를 프로브에 압압했을 때의 프로브의 상태를 설명하기 위한 단면도이다.

도 7은 도 1에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 제1의 실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 정면도이고, (B)는 좌측면도이다.

도 8은 도 1에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 제2의 실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 정면도이고, (B)는 좌측면도이다.

도 9는 시험용 보조장치의 제2의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

도 10은 시험용 보조장치의 제3의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

도 11은 도 1에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 제3의 실시예의 일부를 나타낸 도면이다.

도 12는 시험용 보조장치의 제4의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

도 13은 시험용 보조장치의 제5의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

도 14는 도 13에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 일실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 평면도이고, (B)는 정면도이고, (C)는 우측면도이다.

도 15는 도 13에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 다른 실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 평면도이고, (B)는 정면도이고, (C)는 우측면도이다.

도 16은 시험용 보조장치의 제6의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

도 17은 도 16에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 일실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 평면도이고, (B)는 정면도이고, (C)는 우측면도이다.

도 18은 도 16에 나타낸 보조장치에서 이용하는 프로브의 다른 실시예를 나타낸 도면으로서, (A)는 평면도이고, (B)는 정면도이고, (C)는 우측면도이다.

도 19는 시험용 보조장치의 제7의 실시예의 일부를 나타낸 단면도이다.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉

10,70,100,120,140:시험용 보조장치, 12:피검사체,

14:본체, 16:전극부,

20:기판, 22,50,52,54,60,72,102,112,122,132,142:프로브,

24,90,152:침프레서, 26,80,150:커버,

28:배선부, 30,74,144:침선부,

31,76,146:변형부, 32,78,104,114,124,134,148:침후부,

34:압압봉, 36:탄성재료층,

38:개구, 40,82:홈,

42,84:요소, 44,86:칸막이벽,

46:나사부재, 156:제1의 요소,

158:슬롯, 160:제2의 요소

본 발명의 피검사체 시험용 보조장치는, 복수의 배선부를 일방의 면에 가지는 기판과, 복수의 프로브와, 이 프로브를 기판에 병렬적으로 조립하는 조립수단을 포함한다. 각 프로브는, 만곡된 변형부와, 이 변형부의 일단부에 이어지는 침선부로서 피검사체의 전극부에 압압되는 선단을 가지는 침선부와, 변형부의 타단부에 이어지는 침후부를 구비한다. 조립수단은, 프로브의 변형부의 적어도 일부를 기판의 배선부에 접촉시키도록 프로브를 압압하는 침프레서부로서 프로브의 배열방향으로 신장하는 침프레서부를 구비한다.

프로브는, 변형부를 갖지만, 그 형상이 종래의 C자상 프로브에 비해 단순하고, 염가로 된다. 프로브는, 침프레서부에 의해 변형부의 적어도 일부가 기판의 배선부에 압압되고, 기판과 압압부와에 의해 협지(挾持)되어, 그 상태로 유지되기 때문에, 프로브가 안정화되고, 보조장치의 조립이 용이하게 된다.

각 프로브는, 종래의 크랭크상의 프로브와 동일하게, 침선부의 선단이 피검사체의 전극부에 압압된다. 이에 따라서, 각 프로브는 배선부로의 접촉부로부터 침끝측의 부위에서 탄성변형하여, 선단이 전극부에 대하여 변위하고, 그 결과 전극부에 존재하는 산화막과 같은 막의 일부가 침선부의 선단에 의해 스크래핑 제거되어(또는 스크래칭(scratching) 제거되어), 프로브와 전극부가 양호한 전기적 접속상태로 유지된다. 또, 배선부로의 접촉부로부터 침끝측이 프로브의 유효범위로 되기 때문에, 프로브의 유효범위가 종래의 프로브에 비해서 작아지고, 인접하는 프로브간에서의 전기신호의 누설이 적어, 고주파 시험에 적합하다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 선단과 전극부와의 사이에 생기는 효과적인 스크래핑작용에 의해, 프로브와 전극부와의 사이에 양호한 전기적 접속상태가 유지된다. 또, C자상의 프로브에 비해 프로브의 형상이 단순하고, 프로브가 염가로 된다. 또한, 프로브의 유효범위가 작아지고, 고주파 시험에 적합하다. 또한, 프로브가 안정되게 유지되어, 보조장치의 제작이 용이하다.

조립수단은, 기판에 조립된 1이상의 커버로서 프로브의 배열방향으로 신장하는 요소(凹所)를 가지는 커버와, 프로브의 배열방향으로 신장하는 상태로 요소에 받아들여진 1이상의 침프레서를 구비하고, 요소를 적어도 기판측에 개방시키고, 침프레서부를 침프레서에 형성할 수 있다. 이에 따라서, 각 프로브의 변형부를 홈에 배치함으로써, 각 프로브를 유지할 수 있기 때문에, 프로브가 보다 안정되게 유지됨에도 불구하고, 보조장치의 제작이 보다 용이하다.

커버는, 또한, 프로브의 배열방향으로 간격을 두고 형성된 복수의 홈을 구비하고, 이들 홈을 기판측에 개방시키는 동시에 개구에 개방시키고, 요소를 홈에 개방시키고, 적어도 프로브의 변형부를 홈에 배치해도 된다.

침프레서부를, 커버의 요소로부터 기판측에 돌출시켜 프로브의 적어도 변형부의 내측부분에 접촉시킬 수 있다. 또, 커버의 요소의 단면형상을 호상 또는 직사각형으로 할 수 있다.

침프레서를 원주상(圓柱狀)의 형상으로 하고, 또 침프레서의 적어도 외주부를 전기절연성으로 할 수 있다. 이와 같이 하면, 침프레서의 구조가 단순하게 되고, 또 침프레서에 의한 프로브끼리의 전기적 단락을 방지할 수 있다.

침프레서는, 원주상의 압압봉과, 전기절연성의 재료에 의해 압압봉의 주위에 형성된 탄성재료층을 가질 수 있다. 이와 같이 하면, 침프레서에 의한 프로브끼리의 전기적 단락을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 프로브가 탄성재료를 통하여 기판에 압압되기 때문에, 프로브가 보다 안정되게 유지된다.

