JP2003066101A - 接点シートおよびそれを用いた測定用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 十分なストロークを確保して被測定デバイス
の全ての端子と回路基板上の対応する端子との間の導通
をより確実なものにする。 【解決手段】 接点シート１Ａの各接点部１１Ｂと、回
路基板４上の対応する各端子４ａとが接触するように回
路基板４に接点シート１Ａを固定する。被測定デバイス
２の各端子２ａが接点シート１Ａの各接点部１１Ａと一
致するように接点シート１Ａの上から被測定デバイス２
を押圧する。この押圧により、２枚の絶縁シート８Ａ，
８Ｂの弾性部材９に密着し、各接点部１１Ａ，１１Ｂが
弾性部材９の貫通穴１２内の金属球１０Ａ，１０Ｂを押
圧し、金属球１０Ａ，１０Ｂが互いに弾性部材９の横方
向に逃げて貫通穴１２を横に押し広げ、被測定デバイス
２の各端子２ａが金属球１０Ａ，１０Ｂを介して回路基
板４上の各端子４ａと導通接続される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばアンプ、ミ
キサ、フィルタやこれらの複合デバイスの他、ＣＰＵ、
メモリ等の電子部品の各種特性測定を行う際の電気的接
続に用いられる接点シートおよびそれを用いた測定用治
具に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばアンプ、ミキサ、フィルタやこれ
らの複合デバイスの他、ＣＰＵ、メモリ等の電子部品
は、製品を組み立てるにあたって、回路基板上の所定位
置にハンダ付けされる。

【０００３】この種の電子部品は、実際に回路基板上に
ハンダ付けする前に各種特性測定が行われる。そして、
この種の電子部品を被測定デバイス（被試験デバイス：
ＤＵＴ(device under test））として各種特性測定を行
う場合、テストフィクスチャと称する測定用治具が用い
られる。テストフィクスチャは、特性測定装置に予め電
気的に配線接続された治具であり、自動交換装置等を用
いて被測定デバイスが簡単に交換できるように構成され
ている。

【０００４】ところで、被測定デバイスを順次交換して
測定を行う際には、この被測定デバイスに対応した各種
構造の接点シートをテストフィクスチャに装着し、この
接点シートを介して被測定デバイスの各端子とテストフ
ィクスチャに設けられる回路基板上の各端子との間の導
通接続がなされる。

【０００５】図１０乃至図１２は従来の接点シートの構
成を示す図である。図１０および図１１に示す接点シー
ト３１は、本体がシート状のゴムからなる弾性部材３２
で構成される。弾性部材３２の内部には、導電部材とし
ての多数の導電粒子３３が被測定デバイス３４の端子３
４ａの位置に対応して分散されている。

【０００６】図１０および図１１の接点シート３１を用
いた構成では、被測定デバイス３４が接点シート３１の
上方から押圧されると、接点シート３１の弾性部材３２
が撓んで厚さ方向に微小に変位する。この弾性部材３２
の微小の変位により、接点シート３１内部の導電粒子３
３同士が接触し、被測定デバイス３４の各端子３４ａと
回路基板３５上の対応する各端子３５ａとの間が接点シ
ート３１の導電粒子３３を介して導通接続される。

【０００７】図１２に示す接点シート４１は、本体が図
１０および図１１の接点シート３１と同様のシート状の
ゴムからなる弾性部材４２で構成される。弾性部材４２
の内部には、導電部材としての導電性ワイヤ４３が所定
間隔（例えば被測定デバイス３４の端子３４ａのピッチ
よりも細かいピッチ）毎に表面および裏面に露出して設
けられている。

【０００８】図１２の接点シート４１を用いた構成で
は、被測定デバイス３４が接点シート４１の上方から押
圧されると、接点シート４１の弾性部材４２が撓んで厚
さ方向に微小に変位する。この弾性部材４２の微小の変
位により、接点シート４１内部の導電性ワイヤ４３を介
して被測定デバイス３４の各端子３４ａと回路基板３５
上の対応する各端子３５ａとの間が導通接続される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た図１０乃至図１２に示す従来の接点シート３１，４１
では、被測定デバイス３４と接点シート３１，４１の間
にゴミが混入すると、ゴミ自体が邪魔となり、接点シー
ト３１，４１の導電部材（導電粒子３３又は導電性ワイ
ヤ４３）を介して被測定デバイス３４の各端子３４ａを
測定用治具の回路基板３５上の対応する端子３５ａと確
実に導通できないおそれがあった。

