KR102347628B1 - 쏠라셀 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

쏠라셀 검사 장치는, 다수의 쏠라셀을 구비한 웨이퍼를 탑재하는 웨이퍼 탑재부; 및 상기 다수의 쏠라셀을 검사하기 위한 프로브부;를 포함하되, 상기 프로브부는, 다수의 프로브와 결합되어, 상기 다수의 프로브와 전기적으로 접속된 PCB 블록; 상기 PCB 블록의 하부에 위치하며, 상기 웨이퍼 탑재부의 상면에 위치하는 스토퍼; 및 하면의 외측의 볼록한 둘레 영역과 내측의 오목한 탑재 영역이 형성되어 있되, 상기 PCB 블록 및 상기 스토퍼가 상기 오목한 탑재 영역에 삽입되는 커버;를 포함한다.

Description

쏠라셀 검사 장치{TEST APPARATUS FOR SOLAR CELL}
본 발명은 쏠라셀 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 레벨에서 쏠라셀을 검사할 수 있는 장치에 관한 것이다.
쏠라셀(Solar Cell)의 전기적인 특성 검사를 실시하기 위해서는, 핀(Pin) 또는 니들(Needle) 형태의 탐침부를 이용하여 진행하게 된다.
국내공개특허 제10-2009-0045418호(프로브 카드를 테스트하는 방법 및 시스템)의 [도면7]에 개시된 것과 같은 핀 형태의 탐침부의 경우, 수직 방향으로 셀과 접촉을 하게 되어 어레이(Array) 상태로 여러 셀을 동시에 검사를 진행할 수 있으며, 검사 장치를 구현하기에도 비교적 용이한 이점이 있다. 하지만, 수직 방향의 접촉으로 핀 하중에 의해 박막형 셀을 손상시킬 위험이 있다.
아울러, 국내공개특허 제10-2010-0075124호(히팅 시스템을 구비한 반도체 웨이퍼 테스트 장치 및 웨이퍼 테스트 방법)의 [도면1]에 개시된 것과 같은 니들 형태의 탐침부의 경우, 셀의 미세한 패드(Pad)를 접촉할 수 있으며, 수직 방향의 접촉을 하는 핀 형태의 탐침부와는 달리 스크럽(Scrub) 방식으로 접촉을 하는 것에 의해 셀의 손상을 최소화할 수 있다.
그러나, 니들 형태의 탐침부의 경우, 각각의 니들이 별도의 중계 컨넥터에 연결된 형태인 까닭에 어레이 상태로 배열된 셀을 동시에 접촉하는 것은 한계가 있어, 양산용 검사 장치로는 부적합한 것으로 판단된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 기술적 과제를 해결하는 데 목적이 있는 발명으로서, 다수의 프로브에 의해 동시에 다수의 쏠라셀을 검사 가능하면서도, 셀의 손상을 최소화할 수 있는 쏠라셀 검사 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 쏠라셀 검사 장치는, 다수의 쏠라셀을 구비한 웨이퍼를 탑재하는 웨이퍼 탑재부; 및 상기 다수의 쏠라셀을 검사하기 위한 프로브부;를 포함하되, 상기 프로브부는, 다수의 프로브와 결합되어, 상기 다수의 프로브와 전기적으로 접속된 PCB 블록; 상기 PCB 블록의 하부에 위치하며, 상기 웨이퍼 탑재부의 상면에 위치하는 스토퍼; 및 하면의 외측의 볼록한 둘레 영역과 내측의 오목한 탑재 영역이 형성되어 있되, 상기 PCB 블록 및 상기 스토퍼가 상기 오목한 탑재 영역에 삽입되는 커버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 커버는, 상기 커버를 관통하는 제 1 커버 개구;를 구비하고, 상기 PCB 블록은, 상기 PCB 블록을 관통하는 제 1 PCB 블록 개구;를 구비하고, 상기 스토퍼는, 상기 스토퍼를 관통하는 제 1 스토퍼 개구;를 구비하되, 상기 제 1 커버 개구, 상기 제 1 PCB 블록 개구 및 상기 제 1 스토퍼 개구를 통해, 상기 다수의 프로브가 보이는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제 1 PCB 블록 개구의 너비는, 상기 제 1 스토퍼 개구의 너비 보다 작은 것을 특징으로 한다.
바람직하게는, 상기 커버의 하면에는 제 1 커버 홈이 다수 형성되어 있고, 상기 PCB 블록의 상면에는 제 1 PCB 블록 홈이 다수 형성되어 있고, 상기 제 1 커버 홈과 상기 제 1 PCB 블록 홈 사이에, 제 1 탄성체가 삽입되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프로브부는, 상기 검사 장치의 외부 장치와 전기적으로 연결되ㄴ 는 적어도 하나의 단자;를 더 포함하고, 상기 커버는, 상기 커버를 관통하는 적어도 하나의 제 1 커버 관통구;를 더 구비하고, 상기 PCB 블록은, 상기 PCB 블록을 관통하는 적어도 하나의 제 1 PCB 블록 관통구;를 더 구비하되, 상기 적어도 하나의 단자 각각은, 하나의 제 1 커버 관통구 및 하나의 제 1 PCB 블록 관통구에 삽입되어 탑재되는 것이 바람직하다. 아울러, 상기 적어도 하나의 단자 각각은, 상기 PCB 블록과 전기적으로 연결된다.