프로브의 침후부를 침프레서에 의해 요소의 내면에 압압할 수 있다. 이에 따라서, 프로브의 길이방향으로의 침프레서과 프로브와의 상대적 변위가 확실하게 저지되기 때문에, 프로브가 보다 안정되게 유지된다.

프로브는, 전체적으로 호상으로 만곡된 형상을 가지고 있어도 되고, 전체적으로 U자상으로 만곡된 형상을 가지고 있어도 된다. 또, 각 프로브의 침선부를 커버의 개구에 돌출시킬 수 있다.

각 프로브를 도전성 재료로 형성하고, 침후부의 외주에 비도전성 재료의 층을 형성할 수 있다. 이에 따라서, 인접하는 프로브의 침후부에서의 전기적 단락을 방지할 수 있다.

그러나, 각 프로브를 비도전성 재료로 형성하고, 침선부 및 변형부의 외주에 도전성 재료의 층을 형성해도 되고, 각 프로브의 침후부 전체를 비도전성 재료로 형성하고, 2이상의 프로브의 침후부를 비도전성 재료로 일체적으로 형성해도 된다.

상기한 어느 프로브도, 침후부가 도전성을 가지지 않기 때문에, 인접하는 프로브의 침후부에서의 전기적 단락을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 도전성을 가지는 부분의 길이치수가 짧아진다. 그 결과, 침후부에서의 전기신호의 누설이 존재하지 않는 것과 더불어, 인접하는 프로브간에서의 전기신호의 누설이 종래의 장치에 비해 현저하게 적어져, 고주파 시험에 이용하는 전기신호의 주파수를 높일 수 있다.

그러나, 각 프로브의 침후부 전체를 비도전성 재료로 형성하고, 2이상의 프로브의 침후부를 비도전성 재료로 일체적으로 형성할 수 있다.

2이상의 프로브의 침후부를 비도전성 재료로 일체적으로 형성하고, 또 요소에 받아들이게 할 수 있다. 이에 따라서, 2이상의 프로브의 변형부 및 침선부 그리고 일체적으로 형성된 침후부로 이루어지는 침조립체를 합성수지에 의한 성형가공에 의해 한 번에 제작할 수 있으며, 한 번에 기판에 조립할 수 있기 때문에, 침조립체의 제작이 용이하게 되고, 장치의 조립작업, 나아가서는 장치의 제작작업이 보다 용이하게 된다.

조립수단은, 기판에 조립된 1이상의 커버와, 침프레서부를 가지는 1이상의 침프레서를 구비하고, 커버는, 프로브의 배열방향으로 신장하고 또한 기판측으로 개구되는 제1의 요소와, 이 제1의 요소에 연통하는 슬롯과, 프로브의 배열방향으로 신장하고 또한 제1의 요소측으로 개구되는 제2의 요소를 가지고, 프로브는 침끝을 슬롯으로부터 돌출시킨 상태로 상기 제1의 요소에 병렬적으로 배치하고, 침프레서는 적어도 제2의 요소에 배치할 수 있다. 복수의 프로브와, 커버와, 침프레서를 유닛화하여, 그들을 기판에 조립할 수 있다.

각 프로브는, 인접하는 프로브에 맞닿는 스페이서를 침끝측에 가질 수 있다. 이에 따라서, 프로브가 피검사체의 전극부에 압압되었을 때, 프로브가 피검사체의 전극부에 스크래핑작용을 효과적으로 부여함에도 불구하고, 인접하는 프로브가 침끝측에서 접촉하는 것이 방지된다.

도 1∼도 6을 참조하면, 시험용 보조장치(10)는, 평판상 피검사체(12)의 검사 즉 시험을 위한 보조장치로서 이용된다. 피검사체(12)는, 도시한 예에서는, 패키지 또는 몰드된 집적회로와 같은 반도체 디바이스이지만, 본 발명은 액정표시패널과 같은 다른 평판상 피검사체의 시험용 보조장치에도 적용할 수 있다.

피검사체(12)는, 장방형의 평면형상으로 패키지 또는 몰드된 본체부(14)와, 장방형의 각 변에 대응하는 부위로부터 외방으로 돌출하는 복수의 리드 즉 전극부(16)를 가진다. 전극부(16)는, 장방형의 변마다 대응된 복수의 전극부군으로 나뉘어져 있고, 또 전극부군마다 병렬적으로 배치되어 있다.

시험용 보조장치(10)는, 기판(20)과, 복수의 접촉자 즉 프로브(22)와, 프로브(22)를 기판(20)에 압압하는 복수의 침프레서(24)와, 이 침프레서를 기판(20)에 조립하는 평판상의 커버(26)를 포함한다.

기판(20)은, 배선패턴을 전기절연재료의 일방의 면에 인쇄배선기술에 의해 형성한 배선기판이고, 각각이 프로브(22)에 대응된 복수의 배선부(28)를 일방의 면에 가진다. 각 배선부(28)는, 배선패턴의 일부이다. 배선부(28)는, 피검사체(12)의 본체(14)의 장방형의 변마다 대응된 복수의 배선부군으로 나뉘어져 있고, 또 배선부군마다 병렬적으로 배치되어 있다.

각 프로브(22)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 탄성력을 가지는 비도전성의 세선(細線)의 형태로 형성되어 있고, 또 선단부분이 테이퍼상인 침선부(30)로부터 침주체부(針主體部) 즉 변형부(31)를 거쳐 침후부(32)까지의 전범위에 걸쳐 반원호상으로 만곡되어 있다.

각 프로브(22)는, 도 7에 부호 32로 나타낸 영역인 침후부 이외의 부분, 즉 침선부(30) 및 변형부(31)의 전체 외표면에 도전성의 피막을 형성하고 있다. 이에 따라서, 배선부(28)에 접촉하는 부분으로부터 전방의 부분은 도전성을 가지지만, 침후부(32)는 비도전성을 가지기 때문에, 도전성을 가지는 프로브로서 작용함에도 불구하고, 침후부(32)에서의 시험용 전기신호의 누설, 특히 인접하는 프로브간의 전기신호의 누설이 없어진다.

그러나, 각 프로브(22)는, 심재(心材)를 도전성의 세선, 바람직하게는 금속의 세선의 형태로 하고, 이 심재중 침후부(32)의 부분에 비도전성의 피막을 형성해도 된다. 프로브(22)는, 금속, 세라믹, 합성수지 등의 세선으로 형성해도 되며, 그들 재료를 이용하는 프레스가공, 에칭가공 등 다른 가공법에 의해 형성해도 된다.