【００１０】更に説明すると、図１３に示すように、端
子３４ａとして外部にリード端子が導出された被測定デ
バイス３４の場合では、リード端子３４ａ部分がバネ性
を有するため、被測定デバイス３４を接点シート３１，
４１に押圧した際のリード端子３４ａにかかる圧力が高
く、ゴミからリード端子３４ａが逃げてくれ、例えば１
００万回くらいの寿命を得ることができる。なお、図１
３では接点シート３１の場合を図示しているが、接点シ
ート４１の場合でも同様である。

【００１１】これに対し、図１１や図１２に示すよう
に、端子３４ａを本体の裏面に複数備えた被測定デバイ
ス３４の場合には、被測定デバイス３４を接点シート３
１，４１に押圧した際に電極３４ａにかかる圧力が低
く、ゴミから電極が逃げてくれないため、接点シート３
１，４１の寿命が例えば数千〜数万回程度となり、寿命
の低下を招くという問題があった。

【００１２】ところで、被測定デバイス３４としての電
子部品は、電子部品を側面視したときに本体が弓なりに
反っていたり、端子の高さが異なっていたりしており、
個々にバラツキを有している。

【００１３】この種のバラツキを有する電子部品を被測
定デバイスとして各種特性測定を行う場合、図１１や図
１２に示す従来の接点シート３１，４１では、被測定デ
バイス３４を弾性部材３２，４２に押圧したときの弾性
部材３２，４２の撓みによる微小の変位量のみでストロ
ークを得ているため、被測定デバイス３４の端子３４ａ
の高さ方向に十分なストロークを確保することができな
い。このため、被測定デバイス３４の各端子３４ａに高
さ方向にバラツキがある場合、そのバラツキを吸収する
ことができず、接点シート３１，４１を介して被測定デ
バイス３４の全ての端子３４ａを回路基板３５上の対応
する端子３５ａに導通させることができなかった。

【００１４】また、被測定デバイス３４の端子３４ａの
高さ方向のバラツキだけでなく、図１４に示すように、
被測定デバイス３４を側面視したときにデバイス本体が
弓なりに反っている場合でも、図１１や図１２の従来の
接点シート３１，４１では、十分なストロークが得られ
ないため、接点シート３１，４１を介して被測定デバイ
ス３４の全ての端子３４ａを回路基板３５上の対応する
端子３５ａに導通させることができなかった。

【００１５】その結果、被測定デバイス３４の端子３４
ａの一部と、回路基板３５上の対応する端子３５ａとの
間に導通不良が生じ、正確な特性測定を行うことができ
なかった。

【００１６】さらに、図１２に示す従来の接点シート４
１では、被測定デバイス３５を高い周波数で測定する場
合、被測定デバイス３４の端子３４ａと回路基板３５上
の対応する端子３５ａとの間を導通接続した際に、隣接
する導電性ワイヤ４３との間が容量結合してしまい、被
測定デバイス３４の高周波数測定を正確に行うことがで
きないという問題があった。

【００１７】そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてな
されたものであり、十分なストロークを確保して被測定
デバイスの全ての端子と回路基板上の対応する端子との
間の導通をより確実に行うことができる接点シートおよ
びそれを用いた測定用治具を提供することを目的として
いる。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、被測定デバイス２の端子２ａ
と、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の回路基
板４上に設けられる端子４ａとの間を導通接続するため
に用いられる接点シート１において、前記被測定デバイ
スの端子と対応する位置および前記回路基板上の端子と
対応する位置のそれぞれに導通性を有する接点部１１が
表裏に設けられた２枚のシート状からなる絶縁部材８
と、前記それぞれの接点部と対応する位置に貫通穴１２
が形成され、前記２枚の絶縁部材の間に設けられ、前記
被測定デバイスの押圧により変形可能な可撓性を有する
弾性部材９と、前記弾性部材の前記貫通穴内に設けら
れ、少なくとも表面に導電性を有する２個以上の導通部
材１０とを備えたことを特徴とする。