바람직하게는, 상기 PCB 블록의 하면에는, 상기 제 1 PCB 블록 개구의 길이 방향을 따라 양측으로 대향하며 배치된 다수의 프로브용 패드가 형성되어 있되, 상기 다수의 프로브용 패드 각각에, 프로브가 결합되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 웨이퍼 탑재부는, 상기 웨이퍼가 탑재되는 플레이트; 및 상기 플레이트의 하부에 위치하며, 상기 플레이트를 덮는 플레이트 커버;를 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역 하면에는, 제 1 웨이퍼 홈이 형성되어 있고, 상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역에는 다수의 진공홀이 형성되어 있고, 상기 플레이트의 측벽과 상기 제 1 웨이퍼 홈 사이를 관통하는 제 1 플레이트 관통구가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 아울러, 상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역 상면의 둘레에는, 상기 웨이퍼의 탑재 영역을 가이드하는 다수의 가이드 돌기가 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 스토퍼의 하면은, 상기 스토퍼의 두께가 제 1 두께인 곳과 제 2 두께인 곳이 교대로 형성되어, 단차가 교대로 나타나고, 상기 제 1 두께는, 상기 제 2 두께보다 두껍고, 상기 제 2 두께인 곳의 상기 스토퍼의 하부로부터, 상기 다수의 가이드 돌기 중 적어도 일부가 보이는 것을 특징으로 한다.
아울러, 본 발명의 검사 장치는, 상기 웨이퍼 탑재부와 상기 프로브부를 결합하는 결합부;를 더 포함하되, 상기 결합부는, 제 2 탄성체를 삽입할 수 있는 결합부 제 2 탄성체 삽입홈; 상기 웨이퍼 탑재부의 일부가 삽입 결합되도록 오목하게 형성된 오목 부분; 및 상기 오목 부분의 상측에 위치하며, 가이드핀이 삽입되며, 측벽을 관통하여 형성된 결합부 가이드핀 삽입구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버는, 상기 가이드핀이 삽입 결합되는 커버 가이드핀 삽입구; 및 상기 제 2 탄성체를 삽입할 수 있는 커버 제 2 탄성체 삽입홈;을 구비하여, 상기 가이드핀은, 상기 결합부 가이드핀 삽입구 및 상기 커버 가이드핀 삽입구에 삽입되고, 상기 제 2 탄성체는, 상기 결합부 제 2 탄성체 삽입홈과 상기 커버 제 2 탄성체 삽입홈 사이에 삽입되는 것이 바람직하다.
아울러, 상기 커버는, 상기 커버의 볼록한 둘레 영역에 형성된 적어도 하나의 커버 결합 돌기를 구비하고, 상기 플레이트는, 상기 커버 결합 돌기가 삽입되는 다수의 제 1 결합 돌기용 개구를 구비하는 것을 특징으로 한다. 바람직하게는 상기 커버 결합 돌기는, 제 1 커버 결합 돌기; 및 제 2 커버 결합 돌기;를 구비하고, 상기 플레이트의 제 1 결합 돌기용 개구는, 제 1 영역에는 상기 제 1 커버 결합 돌기가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구; 및 제 2 영역에는 상기 제 2 커버 결합 돌기가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-2 결합 돌기용 개구;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 쏠라셀 검사 장치는, 검사하는 쏠라셀의 변경을 위해, 상기 제 1 커버 결합 돌기가 삽입되는 상기 제 1-1 결합 돌기용 개구; 및 상기 제 2 커버 결합 돌기가 삽입되는 상기 제 1-2 결합 돌기용 개구;가 변경된다. 아울러, 상기 커버에는, 상기 제 1 커버 개구와 접하는 외측의 볼록한 둘레 영역의 내측 둘레에 제 2 커버 홈이 형성되어 있고, 상기 스토퍼에는, 상기 스토퍼의 둘레에 제 1 스토퍼 홈이 형성되어 있고, 상기 제 2 커버 홈과 상기 제 1 스토퍼 홈이 합쳐져서, 결합 홈을 형성하고, 상기 결합 홈에 나사 또는 리벳이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 쏠라셀 검사 장치에 따르면, 다수의 프로브에 의해 동시에 다수의 쏠라셀을 검사 가능하면서도, 셀의 손상을 최소화할 수 있다.
도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치의 사시도 및 평면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치의 분해 사시도.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치의 제 1 단면도 내지 제 3 단면도.
도 7a 및 도 7b는 각각 커버의 상면 사시도 및 저면 사시도.
도 8a 및 도 8b는 각각 PCB 블록의 상면 사시도및 저면 사시도.
도 9a 내지 도 9b는 각각 스토퍼의 상면 사시도 및 저면 사시도.
도 10a 내지 도 10b는 플레이트의 상면 사시도 및 저면 사시도.
