CN102798741A - 弹簧式微型高频探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种弹簧式微型高频探针，包含有一导体，该导体包括一固定身部及一活动身部，其中，固定身部具有一第一导电端、一接触端与一第一引导件；活动身部具有一第二导电端、一弹簧结构与一第二引导件，该弹簧结构一端连结该固定身部，另一端连接该第二导电端，该第二引导件连结于弹簧结构上，使弹簧结构的压缩方向受到该导轨的限制，藉此控制该第一与第二导电端受压迫时的滑移动态，降低接触阻抗；且因该第一与第二引导件并不会限制弹簧结构的宽度，因此弹簧宽度可尽量利用有限的设计空间放大，藉此，在符合预定总弹性行程规格下，可使整体微型高频探针长度达到最短，以有效提升高频信号的传输效能。

Description

弹簧式微型高频探针

技术领域

本发明属于垂直式探针技术领域，具体涉及一种弹簧式微型高频探针。

背景技术

图1所示为一种已知的垂直式探针单元1，该探针单元1必须包括弹簧结构2，目的在于利用弹簧结构2具有的压缩变形特性，以提供连接在弹簧结构2一端的探针3在接触待测电子元件的接触垫(Pad)9时所需要的缓冲行程，据以确保探针3与接触垫9之间有良好的接触效果，并避免过大的接触压力对探针3或待测电子元件造成损坏。

图2所示为另一种已知的垂直式探针单元5，该探针单元5同样具备有弹簧结构，不同的是，其弹簧结构包括一第一弹簧6与一第二弹簧7，且第一弹簧6外端连接一探针6a，第二弹簧7外端连接一杆体7a，换言之，此探针单元5的探针6a及杆体7a是可受压而改变位置的，此结构乃因应不同使用环境而设计，其功效与上述探针单元1可达到相同功效。

上述各已知的探针单元虽可达成测试使用目的，但却存在着相同的缺失而有待改善，尤其是当探针单元用于传输高频信号时，盖因具有良好高频信号传输效能的探针单元，有助于精准检测待测电子元件的质量。然而，上述各已知探针单元具有相同特点，即弹簧结构皆被框限在一个具有内壁的固定座当中，如图1所示，弹簧结构2位在护杆4的二平行边墙之间，图2所示的第一弹簧6与第二弹簧7则位于套筒8中，前述情形皆对弹簧结构的宽度W造成了限制。当该探针单元设计尺寸越来越小时，在有限的治具孔径内，上述护杆4或套筒8所占据的体积，相对于弹簧尺寸设计的限制将大幅影响该探针单元的性能表现。此外，一般已知的弹簧针仅能垂直上下作动，对于测平面待测垫时，探针针尖无法侧向刮开表面氧化层，造成接触阻抗过大，无法适用于此类测试。

有鉴于此，期望探针单元在有限的外径D(即护杆或套筒的外径)与材料降伏强度限制下，能通过结构设计将弹簧结构宽度W尽量放大，以期达到最佳压缩性能(即最佳工作行程)，此时即可缩短整体弹簧长度，降低电信号传输电感，提升传输带宽；进一步地，希望通过结构设计来控制弹簧动态，以符合不同待测物的需求，例如测平面测垫时，探针针尖若可侧向刮除表面氧化层动态时，相较于一般已知的弹簧针只能垂直上下接触平面测垫而言，其接触阻抗可更加稳定，可提供更佳的测试质量。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题是提供一种弹簧式微型高频探针，其可在不增加弹簧结构长度的情况下，使得探针具有最佳工作行程，且有效提升高频信号的传输效能。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明所提供弹簧式微型高频探针，其包含有一导体，该导体具有一第一导电端与一第二导电端，其特征在于：导体包括一固定身部及一活动身部，其中，固定身部包括该第一导电端、一接触端与一第一导引件形成于该第一导电端与该接触端之间；活动身部包括该第二导电端、一弹簧结构与一第二导引件，该第二导电端位于该固定身部的接触端外侧，该弹簧结构一端连结该固定身部，另一端连接该第二导电端，且弹簧结构的宽度大于该第一导引件宽度，该第二导引件连结于弹簧结构上，并与该第一导引件配合，使得弹簧结构的压缩方向受到限制。

