JP2018179934A - 電気的接続装置 - Google Patents
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Abstract
Description
プローブ10に形成する切り欠きの形状は、任意に設定可能である。即ち、上記ではプローブ10の切り欠きが角領域を四角形状に切り取った形状である例を示したが、切り欠きが他の形状であってもよい。例えば、図12に示すように、切り欠きが、軸方向に垂直な断面において角領域を階段形状に切り取った形状であってもよい。図12に示す形状の切り欠きによれば、図2に示した形状の切り欠きに比べて、プローブ10の断面の面積を増大させることができる。そのため、プローブ10に流す電流の許容量を増加させることができる。
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
2…被検査体
10…プローブ
20…プローブヘッド
30…電極基板
200…ガイド穴
Claims (7)
- ガイド穴を有し、前記ガイド穴の延伸方向に垂直な形状が、多角形状のコーナー部をR面取りした形状であるプローブヘッドと、
前記ガイド穴を貫通した状態で前記プローブヘッドに保持されているプローブと
を備え、前記プローブの前記ガイド穴の前記コーナー部と対向する角領域に、前記プローブの軸方向に沿った切り欠きが形成されていることを特徴とする電気的接続装置。 - 前記切り欠きが、前記軸方向に垂直な断面において前記角領域を四角形状に切り取った形状であることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記切り欠きが、前記軸方向に垂直な断面において前記角領域を階段形状に切り取った形状であることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブの前記角領域を面取りして前記切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電気的接続装置。
- 前記ガイド穴の延伸方向に垂直な形状が、前記コーナー部を4つ有する四角形状に近似した形状であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブが、前記プローブヘッドの内部で弾性変形によって湾曲させた状態で保持されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
- 前記プローブヘッドが、トップ部、上部ガイド部、下部ガイド部、及びボトム部を有し、
前記トップ部、前記上部ガイド部、前記下部ガイド部、及び前記ボトム部は、それぞれ前記プローブを貫通させる前記ガイド穴を有し、
前記プローブの少なくとも前記ガイド穴の前記コーナー部と対向する前記角領域に、前記切り欠きが形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の電気的接続装置。
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