【００１９】請求項２の発明は、被測定デバイス２の端
子２ａと、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の
回路基板４上に設けられる端子４ａとの間を導通接続す
るために用いられる接点シート１において、前記被測定
デバイスの端子と対応する位置および前記回路基板上の
端子と対応する位置のそれぞれに導通性を有する接点部
１１が表裏に設けられた２枚のシート状からなる絶縁部
材８と、前記それぞれの接点部と対応する位置に貫通穴
１２が形成され、前記２枚の絶縁部材の間に設けられ、
前記被測定デバイスの押圧により変形可能な可撓性を有
する弾性部材９と、前記弾性部材の前記貫通穴内で前記
接点部の対面する面に互いに摺動可能にされ、前記絶縁
部材に形成された少なくとも表面に導電性を有する導通
部材１０とを備えたことを特徴とする。

【００２０】請求項３の発明は、被測定デバイス２の端
子２ａと、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の
回路基板４上に設けられる端子４ａとの間を導通接続す
るために用いられる接点シート１において、前記被測定
デバイスの端子と対応する位置および前記回路基板上の
端子と対応して位置する導電性を有する導通部材１０
と、前記導通部材の一部が表裏面から露出するように該
導通部材と一体に設けられ、前記被測定デバイスの押圧
により変形可能な可撓性を有する弾性部材９とを備えた
ことを特徴とする。

【００２１】請求項４の発明は、請求項１又は３の接点
シートにおいて、前記導通部材１０は、少なくとも表面
に導電性を有する球状部材からなることを特徴とする。

【００２２】請求項５の発明は、請求項１又は３の接点
シートにおいて、前記導通部材１０は、少なくとも表面
に導電性を有し、かつ径が異なる２個又は３個の球状部
材からなることを特徴とする。

【００２３】請求項６の発明は、請求項１〜５の何れか
に記載の接点シート１と、前記被測定デバイス２に前記
接点シートを押圧したときに該接点シートの接点部１１
を介して前記被測定デバイスのそれぞれの端子２ａと導
通接続される複数の端子４ａを有する回路基板４が搭載
された治具本体３ａと、前記回路基板の各端子と前記被
測定デバイスの各種測定を行うための特性測定装置との
間を前記回路基板上の配線パターンを介して電気的に接
続するために前記治具本体に設けられたコネクタ部５と
を備えたことを特徴とする。

【００２４】

【発明の実施の形態】図１は本発明による接点シートが
装着された測定用治具の斜視図、図２は本発明による第
１実施の形態の接点シートの平面図、図３および図４は
図２の接点シートの部分拡大断面図であり、被測定デバ
イスの各端子と回路基板上の対応する各端子との間を導
通させるときの動作図、図５乃至図９は本発明による接
点シートの他の実施の形態を示す部分拡大断面図であ
る。

【００２５】以下に説明する本例の接点シート１（１Ａ
〜１Ｄ）は、図１に示すように、被測定デバイス（被測
定物）２の各種特性測定を行う際に、被測定デバイス２
と不図示の特性測定装置との間を電気的に接続して導通
を図るための測定用治具３に装着して使用されるもので
ある。なお、図１では、測定用治具３として、図３に示
す構成の接点シート１Ａが装着されたものを代表して図
示している。

【００２６】測定用治具３は、図１に示すように、被測
定デバイス２の各種特性測定を行うための検査用の回路
基板４が矩形状の本体３ａ上に搭載される。回路基板４
上には、被測定デバイス２の各端子２ａに対応して複数
の端子４ａが形成されている。また、各端子４ａは、回
路基板４上に形成された所定の回路パターンにそれぞれ
配線接続されている。

【００２７】なお、図３および図４には被測定デバイス
２の端子２ａを２つのみ図示したが、本例の接点シート
１を装着した測定用治具３は、電極が格子状に配置され
た高周波デバイス（例えば０．３ｍｍのピッチで縦４×
横４の格子状に配置された被測定デバイス２）の各種特
性測定に使用可能なものである。

【００２８】回路基板４上の各端子４ａは、本体３ａの
両側面に対向して設けられるコネクタ部５に不図示の配
線パターンを介して電気的に接続されている。コネクタ
部５には、被測定デバイス２の各種特性を測定するため
の不図示の特性測定装置が電気的に配線接続される。ま
た、回路基板４上には、後述する接点シート１の位置決
め穴１３が挿通されて接点シート１を位置決めするため
の位置決めピン６が設けられている。さらに、位置決め
ピン６の形成位置と対称に位置する回路基板４上の角隅
部分の対角位置には、接点シート１を回路基板４にネジ
止めにより固定するためのネジ挿通用の取付穴７が形成
されている。