도 11은 프로브부 및 결합부가 결합된 상태의 저면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 하기의 실시예는 본 발명을 구체화하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리 범위를 제한하거나 한정하는 것이 아님은 물론이다. 본 발명의 상세한 설명 및 실시예로부터 본 발명이 속하는 기술 분야의 전문가가 용이하게 유추할 수 있는 것은 본 발명의 권리 범위에 속하는 것으로 해석된다.
먼저, 도 1 및 도 2는 각각, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치(1000)의 사시도 및 평면도를 나타낸다. 또한, 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치(1000)의 분해 사시도를 나타낸다. 아울러, 도 4 내지 도 6은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치(1000)의 A와 A' 사이의 제 1 단면도, B와 B' 사이의 제 2 단면도 및 C와 C' 사이의 제 3 단면도를 각각 나타낸다.
또한, 도 7a 및 도 7b는 각각 커버(220)의 상면 사시도 및 저면 사시도를 나타내고, 도 8a 및 도 8b는 각각 PCB 블록(230)의 상면 사시도및 저면 사시도를 나타내고, 도 9a 내지 도 9b는 각각 스토퍼(240)의 상면 사시도 및 저면 사시도를 나타낸다. 아울러, 도 10a 내지 도 10b는 플레이트(110)의 상면 사시도 및 저면 사시도를 나타낸다. 도 11은 프로브부(200) 및 결합부(300)가 결합된 상태의 저면도를 나타낸다.
하기에 도 1 내지 도 11에 의해, 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치(1000)에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 쏠라셀 검사 장치(1000)는, 웨이퍼 탑재부(100), 프로브부(200) 및 결합부(300)를 포함하여 구성된다.
웨이퍼 탑재부(100)는, 다수의 쏠라셀(Solar Cell)을 구비한 웨이퍼(WF)를 탑재하는 역할을 한다. 아울러, 프로브부(200)는, 다수의 프로브(210)를 이용하여 다수의 쏠라셀을 접촉하는 것에 의해 다수의 쏠라셀을 검사하는 역할을 한다. 또한, 결합부(300)는, 웨이퍼 탑재부(100)와 프로브부(200)를 결합하는 역할을 한다.
하기에 웨이퍼 탑재부(100)에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
웨이퍼 탑재부(100)는, 웨이퍼(WF)가 탑재되는 플레이트(110); 및 플레이트(110)의 하부에 위치하며, 플레이트(110)를 덮는 플레이트 커버(120);를 포함하여 구성된다. 즉, 플레이트(110)는 초박막형 쏠라셀을 대량 검사하기 위해서 쏠라셀이 배열되어 있는 웨이퍼(WF)를 가이드(Guide)하고 고정하는 역할을 한다.
아울러, 플레이트(110)의 웨이퍼(WF)의 탑재 영역 하면에는, 제 1 웨이퍼 홈(111)이 형성되어 있다. 또한, 플레이트(110)의 웨이퍼(WF)의 탑재 영역에는 다수의 진공홀(112)이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 플레이트(110)의 측벽과 제 1 웨이퍼 홈(111) 사이를 관통하는 제 1 플레이트 관통구(113)가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 이 제 1 플레이트 관통구(113)를 통해 제 1 웨이퍼 홈(111)의 내부를 진공 상태로 유지하도록 하면, 다수의 진공홀(Vacuum Hole)(112)에 의해 웨이퍼(WF)가 고정되어 안정되게 탑재되게 된다. 즉, 플레이트(110)는 초박막형 쏠라셀의 고정 및 접점을 위해 상측에 미세 진공홀(112)을 형성하여 초박막 웨이퍼(WF)를 접촉(Contact)에 문제가 발생되지 않도록 고정시켜 주는 역할을 한다. 아울러, 웨이퍼(WF)의 바닥면 전극에 접촉되어 통전이 되어야 함으로, 플레이트(110)는 금 도금을 통해 전도성을 향상시켰다.
또한, 플레이트(110)의 웨이퍼(WF)의 탑재 영역 상면의 둘레에는, 웨이퍼(WF)의 탑재 영역을 가이드하는 다수의 가이드 돌기(114)가 형성되어 있어, 웨이퍼(WF)의 탑재 영역을 가이드할 수 있다.
하기에 프로브부(200)에 대해 구체적으로 설명하기로 한다.
프로브부(200)는, 쏠라셀과의 접촉하고 그 접촉을 안정되게 유지하기 위하여, 프로브(210), 커버(220), PCB 블록(230), 스토퍼(240) 및 단자(250)를 포함하여 구성된다.
다수의 프로브(210)는, 쏠라셀과 직접적인 접촉을 하여 탐침하는 부분으로, 초박형 쏠라셀을 탐침하기 위하여 멤즈(MEMS) 프로브를 이용하는 것이 바람직하다.
