JP3066068U - 電気測定装置 - Google Patents

電気測定装置

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JP3066068U
JP3066068U JP1999005560U JP556099U JP3066068U JP 3066068 U JP3066068 U JP 3066068U JP 1999005560 U JP1999005560 U JP 1999005560U JP 556099 U JP556099 U JP 556099U JP 3066068 U JP3066068 U JP 3066068U
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定片の変形による動作不良や測定片間の短
絡を防止し、測定部の交換頻度を低減するとともに測定
の信頼性を向上させることのできる電気測定装置を提供
する。 【解決手段】 測定片22及び測定片23は、上記固定
部22a及び固定部23aから延在する弾性変形部22
b及び23bを備え、これらの弾性変形部22b及び2
3bの先端に接触部22c及び23cを備えている。弾
性変形部22b及び弾性変形部23bは案内部材21に
形成された案内溝21a及び案内溝21bを挿通し、こ
れらの案内溝21a及び案内溝21bによって図1の上
下方向に変形可能に案内されている。接触部22c及び
接触部23cはいずれも案内部材21の先端部から外部
へと突出している。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【考案の属する技術分野】
本考案は電気測定装置に係り、特に、各種の電気測定を行うための複数の測定 片を並列配置した測定部の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、トランジスタ、IC、その他のディスクリートデバイスなどの、本体 から突出した複数の平行リードを備えた電子部品の電気的特性を測定する場合、 電気測定装置の所定の測定位置に電子部品を配置し、電子部品の本体から突出し た複数のリード端子を測定部に設けられた複数の測定片の接触部に接触させ、こ の測定部を通じて電気測定回路から電流や電圧を印加して電子部品の抵抗値など を測定するようにしている。
【0003】 上記測定部の構造としては、電子部品のリード端子に当接するように構成され た帯状金属片からなる測定片を有するリーフスプリング型と、電子部品のリード 端子を受け入れるように構成されたソケット構造を有するソケット型とがある。 また、リード端子に対する電力印加と検出とを一つの測定片で行うシングルコン タクト方式と、電力印加と検出とを別々の測定片にて行うケルビンコンタクト方 式の2方式がある。ケルビンコンタクト方式は電気測定を高精度に実施する場合 に用いられる。
【0004】 図6は従来のリーフスプリング型の測定片を備えたシングルコンタクト方式の 測定部の構造を示すものである。ガラス繊維を混入したエポキシ樹脂などからな る絶縁部材10には一対の固定孔10aが形成され、この絶縁部材10は、固定 孔10aによって装置本体の図示しないフレームなどにネジ止めなどの方法によ り取付固定される。絶縁部材10は多数の測定片11を並列した状態に固定して いる。測定片11は、絶縁部材10に固定された固定部11aと、この固定部1 1aから前方に延在した弾性変形部11bと、その先端においてほぼ直角に屈曲 して設けられた接触部11cとを備えている。また、固定部11aから見て接触 部11cの反対側の絶縁部材10から突出した部分は、装置の電気測定回路に接 続される接続端子部11dとして構成されている。
【0005】 測定片11の上方には軸状若しくは管状の駆動部材12が昇降可能に構成され ており、測定片11の接触部11cの下に電子部品のリード端子が配置されると 、駆動部材12が降下して測定片11の弾性変形部11bを下方に押圧し、弾性 変形部11bが弾性変形することによって接触部11cがその下に配置されたリ ード端子に接触するように構成される。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の電気測定装置においては、測定部において並列した 測定片11の弾性変形部11bが駆動部材12から受ける応力などに起因して徐 々に塑性変形すると、変形によって測定片11の接離動作が不良となり確実な接 触が得られなくなったり、隣接した測定片11同志が接触して短絡事故を起した りする場合がある。したがって、測定片11の機械的特性に応じた所定の頻度で 測定部全体を交換しなければならないという問題点がある。