【００２９】次に、図２乃至図９に基づいて本例の接点
シート１の各実施の形態の構成について説明する。

【００３０】第１実施の形態の接点シート１（１Ａ）
は、図２乃至図４に示すように、絶縁部材８、弾性部材
９、導通部材１０を備えて概略構成される。

【００３１】絶縁部材８は、２枚の絶縁シート８Ａ，８
Ｂで形成される。絶縁シート８Ａ，８Ｂは、弾性部材９
を上下から挟み込むように所定の間隙をおいて対向配置
される。各絶縁シート８Ａ，８Ｂには、導通性を有する
コンタクトポイントとしての接点部１１が設けられてい
る。接点部１１は、例えば円柱形状に形成され、被測定
デバイス２の各端子２ａに対応した位置にそれぞれ設け
られる。また、被測定デバイス２側に位置する接点部１
１Ａは、先端部分が三角錘形状をなしており、ゴミが混
入したときにゴミを接点部１１Ａの先端部分に止まりに
くくさせている。

【００３２】なお、図２乃至図４に示す接点シート１Ａ
では、回路基板４側に位置する接点部１１Ｂの先端部分
を平坦面としているが、接点部１１Ａと同様に三角錘形
状としてもよい。また、接点シート１Ａ内等の導通部材
１０と接する接点部１１Ａ，１１Ｂの先端部分を三角錘
形状としてもよい。

【００３３】弾性部材９は、ゴムや樹脂などの可撓性を
有する部材で形成され、２枚の絶縁シート８Ａ，８Ｂの
間に設けられる。この弾性部材９には、絶縁シート８
Ａ，８Ｂの接点部１１Ａ，１１Ｂと対応する位置に貫通
穴１２が形成されている。

【００３４】導通部材１０は、少なくとも表面に導電性
を有する部材、例えば電気特性に優れた金属、導電性ゴ
ムなどで形成され、弾性部材９の貫通穴１２内に２個以
上設けられる。

【００３５】図２乃至図４に示す接点シート１Ａでは、
径の異なる大小２個の金属球１０Ａ，１０Ｂで導通部材
１０が構成される。具体的数値を示すと、例えば金属球
１０Ａが１２０μｍの径で形成され、金属球１０Ｂが８
０μｍの径で形成される。

【００３６】そして、径の異なる大小２個の金属球１０
Ａ，１０Ｂで導通部材１０を構成した場合、２個の金属
球１０Ａ，１０Ｂの径の差が大きい方が接点シート１Ａ
を元の位置（被測定デイバス２を接点シート１Ａに押圧
する前の位置）に戻す復帰力が強く、小さい金属球１０
Ｂの径によって接点シート１Ａのストローク（移動量）
が決まる。

【００３７】接点シート１Ａには、回路基板４の２箇所
の位置決めピン６にそれぞれ対応して位置決め穴１３が
形成されている。接点シート１Ａは、各位置決め穴１３
が回路基板４の対応する位置決めピン６に挿通される
と、接点シート１Ａの各接点部１１Ｂが回路基板４上の
対応する各端子４ａと接触して位置決めされる。

【００３８】また、接点シート１Ａは、各位置決め穴１
３を回路基板４の対応する位置決めピン６に挿通して位
置決めした状態で回路基板４の取付穴７にネジを締着す
ることにより回路基板４に固定される。

【００３９】次に、第２実施の形態の接点シート１Ｂ
（１）は、図５および図６に示すように、貫通穴１２内
に設けられる導通部材１０が径の異なる大小３個の金属
球１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃで構成され、金属球１０Ｂと
金属球１０Ｃが金属球１０Ａよりも小径の同一径で形成
される。具体的数値を示すと、例えば金属球１０Ａが１
２０μｍの径で形成され、金属球１０Ｂ，１０Ｃが８０
μｍの径で形成される。その他の構成については、上述
した第１実施の形態の接点シート１Ａと同一である。