각 프로브(22)는, 도 1∼도 7에 나타낸 예에서는 원형의 단면형상을 가진다. 또, 프로브(22)는 도 1∼도 7에 나타낸 예에서는 침끝면 즉 선단면이 프로브(22)의 만곡면과 직각으로 신장하는 이른바 끌형(chisel-type) 침이다.

그러나, 프로브(22) 및 뒤에 설명하는 각 프로브는, 도 8에 나타낸 프로브(50)와 같이, 선단면이 프로브(22)의 만곡면과 평행하게 신장하는 이른바 도끼형(ax-type) 침이라도 되며, 또 원추형 또는 각추형의 침선부를 가지는 형상이라도 된다. 프로브의 단면형상은, 원형이라도 되며, 사각형이라도 된다.

프로브(22)는, 피검사체(12)의 본체(14)의 장방형의 변마다 대응된 복수의 프로브군으로 나뉘어져 있다. 도시한 예에서는, 피검사체(12)가 장방형의 4개의 변의 각각에 복수의 전극부를 가지므로, 프로브(22)는 4개의 프로브군으로 나뉘어져 있다. 같은 이유로, 도시한 예에서는 4개의 침프레서(24)가 형성되어 있다.

각 침프레서(24)는, 원주상의 압압봉(34)과, 압압봉(34)의 외주면에 형성된 전기절연성의 탄성재료층(36)에 의해, 원주상으로 형성되어 있다. 압압봉(34)은, 도전성 또는 비도전성의 봉상(棒狀) 부재로 할 수 있다. 전기절연층 즉 탄성재료층(36)은, 실리콘고무와 같은 고무재료에 의해 형성한 튜브로 할 수 있다. 그러나, 침프레서(24)를 단일의 부재로 봉상으로 형성해도 된다.

커버(26)는, 피검사체(12)를 수용하도록 중앙에 형성된 개구(38)와, 개구(38)의 외측에 형성되어 개구(38)에 대하여 외방으로 신장하는 복수의 홈(40)과, 개구(38)의 외측에 형성되어 홈(40)의 배열방향으로 신장하는 복수의 요소(42)를 가진다. 이와 같은 커버(26)는, 비도전성 재료로 형성할 수 있다.

개구(38)는, 피검사체(12)와 서로 유사한 직사각형의 형상을 가지고 있고, 또 각 코너부가 호상으로 되어 있다. 개구(38)의 상부는, 외측으로부터 중심측으로 향하는 경사면(38a)에 의해 하방으로 갈수록 작게 되어 있다. 개구(38)의 각 코너부는, 호상의 면으로 되어 있다.

홈(40)은, 적어도 프로브(22)의 변형부(31) 및 침후부(32)를 수용하는 홈이고, 따라서 도시한 예에서는 프로브(22)와 같은 수가 형성되어 있다. 홈(40)은, 개구(38)를 형성하는 직사각형의 변마다 대응된 복수의 홈군으로 나뉘어져 있고, 또 홈군마다 병렬적으로 형성되어 있다. 각 홈(40)은 기판(20)측 즉 하방으로 개방하는 동시에, 개구(38)에 개방하고 있다.

인접하는 홈(40)은, 칸막이벽(44)에 의해 구획되어 있다. 칸막이벽(44)은, 도시한 예에서는, 홈(40)의 후반부를 구획하도록 형성되어 있고, 따라서 인접하는 홈(40)은 개구(38)의 부위에서 연속하고 있다. 그러나, 홈(40) 전체를 구획하도록 칸막이벽(44)을 형성해도 된다.

요소(42)는, 개구(38)를 형성하는 직사각형의 변마다 대응되어 있고, 또 대응하는 변을 따라 신장한다. 도시한 예에서는, 4개의 요소(42)가 형성되어 있다. 각 요소(42)는, 침프레서(24)를 수용하는 반원형의 홈이고, 대응하는 홈(40)의 홈 저면으로 개방하고 있다. 각 요소(42)의 홈 저면은, 상방으로 돌출한 단면형상을 하고 있다.

보조장치(10)는, 각 침프레서(24)를 요소(42)에 배치하고, 각 프로브(22)를 그 후단이 홈(40)의 안쪽 저면(도시한 예에서는, 상면)에 접촉한 상태로 홈(40)에 배치하고, 그 상태에서, 프로브(22), 침프레서(24) 및 커버(26)를 기판(20)에 겹치고, 그 상태에서 커버(26)를 볼트와 같은 복수의 나사부재(46)에 의해 기판(20)에 장착함으로써, 조립할 수 있다.

각 나사부재(46)는, 커버(26)를 그 두께방향으로 관통하고 있고, 또 기판(20)에 형성된 나사구멍에 나사결합된다. 이에 따라서, 프로브(22)는, 침프레서(24)에 의해 호상 만곡부의 일부에서 기판(20)의 배선부(28)에 압압되고, 기판(20)과 침프레서(24)에 의해 협지되어, 그 상태로 유지된다.

도시한 예에서는, 침프레서(24)와 커버(26)는, 프로브(22)를 기판(20)에 병렬로 조립하는 조립수단으로서 작용한다. 또, 각 침프레서(24)의 하반부는, 요소(42)로부터 기판(20)측에 호상으로 돌출하고 또한 프로브(22)의 배열방향으로 신장하기 때문에, 프로브(22)를 기판(20)에 압압하도록 프로브(22)의 만곡부 내측에 접촉하는 침프레서부로서 작용한다.

프로브(22)를 그 침선부(30)가 개구(38)내에 상방으로 돌출하는 상태로 홈(40)에 배치하고, 침프레서(24)로 기판(20)에 압압하는 것만으로, 프로브(22)를 프로브군마다 병렬적으로 바르게 배열시킬 수 있다. 이로 인해, 보조장치(10)의 제작이 용이하다.