【0007】 特に、近年の電子部品ではリード端子の狭ピッチ化が進んでおり、このような 狭ピッチのリード端子に対応させるために測定部においても測定片11の狭ピッ チ化を図らなければならない。この狭ピッチ化によって測定片11の間の間隙が 小さくなると隣接測定片間の短絡が発生しやすくなるとともに、測定片11の断 面積も小さくなると弾性限界を超えやすく塑性変形が発生し易くなる。
【0008】 そこで本考案は上記問題点を解決するものであり、その課題は、測定片の変形 による動作不良や測定片間の短絡を防止し、測定部の交換頻度を低減するととも に測定の信頼性を向上させることのできる電気測定装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】 上記課題を解決するために本考案の電気測定装置は、固定部、該固定部から延 在する弾性変形部及び該弾性変形部の先に形成された接触部を備えた弾性体から なる帯状の測定片を配置し、前記弾性変形部を駆動部材によって弾性変形させ、 前記接触部を被測定体の測定部位に接触させて電気測定を行う電気測定装置にお いて、前記測定片の前記弾性変形部を前記接触部が前記測定部位に対して接離す る方向に案内する案内溝を設けたことを特徴とする。
【0010】 この考案によれば、測定片の弾性変形部を接触部が測定部位に対して接離する 方向にそれぞれ案内する案内溝を設けたので、弾性変形部が案内溝の案内方向以 外への変形を防止することができるから、測定片の塑性変形を防止することがで きるとともに確実な接離動作を行うことができる。
【0011】 本考案において、前記測定片における前記案内溝による案内方向の幅は、該案 内方向及び前記弾性変形部の延長方向と直交する方向の幅よりも大きいことが好 ましい。この考案によれば、測定片の案内方向の幅が、案内方向及び弾性変形部 の延長方向と直交する方向の幅よりも大きいことにより、測定片の剛性を高める ことができるため、測定部の信頼性を向上させることができる。特に、複数の測 定片が並列している場合には、測定片を、その並列方向を厚さ方向とする板状体 として構成することが好ましい。この場合には、測定片の並列ピッチを小さくす ることができるので、測定対象の狭ピッチ化に容易に対応することができる。
【0012】 本考案において、複数の前記測定片及びその弾性変形部を案内する前記案内溝 が並列配置されていることが好ましい。この考案によれば、各々案内溝によって 案内された複数の測定片が並列している場合には、各案内溝によって隣接する測 定片間の短絡を確実に防止することができる。この場合、複数の測定片に対応す る複数の案内溝は一体の案内部材によって構成されることが望ましい。また、こ の案内部材は複数の測定片の固定部を一体に固定する固定部材としても構成され ていることが好ましい。
【0013】 本考案において、前記測定片に対して他の前記測定片が対向配置され、これら の相互に対向配置された一対の前記測定片の前記接触部によって前記測定部位を 両側から挟持可能に構成されていることが好ましい。この考案によれば、相互に 対向配置された一対の測定片によって測定部位が両側から挟持可能に構成されて いることにより、相互に相手方に干渉を受けることなく確実に測定部位への接触 をとることができるので、良好なケルビンコンタクト方式の測定部を構成できる 。ここで、一方の前記測定片と、これに対向する他方の前記測定片とは、相互に 前記案内方向に対向配置されていることが好ましい。相互に対向する一対の測定 片が案内方向に対向配置されていることにより、リード端子などの被測定体を容 易且つ確実に挟み込むようにして測定することができる。
【0014】 本考案において、相互に対向配置された一対の前記測定片の一方は、前記測定 部位の表面形状に合致した形状を備えていることが好ましい。リード端子などの 被測定体には回路基板などに実装する実装面を有する場合があり、一方の測定片 が被測定体の表面形状に合致した形状を備えていることによって上記実装面を傷 つけることなく測定を行うことができるため、実装不良の発生を防止できる。