【００４０】図５および図６に示す接点シート１Ｂを採
用した構成では、被測定デバイス２により接点シート１
Ｂが上方から押圧されると、被測定デバイス２の各端子
２ａを回路基板４上の対応する端子４ａに導通接続させ
るための経路が複数存在する。具体的には、接点部１１
Ａ→金属球１０Ａ→金属球１０Ｂ→接点部１１Ｂの経
路、接点部１１Ａ→金属球１０Ａ→金属球１０Ｃ→接点
部１１Ｂの経路、接点部１１Ａ→金属球１０Ａ→金属球
１０Ａ，１０Ｂ→接点部１１Ｂの経路が存在する。これ
により、被測定デバイス２により接点シート１Ｂが上方
から押圧された際、被測定デバイス２の各端子２ａと回
路基板４上の対応する端子４ａとの間の導電性の安定を
増すことができる。

【００４１】また、接点シート１Ｂを採用した構成で
は、被測定デバイス２の各種特性測定が終了して被測定
デバイス２による押圧が解除されると、貫通穴１２内の
小さい径の２つの金属球１０Ｂ，１０Ｃが元の位置に戻
ろうとして同等の復帰力が働く。そして、大きい径の金
属球１０Ａが金属球１０Ｂ，１０Ｃの復元力により両側
から上方に押し上げられるので、接点シート１Ｂを元の
位置までより確実に復帰させることができる。

【００４２】次に、第３実施の形態の接点シート１Ｃ
（１）は、図７および図８に示すように、接点部１１
Ａ，１１Ｂに導通部材１０が一体形成されたものであ
る。図７および図８の例の導通部材１０は、一つの端子
につき、２個の円錐形状の導電性部材で構成される。こ
の２個の導通部材１０は、弾性部材９の貫通穴１２内で
絶縁シート８Ａ，８Ｂの接点部１１Ａ，１１Ｂの対面す
る面に例えばメッキにより一体に形成されており、円錐
形状の頂点（中心位置）がずれて位置し、接点シート１
Ｃに対して被測定デバイス２が押圧されたときに、絶縁
部材８の押圧によって貫通穴１２内で摺動するようにな
っている。

【００４３】図７および図８に示す接点シート１Ｃを採
用した構成では、仮に導通部材１０が接点部１１から取
れてしまっても、対向する導通部材１０との間の斜面同
士が貫通穴１２内で摺動して動作させることができる。

【００４４】次に、第４実施の形態の接点シート１Ｄ
（１）は、第１実施の形態の接点シート１Ａにおける接
点部１１Ａ，１１Ｂを有する絶縁シート８Ａ，８Ｂが無
い構造である。この接点シート１Ｄは、図９（ａ），
（ｂ）に示すように、導電性を有する導通部材１０の一
部が表裏面から露出するように導通部材１０が可撓性を
有する弾性部材９に一体に設けられ、被測定デバイス２
の各端子２ａおよび回路基板４上の各端子４ａと対応し
て導通部材１０が位置している。

【００４５】具体的に、図９（ａ），（ｂ）の例では、
シリコンゴムを弾性部材９として用い、導通部材１０と
して径の異なる大小２個の金属球１０Ａ．１０Ｂが弾性
部材９内に一括成形され、金属球１０Ａ，１０Ｂの一部
が弾性部材９の表裏面から露出している。この構成によ
れば、被測定デバイス２が上方から接点シート１Ｄに押
し付けられると、被測定デバイス２の押圧により接点シ
ート１Ｄが横方向に摺動しつつ厚さ方向に変位する。こ
れにより、大小２個の金属球１０Ａ，１０Ｂが相反する
方向に移動し、被測定デバイス２の各端子２ａと回路基
板４上の対応する端子４ａとの間が接点シート１Ｄの導
通部材１０（１０Ａ，１０Ｂ）を介して導通する。

【００４６】なお、図９（ａ），（ｂ）の接点シート１
Ｄでは、導通部材１０として径の異なる大小２個の金属
球１０Ａ，１０Ｂが弾性部材９としてのシリコンゴムに
設けられているが、導通部材１０として同径の金属球を
用いてもよい。また、導通部材１０としては、少なくと
も表面に導電性を有していればよく、金属球に限定され
ず、導電性ゴム（球状）を用いてもよい。さらに、導通
部材１０は、２個に限らず、１個又は３個用いてもよ
い。