커버(220)는, 하면에 외측의 볼록한 둘레 영역과 내측의 오목한 탑재 영역이 형성되어 있되, PCB 블록(230) 및 스토퍼(240)가 오목한 탑재 영역에 삽입된다. 커버(220)는, 결합부(300)를 이용하여 플레이트(110)와 기구적 결합을 하고, 커버 결합 돌기(227)에 의해 결합의 가이드 기능을 담당하게 된다. 커버(220)는, 커버(220)를 관통하는 제 1 커버 개구(221); 및 커버(220)를 관통하는 제 2 커버 개구(222);를 포함한다.
즉, 커버(220)는 커버(220)의 볼록한 둘레 영역에 형성된 적어도 하나의 커버 결합 돌기(227)를 구비하고, 플레이트(110)는 커버(220)의 커버 결합 돌기(227)가 삽입되는 다수의 제 1 결합 돌기용 개구(115)를 구비하는 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 커버(220)의 커버 결합 돌기(227)는, 제 1 커버 결합 돌기(227a); 및 제 1 결합 돌기(227a)와 커버(220)의 중심점과 점대칭을 이루는 위치에 구비된 제 2 커버 결합 돌기(227b);를 구비하는 것을 특징으로 한다. 또한, 플레이트(110)의 제 1 결합 돌기용 개구(115)는, 제 1 영역에는 제 1 커버 결합 돌기(227a)가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구(115a); 및 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구(115a)와 플레이트(110)의 중심점과 점대칭을 이루는 위치인 제 2 영역에는 제 2 커버 결합 돌기(227b)가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-2 결합 돌기용 개구(115b);를 구비하는 것을 특징으로 한다.
즉, 제 1 커버 결합 돌기(227a) 및 제 2 커버 결합 돌기(227b)는 서로 제 1 커버 개구(221)를 영문 알파벳 'X'자 방향으로 가로지르는 위치에 위치한다. 아울러, 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구(115a)가 형성된 영역 및 다수의 제 2 커버 결합 돌기(227b)가 형성된 영역도 서로, 제 1 웨이퍼 홈(111)을 영문 알파벳 'X'자 방향으로 가로지르는 위치에 위치한다.
본 발명의 검사 장치(1000)는, 검사하는 쏠라셀의 변경을 위한 위치의 이동에 따라, 제 1 커버 결합 돌기(227a)가 삽입되는 제 1-1 결합 돌기용 개구(115a); 및 제 2 커버 결합 돌기(227b)가 삽입되는 제 1-2 결합 돌기용 개구(115b);가 변경되게 된다. 즉, 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구(115a) 및 다수의 제 1-2 결합 돌기용 개구(115b)를 순서대로 변경하면서 제 1 커버 결합 돌기(227a) 및 제 2 커버 결합 돌기(227b)가 삽입되게 된다. 이에 따라, 검사하는 쏠라셀의 라인(Line)도 변경되게 된다.
PCB 블록(230)은, 다수의 프로브(210)와 결합되어, 다수의 프로브(210)와 전기적으로 접속되고 연결된다. 즉, PCB 블록(230)은, 다수의 프로브(210)를 정렬하여 고정시키고, 다수의 단자(250)를 통해 계측기와의 전기적으로 연결되는 부분이다. PCB 블록(230)은, PCB 블록(230)을 관통하는 제 1 PCB 블록 개구(231); 및 제 2 커버 개구(222)를 통해 돌출되는 스위치부(SW);를 구비한다.
스위치부(SW)에는 다수의 스위치가 탑재되어, 다수의 스위치 중 하나를 선택하는 것에 의해, 다수의 프로브(210) 중 전기 신호가 인가되어 검사를 실시하는 프로브(210)를 선택할 수 있도록 한다.
PCB 블록(230)의 하면에는, 제 1 PCB 블록 개구(231)의 길이 방향을 따라 양측으로 대향하며 배치된 다수의 프로브용 패드(234)가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 아울러, 다수의 프로브용 패드(234) 각각에, 하나의 프로브(210)가 솔더링(Soldering) 등에 의해 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 프로브(210)는 수직 접촉을 하는 방식이지만, 실제 프로브(210)가 거동되는 형상은 수평 방향으로 스크럽(Scrub)을 일으키면서 접촉을 하는 구조로 설계되어 있다. 즉, 본 발명에서는 수직 방향의 힘을 수평 방향으로 분산시킴으로써 초박막형 쏠라셀에 손상(Damage)을 최소한으로 할 수 있어, 초박막 웨이퍼(WF)에도 사용이 가능하며 접촉 저항 또한 문제가 없는 수준을 유지할 수 있다.
커버(220)의 하면에는 제 1 커버 홈(223)이 다수 형성되어 있고, PCB 블록(230)의 상면에는 제 1 PCB 블록 홈(232)이 다수 형성되어 있는 것이 바람직하다. 아울러, 제 1 커버 홈(223)과 제 1 PCB 블록 홈(232) 사이에, 제 1 탄성체(S1)가 삽입되는 것을 특징으로 한다. 즉, 제 1 탄성체(S1)는 커버(220)의 하면의 오목한 탑재 영역에 다수 삽입된다. 아울러, 제 1 탄성체(S1)의 예로는 스프링을 예로 들 수 있다.