在一实施例中，固定身部具有彼此连结且相隔一固定间距的一上夹板与一下夹板，该上、下夹板的至少其中之一具有一导轨构成该第一导引件，且上、下夹板相连结的一端设有一穿孔，该穿孔内壁构成该接触端；该活动身部的弹簧结构位于该上、下夹板之间，且弹簧结构连接一穿过该穿孔的针体，该针体末端构成该第二导电端，该第二导引件包括至少二导块连结于弹簧结构上，且该二导块分别位于夹板的导轨的两侧。

在一实施例中，活动身部的弹簧结构包括多段相连接的悬臂梁，且至少邻近于该导轨的悬臂梁两端的距离为弹簧结构的宽度且大于该夹板导轨的宽度。

在一实施例中，还包括至少一导电板，该导电板设于该上、下夹板其中之一的表面上。

在一实施例中，固定身部为一板体，该板体具有一导槽构成该第一导引件；该活动身部的弹簧结构包括一上弹簧与一下弹簧，该上、下弹簧分别位于该板体的两侧面，且上、下弹簧的末端共同连结一导柱，该导柱末端构成该第二导电端。

在一实施例中，固定身部的导槽具有一封闭端与一开放端，导槽于开放端的内壁构成该接触端；活动身部的上、下弹簧末端所连结的导柱穿出该导槽的开放端。

在一实施例中，第一导引件为弯曲杆体或弯曲导槽。

本发明还提供一种弹簧式微型高频探针，其包含有一导体，该导体具有一第一导电端与一第二导电端，其特征在于：该导体包括一固定身部及一活动身部，其中，固定身部包括一第一接触端、一第二接触端与一第一导引件位于该第一接触端与该第二接触端之间；活动身部包括该第一导电端、该第二导电端、一弹簧结构与一第二导引件，其中，弹簧结构一端连接该第一导电端，且第一导电端位于该固定身部的第一接触端外侧；弹簧结构另一端连接该第二导电端，且第二导电端位于该固定身部的第二接触端外侧；该第二导引件连结于弹簧结构上，并与第一导引件配合，使得弹簧结构的压缩方向受到限制，并且，弹簧结构的宽度大于所对应的第一导引件的宽度。

在一实施例中，本发明的微型高频探针包括一分隔件连接该固定身部与活动身部，且该分隔件对该固定身部的第一导引件区分成两部分，以及对该活动身部的弹簧结构区分出一第一弹簧结构与一第二弹簧结构，其中，第一弹簧结构位于第一导引件的其中一部分中，第二弹簧结构位于第一导引件的另一部分中。