【００４７】次に、上述した接点シート１を測定用治具
３に装着して被測定デバイス２の各端子２ａと回路基板
４上の対応する各端子４ａとの間を導通接続し、被測定
デバイス２の測定を行う場合の動作について説明する。
ここでは、第１実施の形態の接点シート１Ａを用いた場
合を例にとって説明する。

【００４８】まず、測定用治具３の回路基板４上の位置
決めピン６に接点シート１Ａの位置決め穴１３を挿通し
て位置決めする。その後、回路基板４の取付穴７からネ
ジ止めし、回路基板４に接点シート１Ａを固定する。こ
の状態で、接点シート１Ａの裏面側の各接点部１１Ｂ
は、回路基板４の対応する各端子４ａに押圧接触してい
る。

【００４９】次に、被測定デバイス２の各端子２ａが接
点シート１Ａの表面側の各接点部１１Ａと一致するよう
に接点シート１Ａの上から被測定デバイス２を押圧す
る。この接点シート１Ａに対する被測定デバイス２の押
圧により、２枚の絶縁シート８Ａ，８Ｂの弾性部材９に
密着した後、接点シート１Ａが厚さ方向に微小に変位す
る。

【００５０】すなわち、接点シート１Ａの各接点部１１
Ａ，１１Ｂが弾性部材９の貫通穴１２内に設けられた２
個の金属球１０Ａ，１０Ｂを押圧し、２個の金属球１０
Ａ，１０Ｂが互いに弾性部材９の横方向（幅方向、長さ
方向）に逃げて貫通穴１２を横に押し広げる。これによ
り、弾性部材９が厚さ方向に変位する。

【００５１】なお、図面上では表現されていないが、本
例の接点シート１Ａの変位量の具体的数値例を示すと、
弾性部材９が撓む前の上下接点間の厚さ（図３のＬ）を
０．５ｍｍとすると、弾性部材９の撓み後は０．４ｍｍ
となる。

【００５２】そして、以上の動作により、被測定デバイ
ス２の各端子２ａが接点シート１Ａの２個の金属球１０
Ａ，１０Ｂを介して回路基板４上の対応する各端子４ａ
と導通接続される。

【００５３】被測定デバイス２の特性測定が終了し、接
点シート１Ａに対する被測定デバイス２の押圧が解除さ
れると、貫通穴１２を横に押し広げた金属球１０Ａ，１
０Ｂが元の位置に戻ろうとする復帰力が働く。その際、
径の小さい金属球１０Ｂの中心が径の大きい金属球１０
Ａの中心よりも低い位置にあるため、金属球１０Ｂの復
帰力によって金属球１０Ａが上方に押し上げられる。そ
の結果、図３に示すように、弾性部材９および２枚の絶
縁シート８Ａ，８Ｂが元の位置に戻る。

【００５４】このように、本例の接点シート１（１Ａ〜
１Ｄ）およびそれを用いた測定用治具３によれば、被測
定デバイスの各端子と検査用の回路基板上の対応する各
端子との間を導通接続させるにあたって、従来の構成よ
りも安定した接圧で大きなストロークが得られるので、
被測定デバイス２のばらつき（端子高さのばらつき、本
体の反りなど）が生じていても、被測定デバイス２の全
ての端子２ａと回路基板４上の対応する端子４ａとの間
の導通をより確実なものとすることができる。これによ
り、被測定デバイス２の各種特性測定を正確に行うこと
ができる。

【００５５】特に、第１又は第２実施の形態の接点シー
ト１Ａ（又は１Ｂ）を採用した構成では、接点シート１
Ａ（又は１Ｂ）が被測定デバイス２により押圧される
と、弾性部材９の貫通穴１２内で金属球１０Ａ，１０Ｂ
（又は１０Ａ〜１０Ｃ）が貫通穴１２を横方向に押し広
げるように逃げるので、被測定デバイス２の各端子２ａ
に対する接点部１１の接圧をより安定させることができ
る。

【００５６】また、被測定デバイス２として、電極が細
かいピッチで格子状に配置された高周波デバイスの測定
も可能となる。

【００５７】各実施の形態の接点シート１（１Ａ〜１
Ｃ）は、被測定デバイス２の各端子２ａが接触する接点
部１１Ａの先端部分を錘形状としたので、被測定デバイ
ス２と接点シート１との間にゴミが混入した場合、接点
部１１Ａにゴミが止まるのを低減することができる。