프로브(22)는, 보조장치(10)에 조립된 상태에서, 적어도 침후부(32)가 홈(40)의 칸막이벽(44)에 의해 구획된 부분에 받아들여져 있는 동시에, 전기절연재료로 이루어지는 탄성재료층(36)을 통하여 기판(20)에 압압되어 있기 때문에, 홈(40)과 침프레서(24)에 의해서 안정되게 유지되고, 또 인접하는 프로브와의 전기적 접촉이 확실히 방지된다.

조립된 상태에서, 각 프로브(22)는 전기절연층(32)이 존재하지 않는 변형부(31)의 부위에서 배선부(28)에 압압되기 때문에, 호상의 침주체부(31)의 그 부위는 변형부로서 작용한다.

각 프로브(22)는 전기절연층(32)이 존재하지 않는 부위에서 배선부(28)에 압압되기 때문에, 프로브(22)의 유효범위는, 배선부(28)로의 프로브(22)의 접촉부로부터 침끝까지이고, 종래의 보조장치에 비해 작다. 또, 도 5에 나타낸 바와 같이, 탄성재료층(36)이 기판(20)과 커버(26)와 압압봉(34)에 의해 끼여 압압되어 탄성변형하기 때문에, 각 프로브(22)는 단단히 유지된다. 압압봉(34)과 탄성재료층(36)과는, 도 5에 나타낸 바와 같이 미리 편심시켜 두어도 되며, 조립한 상태에서 서로 편심하도록 해도 된다.

검사시, 피검사체(12)는, 상방으로부터 개구(38)로 넣어진다. 이때, 보조장치(10)에 대한 피검사체(12)의 위치가 벗어나 있으면, 피검사체(12)는, 경사면(38a)에 접촉하고, 경사면(38a)에 의해 개구(38)의 중앙으로 안내된다. 이에 따라서, 피검사체(12)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 전극부(16)가 프로브(22)의 침끝 즉 선단에 접촉한 상태로 보조장치(10)에 수용된다.

보조장치(10)에 배치된 피검사체(12)가 압압체(48)에 의해 밀려 내려오면, 각 프로브(22)는, 도 6에 나타낸 바와 같이 변형된다. 이때, 각 프로브(22)의 후단이 홈(40)의 안쪽 저면에 접촉하고 있기 때문에, 각 프로브(22)는 침프레서(24)의 주위를 그 주위방향으로 이동하지 않는다.

그러나, 프로브(22)와 피검사체(12)가 압압되면, 각 프로브(22)는 그 곡률반경이 커지도록 배선부(28)의 접촉부로부터 침끝측의 부위에서 탄성변형하고, 그에 따라 각 프로브(22)의 침끝은, 이 침끝이 전극부(16)에 대하여 변위하기 때문에, 전극부(16)의 표면에 존재하는 막의 일부를 삭제하는 스크래핑작용(또는 스크래칭 제거작용)이 발생한다. 또, 각 프로브(22)는, 그 후단의 일부가 탄성재료층(36)에 파고 들어감으로써, 침선부(30)가 침프레서(24)의 축선방향으로 쓰러지는 것이 방지된다.

보조장치(10)에 의하면, 상기한 바와 같이, 프로브의 형상이 단순하고, 프로브가 염가로 될 뿐 아니라, 프로브(22)의 유효범위가 작아, 고주파 시험에 적합하고, 또한 프로브가 안정되게 유지됨에도 불구하고, 보조장치의 제작이 용이하다. 또, 피검사체(12)가 보조장치(10)에 자연스럽게 바르게 배치되고, 피검사체(12)의 전극부(16)가 침끝에 확실하게 접촉하고, 또한 스크래핑작용이 생긴다. 또한, 침프레서(24)의 구조가 단순하고, 프로브(22)끼리의 전기적 단락이 확실하게 방지된다.

도 9를 참조하면, 프로브(52)는, 전기절연층을 가지는 침후부(32)를 상방으로 구부려 침프레서(24)에 삽입하고 있고, 변형부(31)의 후단부에서 배선부(28)에 압압되어 있다. 이 실시예에 의해서도, 프로브(52)는, 그 침후부(32)가 침프레서(24)에 대한 이동이 저지되어 있기 때문에, 침프레서(24)의 주위를 그 주위방향으로 이동하지 않는다. 이로 인해, 프로브(52)가 피검사체에 의해 밀려 내려오면, 프로브(52)는 곡률반경이 커지도록 탄성변형된다.

도 10을 참조하면, 프로브(54)는, 그 후단을 판스프링(56)에 접촉시키기 있다. 판스프링(56)은, 프로브군마다 구비되어 있고, 또 복수의 나사부재(58)에 의해 커버(26)에 부착되어 있다. 판스프링(56)은, 전기절연성의 판재로 형성할 수 있지만, 도전성의 판재의 표면에 전기절연층을 형성한 것이라도 되며, 또한 각 프로브의 후단이 비도전성을 가진다면 도전성의 판재로 해도 된다.

도 10에 나타낸 실시예에 의해서도, 프로브(54)는, 그 후단이 판스프링(56)에 접촉하여 침프레서(24)에 대한 이동이 저지되어 있기 때문에, 침프레서(24)의 주위를 그 주위방향으로 이동하지 않는다. 이로 인해, 프로브(54)가 피검사체에 의해 밀려 내려오면, 프로브(54)는 곡률반경이 커지도록 탄성변형된다.

도 11을 참조하면, 프로브(60)는, 배선부(28)에 접촉하는 부위에 돌출부(62)와 요부(64)를 가진다. 프로브(60)는, 돌출부(62)에서 배선부(28)에 압압된다. 이로 인해, 프로브(60)의 경우, 돌출부(62)를 가지는 부위가 변형부로서 작용한다.

프로브(60)에 의하면, 돌출부(62)가 배선부(28)에 결합하고 있기 때문에, 침프레서(24)에 대한 프로브(60)의 이동이 돌출부(62)와 배선부(28)와의 결합에 의해 저지된다. 이로 인해, 배선부(28)와 각 프로브와의 전기적 접속이 보다 확실하게 된다. 또, 상기한 프로브와 같이, 프로브의 후단을 홈의 안쪽 저면 또는 판스프링에 접촉시키거나, 프로브의 침후부를 침프레서에 삽입하지 않고, 프로브(60)가 피검사체에 의해 압압되었을 때의 침프레서(24)에 대한 프로브의 이동이 저지된다.