附图说明

图1为一种已知垂直式探针结构；

图2为另一种已知垂直式探针结构；

图3为本发明第一优选实施例的高频探针立体图；

图4为图3的局部剖面立体图；

图5为一侧视图，显示了高频探针未下压；

图6为一侧视图，显示高频探针下压接触待测电子元件；

图7为本发明第二优选实施例的高频探针立体图；

图8为图7的局部剖面立体图；

图9为本发明第三优选实施例的高频探针立体图；

图10为本发明第四优选实施例的高频探针立体图；

图11为图10的局部剖面立体图；

图12为本发明第五优选实施例的高频探针立体图；

图13为图12的仰视图；

图14为本发明第六优选实施例的高频探针立体图；

图15为图14的局部剖面立体图；

图16为本发明第七优选实施例的高频探针立体图；

图17为本发明第八优选实施例的高频探针立体图；

图18为本发明第九优选实施例的高频探针立体图；

图19为图18的局部剖面立体图；

图20为一立体图，其中导轨型态为弯曲杆体；

图21为一立体图，其中导轨型态为弯曲导槽；

图22为一平面图，其中导板的限位孔形状呈矩形。

【主要元件符号说明】

10高频探针

12导体                12a第一导电端         12b第二导电端

14固定身部            141上夹板             141a第一宽面部

141b导轨              141c第二宽面部        142下夹板

143穿孔               143a接触端            16活动身部

161悬臂梁             161a水平段            161b垂直段

162针体               163导块

20高频探针

22上夹板             22a导轨          24下夹板

26弹簧结构           26a左导块        26b右导块

28针体               29导电板

30高频探针

31板体               311导槽          311a封闭端

311b开放端           32上弹簧         321悬臂梁

321a水平段           321b垂直段       33下弹簧

34导块               341导柱

35高频探针

36弹簧结构           37板体           37a导槽

38导柱               39导块

40高频探针

40a第一导电端        40b第二导电端    42固定身部

421第一穿孔          421a第一接触端   422第二穿孔

422a第二接触端       423分隔件        424第一导轨

425第二导轨          44活动身部       441第一弹簧结构

442第二弹簧结构      443杆体          444针体

45导块

46高频探针

46a第一导电端        46b第二导电端    47固定身部

47a穿孔              47b穿孔          48第一弹簧结构

49第二弹簧结构

50高频探针

50a第一导电端        50b第二导电端    52板体

52a第一导槽          52b第二导槽      54第一弹簧结构

54a上弹簧            54b下弹簧        55导块

551杆体              56第二弹簧结构   56a上弹簧

56a上弹簧            56b下弹簧        57导块

571针体

60待测电子元件

62弯曲杆体

64弯曲导槽

70导板

72限位孔

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。

图3、图4及图5所示为本发明第一优选实施例的弹簧式微型高频探针10，尤其是指其外径尺寸也设定为与上述已知探针的外径D相同，在该限制条件下，本实施例的高频探针10具有一用于将检测机的高频测试信号传导至一对应的待测电子元件的导体12，该导体12是经光刻蚀刻工艺而制得的，具有一固定身部14与一活动身部16的层叠结构，因光刻蚀刻工艺为现有技术，在此不予赘述。现就该导体12的结构叙述如后，其中：

固定身部14具有前、后端彼此连结且相隔一固定间距的一上夹板141与一下夹板142，在本实施例中，上、下夹板为相同结构者，为便于描述，现以上夹板141为例说明，且后面介绍的各实施例也相同。

上夹板141具有依序连接的一第一宽面部141a、一以导轨141b为例的第一导引件与一第二宽面部141c，该导轨141b的宽度为d。并且，固定身部14在上、下夹板相连结的前端构成该导体12的第一导电端12a，该第一导电端12a用于电性连接检测机的信号传输接点(图未示)；固定身部14在上、下夹板相连结的后端则具有一个穿孔143，该穿孔143是在光刻蚀刻工艺中预留形成的，其内壁构成一接触端143a。

活动身部16具有一位于该上夹板141与下夹板142之间且可压缩变形的弹簧结构，该弹簧结构在本实施例中是由多段相连接的悬臂梁161所组成，且每一悬臂梁161由一水平段161a与一垂直段161b构成，其中，悬臂梁161的水平段161a的两端距离D即为所述的高频探针10外径，且该距离D大于该导轨141b的宽度d。

弹簧结构一端连接于该固定身部14近前端处，另一端则一体连接有一针体162，该针体162穿过该固定身部14后端的穿孔143，且针体162末端构成该导体12的第二导电端12b，如图5所示，该第二导电端12b位于该固定身部14的外侧而可用于接触待测电子元件60，并且，针体162与穿孔143内壁之间仅有极细微的间隙，换言之，在图6所示的针体162触压待测电子元件60并有微量偏移时，针体162侧边将与构成该接触端143a的穿孔143内壁接触，进而使得针体162与该固定身部14形成电性连接。

此外，上述活动身部16还具有一由二导块163构成的第二导引件，该二导块163连结于悬臂梁161上，且分别位在该固定身部14的导轨141b的两侧，该二导块163提供弹簧结构于压缩变形时不会往左右侧挤压变形，弹簧结构同时受到该上夹板141与下夹板142的夹制而不会往上下侧挤压变形，据以确保弹簧结构稳定压缩变形，藉此控制该第二导电端12b受压迫时的滑移动态。