【0015】 本考案において、相互に対向配置された一対の前記測定片のうち、一方の前記 測定片の前記弾性変形部は、他方の前記測定片の前記弾性変形部よりも高い剛性 を備えていることが好ましい。一方の測定片の弾性変形部が他方の測定片の弾性 変形部よりも高い剛性を備えていることによって一方の測定片の弾性変形部にお ける変形方向への塑性変形を抑制することができるので、一方の測定片の接触部 を基準として被測定体を位置決めすることができ、他方の剛性の低い測定片を撓 ませることによって充分且つ確実に電気的接触を得ることができる。ここで、一 方の測定片の剛性を他方の測定片の剛性よりも高くする具体的方法として、例え ば、一方の測定片における前記接触部の接離方向の厚さを他方の測定片よりも厚 く形成する場合がある。
【0016】 次に、別の本考案の電気測定装置は、固定部、該固定部から延在する弾性変形 部及び該弾性変形部の先に形成された接触部を備えた弾性体からなる複数の帯状 の測定片を並列配置し、該測定片を駆動部材によって弾性変形させ、前記接触部 を被測定体の測定部位に接触させて電気測定を行う電気測定装置において、並列 配置された複数の前記測定片を前記弾性変形部において相互に一体に保持する絶 縁性の一体保持部材が設けられていることを特徴とする。
【0017】 この考案によれば、複数の測定片が弾性変形部において一体保持部材により相 互に一体化されていることにより、個々の測定片における弾性変形部の塑性変形 や隣接する測定片間の短絡を防止することができる。
【0018】 本考案において、前記駆動部材は、前記一体保持部材に作用して複数の前記測 定片を一体に弾性変形させるように構成されていることが好ましい。この考案に よれば、駆動部材が一体保持部材に作用するように構成されていることにより、 複数の測定片の弾性変形部に対して駆動力を均一に及ぼすことができるとともに 、弾性変形部に直接作用しないことによって弾性変形部の好ましくない変形を回 避することができる。
【0019】 本考案において、並列配置された複数の測定片をそれぞれ含む一対の測定並列 群が相互に対向配置され、該測定並列群の少なくとも一方に前記一体保持部材が 設けられ、一方の前記測定並列群において設けられた前記一体保持部材には、他 方の前記測定並列群における前記弾性変形部若しくはその弾性変形部間を一体化 した一体保持部材に対して前記測定片の並列方向に均一に当接する当接端面が形 成されていることが好ましい。一方の測定並列群に設けられた一体保持部材の当 接端面が、他方の測定並列群の弾性変形部若しくは一体保持部材に対して、測定 片の並列方向に均一に当接するように構成されていることによって、一方の測定 並列群と他方の測定並列群のどちらかに駆動部材を作用させることにより一方の 測定並列群と他方の測定並列群とを連動させ、共に動作させることができる。こ の場合、一対の測定並列群に属する測定片の接触部が同方向から被測定体に接触 するように構成することによりケルビンコンタクト方式の測定部を構成すること ができる。
【0020】
【考案の実施の形態】
[第1実施形態] 次に、添付図面を参照して本考案に係る電気測定装置の第 1実施形態について詳細に説明する。図1は本実施形態の測定部の内部構造を示 す縦断面図であり、図2(a)〜(c)は、測定部の一部の平面図、側面図及び 正面図である。測定部20は、図1に示すように、合成樹脂などからなるブロッ ク形状等に成形された案内部材21と、この案内部材21によって各々が案内さ れる複数の測定片22(測定並列群)と、測定片22に対向するように配置され 、各々が案内部材21によって案内される複数の測定片23(測定並列群)とを 有する。測定片22及び測定片23は共に案内部材21の凹部と同形状の凹部2 2f,23fを備え、これらの各凹部に対応する形状の固定部材24,25が上 下から案内部材21に対して嵌合固定されることにより、測定片22及び23は 案内部材21に対して押圧固定される。
