JP2014048052A - プローブユニット、及び検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるプローブユニットは、本体部31と、本体部31に着脱可能に設けられた複数のベース41であって、側面が互いに対向するように配置された複数のベース41と、ベース41と一体に形成され、下方に延在した複数のプランジャ40と、複数のプランジャ40に対応して複数設けられ、プランジャ40と電気的に接続されたコンタクトピンと60、試験対象と接触したコンタクトピンを付勢するスプリング50と、を備えたものである。
【選択図】図9
Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態にプローブユニットを用いた検査装置の全体構成について説明する。なお、以下の説明では、本実施の形態に係る検査装置の検査対象として、電力用半導体デバイスの一つであるIGBT(Integrated Gate Bipolar Transistor)を例に説明するが、検査対象となるデバイスは、特に限定されるものではない。例えば、IGBT以外の半導体デバイスを検査対象とすることもできる。また、本実施の形態に係る検査装置は、図示された構成に限られるものではない。
次に、本実施の形態の特徴部分の一つであるプローブユニットの構成について、図7、及び図8を用いて説明する。図7は、プローブユニットの全体構成を示す斜視図である。図8は、プローブユニットの構成を示す分解斜視図である。なお、以下の説明では、プローブユニット30が、例えば、表面電極用プローブPAのフォース用プローブに用いられるプローブユニットであるとして説明する。もちろん、プローブユニット30が供給する電気信号や電源電圧は特に限定されるものではない。
以下、ベース41の下方に設けられたプローブ33の構成について、図9〜図11を用いて説明する。図9は、ベース41の下方に設けられたプローブ33の構成を示す分解斜視図である。図10は、プローブ33の構成を示す正面図であり、図11は、プローブ33の構成を示す水平断面図である。なお、図9〜図11では、説明の簡略化のため一部の構成を簡略化して図示している。例えば、図9では、図8とは、1つのベース41に対して設けられたプローブ33の数が、図8で示した構成と異なっている。また、図10、図11では、ベース41の構成を省略して図示している。
また、上記の説明では、複数のベース41の全てを導通させたが、一部のベース41を他のベース41から絶縁させることも可能である。このようにすることで、複数のプローブ33に異なる電気信号や電源電圧を供給することができる。よって、複数の電極パッド71に異なる電気信号や電源電圧を供給することが可能になる。例えば、図14に示すように、ベース41の間に絶縁体47を配置することで、隣接するベース41を絶縁することができる。絶縁体47は絶縁シートや絶縁板などである。
また、電極パッド71の形状や配置に応じて、プローブ33の配置や数を適宜変更することができる。例えば、電極パッド71の形状が矩形となっていない場合、電極パッド71の形状に応じて、プローブ33を不規則に配置する。この構成例について、図15を用いて説明する。図15は、電極パッド71とプローブ33の配置を模式的に示す平面図である。
トランジスタのソースとゲートにそれぞれ電気信号や電源電圧を供給するための構成例について、図16を用いて説明する。図16は、電極パッド71とベース41の配置を模式的に示す平面図である。図16において、ゲート用の電極パッド71を電極パッド71gとし、ソース用の電極パッド71を電極パッド71sとして示している。ソース用の電極パッド71sの外形は、図15と同様に凹形状になっており、その凹み部分にゲート用の電極パッド71gが配置されている。
2 チャックステージ
3 絶縁板
4 断熱板
5 xyz−θステージ
6 マニピュレータ
7 マニピュレータ
8 テスタ
9 ウェハカセット
10 ウェハ搬送装置
11 上部ベースプレート
12 穴
13 フォース用導電性部材
14A 導電性ケーブル
14B 導電性ケーブル
15 ヒータ
30 プローブユニット
31 本体部
32 ボルト
33 プローブ
40 プランジャ
41 ベース
42 ボルト穴
43 プランジャ
44 受け座
45 先端部
46 取付部
47 絶縁体
50 スプリング
60 コンタクトピン
61 接触部
62 保持部
63 受け座
71 電極パッド
α ウェハ保持部
β プローブコンタクト領域
W ウェハ
PA 表面電極用プローブ
PB 裏面電極用プローブ
Claims (6)
- 本体部と、
前記本体部に着脱可能に設けられた複数のベースであって、側面が互いに対向するように配置された複数のベースと、
前記ベースと一体に形成され、下方に延在した複数のプランジャと、
前記複数のプランジャに対応して複数設けられ、前記プランジャと電気的に接続されたコンタクトピンと、
試験対象と接触した前記コンタクトピンを付勢する付勢部材と、を備えたプローブユニット。 - 隣接する前記ベースの側面同士が当接することで、隣接する前記ベースが導通している請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記複数のベースに貫通穴が設けられ、前記複数のベースの前記貫通穴に固定部材を挿入することで、前記複数のベースが前記本体部に固定される請求項1、又は2に記載のプローブユニット。
- 前記付勢部材がスプリングであり、
前記コンタクトピンと前記プランジャが前記スプリングの内部に挿入されている請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブユニット。 - 隣接する前記複数のベースの間に絶縁体が介在することで、隣接する前記ベースが絶縁されている請求項1〜4のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブユニットを備える検査装置。
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