상기 각 실시예에서, 원주상의 부분의 일부를 침프레서부로서 이용하는 돌출부로 하는 침프레서(24) 대신에, 반원형의 형상을 가지는 침프레서를 이용해도 되며, 반원형의 돌출부를 1개의 면에 가지는 사각기둥상의 부재를 침프레서으로서 이용해도 된다. 또, 침프레서는, 적어도 외표면이 비도전성을 가지는 한, 탄성재료를 이용하지 않은 단순한 비도전성의 봉상 부재라도 된다.

도 12를 참조하면, 시험용 보조장치(70)는, 대략 U자상으로 형성된 프로브(72)를 이용한다. 프로브(72)는, 침선부(74)와, 침주체부 즉 변형부(76)와, 침후부(78)에 의해 대략 U자상으로 형성되어 있다. 침선부(74) 및 침후부(78)는, 각각, 변형부(76)의 선단부 및 후단으로부터 상방으로 서로 대략 평행하게 직선적으로 신장하고 있다. 침선부(74)와 변형부(76)는, 적어도 외주면이 도전성으로 되어 있다.

변형부(76)는, 그 후단측으로부터 침선부(74)측을 향하여, 비스듬히 상방으로 신장하고 있고, 또 큰 곡률반경으로 비스듬히 하방으로 돌출된 형태로 만곡되어 있다. 침후부(78)는, 도전성이라도 되며, 비도전성이라도 된다. 침후부(78)는, 침선부 및 변형부(76)보다 큰 단면형상을 가진다. 프로브(72)는, 원형 또는 직사각형의 어느 한 쪽의 횡단면 형상을 가진다. 이로 인해, 프로브(72)는, 세선 또는 띠모양의 어느 한 쪽의 형상을 가진다.

보조장치(70)의 커버(80)는, 피검사체(12)를 수용하도록 중앙에 형성된 개구(38)와, 개구(38)로부터 외방으로 병렬적으로 신장하는 복수의 홈(82)과, 개구(38)의 외측에 형성되어 홈(82)의 배열방향으로 신장하는 복수의 요소(84)를 가진다. 이와 같은 커버(80)는, 비도전성 재료로 형성할 수 있다. 개구(38)는, 시험용 보조장치(10)에서의 커버(26)의 개구(38)와 동일하다. 이로 인해, 개구(38)의 상부는 경사면(38a)으로 되어 있다.

홈(82)은, 프로브(72)의 적어도 변형부(76)의 일부를 수용하는 홈이고, 따라서 도시한 예에서는 프로브(72)와 같은 수가 형성되어 있다. 홈(82)은, 개구(38)를 형성하는 직사각형의 변마다 대응된 복수의 홈군으로 나뉘어져 있고, 또 홈군마다 병렬적으로 형성되어 있다. 각 홈(82)은 기판(20)측 즉 하방으로 개방하는 동시에, 선단 상부에서 개구(38)에 개방하고 있다.

인접하는 홈(82)은, 칸막이벽(86)에 의해 구획되어 있다. 인접하는 칸막이벽(86)의 개구(38)측의 단부는, 홈(82)의 대응하는 단부를 폐쇄하는 벽부(88)에 의해 연결되어 있다. 그러나, 인접하는 칸막이벽(86)의 개구(38)측의 단부를 연결하지 않고, 홈(82)의 대응하는 단부를 개방시켜도 된다.

요소(84)는, 개구(38)를 형성하는 직사각형의 변마다 대응되어 있고, 또 대응하는 변을 따라서 신장한다. 도시한 예에서는, 실제로는 4개의 요소(84)가 형성되어 있다. 각 요소(84)는, 침프레서(90)를 수용하는 직사각형 단면형상의 홈이고, 대응하는 홈(82)의 후단과 기판(20)측으로 개구되어 있다. 각 요소(84)는, 직사각형의 단면형상을 하고 있다.

각 침프레서(90)는, 고무와 같은 탄성재료에 의해 직사각형의 단면형상으로 형성되어 있고, 요소(84)에 끼워져 있다. 도시한 예에서는, 침프레서(90)는, 변형부(76)의 일부와 프로브(72)의 침후부(78)를 받아들이기 위한 홈(82)에 연통하는 홈을 가진다. 그러나, 그와 같은 홈은, 커버(80)에 형성되어 있어도 되며, 프로브의 형상 및 치수에 따라서는 커버(80) 및 침프레서(90) 어느 것에도 형성하지 않아도 된다.

보조장치(70)는, 각 침프레서(90)를 요소(84)에 배치하는 동시에, 프로브(72)의 변형부(76)가 홈(82)내로 되고, 침후부(78)가 요소(84)내로 되도록 각 프로브(72)를 배치하고, 그 상태에서 프로브(72), 침프레서(90) 및 커버(80)를 기판(20)에 겹치고, 그 상태에서 커버(80)를 볼트와 같은 복수의 나사부재에 의해 기판(20)에 장착함으로써, 조립할 수 있다.

보조장치(70)에 조립된 상태에서, 각 프로브(72)는, 변형부(76)의 후단부에서 침프레서(90)에 의해 기판(20)의 배선부에 압압된다. 또, 각 프로브(72)의 선단은 홈(82)으로부터 개구(38)내에 상방으로 돌출하고, 각 프로브(72)의 침후부(78)는 침프레서(90)에 의해 홈(82)을 형성하는 내벽면에 압압되고, 각 프로브(72)의 후단면은 침프레서(90)에 받아들여진다. 이로 인해, 각 프로브(72)는, 변형부(76)의 후단측에서 기판(20)에 압압된다.

침선부(74)의 선단이 피검사체(12)의 전극부(16)에 압압되면, 프로브(72)는, 침선부(74)와 침후부(78)가 벌어지도록 탄성변형된다. 이에 따라서, 프로브(72)는, 그 선단에서 전극부(16)에 스크래핑작용을 부여하고, 전극부(16)의 표면에 존재하는 산화막과 같은 막의 일부를 제거한다.

보조장치(70)는, 보조장치(10)와 동일한 작용 및 효과를 나타낼 뿐 아니라, 침후부(78)를 침프레서(90)에 의해 요소(84)의 내면에 압압하고 있기 때문에, 프로브(72)가 보다 안정화된다.