【0021】 測定片22及び測定片23は、それぞれ、図1の上下方向に幅広に形成され、 図1の紙面方向が薄い板状材からなり、図2に示すように複数所定間隔で並列配 置されている。測定片22,23は、上記凹部22f,23fに隣接し、いずれ も案内部材21と固定部材24又は固定部材25によって固定された固定部22 a,23aを備えている。また、測定片22及び測定片23は、上記固定部22 a及び固定部23aから延在する弾性変形部22b及び23bを備え、これらの 弾性変形部22b及び23bの先端に接触部22c及び23cを備えている。弾 性変形部22b及び弾性変形部23bは、案内部材21に形成された案内溝21 a及び案内溝21bの内部を挿通し、これらの案内溝21a及び案内溝21bに よって図1の上下方向に変形可能に案内されている。接触部22c及び接触部2 3cはいずれも案内部材21の先端部から外部へと突出している。
【0022】 測定片22,23の接触部22c,23cは相互に間隔を持って弾性変形部2 2b,23bに対する案内溝21a,21bによる案内方向(すなわち上下方向 )に対向配置され、接触部22cと23cとの間に測定対象である電子部品1( 例えば、樹脂モールドされた集積回路パッケージ)に多数並列して設けられたリ ード端子1aが配置される。電子部品1は例えば図示しないシュートに沿って搬 送され、一つずつ図1に示す位置に位置決めされるように構成することが好まし い。測定片22の接触部22cは測定片23の接触部23cに向けて屈曲し、先 端に向かうほど細幅になるように三角形状を備えている。一方、接触部23cは 接触部22cに対向する部分が上記電子部品1のリード端子1aに対応した形状 に構成されている。すなわち、図示の場合、接触部23cのリード端子1aに向 いた部分はほぼ平坦形状であり、リード端子1aの接触部23cに向いた部分も またほぼ平坦形状である。このようにすることによって、リード端子1aの回路 基板などに対する実装面である図示下側の表面を傷つけることなく測定できる。
【0023】 測定片22及び測定片23は上記固定部22a及び固定部23aの背後におい てほぼ直角に屈曲した屈曲片部22d,23dを有し、この屈曲片部22d及び 屈曲片部23dの先端にそれぞれ装置本体の電気測定回路に導電接続されるよう に構成された接続端子部22e及び23eを備えている。上記の屈曲片部22d 及び屈曲片部23dは合成樹脂などからなる接続部材26によって嵌合支持され ており、この接続部材26は上記の案内部材21の後部に嵌合固定されている。 案内部材21には、上記の弾性変形部22b及び弾性変形部23bの中間部分 に対応する部分に上方及び下方に開いた凹部21c及び凹部21dが形成されて いる。これらの凹部21cの内部では弾性変形部22bの少なくとも上端面及び 表裏両面が露出し、凹部21dの内部では弾性変形部23bの少なくとも下端面 及び表裏両面が露出している。そして、凹部21c内には上方から駆動部材27 が移動可能に構成され、凹部21d内には下方から駆動部材28が移動可能に構 成されている。
【0024】 本実施形態の測定部20においては、駆動部材27を上方から下方へ移動させ ると、駆動部材27によって押圧される測定片22の弾性変形部22bが案内溝 21aに沿って下方に弾性変形するため、接触部22cを下方に移動させること ができる。一方、駆動部材28を下方から上方へ移動させると、駆動部材28に よって押圧される測定片23の弾性変形部23bが案内溝21bに沿って下方に 弾性変形するため、接触部23cを上方へ移動させることができる。したがって 、接触部22cと接触部23cとの間にリード端子1aが配置されるように上記 電子部品1を供給した状態で、駆動部材27及び駆動部材28を同時に図示点線 で示すように移動させると、弾性変形部22b及び弾性変形部23bの弾性変形 によってリード端子1aが接触部22cと接触部23cとによって上下から挟持 される。この状態で、測定片22及び測定片23を用いて従来のケルビンコンタ クト方式に従って上記電子部品1の電気特性の測定を行うことができる。
【0025】 本実施形態では、測定片22及び測定片23の弾性変形部22b及び弾性変形 部23bが案内溝21a及び案内溝21bによってそれぞれ案内されているため 、弾性変形部22b,23bの変形自体が発生しにくく、また、隣接する弾性変 形部22b,23bの間には必ず案内部材21の一部が介挿されているため、隣 接する測定片22及び23間の短絡は完全に防止される。また、上記の案内溝2 1a及び21bによる弾性変形部22b及び23bの案内によって接触部22c 及び23cの位置決めも精度良くなされるため、リード端子1aに対する位置ず れも発生しにくく、確実に電気測定を行うことができる。