在上述结构中，高频探针10的活动身部16不仅受到良好的拘束限制，且其弹簧结构的每一悬臂梁161的水平段161a长度被以相同图1或图2所显示的探针单元的固定座外径D限制而制作时，将使得每一悬臂梁161的压缩变形更为容易，更具体地说，在高频探针10的最大外径被要求与已知探针单元外径相同的限制条件下，本发明的弹簧结构可在更短的结构高度内达到相同的压缩空间，即等同于已知探针单元的探针的默认压缩退移量，换言之，该固定身部14的前、后端距离也将获得减缩，高频探针10的总长度受到缩减。

而在高频探针10的针体162触压待测电子元件60致偏移抵接固定身部14的穿孔143内壁时，虽然在导体12的第一导电端12a与第二导电端12b之间将有包括固定身部14以及活动身部16的两条信号传输路径形成，但因电子信号会选择路径较短的传导路径前进，故当高频探针10处于图6所示的状态时，来自检测机的高频测试信号将依序循着第一导电端12a、固定身部14、第二导电端12b，再进入待测电子元件60，而不会包含多个悬臂梁161的活动身部16，换言之，该高频探针10因信号传导路径缩短而降低其电感，提高了传输带宽。

另外值得一提的是，通过控制第一宽面部141a与第二宽面部141c的面积，可达调整高频探针10阻抗匹配的目的。

图7及图8所示为本发明第二优选实施例的弹簧式微型高频探针20，其具有大致相同上述第一优选实施例的层叠结构，即包括上夹板22、下夹板24、弹簧结构26及针体28，所不同的是：

该高频探针20的各夹板的导轨(仅以上夹板22的导轨22a为例)延展长度大于第一优选实施例的导轨141b长度；弹簧结构26为多个弹性体组成，其导块区分有多个左导块26a与多个右导块26b，且各左、右导块自夹板的前端往后端方向各别连结于对应的每一悬臂梁上，而呈左右夹制该导轨22a，据以确保弹簧结构26稳定压缩变形的目的。

此外说明的是，由于上述二实施例中固定身部的夹板是位于高频探针的最外侧处，基于此，本发明可再加设至少一面的导电板贴于夹板表面，利用放大信号传导面积的方式来达到再提高传输带宽的目的，或者说控制导电板的面积大小，来设计高频探针所需要的目标特性阻抗，达到阻抗匹配的效果。请参图9所示的第三优选实施例，即以第二优选实施例的高频探针20为基础，再于其上夹板22的表面贴设有导电板29，且导电板29是以不会干涉弹簧结构压缩变形的方式被加装。在本发明第一优选实施例中，第一宽面部141a及第二宽面部141c的面积大于该导轨141b的面积，其作用即在于调整第一宽面部141a及第二宽面部141c的面积，以达到阻抗匹配的效果。

图10及图11所示为本发明第四优选实施例的弹簧式微型高频探针30，其仍是经光刻蚀刻工艺而制得，与上述各实施例不同的是：

本实施例的导体结构中的固定身部为一板体31，板体31具有一导槽311构成的第一导引件，该导槽311在本实施例中是具有一封闭端311a与一开放端311b，且导槽311于开放端311b的内壁构成该接触端，板体31于相对该接触端的另一端则构成用于电性连接检测机信号传输接点的第一导电端。必须强调的是，导槽结构并不以具备开放端为必要，其可为完全封闭状，即，封闭导槽的内壁即是接触端。

导体结构中的活动身部的弹簧结构则包括一上弹簧32与一下弹簧33，该上、下弹簧分别位于该板体31的两侧面，且不受板体31的影响而于受压时可变形，由于上、下弹簧结构相同，现以该上弹簧32为例继续说明。上弹簧32也由多段相连接的悬臂梁321所组成，且各悬臂梁321由一水平段321a与一垂直段321b构成，同样地，悬臂梁321的水平段321a两端的距离D也被设定为高频探针的最大外径，且该距离D大于导槽311的槽宽。

该上、下弹簧并在末端处共同连结有一导块34构成的第二导引件，导块34再连结一导柱341，该导柱341穿出该导槽311的开放端311b，且其末端构成可用于接触待测电子元件(图未示)的第二导电端，导柱341的移动行程受到该导槽311的封闭端311a限制。同样地，导柱341在触压待测电子元件时将因微量偏移而接触该导槽311开放端311b的内壁(即该接触端)，以使导柱341与该板体31电性连接形成最短传导路径，进而达成降低导体的电感以提升高频信号传输效能的目的。