본 발명의 검사 장치(1000)에서는, 설정된 스트로크(Stroke) 만큼 쏠라셀에 프로브(210)를 접촉시키고 그 접촉을 유지하는 것이 큰 목적 중 하나인 만큼, 프로브(210)에 적정 하중이 가해지도록 PCB 블록(230)의 상면에 제 1 탄성체(S1)를 삽입하여 기구적인 공차에 의한 스트로크 편차를 해소하는 것이 기능하도록 하였다. 즉, 제 1 탄성체(S1)에 의해 쏠라셀의 두께 편차 및 기구 제작 공차에도 스트로크를 동일하게 유지할 수 있고, 래치(Latch)를 구성하여 간단히 접촉을 유지할 수 있도록 하였다.
스토퍼(Stopper)(240)는, PCB 블록(230)의 하부에 위치하며, 웨이퍼 탑재부(100)의 상면과 접촉한다. 아울러, 스토퍼(240)는, 프로브(210)의 접촉 높이를 결정하고 프로브(210)의 과도한 접촉을 방지하는 역할을 한다.
스토퍼(240)는, 스토퍼(240)를 관통하는 제 1 스토퍼 개구(241);를 구비하는 판 형상인것이 바람직하다. 아울러, 제 1 커버 개구(221), 제 1 PCB 블록 개구(231) 및 제 1 스토퍼 개구(241)를 통해, 다수의 프로브(210)가 보이는 것을 특징으로 한다.
즉, 다수의 프로브(210)는, 다수의 프로브용 패드(234)에 결합하여, 몸체가 제 1 스토퍼 개구(241)에 위치하는 것을 특징으로 한다. 아울러, 다수의 프로브(210)의 말단은, 제 1 스토퍼 개구(241)를 벗어나서 돌출되어, 쏠라셀에 접촉하게 된다. 또한, 제 1 커버 개구(221) 및 제 1 PCB 블록 개구(231)의 너비는, 제 1 스토퍼 개구(241)의 너비 보다 작은 것이 바람직하다. 왜냐하면, 제 1 PCB 블록 하면의 다수의 프로브용 패드(234)가 제 1 스토퍼 개구(241)로 노출될 필요가 있기 때문이다.
커버(220)에는, 제 1 커버 개구(221)와 접하는 외측의 볼록한 둘레 영역의 내측 둘레에 제 2 커버 홈(228)이 형성되어 있다. 아울러, 스토퍼(240)에는, 스토퍼(240)의 둘레에 제 1 스토퍼 홈(243)이 형성되어 있다. 제 2 커버 홈(228)과 제 1 스토퍼 홈(243)이 합쳐져서, 결합 홈을 형성하고, 이 결합 홈에 나사 또는 리벳(R)이 삽입되는 것을 특징으로 한다. 아울러, 리벳(R)이 결합 홈에 삽입될 경우, 와셔에 의해 결합을 고정할 필요가 있을 것이다.
스토퍼(240)의 하면은, 스토퍼(240)의 두께가 제 1 두께인 곳과 제 2 두께인 곳이 교대로 형성되어, 단차가 교대로 나타나는 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 제 1 두께는 제 2 두께보다 두껍고, 제 2 두께인 곳의 스토퍼(240)의 하부로부터, 다수의 가이드 돌기(114) 중 적어도 일부가 보이게 된다. 마찬가지로, 커버(220)의 하면의 외측의 볼록한 부분도 제 3 두께인 곳과 제 4 두께인 곳이 교대로 형성되어, 단차가 교대로 나타나는 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 제 3 두께는 제 4 두께보다 두껍고, 제 4 두께인 곳의 커버(220)의 하부로부터, 다수의 가이드 돌기(114) 중 적어도 일부가 보이게 된다.
따라서, 검사하는 쏠라셀의 라인(Line)이 변경됨에 따라, 제 2 두께인 곳의 스토퍼(240)의 하부 및 제 4 두께인 곳의 커버(220)의 하부로부터 보이는 다수의 가이드 돌기(114)도 변경되게 된다. 즉, 스토퍼(240)의 단차 및 커버(220)의 단차 에 의해, 다수의 가이드 돌기(114)와의 간섭이 회피되게 된다.