【0026】 また、本実施形態では、図6に示す従来例とは異なり、測定片22及び23が それぞれ並列方向に薄い形状を供えているため、リード端子1aの狭ピッチ化に も容易に対応することができ、しかも、リード端子1aの狭ピッチ化に合せて接 触部22c及び23cを狭ピッチ化しても、案内方向に幅広の形状であるために 測定片22及び23の剛性を容易に確保することができる。
【0027】 また、本実施形態では、接触部22c及び23cのうち、一方の接触部23c が電子部品1のリード端子1aの実装面(図示下面)に対応した形状を備えてい るため、リード端子1aを安定した状態で接触部22cと接触部23cとによっ て挟み込むことができるから、測定の信頼性を高めることができる。
【0028】 さらに、弾性変形部23bは、弾性変形部22bよりも図1の上下方向(案内 方向、或いは、接触部の接離方向)の厚さが厚く形成されており、その結果、弾 性変形部23bは弾性変形部22bよりも撓みにくく、しかも塑性変形しにくく なっている。このため、測定片23に対して駆動部材28による変形量を小さく し、一方、測定片22に対して駆動部材27による変形量を大きくして、弾性変 形部22bが大きく撓んで弾性変形部22bの弾性力によって接触部22c,2 3cの接触圧がほぼ決定されるように構成できる。したがって、測定片23にお いては、繰り返し動作させても変形方向の厚さが大きいために剛性が高く、変形 量も少ないことから弾性変形部23bにはへたりや塑性変形が生じにくいため、 接触部23cがリード端子1aに接触する位置(図1の上下方向の位置)の変化 を低減することができる。一方、変形量が大きく、剛性の低い弾性変形部22b にはへたりや塑性変形が生じる可能性があるが、それでも大きな撓み量を与える ことによって確実に接触部のコンタクトを確保することができる。その結果、測 定部の耐久性を確保することができ、動作不良を低減することが可能になる。
【0029】 [第2実施形態] 次に、図3を参照して本考案に係る第2実施形態について 詳細に説明する。この実施形態では、図6に示すリーフスプリング型の測定部と ほぼ同様の構造を有し、絶縁部材30、複数の測定片31(測定並列群)及び駆 動部材32は上記従来例にて説明した構造(絶縁部材10、測定片11、駆動部 材12)とほぼ同様のものである。また、測定片31には、固定部31a、弾性 変形部31b、接触部31c及び接続端子部31dが設けられている。ただし、 本実施形態では、並列配置された複数の測定片31の弾性変形部31b間を合成 樹脂などからなる絶縁性の一体保持部材33によって一体に連結している。
【0030】 一体保持部材33は例えば絶縁部材30と同様のガラス混入エポキシ樹脂など の絶縁体によって構成される。この一体保持部材33はインサート成形で測定片 31と一体に成形されてもよく、あるいは、2枚の絶縁板を接着剤などで上下か ら貼り合わせてもよい。また、隣接する測定片間に一つずつ分離して形成されて いてもよい。一体保持部材33によって並列した複数の測定片31は弾性変形部 において相互に一体化されるので、測定片31間の塑性変形が生じにくくなり、 しかも、隣接する測定片31間の短絡が防止される。また、一体保持部材33を 設けても測定片31の固定部31aと接触部31cとの間の弾性変形部31bの 弾性変形を妨げることはないので、接触部31cを従来どおり支障なく電子部品 のリード端子等に接触させることができる。なお、この測定部を有する電気測定 装置はシングルコンタクト方式である。
【0031】 この実施形態において、駆動部材32によって押圧する位置は、測定片31の 弾性変形部31b、すなわち上記固定部31aと接触部31cとの間、であれば 基本的にはどこでも構わないが、特に、上記一体保持部材33に駆動部材32を 押し当てるように構成することが好ましい。このようにすると、駆動部材32の 押圧力は一体保持部材33を介して各測定片31に伝えられるので均一な押圧力 を複数の測定片31に与えることができるとともに、測定片31に直接に当接す ることがないため、駆動部材32の動作不良による測定片31の不所望な変形の 発生を未然に防止することができる。
