JP6029535B2 - コンタクトプローブ - Google Patents
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Description
<検査装置の構成について>
図1は、本実施の形態に係る検査装置1の機能構成を示す図である。検査装置1は、例えば半導体装置を検査対象物とする半導体検査装置である。検査装置1は試験装置とも呼ばれる。図1に示されるように、検査装置1は、プローブ装置2と、移動アーム部3と、チャックステージ4と、テスタ5と、駆動部6とを有している。
続いて、プローブ装置2について図3を参照しながら以下に説明する。図3は、プローブ装置2を示す側面図である。
加圧部材14a,14bは、コンタクト部と検査対象物7の電極パッドとの間に異物や表面の凹凸、うねり等が介在しても、コンタクト部15の接触面30と検査対象物7の電極パッドとの間の接触面積を確保するために設けられている。加圧部材14bは、加圧部材14aと同様の構成を有するとともに、加圧部材14aと同様の動作を行うことから、以下では、加圧部材14aを中心に説明する。図4,5,6は、加圧部材14aの動作を説明するための図である。
コンタクトプローブと検査対象物の電極パッドとを接触させる際に、電極パッドの表面に異物あるいはうねり等の凹凸等が存在すると、コンタクトプローブと電極パッドとの間の接触面積が小さくなり、その結果、コンタクトプローブと電極パッドとの間の接触抵抗が増大する可能性がある。コンタクトプローブと電極パッドとの間の接触抵抗が増大すると、テスタからの電流等の電気信号をコンタクトプローブを介して電極パッドに印加すると、コンタクトプローブと電極パッドとの間の接触部分での発熱が増大する。
ここでは、保持部16について説明する。保持部16は可撓性を有することが望ましい。保持部16が可撓性を有することにより、コンタクト部15と電極パッド22とが接触する際に、電極パッド22に過度な圧力がかかることを抑制することができる。したがって、電極パッド22の損傷を抑制することができる。
検査装置1において、検査対象物7の温度特性が測定される際には、検査対象物7が一定の高温に維持された状態で当該検査対象物7の電気的特性が測定されることがある。このような場合に、温度調整された検査対象物7の温度よりもコンタクトプローブ11の温度の方が低い場合には、コンタクトプローブ11が温度調整された検査対象物7に接触することによって、検査対象物7の温度が所望の温度から低下してしまうことがある。その結果、検査対象物7の温度特性が正確に測定されないことがある。
第一実施形態によると、可撓性を有するコンタクト部15は、加圧部13からの加圧によって電極パッド22に押しつけられる。よって、コンタクト部15は、検査対象物7の電極パッド22の表面に凹凸や異物が存在する場合であっても、当該表面の状態に応じて変形しながら当該電極パッド22と接触することが可能となる。したがって、コンタクト部15と電極パッド22との間の接触面積を確保することができる。その結果、コンタクト部15と電極パッド22との間の接触抵抗を下げることができる。コンタクト部15と電極パッド22との接触抵抗が下がることで、検査装置1と検査対象物7とが電気的に安定した接続状態となり、検査対象物7の測定の信頼性向上および歩留まりの向上が可能となる。また、可撓性を有するコンタクト部15が、加圧部13と電極パッド22との間に介在するため、電極パッド22の表面の損傷を抑制することができる。
<第一実施形態との違いについて>
第二実施形態においては、ベロー形の加圧部材14cを有する加圧部13によってコンタクト部15を加圧する。また、第二実施形態では、コンタクト部15は、加圧部13と接触する弾力性部分25を備えている。
第二実施形態における加圧部材14cにおけるコンタクト部15との接触面140は、可撓性を有している。また、加圧部材14cは、伸縮性を有している。加圧部材14cの伸縮性は、例えば、空気圧を利用して実現すればよい。この場合には、本例のように、加圧部材14cをベロー形に形成することで、容易に伸縮性を実現することができる。また、第二実施形態においては、テスタ5からの電気信号は、保持部16を介してコンタクト部15に供給されるため、加圧部材14cは電気絶縁性材料で形成しても良い。例えば、カプトン(登録商標)などの可撓性を有する電気絶縁性シート(フィルム)で加圧部材14cを形成することにより、可撓性を有する接触面140を備えた加圧部材14cを簡単に作成することができる。なお、カプトン(登録商標)は、耐熱性も有するため、加圧部材14cが高温となる場合にも適している。また、加圧部13は複数の加圧部材14cを備えていてもよい。
次に、コンタクト部15の弾力性部分25について説明する。図14に例示されるように、テスタ5からの電気信号を、加圧部材14cを介してコンタクト部15に供給しない場合には、例えば、弾力性部分25は、カプトン(登録商標)などの耐熱性および弾力性を有する電気絶縁性の材料で形成すればよい。コンタクト部15は、加圧部13が接触する部分に弾力性部分25を備えることで、加圧部13から加圧された際に、コンタクト部15が損傷することを抑制することができる。その結果、コンタクト部15の交換の頻度が減少する。よって、検査費用の低コスト化および検査工程の短縮が可能となる。
第一実施形態および第二実施形態におけるコンタクトプローブ11は、加圧部13と保持部16とを別体とする構成であるが、保持部16を使わずに、加圧部13でコンタクト部15を保持する構成を採用してもよい。例えば、第二実施形態における加圧部13(加圧部材14c)の底面に、電極パッド22と接触するコンタクト部15を取り付ける態様が挙げられる。この場合には、テスタ5からの電気信号は、加圧部13を介してコンタクト部15に供給する必要があるため、加圧部13は導電性を備える材料で形成する。この態様によると、コンタクトプローブ11を構成する部品の数を少なくすることができる。
Claims (8)
- 検査対象物の電極パッドに接触するコンタクトプローブであって、
前記電極パッドと接触する第1接触面を有し、可撓性を有するコンタクト部と、
前記コンタクト部を保持し、導電性を有する保持部と、
前記コンタクト部を加圧して、前記第1接触面を前記電極パッドに押しつける導電性の加圧部と、
前記コンタクト部及び前記加圧部の少なくとも一方の温度を制御する温度制御部と
を備え、
前記加圧部は、空気圧によって伸縮する、ベロー形の伸縮性の加圧部材を備え、
前記加圧部材における前記コンタクト部との第2接触面は可撓性を有し
前記コンタクト部は、可撓性を有する複数の板状のコンタクト部材を備え、
前記複数の板状のコンタクト部材のそれぞれの主面は、前記検査対象物の一つの電極パッドに接触し、
前記保持部及び前記加圧部はテスタと電気的に接続され、
前記テスタからの電気信号は、前記保持部及び前記加圧部を介して前記コンタクト部に供給される、コンタクトプローブ。 - 請求項1に記載のコンタクトプローブであって、
前記保持部は可撓性を有する、コンタクトプローブ。 - 請求項2に記載のコンタクトプローブであって、
前記保持部は、薄肉部を備えることによって可撓性を有する、コンタクトプローブ。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のコンタクトプローブであって、
前記保持部は、コンタクトプローブに対して着脱可能である、コンタクトプローブ。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のコンタクトプローブであって、
前記コンタクト部は、前記加圧部と接触する弾力性部分を備える、コンタクトプローブ。 - 請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のコンタクトプローブであって、
前記コンタクト部は、前記コンタクトプローブに対して着脱可能である、コンタクトプローブ。 - 請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のコンタクトプローブであって、
前記コンタクト部の前記第1接触面は金属である、コンタクトプローブ。 - 請求項7に記載のコンタクトプローブであって、
前記第1接触面は、銅もしくはアルミニウムである、コンタクトプローブ。
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