도 13을 참조하면, 시험용 보조장치(100)는, 도 1에서 도 6에 나타낸 보조장치(10)에서, 선단으로부터 후단까지 일체적으로 신장하는 프로브를 이용하는 대신에, 도 14에 나타낸 형상을 가지는 복수의 프로브(102)를 이용한다.

각 프로브(102)는, 탄력성을 가지는 도전성의 세선으로 형성된 침선부(30) 및 변형부(31)와, 변형부(31)의 후단에 결합된 침후부(104)로 이루어지고, 또 침끝으로부터 후단까지의 전범위에 걸쳐서 동일한 곡률로 호상으로 만곡되어 있다. 침후부(104)는, 합성수지와 같은 전기절연성의 수지재료에 의해 형성되어 있다.

각 프로브(102)의 침선부(30)의 선단부분은, 선단을 향하여 얇아지는 테이퍼상부이고, 그 선단부분으로부터 후방의 부분은 단면형상이 원형인 봉상부(棒狀部)이다. 각 프로브(102)의 변형부(31)의 후단부는, 침후부(104)와의 결합력을 높이기 위한 절결부(106)를 상측에 가진다.

각 프로브(102)의 변형부(31) 후단부의 내측부분은 침후부(104)에 의해 덮여 있지만, 외측부분은 침후부(104)에 의해 덮이지 않고 노출되어 있다. 이와 같은 프로브(102)는, 침후부(104)로서 합성수지와 같은 전기절연재료를 이용한 성형가공에 의해 제작할 수 있다.

복수의 프로브(102)를 이용하는 보조장치(100)는, 도 13에 나타낸 바와 같이, 각 프로브(102)의 변형부(31)가 침후부(104)로의 결합부의 외측부분에서 배선부(28)에 압압되는 것을 제외하고, 보조장치(10)와 동일하게 조립할 수 있고, 보조장치(10)와 동일하게 작용하며, 보조장치(10)와 동일한 효과를 발생시킨다.

보조장치(10) 또는 (100)에서, 독립된 복수의 프로브를 이용하는 대신에, 도 15에 나타낸 바와 같이, 복수의 프로브를 침후부에 결합한 1이상의 침조립체(110)를 이용해도 된다.

침조립체(110)에서 이용하는 각 프로브(112)는, 변형부(31)의 후단부에서 복수의 프로브(112)로 공통의 침후부(114)에 의해 결합되어 있는 것을 제외하고, 도 14에 나타낸 프로브(102)와 동일하게 형성되어 있다.

그러므로, 각 프로브(112)의 침선부(30) 및 변형부(31)는, 도 14에 나타낸 프로브(102)의 그것들과 동일하며, 각 프로브(112)의 변형부(31)는, 공통의 침후부(114)와의 결합력을 높이기 위한 절결부(106)를 상측에 가진다. 공통의 침후부(114)는, 비도전성 재료에 의해 얕은 홈통상으로 만곡된 가늘고 긴 형상을 가지고 있고, 복수의 프로브(112)의 침선부(30) 및 변형부(31)와 함께 동일한 곡률로 호상으로 만곡되어 있다.

공통의 침후부(114)는, 상기한 커버(26)의 개구(38)에 의해 형성되는 장방형의 각 변의 프로브군마다 공통으로 해도 되며, 2이상의 프로브마다 공통으로 해도 된다. 또, 인접하는 프로브(112)가 변형부(31)에서 공통의 침후부(114)에 연결되어 있으므로, 프로브조립체(110)를 이용하는 보조장치의 커버(26)는 홈(40) 및 격벽(44)을 구비하고 있지 않다. 그러나, 각 프로브(112)의 침선부(30) 및 변형부(31)만을 받아들이는 홈을 구비하고 있어도 된다.

각 변형부(31)의 후단부의 내측부분은 공통의 침후부(114)에 의해 덮여 있지만, 외측은 공통의 침후부(114)에 의해 덮이지 않고 노출되어 있다. 침조립체(110)도, 공통의 침후부(114)로서 합성수지와 같은 전기절연재료를 이용한 성형가공에 의해 제작할 수 있다.

침조립체(110)를 이용하는 시험용 보조장치는, 시험용 보조장치(10) 및 (70)과 동일하게 조립하고 또한 이용할 수 있으며, 시험용 보조장치(10)와 동일한 작용 및 효과를 나타내는 이외에, 복수의 프로브(112)의 침후부(114)가 공통으로 결합되어 있기 때문에, 침조립체(110)의 제작 및 보조장치로의 조립이 용이하게 된다는 이점이 생긴다.

도 16을 참조하면, 시험용 보조장치(120)는, 도 12에 나타낸 보조장치(70)에서, 선단으로부터 후단까지 일체적으로 프로브(72)를 이용하는 대신에, 도 17에 나타낸 형상을 가지는 복수의 프로브(122)를 이용한다.

각 프로브(122)는, 도 17에 나타낸 바와 같이, 침선부(74)와, 변형부(76)와, 침후부(124)에 의해 대략 U자상으로 형성되어 있다. 침선부(74) 및 변형부(76)는, 각각, 도 12에 나타낸 프로브(72)의 그들과 동일하다. 따라서, 침선부(74) 및 변형부(76)는, 침선부(74)가 변형부(76)의 선단으로부터 상방으로 직선적으로 신장하는 L자상으로 형성되어 있다.

각 프로브(122)의 변형부(76)는, 침후부(124)와의 결합력을 높이기 위한 절결부(126)를 상측에 가진다. 변형부(76)의 후단부의 상측(내측)부분은 침후부(124)에 의해 덮여 있지만, 하측(외측)은 침후부(124)에 의해 덮이지 않고 노출되어 있다.

침후부(124)는, 합성수지와 같은 비도전성 재료에 의해 형성되어 있고, 또 변형부(76)의 후단으로부터 상방으로 침선부(74)와 대략 평행하게 직선적으로 신장하고 있다.

프로브(122)도, 도 14에 나타낸 프로브(102)와 동일하게, 침후부(124)로서 합성수지와 같은 전기절연재료를 이용한 성형가공에 의해 제작할 수 있다. 또, 보조장치(120)도, 보조장치(10,70) 및 (100) 등과 동일하게 이용할 수 있는 동시에, 보조장치(10,70) 및 (100) 등과 동일한 작용 및 효과를 나타낸다.

