JP2018009791A - 半導体素子の検査用プローブ及びそのプローブの押え機構 - Google Patents
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Abstract
Description
2 測定台
2a 吸着穴
10 プローブ
11 接触部分
12、X、Y、Z 移動テーブル
13 取付部
14 ビス
15 押え機構
16 押え部材
17 上下方向に移動するテーブル
18 装備部
19 前後移動テーブル
Claims (9)
- 弾発性と導電性を有する金属製平板によって形成されており、接触部分を基端側を幅広とした台形または平行な矩形とした櫛歯状としてあることを特徴とする半導体素子の検査用プローブ。
- 前記した接触部分は2以上とし、3以上の場合、その間隔は同一ピッチである必要はなく、それぞれの接触部分が単独でバネ性をもつことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブ。
- 銅または銅合金、あるいは銀または銀合金によって成形されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子の検査用プローブ。
- X、Y、Z軸に移動可能なテーブルの取付部に、その下方から固着要素によって固着されていることを特徴とする請求項1から3のうち1項に記載の半導体素子の検査用プローブ。
- 対象とする半導体素子に対し、片側だけの単体又は左右に一対が対称的に設けられることを特徴とする請求項1から4のうち1項に記載の半導体素子の検査用プローブ。
- 測定台に装着された半導体素子の前記したプローブ接触面と直交方向に直動し、前記したプローブの半導体素子との接触状態を抑止するために絶縁性材で形成されていることを特徴とする半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- 前記した絶縁性材としてゴム、シリコン、ウレタンのうち1つが用いられていることを特徴とする請求項6に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- プローブと接する先端は、コーナーをアールとし、全体を円柱状としてあることを特徴とする請求項6または7に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- 前記した半導体素子の着脱を行ない易くするために、機構全体を前後に移動させるテーブルも設けられていることを特徴とする請求項6から8のうち1項に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
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