JP6899994B2 - 半導体素子の検査用プローブの押え機構 - Google Patents
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Description
2 測定台
2a 吸着穴
10 プローブ
11 接触部分
12、X、Y、Z 移動テーブル
13 取付部
14 ビス
15 押え機構
16 押え部材
17 上下方向に移動するテーブル
18 装備部
19 前後移動テーブル
Claims (7)
- 測定台に装着された半導体素子と、弾発性と導電性を有する金属製平板によって形成されており、接触部分を基端側を幅広とした台形または平行な矩形とした櫛歯状としてあるプローブとの接触面と直交方向に直動し、かつ前後方向に可動とし、前記したプローブの半導体素子との正確な面接触の密接状態を図るために絶縁性材で形成された押え部材(16)を有している半導体素子の検査用プローブの押え機構において、前記押え部材(16)のプローブと接する先端は、コーナーをアールとした円板状とし、全体を中心軸を前記半導体素子と前記プローブの接触面との直交方向とした円柱状としてあることを特徴とする半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- 前記した絶縁性材としてゴム、シリコン、ウレタンのうち1つが用いられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- 前記した半導体素子の着脱を行ない易くするために、機構全体を前後に移動させるテーブルが設けられていることを特徴とする請求項1から2のうち1項に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- プローブの接触部分は2以上とし、3以上の場合、その間隔は同一ピッチあるいは同一ピッチではなく、それぞれの接触部分が単独でバネ性をもつことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- プローブは銅または銅合金、あるいは銀または銀合金によって成形されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- プローブはX、Y、Z軸に移動可能なテーブルの取付部に、その下方から固着要素によって固着されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
- プローブは対象とする半導体素子に対し、片側だけの単体又は左右に一対が対称的に設けられることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の検査用プローブの押え機構。
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