스토퍼(240)도 커버(220)와 유사한 방식으로 플레이트(110)에 고정된다. 구체적으로 스토퍼(240)는 적어도 하나의 스토퍼 결합 돌기(244)를 구비하고, 플레이트(110)는 스토퍼(240)의 스토퍼 결합 돌기(244)가 삽입되는 다수의 제 2 결합 돌기용 홈(116)을 구비하는 것을 특징으로 한다. 아울러, 스토퍼(240))의 스토퍼 결합 돌기(244)는, 제 1 스토퍼 결합 돌기(244a); 및 제 1 스토퍼 결합 돌기(244a)와 스토퍼(240)의 중심점과 점대칭을 이루는 위치에 구비된 제 2 스토퍼 결합 돌기(244b);를 구비하는 것을 특징으로 한다. 또한, 플레이트(110)의 제 2 결합 돌기용 홈(116)은, 제 3 영역에는 제 1 스토퍼 결합 돌기(244a)가 삽입될 수 있는 다수의 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a); 및 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a)과 플레이트(110)의 중심점과 점대칭을 이루는 위치인 제 4 영역에는 제 2 스토퍼 결합 돌기(244b)가 삽입될 수 있는 다수의 제 2-2 결합 돌기용 홈(116b);을 구비하는 것을 특징으로 한다. 즉, 제 1 스토퍼 결합 돌기(244a) 및 제 2 스토퍼 결합 돌기(244b)는 서로 제 1 스토퍼 개구(241)를 영문 알파벳 'X'자 방향으로 가로지르는 위치에 위치한다. 아울러, 다수의 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a)이 형성된 영역 및 다수의 제 2-2 결합 돌기용 홈(116b)이 형성된 영역도 서로, 제 1 웨이퍼 홈(111)을 영문 알파벳 'X'자 방향으로 가로지르는 위치에 위치한다.
본 발명의 검사 장치(1000)는, 검사하는 쏠라셀의 변경을 위한 위치의 이동에 따라, 제 1 스토퍼 결합 돌기(244a)가 삽입되는 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a); 및 제 2 스토퍼 결합 돌기(244b)가 삽입되는 제 2-2 결합 돌기용 홈(116b);이 변경되게 된다. 즉, 다수의 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a) 및 다수의 제 2-2 결합 돌기용 홈(116b)을 순서대로 변경하면서 제 2-1 결합 돌기용 홈(116a) 및 제 2-2 결합 돌기용 홈(116b)가 삽입되게 된다. 이에 따라, 검사하는 쏠라셀의 라인(Line)도 변경되게 된다.
참고로, 커버(220)의 커버 결합 돌기(227) 보다 스토퍼(240))의 스토퍼 결합 돌기(244)가 내측에 위치하며, 제 1 결합 돌기용 개구(115) 보다 제 2 결합 돌기용 홈(116)이 내측에 위치한다. 아울러, 커버(220)의 커버 결합 돌기(227)와 스토퍼(240)의 스토퍼 결합 돌기(244) 중 하나는 좌측에 위치하고, 다른 하나는 우측에 위치한다. 즉, 플레이트(110)의 입장에서 보면, 웨이퍼(WF)의 중심을 기준으로 좌측 중 우측 중 하나의 상측은 스토퍼 결합 돌기(244)와 결합하게 되고, 웨이퍼(WF)의 중심을 기준으로 좌측 중 우측 중 다른 하나의 상측은 커버 결합 돌기(227)와 결합하게 된다. 마찬가지로, 플레이트(110)의 입장에서 보면, 웨이퍼(WF)의 중심을 기준으로 좌측 중 우측 중 하나의 하측은 커버 결합 돌기(227)와 결합하게 되고, 웨이퍼(WF)의 중심을 기준으로 좌측 중 우측 중 다른 하나의 하측은 스토퍼 결합 돌기(244)와 결합하게 된다.
적어도 하나의 단자(250)는 쏠라셀 검사 장치(1000)의 외부 장치인 계측기와와 전기적으로 연결되고, 기둥 형상인 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 적어도 하나의 단자(250)는, 속이 빈 다단의 원기둥 형상으로 도전성인 것이 바람직하다. 적어도 하나 단자(250) 각각은, PCB 블록(230)과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 한다. 즉, 적어도 하나의 단자(250)를 통해 외부 계측기와 PCB 블록(230)이 전기적으로 연결되게 된다.
구체적으로, 커버(220)는 커버(220)를 관통하는 적어도 하나의 제 1 커버 관통구(224);를 더 구비하고, PCB 블록(230)은 PCB 블록(230)을 관통하는 적어도 하나의 제 1 PCB 블록 관통구(233);를 더 구비하고, 스토퍼(240)는 제 1 스토퍼 관통구(242);를 더 구비하는 것이 바람직하다. 이때, 적어도 하나의 단자(250) 각각은, 하나의 제 1 커버 관통구(224), 하나의 제 1 PCB 블록 관통구(233) 및 하나의 제 1 스토퍼 관통구(242)에 삽입되어 탑재되는 것이 바람직하다.
결합부(300)는, 제 2 탄성체(S2)를 삽입할 수 있는 결합부 제 2 탄성체 삽입홈(310); 웨이퍼 탑재부(100)의 일부가 삽입 결합되도록 오목하게 형성된 오목 부분(320); 및 오목 부분(320)의 상측에 위치하며, 가이드핀(GP)이 삽입되며, 측벽을 관통하여 형성된 결합부 가이드핀 삽입구(330);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 커버(220)는, 가이드핀(GP)이 삽입 결합되는 커버 가이드핀 삽입구(225); 및 제 2 탄성체(S2)를 삽입할 수 있는 커버 제 2 탄성체 삽입홈(226);을 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 하나의 커버 가이드핀 삽입구(225)와 다른 하나의 커버 가이드핀 삽입구(225) 사이에 결합부 가이드핀 삽입구(330)가 위치하게 된다. 즉, 가이드핀(GP)은, 결합부 가이드핀 삽입구(330) 및 커버 가이드핀 삽입구(225)에 삽입되게 된다. 또한, 제 2 탄성체(S2)는, 스프링을 예로 들 수 있으며, 결합부 제 2 탄성체 삽입홈(310)과 커버 제 2 탄성체 삽입홈(226) 사이에 삽입되는 것을 특징으로 한다.