图12及图13所示为本发明第五优选实施例的弹簧式微型高频探针，其具有与上述第四优选实施例大致相同的结构及功效，所不同的是：本第五优选实施例的高频探针35仅具有一弹簧结构36贴近板体37，且弹簧结构36一端连接一导柱38，导柱38下方设有一导块39，导块39即是构成第二导引件，且其可沿着板体37的一导槽37a(即第一导引件)而移动。同样地，导槽37a不以必须具备开放端为限。前述结构的特色在于构件简化。

图14及图15所示为本发明第六优选实施例的弹簧式微型高频探针40，其具有别于上述各实施例仅具单一个可受压改变位置的导电端的结构，即，该高频探针40的第一导电端40a与第二导电端40b是可受压而改变位置的，为达成前述目的，该高频探针40的导体是以图7所示结构为基础再作衍生变化，更具体地说，高频探针40具有上、下夹板连结而成的固定身部42，且固定身部42的两端分别具有一第一穿孔421与一第二穿孔422，穿孔内壁各别为一第一接触端421a及一第二接触端422a，另有一分隔件423位于上、下夹板的中间部位，用于区分出呈直杆状的一第一导轨424(即第一导引件)形成于该第一接触端421a与该分隔件423之间，以及呈直杆状的一第二导轨425(即另一第一导引件)形成于该第二接触端422a与该分隔件423之间。

高频探针40的活动身部44包括一第一弹簧结构441、一第二弹簧结构442、一杆体443与一针体444，其中，第一弹簧结构441与第二弹簧结构442也分别由多个悬臂梁所组成，且一端各别连结于该分隔件423上，所述悬臂梁的水平段的两端距离即为高频探针40的最大外径且大于上述导轨的宽度，另需说明的是，各弹簧结构一端并不以必须连结该分隔件423为限，其可改成与分隔件423为活动接触的分离方式设计。第一弹簧结构441的另一端连接该杆体443，该杆体443穿过第一穿孔421且末端构成该第一导电端40a；第二弹簧结构442的另一端则连接该针体444，该针体444穿过第二穿孔422且末端构成该第一导电端40b。前述第一导电端40a用于电性连接检测机的信号传输接点，第二导电端40b则用于接触待测电子元件(图未示)。

同样地，高频探针40也在每一弹簧结构的悬臂梁上分别设置有至少二导块45(即第二导引件)，用于夹制各导轨，以避免弹簧结构受压时产生侧向挤压变形。本高频探针40即是利用杆体443与针体444分别承受来自上方及下方的压力而偏移接触该第一接触端421a及第二接触端422a，进一步形成最短传导路径而可提升高频信号传输效能。

另需说明的是，可使两个导电端受压而改变位置的结构不以图14所示必须具备第一与第二弹簧结构者为限，即，可将第一与第二弹簧结构整合成单一弹簧结构体，该单一弹簧结构体的两端即各别是一个导电端，配合取消固定身部的分隔件结构，即可在该单一弹簧结构体承受来自上、下两端的外力作用下，促使该二导电端改变位置。

图16为本发明第七优选实施例的弹簧式微型高频探针46，其第一导电端46a与第二导电端46b同样是可受压而改变位置的，该高频探针46是以图3所示结构为基础再作衍生变化，更具体地说，高频探针46也具有一由上、下夹板连结而成的固定身部47，该固定身部47两端分别具有穿孔47a与穿孔47b，此外，高频探针46具有设置于该固定身部47中的第一弹簧结构48与第二弹簧结构49，其中第一弹簧结构48的一端穿出该穿孔47a，并于末端构成该第一导电端46a，第二弹簧结构49的一端穿出该穿孔47b，并于末端构成该第二导电端46b。

再说明的是，类似上述具有两个活动导电端的结构除了图14及图16所呈现者外，其中图12所显示的高频探针也可被制作成具有两个活动导电端的结构，如图17所示的第八优选实施例即是。并且，上述高频探针40与高频探针46也可选择在其上、下夹板之一的表面贴设有导电板(图未示)以提高传输带宽。