보조장치(70) 또는 (120)에서, 독립된 복수의 프로브를 이용하는 대신에, 도 18에 나타낸 바와 같이, 복수의 프로브를 침후부에 결합한 1이상의 침조립체(130)를 이용해도 된다.

침조립체(130)에서 이용하는 각 프로브(132)는, 변형부(76)의 후단부에서 복수의 프로브(132)로 공통의 침후부(134)에 의해 결합되어 있는 것을 제외하고, 도 17에 나타낸 프로브(122)와 동일하게 형성되어 있다.

그러므로, 각 프로브(132)의 변형부(76)는 공통의 침후부(134)와의 결합력을 높이기 위한 절결부(126)를 상측에 가지고, 공통의 침후부(134)는 비도전성 재료에 의해 빗의 형상을 가진다.

침조립체(130)는, 복수의 프로브(132)의 침선부(74) 및 변형부(76) 그리고 공통의 침후부(134)에 의해 대략 U자상의 형상을 가진다. 침조립체(130)를 이용하는 시험용 보조장치의 커버는, 도 12에 나타낸 벽부(86) 또는 (88)를 가지고 있지 않아도 된다.

각 프로브(132)의 변형부(76)는, 침후부(124)와의 결합력을 높이기 위한 절결부(126)를 상측에 가진다. 변형부(76)의 후단부의 상측(내측)부분은 침후부(124)에 의해 덮여 있지만, 하측(외측)은 침후부(124)에 의해 덮이지 않고 노출되어 있다.

침조립체(130)를 이용하는 시험용 보조장치는, 시험용 보조장치(70) 및 (120)와 동일하게 조립하고 또한 이용할 수 있으며, 시험용 보조장치(70) 및 (120)와 동일한 작용 및 효과를 나타내는 이외에, 복수의 프로브(132)의 침후부(134)가 공통으로 결합되어 있기 때문에, 침조립체(130)의 제작 및 보조장치로의 조립이 용이하게 된다는 이점이 생긴다.

상기 실시예에서는, 커버를 단일의 부재에 의해 형성하고 있지만, 커버를, 복수의 부재에 의해 형성해도 된다. 예를 들면, 커버를, 개구(38)를 가지는 판상 부재와, 홈 및 요소를 가지는 부재에 의해 형성해도 되며, 개구(38)를 가지는 판상 부재와, 홈을 가지는 부재와, 요소를 가지는 부재에 의해 형성해도 되고, 또한, 개구(38) 및 요소를 가지는 판상 부재와, 홈을 가지는 부재에 의해 형성해도 된다.

도 19를 참조하면, 시험용 보조장치(140)는, 도 17에 나타낸 프로브(122)와 유사한 복수의 프로브(142)를 이용한다. 각 프로브(142)는, 침선부(144)로부터 변형부(146)의 후단까지 전체적으로 호상으로 만곡되어 있다. 각 프로브(142)의 침선부(144) 및 변형부(146)의 적어도 표면은, 도전성을 가진다.

침후부(148)는, 합성수지와 같은 비도전성 재료에 의해 L자상으로 형성되어있고, 또 변형부(146)에 고정되어 있다. 변형부(146)의 후단부의 상측(내측)부분은 침후부(148)에 의해 덮여 있지만, 하측(외측)은 침후부(148)에 의해 덮이지 않고 노출되어 있다.

침후부(148)는, 프로브(142)마다 독립되어 있다. 그러나, 인접하는 프로브에서 공통의 침후부(148)로 해도 된다. 변형부(146)와 침후부(148)와의 결합력을 높이기 위해, 도 17 또는 도 18에 나타낸 바와 같은 절결부(126)를 변형부(146)의 상측에 형성해도 된다.

시험용 보조장치(140)는, 복수의 프로브(142)가 병렬적으로 배치된 가늘고 긴 복수의 커버(150)와, 각 커버(150)내에 배치된 긴 침프레서(152)와, 스페이서(154)를 구비한다.

각 커버(150)는, 도 19에 그 하나를 나타낸 바와 같이, 기판(20)측으로 개구하는 제1의 요소(156)와, 제1의 요소(156)에 연통하는 슬롯(158)과, 제1의 요소(156)측으로 개구되는 제2의 요소(160)를 가진다. 제1의 요소(156), 슬롯(158) 및 제2의 요소(160)는, 프로브(142)의 배열방향으로 신장한다.

침프레서(152)는, 경질 고무와 같은 탄성재료에 의해 직사각형의 단면형상으로 형성되어 있고, 또 제1 및 제2의 요소(156) 및 (160)에 배치되어 있다. 스페이서(154)는, 제1의 요소(156)와 대략 동일한 크기를 가지는 개구(162)를 가지고 있고, 또 제1의 요소(156)와 개구(162)가 정합하는 상태로, 커버(150)와 기판(20)과의 사이에 배치된다.

제1의 요소(156)에는, 복수의 프로브(142)가 병렬적으로 배치된다. 프로브(142)는, 침선부(144)가 슬롯(158)을 통하여 상방으로 돌출하고, 침후부(148)가 제2의 요소(160)내로 신장하도록, 병렬적으로 배치되고, 제2의 요소(160)에 배치된 침프레서(152)에 의해 변형부(144)의 후단부가 기판(20)의 배선부(28)에 압압된다.

커버(150)는, 복수의 프로브(142) 및 침프레서(152)를 수용한 상태에서, 기판(20)에 스페이서(154)를 통하여 겹쳐지고, 나사부재와 같은 적당한 수단에 의해 스페이서(154)와 함께 기판에 조립된다. 이에 따라, 복수의 프로브(142)와, 커버(150)와, 침프레서(152)와, 스페이서(154)가 유닛화된다.

시험용 보조장치(140)는, 각각이, 상기와 같은 복수의 유닛을 이용한다. 각 유닛은, 프로브(142)의 침끝의 배열방향이 피검사체의 전극부의 배열방향과 일치하고 또한 대향하는 유닛끼리의 프로브의 침끝이 대향하도록 기판(20)에 조립된다. 이에 따라서, 피검사체의 전극부는 각 프로브(142)의 침끝에 의해 받아들여진다.