【0032】 [第3実施形態] 次に、図4を参照して本考案に係る第3実施形態について 詳細に説明する。この実施形態では、絶縁部材40によって固定された固定部4 1aを備えた測定片41と、同様に固定された固定部42aを備えた測定片42 とがそれぞれ複数、図の紙面と直交する方向に並列配置されている。複数の測定 片41(測定並列群)及び複数の測定片42(測定並列群)は、それぞれ図3に 示す第2実施形態の測定片31と同様に並列に配列されている。測定片41及び 42は、上記第2実施形態と同様の弾性変形部41b,42bと、弾性変形部4 1b及び弾性変形部42bの先端に接続され、下方に屈曲した接触部41c,4 2cとを備えている。
【0033】 並列する複数の弾性変形部41bには上記第2実施形態と同様の一体保持部材 43が形成され、複数の弾性変形部41bを相互に一体化している。同様に、並 列する複数の弾性変形部42bにも一体保持部材44が形成され、複数の弾性変 形部42bを相互に一体化している。また、一体保持部材43における測定片4 2側の端部43aと、一体保持部材44における測定片41側の端部44aとは 相互に測定片41,42の並列方向に均一に当接するように構成され、端部43 aと端部44aとが接触した状態で接触部41cのコンタクト端(先端)と接触 部42cのコンタクト端(先端)とがほぼ同じ高さ(図示上下位置)になるよう に形成されている。
【0034】 本実施形態において、接触部41c及び接触部42cはいずれも先端のコンタ クト端に向けて両コンタクト端が並列する方向に見て幅細になるように形成され ていることが好ましい。特に、両コンタクト端の近傍は、相互に他方のコンタク ト端に対して逆側の側面が傾斜していることにより、先端に向かって幅細になる ように形成されることが望ましい。このようにすると、隣接した両コンタクト端 の接触部は、短いリード端子などの電気測定部位に対しても容易に対応できる。 特に近年のリード端子は電子部品の小型化に伴って短くなりつつあるため、この ようなコンタクト端形状は非常に有効である。
【0035】 本実施形態では、駆動部材45を図示上方から押し当てることによって、まず 弾性変形部41bが下方に弾性変形し、一体保持部材43の端部43aが一体保 持部材44の端部44aを下方に押圧して、弾性変形部42bが下方に弾性変形 するので、接触部41c及び接触部42cが共に図示下方に移動し、これらの測 定片41及び42のコンタクト端を図示しない電子部品のリード端子などに接触 させることができる。この測定部を有する電気測定装置はケルビンコンタクト方 式である。
【0036】 この実施形態においても、複数の測定片41がその弾性変形部41bにおいて 相互に一体保持部材43によって一体化されているとともに、複数の測定片42 がその弾性変形部42bにおいて相互に一体保持部材44によって一体化されて いる。したがって、上記第2実施形態と同様に、弾性変形部41b及び弾性変形 部42bの塑性変形を防止し、隣接する測定片41及び測定片42の相互間の短 絡を防止することができる。
【0037】 なお、この実施形態でも、駆動部材45の押圧部位を弾性変形部41bの一部 としてもよいが、特に一体保持部材43を駆動部材45が押圧するように構成す ることが望ましい。なお、図示例では測定片41,42は外力を受けていない状 態で図示のように一体保持部材43の端部43aが一体保持部材44の端部44 aに当接した状態になるように構成されているが、同様の状態で両者が当接しな いように構成しても構わない。
【0038】 [第4実施形態] 次に、図5を参照して本考案に係る電気測定装置の第4実 施形態について詳細に説明する。この実施形態では、第3実施形態と同様に、絶 縁部材50に固定された複数の測定片51(測定並列群)及び複数の測定片52 (測定並列群)がそれぞれ並列に配列されており、測定片51,52には、絶縁 部材50に固定された固定部51a,52aと、そこから延在する弾性変形部5 1b,52bと、弾性変形部51b,52bの先端にて下方に屈曲した接触部5 1c,52cとが設けられている。