图18及图19所示为本发明第九优选实施例的弹簧式微型高频探针50，其同样具有可受压改变位置的第一导电端50a与第二导电端50b，不同的是，高频探针50是以图10所示结构为基础再作衍生变化，即，其固定身部仍为一板体52，其第一导引件为一第一导槽52a，另一第一导引件为一第二导槽52b，各导槽内壁也构成接触端；活动身部的第一弹簧结构54与第二弹簧结构56各由分别位在该板体52两侧的一上弹簧54a，56a与一下弹簧54b，56b所构成，其中第一弹簧结构54的上、下弹簧之间连结一导块55构成的第二导引件，导块55再连结一杆体551，杆体551顺沿第一导槽52a移动且末端构成该第一导电端50a；第二弹簧结构56的上、下弹簧之间也连结一导块57构成的第二导引件，导块57再连结一针体571，该针体571顺沿第二导槽52b移动且末端构成该第二导电端50b。同样地，在杆体551及针体571接触对应导槽的内壁时，该针体571、板体52及杆体551将共同形成最短传导路径而可提升高频信号的传输效能。

值得一提的是，上述包括第一弹簧结构与第二弹簧结构，或包括上弹簧与下弹簧的高频探针，可选择在其各弹簧结构之间以增设连结块的方式来连接彼此，或不选择设置连结块而使得各弹簧结构互为独立。

上述所有实施例中的第一导引件型态有两种，其一是直杆状的导轨，如图3、图7、图14及图16，其二为导槽结构，如图11、图12、图17及图19；当然配合第一导引件型态的第二导引件也有两种型态，即是图3、图7、图14及图16所示的导块，以及图11、图12、图17及图19所示的导块。而为强化高频探针的针体在接触待测电子元件时，能以其针尖部位刮除氧化物表层，以收降低接触阻抗的效果，本发明的第一导引件型态还可以制作成图20所示的弯曲杆体62，或如图21所示的弯曲导槽64。利用非直线轨迹的引导设计，以使高频探针的针体能产生侧向刮除氧化物的功能，据以降低接触阻抗。

补充说明的是，上述各实施例用于接触待测电子元件的针体并不限于一个，其视使用需求而可设计成具有多个相邻的针体，针体形状可如片状。并且，导轨与导块的数量并非固定，而是可视弹簧结构长度予以变更设计。

最后再说明的是，上述所有实施例的高频探针是以垂直设置的方式使用的，而由于高频探针的横截面呈矩形，因此，为使这些高频探针能稳定的上下移动，所选择的用来支撑这些高频探针的导板70的板体上的每一个限位孔72的开口形状以图22所示的矩形为佳。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (20)

1.一种弹簧式微型高频探针，包含有一导体，且该导体具有一第一导电端与一第二导电端，其特征在于：

该导体包括一固定身部及一活动身部，其中：

固定身部包括该第一导电端、一接触端与一第一导引件形成于该第一导电端与该接触端之间；

活动身部包括该第二导电端、一弹簧结构与一第二导引件，其中，该第二导电端位于该固定身部的接触端外侧，该弹簧结构一端连结该固定身部，另一端连接该第二导电端，且弹簧结构的宽度大于该第一导引件宽度，该第二导引件连结于弹簧结构上，并与该第一导引件配合，使得弹簧结构的压缩方向受到限制。

2.如权利要求1所述的弹簧式微型高频探针，其中该固定身部具有彼此连结且相隔一固定间距的一上夹板与一下夹板，该上、下夹板的至少其中之一具有一导轨构成该第一导引件，且上、下夹板相连结的一端设有一穿孔，该穿孔内壁构成该接触端；该活动身部的弹簧结构位于该上、下夹板之间，且弹簧结构连接一穿过该穿孔的针体，该针体末端构成该第二导电端，该第二导引件包括至少二导块连结于弹簧结构上，且该二导块分别位于夹板的导轨的两侧。

3.如权利要求2所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构包括多段相连接的悬臂梁，且至少邻近于该导轨的悬臂梁两端的距离为弹簧结构的宽度且大于该夹板导轨的宽度。