결합부(300)의 상부의 볼록한 부분을 손으로 잡고 누르게 되면, 제 2 탄성체(S2)의 탄력에 의해 오목 부분(320)에 결합한 웨이퍼 탑재부(100)의 결합이 해제되면서, 웨이퍼 탑재부(100)와 프로브부(200)가 서로 분리되게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 쏠라셀 검사 장치(1000)에 따르면, 다수의 프로브에 의해 동시에 다수의 쏠라셀을 검사 가능하면서도, 셀의 손상을 최소화할 수 있음을 알 수 있다.
1000 : 쏠라셀 검사 장치
100 : 웨이퍼 탑재부 200 : 프로브부
300 : 결합부
110 : 플레이트 120 : 플레이트 커버
210 : 프로브 220 : 커버
230 : PCB 블록 240 : 스토퍼
250 : 단자 310 : 결합부 제 2 탄성체 삽입홈
320 : 결합부 오목 부분 330 : 결합부 가이드핀 삽입구
111 : 제 1 웨이퍼 홈 112 : 진공홀
113 : 제 1 플레이트 관통구 114 : 가이드 돌기
115 : 제 1 결합 돌기용 개구 115a : 제 1-1 결합 돌기용 개구
115b : 제 1-2 결합 돌기용 개구 116 : 제 2 결합 돌기용 홈
116a : 제 2-1 결합 돌기용 홈 116b : 제 2-2 결합 돌기용 홈
221 : 제 1 커버 개구 222 : 제 2 커버 개구
223 : 제 1 커버 홈 224 : 제 1 커버 관통구
225 : 커버 가이드핀 삽입구 226 : 커버 제 2 탄성체 삽입홈
227 : 커버 결합 돌기 227a : 제 1 커버 결합 돌기
227b : 제 2 커버 결합 돌기 228 : 제 2 커버 홈
231 : 제 1 PCB 블록 개구 232 : 제 1 PCB 블록 홈
233 : 제 1 PCB 블록 관통구 234 : 프로브용 패드
241 : 제 1 스토퍼 개구 242 : 제 1 스토퍼 관통구
243 : 제 1 스토퍼 홈 244 : 스토퍼 결합 돌기
244a : 제 1 스토퍼 결합 돌기 244b : 제 2 스토퍼 결합 돌기
S1 : 제 1 탄성체 S2 : 제 2 탄성체
SW : 스위치부 GP : 가이드핀
R : 리벳 WF : 웨이퍼

Claims (17)

  1. 쏠라셀 검사 장치에 있어서,
    다수의 쏠라셀을 구비한 웨이퍼를 탑재하는 웨이퍼 탑재부; 및
    상기 다수의 쏠라셀을 검사하기 위한 프로브부;를 포함하되,
    상기 프로브부는,
    다수의 프로브와 결합되어, 상기 다수의 프로브와 전기적으로 접속된 PCB 블록;
    상기 PCB 블록의 하부에 위치하며, 상기 웨이퍼 탑재부의 상면에 위치하는 스토퍼; 및
    하면의 외측의 볼록한 둘레 영역과 내측의 오목한 탑재 영역이 형성되어 있되, 상기 PCB 블록 및 상기 스토퍼가 상기 오목한 탑재 영역에 삽입되는 커버;를 포함하되,
    상기 커버는, 상기 커버를 관통하는 제 1 커버 개구;를 구비하고,
    상기 PCB 블록은, 상기 PCB 블록을 관통하는 제 1 PCB 블록 개구;를 구비하고,
    상기 스토퍼는, 상기 스토퍼를 관통하는 제 1 스토퍼 개구;를 구비하되,
    상기 제 1 커버 개구, 상기 제 1 PCB 블록 개구 및 상기 제 1 스토퍼 개구를 통해, 상기 다수의 프로브가 보이는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 PCB 블록 개구의 너비는,
    상기 제 1 스토퍼 개구의 너비 보다 작은 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 커버의 하면에는 제 1 커버 홈이 다수 형성되어 있고,
    상기 PCB 블록의 상면에는 제 1 PCB 블록 홈이 다수 형성되어 있고,
    상기 제 1 커버 홈과 상기 제 1 PCB 블록 홈 사이에, 제 1 탄성체가 삽입되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 프로브부는,
    상기 검사 장치의 외부 장치와 전기적으로 연결되는 적어도 하나의 단자;를 더 포함하고,
    상기 커버는, 상기 커버를 관통하는 적어도 하나의 제 1 커버 관통구;를 더 구비하고,
    상기 PCB 블록은, 상기 PCB 블록을 관통하는 적어도 하나의 제 1 PCB 블록 관통구;를 더 구비하되,
    상기 적어도 하나의 단자 각각은,
    하나의 제 1 커버 관통구 및 하나의 제 1 PCB 블록 관통구에 삽입되어 탑재되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 단자 각각은,
    상기 PCB 블록과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 PCB 블록의 하면에는,
    상기 제 1 PCB 블록 개구의 길이 방향을 따라 양측으로 대향하며 배치된 다수의 프로브용 패드가 형성되어 있되,
    상기 다수의 프로브용 패드 각각에, 프로브가 결합되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 탑재부는,
    상기 웨이퍼가 탑재되는 플레이트; 및
    상기 플레이트의 하부에 위치하며, 상기 플레이트를 덮는 플레이트 커버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역 하면에는, 제 1 웨이퍼 홈이 형성되어 있고,