【００５８】特に、第１又は第３実施の形態の接点シー
ト１Ａ又は１Ｄを採用した構成では、被測定デバイス２
の押圧により接点シート１が横方向に摺動しつつ厚さ方
向に変位するので、被測定デバイス２と接点シート１と
の間にゴミが混入した場合、接点部１１Ａの先端形状
（錘形状）との相乗効果により、ゴミがより除去されや
すくなり、ゴミに対して強くすることができる。

【００５９】導通部材１０として大小径の異なる２個又
は３個の球部材（金属球や導電性ゴム球）を使用した場
合、被測定デバイス２の押圧により球部材が完全に押し
込まれたとき、貫通穴１２内において径の小さい球部材
が径の大きい球部材の下に潜り込み、径の小さい球部材
が径の大きい球部材を押し上げる関係になるので、接点
シートを安定して元の位置まで復帰させることができ
る。

【００６０】ところで、上述した各実施の形態では、接
点シートの接点部が円柱形状であるものとして説明した
が、円柱形状に限らず、角柱形状でもよい。

【００６１】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、従来の構成よりも安定した接圧で大きなストロ
ークが得られるので、被測定デバイスのばらつき（端子
高さのばらつき、本体の反りなど）が生じていても、被
測定デバイスの全ての端子と回路基板上の対応する端子
との間の導通をより確実なものとすることができる。こ
れにより、被試験デバイスの各種特性測定を正確に行う
ことができる。

【００６２】また、被測定デバイスとして、電極が細か
いピッチで格子状に配置された高周波デバイスの測定も
可能となる。

【００６３】被測定デバイスの押圧により接点シートが
横方向に摺動しつつ厚さ方向に変位構成によれば、被測
定デバイスと接点シートとの間にゴミが混入しても、ゴ
ミが除去されやすくなり、ゴミに対して強くすることが
できる。

【００６４】導通部材として大小径の異なる２個又は３
個の球部材（金属球や導電性ゴム球）を使用した構成に
よれば、被測定デバイスの押圧により球部材が完全に押
し込まれたとき、貫通穴内において径の小さい球部材が
径の大きい球部材の下に潜り込み、径の小さい球部材が
径の大きい球部材を押し上げる関係になるので、接点シ
ートを安定して元の位置まで復帰させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による接点シートが装着された測定用治
具の斜視図、図２は、図３および図４は図２の、図４乃
至図９は本発明による接点シートの他の実施の形態を示
す部分拡大断面図

【図２】本発明による第１実施の形態の接点シートの平
面図

【図３】図２の接点シートの部分拡大断面図であり、被
測定デバイスの各端子と回路基板上の対応する端子との
間を導通させる前の状態を示す図

【図４】図２の接点シートの部分拡大断面図であり、被
測定デバイスの各端子と回路基板上の対応する端子との
間を導通させた状態を示す図

【図５】本発明による第２実施の形態の接点シートの部
分拡大断面図であり、被測定デバイスの各端子と回路基
板上の対応する端子との間を導通させる前の状態を示す
図

【図６】本発明による第２実施の形態の接点シートの部
分拡大断面図であり、被測定デバイスの各端子と回路基
板上の対応する端子との間を導通させた状態を示す図

【図７】本発明による第３実施の形態の接点シートの部
分拡大断面図であり、被測定デバイスの各端子と回路基
板上の対応する端子との間を導通させる前の状態を示す
図

【図８】本発明による第３実施の形態の接点シートの部
分拡大断面図であり、被測定デバイスの各端子と回路基
板上の対応する端子との間を導通させた状態を示す図

【図９】（ａ）本発明による第４実施の形態の接点シー
トの部分拡大断面図であり、被測定デバイスの各端子と
回路基板上の対応する端子との間を導通させる前の状態
を示す図 （ｂ）被測定デバイスの各端子と回路基板上の対応する
端子との間を導通させた状態を示す図