4.如权利要求2所述的弹簧式微型高频探针，还包括至少一导电板，该导电板设于该上、下夹板其中之一的表面上。

5.如权利要求1所述的弹簧式微型高频探针，其中该固定身部为一板体，该板体具有一导槽构成该第一导引件；该活动身部的弹簧结构包括一上弹簧与一下弹簧，该上、下弹簧分别位于该板体的两侧面，且上、下弹簧的末端共同连结一导块构成的第二导引件，该导块再连结一导柱，该导柱末端构成该第二导电端。

6.如权利要求5所述的弹簧式微型高频探针，其中该固定身部的导槽具有一封闭端与一开放端，导槽于开放端的内壁构成该接触端；该活动身部的上、下弹簧末端所连结的导柱穿出该导槽的开放端。

7.如权利要求5所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构包括多段相连接的悬臂梁，且至少邻近于该导槽的悬臂梁两端的距离为弹簧结构的宽度且大于该导槽的槽宽。

8.如权利要求1所述的弹簧式微型高频探针，其中该第一导引件为弯曲杆体。

9.如权利要求1所述的弹簧式微型高频探针，其中该第一导引件为弯曲导槽。

10.如权利要求1所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构为多个弹性体组成。

11.一种弹簧式微型高频探针，包含有一导体，且该导体具有一第一导电端与一第二导电端，其特征在于：

该导体包括一固定身部及一活动身部，其中：

固定身部包括一第一接触端、一第二接触端与一第一导引件位于该第一接触端与该第二接触端之间；

活动身部包括该第一导电端、该第二导电端、一弹簧结构与至少一第二导引件，其中，该弹簧结构一端连接该第一导电端，且第一导电端位于该固定身部的第一接触端外侧；该弹簧结构另一端连接该第二导电端，且第二导电端位于该固定身部的第二接触端外侧；该第二导引件连结于弹簧结构上，并与第一导引件配合，使得弹簧结构的压缩方向受到限制，并且，弹簧结构的宽度大于所对应的第一导引件的宽度。

12.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，其中：

该固定身部具有彼此连结且相隔一固定间距的一上夹板与一下夹板，该上、下夹板的至少其中之一具有一导轨构成该第一导引件，且上、下夹板在相连结的两端分别设有一穿孔，其中一穿孔内壁构成该第一接触端，另一穿孔内壁构成该第二接触端；

该活动身部的弹簧结构位于该上、下夹板之间，弹簧结构一端连接一穿过穿孔的杆体，该杆体末端构成该第一导电端，弹簧结构另一端连接一穿过穿孔的针体，该针体末端构成该第二导电端；第二导引件包括至少二导块，所述导块相对位于导轨的两侧。

13.如权利要求12所述的弹簧式微型高频探针，包括至少一导电板，该导电板设于该上、下夹板其中之一的表面上。

14.如权利要求12所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构包括多段相连接的悬臂梁，每一悬臂梁两端的距离为弹簧结构的宽度且大于导轨宽度。

15.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，其中：

该固定身部为一板体，其第一导引件为一导槽，且该导槽内壁构成该第一接触端；

该活动身部的弹簧结构包括分别位于该板体两侧的一上弹簧与一下弹簧，其中，上、下弹簧共同连结的一端连接有一导块构成的第二导引件，导块再连接穿出导槽的杆体，杆体末端构成该第一导电端，上、下弹簧共同连结的另一端再连接有一导块构成的第二导引件，导块再连接穿出导槽的针体，该针体末端构成该第二导电端。

16.如权利要求15所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构包括多段相连接的悬臂梁，每一悬臂梁两端的距离为弹簧结构的宽度且大于导槽的槽宽。

17.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，包括一分隔件连接该固定身部与活动身部，且该分隔件对该固定身部的第一导引件区分成两部分，以及对该活动身部的弹簧结构区分出一第一弹簧结构与一第二弹簧结构，其中，第一弹簧结构位于第一导引件的其中一部分中，第二弹簧结构位于第一导引件的另一部分中。

18.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，其中该第一导引件为弯曲杆体。

19.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，其中该第一导引件为弯曲导槽。

20.如权利要求11所述的弹簧式微型高频探针，其中该活动身部的弹簧结构为多个弹性体组成。

Images