도시한 예에서는, 커버(150)는, 각 프로브(142)의 변형부(146)를 받아들이는 홈을 구비하고 있지 않다. 이로 인해, 각 프로브(142)는, 인접하는 프로브(142)에 접촉하는 스페이서(164)를 침선부(144)에 가진다. 스페이서(164)는, 합성수지와 같은 비도전성 재료에 의해 판상으로 형성되어 있고, 또 프로브(142)의 일방측에 고정되어 있다. 그러나, 각 프로브(142)의 침선부가 대응하는 스페이서를 관통한 상태로, 스페이서(164)와 프로브를 일체적으로 형성해도 된다.

프로브(142)에 의하면, 프로브(142)가 피검사체의 전극부에 스크래핑작용을 효과적으로 부여함에도 불구하고, 그리고 커버(150)가 프로브(142)의 변형부(146)를 받아들이는 홈을 구비하고 있지 않음에도 불구하고, 침끝이 피검사체의 전극부에 압압되었을 때, 인접하는 프로브(142)가 침끝측에서 접촉할 염려가 없다.

스페이서(164)는, 이미 설명한 프로브(22,50,52,54,60,72,102,112,122,132)에 설치해도 된다. 또, 각 프로브에 스페이서(164)를 설치하는 대신에, 인접하는 복수의 프로브를 침끝측의 부위에서 합성수지와 같은 비도전성 재료에 의해 연결해도 된다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 프로브는, 호상, コ자상, U자상, L자상, V자상, W자상 등, 단순한 형상으로 할 수 있다. 또, 상하측을 상기한 실시예와 역으로 한 상태에서 이용해도 된다.

본 발명에 의하면, 피검사체 시험용 보조장치에서, 피검사체의 전극부에 효과적인 스크래핑작용을 부여함에도 불구하고, 프로브의 형상을 단순화하고, 프로브의 안정성을 높이고, 고주파 시험에 적합하게 하고, 제작을 용이하게 할 수 있다.

Claims (18)

1. 복수의 배선부를 일방의 면에 가지는 기판과, 복수의 프로브와, 이 프로브를 상기 기판에 병렬적으로 조립하는 조립수단을 포함하며, 각 프로브는, 만곡된 변형부와, 이 변형부의 일단부에 이어지는 침선부(針先部)로서 피검사체의 전극부에 압압되는 선단을 가지는 침선부와, 상기 변형부의 타단부에 이어지는 침후부(針後部)를 구비하고, 상기 조립수단은, 상기 프로브의 상기 변형부의 적어도 일부를 상기 기판의 배선부에 접촉시키도록 상기 프로브를 압압하는 침프레서부로서 상기 프로브의 배열방향으로 신장하는 침프레서부를 구비하는 피검사체 시험용 보조장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 조립수단은, 상기 기판에 조립된 1이상의 커버로서 상기 프로브의 배열방향으로 신장하는 요소(凹所)를 가지는 커버와, 상기 요소에 받아들여진 1이상의 침프레서를 구비하고, 상기 요소는 상기 기판측으로 개방되어 있고, 상기 침프레서는, 상기 프로브의 배열방향으로 신장하고 있고, 또 상기 침프레서부를 가지는 보조장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 침프레서부는, 상기 프로브의 적어도 상기 변형부의 내측부분에 맞닿아 있는 보조장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 침프레서는, 원주상의 형상을 가지고, 또 적어도 외주부가 전기절연성으로 되어 있는 보조장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 침프레서는, 원주상의 압압봉과, 전기절연성의 재료에 의해 상기 압압봉의 주위에 형성된 탄성재료층을 가지는 보조장치.
6. 제2항에 있어서, 상기 요소는, 호상(弧狀) 또는 직사각형의 단면형상을 가지고, 또 적어도 상기 기판측으로 개방되어 있는 보조장치.
7. 제2항에 있어서, 상기 커버는, 또한, 피검사체를 받아들이는 개구를 가지고, 또 각각이 상기 침프레서를 받아들인 복수의 상기 요소를 가지는 보조장치.
8. 제2항에 있어서, 상기 침프레서는, 또한, 상기 프로브의 침후부를 상기 요소의 내면에 압압하고 있는 보조장치.
9. 제1항에 있어서, 상기 프로브는 전체적으로 호상으로 만곡되어 있는 보조장치.
10. 제1항에 있어서, 상기 프로브는 전체적으로 U자상으로 만곡되어 있는 보조장치.
11. 제7항에 있어서, 각 프로브는 그 침선부를 상기 개구에 돌출시키고 있는 보조장치.
12. 제1항에 있어서, 각 프로브의 침후부는 비도전성 재료로 형성되어 있는 보조장치.
13. 제1항에 있어서, 각 프로브는, 도전성 재료로 형성되어 있고, 또 상기 침후부의 외주에 비도전성 재료의 층을 가지는 보조장치.
14. 제1항에 있어서, 각 프로브는, 비도전성 재료로 형성되어 있고, 또 상기 침선부 및 상기 변형부의 외주에 도전성 재료의 층을 가지는 보조장치.
15. 제1항에 있어서, 2이상의 프로브의 침후부는 비도전성 재료로 일체적으로 형성되어 있는 보조장치.
16. 제2항에 있어서, 2이상의 프로브의 침후부는, 비도전성 재료로 일체적으로 형성되어 있고, 또 상기 요소에 받아들여져 있는 보조장치.
17. 제1항에 있어서, 상기 조립수단은, 상기 기판에 조립된 1이상의 커버와, 상기 침프레서부를 가지는 1이상의 침프레서를 구비하고, 상기 커버는, 상기 프로브의 배열방향으로 신장하고 또한 상기 기판측으로 개구되는 제1의 요소와, 이 제1의 요소에 연통하는 슬롯과, 상기 프로브의 배열방향으로 신장하고 또한 상기 제1의 요소측으로 개구되는 제2의 요소를 가지고, 상기 프로브는 침끝을 상기 슬롯으로부터 돌출시킨 상태로 상기 제1의 요소에 병렬적으로 배치되어 있고, 상기 침프레서는 적어도 상기 제2의 요소에 받아들여져 있는 보조장치.
18. 제1항에 있어서, 각 프로브는, 인접하는 프로브에 맞닿는 스페이서를 침끝측에 가지는 보조장치.