【0039】 この実施形態では、測定片52の弾性変形部52bにのみ上記と同様の一体保 持部材53が形成され、測定片51には一体保持部材は設けられていない。一体 保持部材53における測定片51側の端部53aは、測定片51の弾性変形部5 1bに対して並列方向に均一に当接するように形成され、この当接状態で接触部 51cのコンタクト端(先端)と接触部52cのコンタクト端(先端)とがほぼ 同じ高さ(図示上下位置)になるように形成されている。
【0040】 この実施形態において、駆動部材54が弾性変形部51bを上方から押圧して 下方へ向けて変形させると、弾性変形部51bは一体保持部材53の端部53a に当接して弾性変形部52bをも下方に押し下げるので、接触部51c及び接触 部52cはともに下方に移動し、図示しない電子部品のリード端子などに接触す る。この測定部はケルビンコンタクト方式である。なお、図示例では測定片51 ,52は外力を受けていない状態で図示のように弾性変形部51bが一体保持部 材53の端部53aに当接した状態になるように構成されているが、同様の状態 で両者が当接しないように構成しても構わない。
【0041】 この実施形態においても、上記各実施形態と同様に測定片52の弾性変形部5 2b間が一体保持部材53によって一体化されていることによって弾性変形部5 2bの塑性変形や隣接する測定片52間の短絡が防止される。また、測定片51 も駆動部材54からの押圧力を受けたとき、押圧方向から一体保持部材53の端 部53aに当接された状態になるので、一体保持部材53の当接によって複数の 弾性変形部51bが相互に一体化された場合とほぼ同様になり、弾性変形部51 bの塑性変形や隣接する測定片51間の短絡が防止される。この場合、駆動部材 54が押圧する弾性変形部51bの部分は一体保持部材53の端部53aが下方 から当接する部分の近傍であることが好ましい。
【0042】 また、上記実施形態において、上記構造とは逆に、駆動部材54によって押圧 される弾性変形部51bに一体保持部材53を取付け、弾性変形部52bには一 体保持部材53を取付けない構造とすることも可能であり、この場合にも上記と 同様の効果を得ることができる。
【0043】 尚、本考案の測定部を有する電気測定装置は、上述の図示例にのみ限定される ものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得るこ とは勿論である。
【0044】
【考案の効果】
以上、説明したように本考案によれば、測定片の弾性変形部を並列方向と交差 する方向にそれぞれ案内する案内溝を設けたので、弾性変形部が案内溝の案内方 向以外への変形を防止することができるとともに、隣接する測定片間の短絡を防 止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案に係る電気測定装置の第1実施形態の測
定部の構造を示す概略縦断面図である。
【図2】第1実施形態の測定部の部分平面図(a)、部
分側面部(b)及び正面図(c)である。
【図3】本考案に係る電気測定装置の第2実施形態の測
定部の構造を示す概略斜視図(a)及び概略断面図
(b)である。
【図4】本考案に係る電気測定装置の第3実施形態の測
定部の構造を示す概略断面図である。
【図5】本考案に係る電気測定装置の第4実施形態の測
定部の構造を示す概略断面図である。
【図6】従来の測定部の構造を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
1…電子部品、1a…リード端子、20…測定部、21
…案内部材、21a…案内溝、21b…案内溝、21c
…凹部、21d…凹部、22…測定片、22a…固定
部、22b…弾性変形部、22c…接触部、22d…屈
曲片部、23…測定片、23a…固定部、23b…弾性
変形部、23c…接触部、23d…屈曲片部、26…接
続部材、27…駆動部材、28…駆動部材、30…絶縁
部材、31…測定片、31a…固定部、31b…弾性変
形部、31c…接触部、32…駆動部材、33…一体保
持部材、41…測定片、41b…弾性変形部、41c…
接触部、42…測定片、42b…弾性変形部、42c…
接触部、43…一体保持部材、43a…端部、44…一
体保持部材、44a…端部、45…駆動部材、50…絶