【図１０】従来の接点シートの構成を示す図であり、被
測定デバイスの各端子と回路基板上の対応する端子との
間を導通させる前の状態を示す図

【図１１】図１０の接点シートであって、被測定デバイ
スの各端子と回路基板上の対応する端子との間を導通さ
せた状態を示す図

【図１２】従来の接点シートの他の構成を示す図であっ
て、被測定デバイスの各端子と回路基板上の対応する端
子との間を導通させた状態を示す図

【図１３】被測定デバイスの端子がリード端子の場合の
従来の接点シートによる導通状態を示す図

【図１４】従来の接点シートを採用した際に、被測定デ
バイスの本体が反っている場合の問題を説明するための
図

【符号の説明】

１（１Ａ〜１Ｄ）…接点シート、２…被測定デバイス、
２ａ…端子、３…測定用治具、４…検査用の回路基板、
４ａ…端子、５…コネクタ部、８…絶縁部材、８Ａ，８
Ｂ…絶縁シート、９…弾性部材、１０…導通部材、１０
Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…金属球、１１（１１Ａ，１１Ｂ）
…接点部、１２…貫通穴。

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA07 AG03 AG12 AG16 AH05 AH07 2G011 AA09 AA15 AA21 AB02 AB06 AB08 AC13 AC14 AC32 AE22 AF06 AF07 2G132 AF07 AL03 AL11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定デバイス（２）の端子（２ａ）
   と、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の回路基
   板（４）上に設けられる端子（４ａ）との間を導通接続
   するために用いられる接点シート（１）において、 前記被測定デバイスの端子と対応する位置および前記回
   路基板上の端子と対応する位置のそれぞれに導通性を有
   する接点部（１１）が表裏に設けられた２枚のシート状
   からなる絶縁部材（８）と、 前記それぞれの接点部と対応する位置に貫通穴（１２）
   が形成され、前記２枚の絶縁部材の間に設けられ、前記
   被測定デバイスの押圧により変形可能な可撓性を有する
   弾性部材（９）と、 前記弾性部材の前記貫通穴内に設けられ、少なくとも表
   面に導電性を有する２個以上の導通部材（１０）とを備
   えたことを特徴とする接点シート。
2. 【請求項２】 被測定デバイス（２）の端子（２ａ）
   と、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の回路基
   板（４）上に設けられる端子（４ａ）との間を導通接続
   するために用いられる接点シート（１）において、 前記被測定デバイスの端子と対応する位置および前記回
   路基板上の端子と対応する位置のそれぞれに導通性を有
   する接点部（１１）が表裏に設けられた２枚のシート状
   からなる絶縁部材（８）と、 前記それぞれの接点部と対応する位置に貫通穴（１２）
   が形成され、前記２枚の絶縁部材の間に設けられ、前記
   被測定デバイスの押圧により変形可能な可撓性を有する
   弾性部材（９）と、 前記弾性部材の前記貫通穴内で前記接点部の対面する面
   に互いに摺動可能にされ、前記絶縁部材に形成された少
   なくとも表面に導電性を有する導通部材（１０）とを備
   えたことを特徴とする接点シート。
3. 【請求項３】 被測定デバイス（２）の端子（２ａ）
   と、該被測定デバイスの端子と対応して検査用の回路基
   板（４）上に設けられる端子（４ａ）との間を導通接続
   するために用いられる接点シート（１）において、 前記被測定デバイスの端子と対応する位置および前記回
   路基板上の端子と対応して位置する導電性を有する導通
   部材（１０）と、 前記導通部材の一部が表裏面から露出するように該導通
   部材と一体に設けられ、前記被測定デバイスの押圧によ
   り変形可能な可撓性を有する弾性部材（９）とを備えた
   ことを特徴とする接点シート。
4. 【請求項４】 前記導通部材（１０）は、少なくとも表
   面に導電性を有する球状部材からなることを特徴とする
   請求項１又は３記載の接点シート。
5. 【請求項５】 前記導通部材（１０）は、少なくとも表
   面に導電性を有し、かつ径が異なる２個又は３個の球状
   部材からなることを特徴とする請求項１又は３記載の接
   点シート。
6. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかに記載の接点シー
   ト（１）と、前記被測定デバイス（２）に前記接点シー
   トを押圧したときに該接点シートの接点部（１１）を介
   して前記被測定デバイスのそれぞれの端子（２ａ）と導
   通接続される複数の端子（４ａ）を有する回路基板
   （４）が搭載された治具本体（３ａ）と、 前記回路基板の各端子と前記被測定デバイスの各種測定
   を行うための特性測定装置との間を前記回路基板上の配
   線パターンを介して電気的に接続するために前記治具本
   体に設けられたコネクタ部（５）とを備えたことを特徴
   とする測定用治具。