    상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역에는 다수의 진공홀이 형성되어 있고,
    상기 플레이트의 측벽과 상기 제 1 웨이퍼 홈 사이를 관통하는 제 1 플레이트 관통구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 플레이트의 웨이퍼의 탑재 영역 상면의 둘레에는,
    상기 웨이퍼의 탑재 영역을 가이드하는 다수의 가이드 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스토퍼의 하면은,
    상기 스토퍼의 두께가 제 1 두께인 곳과 제 2 두께인 곳이 교대로 형성되어, 단차가 교대로 나타나고,
    상기 제 1 두께는, 상기 제 2 두께보다 두껍고,
    상기 제 2 두께인 곳의 상기 스토퍼의 하부로부터, 상기 다수의 가이드 돌기 중 적어도 일부가 보이는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 검사 장치는,
    상기 웨이퍼 탑재부와 상기 프로브부를 결합하는 결합부;를 더 포함하되,
    상기 결합부는,
    제 2 탄성체를 삽입할 수 있는 결합부 제 2 탄성체 삽입홈;
    상기 웨이퍼 탑재부의 일부가 삽입 결합되도록 오목하게 형성된 오목 부분; 및
    상기 오목 부분의 상측에 위치하며, 가이드핀이 삽입되며, 측벽을 관통하여 형성된 결합부 가이드핀 삽입구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 커버는,
    상기 가이드핀이 삽입 결합되는 커버 가이드핀 삽입구; 및
    상기 제 2 탄성체를 삽입할 수 있는 커버 제 2 탄성체 삽입홈;을 구비하여,
    상기 가이드핀은,
    상기 결합부 가이드핀 삽입구 및 상기 커버 가이드핀 삽입구에 삽입되고,
    상기 제 2 탄성체는,
    상기 결합부 제 2 탄성체 삽입홈과 상기 커버 제 2 탄성체 삽입홈 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 커버는,
    상기 커버의 볼록한 둘레 영역에 형성된 적어도 하나의 커버 결합 돌기를 구비하고,
    상기 플레이트는,
    상기 커버 결합 돌기가 삽입되는 다수의 제 1 결합 돌기용 개구를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 커버 결합 돌기는,
    제 1 커버 결합 돌기; 및
    제 2 커버 결합 돌기;를 구비하고,
    상기 플레이트의 제 1 결합 돌기용 개구는,
    제 1 영역에는 상기 제 1 커버 결합 돌기가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-1 결합 돌기용 개구; 및
    제 2 영역에는 상기 제 2 커버 결합 돌기가 삽입될 수 있는 다수의 제 1-2 결합 돌기용 개구;를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 검사 장치는,
    검사하는 쏠라셀의 변경을 위해, 상기 제 1 커버 결합 돌기가 삽입되는 상기 제 1-1 결합 돌기용 개구; 및 상기 제 2 커버 결합 돌기가 삽입되는 상기 제 1-2 결합 돌기용 개구;가 변경되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 커버에는, 상기 제 1 커버 개구와 접하는 외측의 볼록한 둘레 영역의 내측 둘레에 제 2 커버 홈이 형성되어 있고,
    상기 스토퍼에는, 상기 스토퍼의 둘레에 제 1 스토퍼 홈이 형성되어 있고,
    상기 제 2 커버 홈과 상기 제 1 스토퍼 홈이 합쳐져서, 결합 홈을 형성하고,
    상기 결합 홈에 나사 또는 리벳이 삽입되는 것을 특징으로 하는 검사 장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006510028A (ja) * 2002-12-16 2006-03-23 フォームファクター，インコーポレイテッド プローブカードアセンブリにおいてオーバートラベルを制限する装置及び方法
JP2011099746A (ja) * 2009-11-05 2011-05-19 Kyoshin Denki Kk 太陽電池セル測定用試料台

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201244117A (en) * 2011-03-23 2012-11-01 Pasan Sa Systems and methods for making at least a detachable electrical contact with at least a photovoltaic device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006510028A (ja) * 2002-12-16 2006-03-23 フォームファクター，インコーポレイテッド プローブカードアセンブリにおいてオーバートラベルを制限する装置及び方法
JP2011099746A (ja) * 2009-11-05 2011-05-19 Kyoshin Denki Kk 太陽電池セル測定用試料台

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