縁部材、51…測定片、51b…弾性変形部、51c…
接触部、52…測定片、52b…弾性変形部、52c…
接触部、53…一体保持部材、53a…端部、54…駆
動部材

Claims (9)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固定部、該固定部から延在する弾性変形
    部及び該弾性変形部の先に形成された接触部を備えた弾
    性体からなる帯状の測定片を配置し、前記弾性変形部を
    駆動部材によって弾性変形させ、前記接触部を被測定体
    の測定部位に接触させて電気測定を行う電気測定装置に
    おいて、前記測定片の前記弾性変形部を前記接触部が前
    記測定部位に対して接離する方向に案内する案内溝を設
    けたことを特徴とする電気測定装置。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記測定片における
    前記案内溝による案内方向の幅は、該案内方向及び前記
    弾性変形部の延長方向と直交する方向の幅よりも大きい
    ことを特徴とする電気測定装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、複数の
    前記測定片及びその弾性変形部を案内する前記案内溝が
    並列配置されていることを特徴とする電気測定装置。
  4. 【請求項4】 請求項1から請求項3までのいずれか1
    項において、前記測定片に対して他の前記測定片が対向
    配置され、これらの相互に対向配置された一対の前記測
    定片の前記接触部によって前記測定部位を両側から挟持
    可能に構成されていることを特徴とする電気測定装置。
  5. 【請求項5】 請求項4において、相互に対向配置され
    た一対の前記測定片の一方は、前記測定部位の表面形状
    に合致した形状を備えていることを特徴とする電気測定
    装置。
  6. 【請求項6】 請求項4又は請求項5において、相互に
    対向配置された一対の前記測定片のうち、一方の前記測
    定片の前記弾性変形部は、他方の前記測定片の前記弾性
    変形部よりも高い剛性を備えていることを特徴とする電
    気測定装置。
  7. 【請求項7】 固定部、該固定部から延在する弾性変形
    部及び該弾性変形部の先に形成された接触部を備えた弾
    性体からなる複数の帯状の測定片を並列配置し、該測定
    片を駆動部材によって弾性変形させ、前記接触部を被測
    定体の測定部位に接触させて電気測定を行う電気測定装
    置において、並列配置された複数の前記測定片を前記弾
    性変形部において相互に一体に保持する絶縁性の一体保
    持部材が設けられていることを特徴とする電気測定装
    置。
  8. 【請求項8】 請求項7において、前記駆動部材は、前
    記一体保持部材に作用して複数の前記測定片を一体に弾
    性変形させるように構成されていることを特徴とする電
    気測定装置。
  9. 【請求項9】 請求項7又は請求項8において、並列配
    置された複数の測定片をそれぞれ含む一対の測定並列群
    が相互に対向配置され、該測定並列群の少なくとも一方
    に前記一体保持部材が設けられ、一方の前記測定並列群
    において設けられた前記一体保持部材には、他方の前記
    測定並列群における前記弾性変形部若しくはその弾性変
    形部間を一体化した一体保持部材に対して前記測定片の
    並列方向に均一に当接する当接端面が形成されているこ
    とを特徴とする電気測定装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013541006A (ja) * 2010-09-30 2013-11-07 イスメカ セミコンダクター ホールディング エス アー 電気接点と試験用プラットフォーム
JP2018009791A (ja) * 2016-07-11 2018-01-18 アルファクス株式会社 半導体素子の検査用プローブ及びそのプローブの押え機構

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