CN113376412B - 垂直式探针头及其分支式探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种垂直式探针头及其分支式探针。所述分支式探针包含一传输针体与一支臂。所述传输针体包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段。所述支臂自所述固定段朝向所述行程段延伸所形成。所述支臂的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述固定段之间留有一间距。其中，所述分支式探针的所述支臂能够相对于所述传输针体的所述固定段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述固定段位移。据此，所述分支式探针通过支臂的扣持结构来定位于第二导板，所以不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其分支式探针。

Description

垂直式探针头及其分支式探针

技术领域

本发明涉及一种探针头，尤其涉及一种垂直式探针头及其分支式探针。

背景技术

现有的垂直式探针头包含有多个导板及穿设于上述多个导板的多个导电探针，并且上述每个导电探针会受到多个导板的错位所定位。然而，由于现有导电探针的结构设计，使其定位需要由所述多个导板的错位来实现，所以使得导电探针的发展因而受到局限。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种垂直式探针头及其分支式探针，能有效地改善现有垂直式探针头的导电探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种垂直式探针头，其包括一第一导板、一第二导板及多个分支式探针。第一导板形成有多个第一穿孔；一第二导板与第一导板呈间隔地设置，并且第二导板形成有位置分别对应于多个第一穿孔的多个第二穿孔，而每个第一穿孔的尺寸大于相对应第二穿孔的尺寸；多个分支式探针分别穿设于第一导板的多个第一穿孔、并分别穿设于第二导板的多个第二穿孔；其中，每个分支式探针包含有一传输针体及一支臂。传输针体包含有穿设于相对应第一穿孔的一针测段、穿设于相对应第二穿孔的一固定段及连接针测段与固定段的一行程段；一支臂自固定段朝向行程段延伸所形成；其中，支臂的一自由端部形成有一扣持结构，扣持结构扣持于相对应第二穿孔的孔壁、并与传输针体的固定段之间留有一间距；其中，每个分支式探针的支臂能够相对于传输针体的固定段摆动，以使得当每个分支式探针在植入相对应的第二穿孔时，扣持结构能通过朝固定段位移而进入相对应第二穿孔、并以一预定压力扣持于相对应第二穿孔的孔壁。

优选地，于每个分支式探针中，扣持结构包含有一抵接部、连接于抵接部邻近针测段一端的一限位部及连接于抵接部远离针测段一端的一导引部；当每个分支式探针在植入相对应的第二穿孔时，第二导板顶抵于导引部以迫使扣持结构朝固定段位移，而令相对应第二穿孔的孔壁进入抵接部、限位部及导引部所共同包围构成的一凹槽内。

优选地，于每个分支式探针中，行程段包含有一弹力段，并且扣持结构在平行固定段的一方向上至少局部重叠于弹力段。

优选地，垂直式探针头进一步包含有设置于第一导板的一导电线路，并且导电线路延伸至一个第二穿孔的孔壁，而相对应扣持结构以预定压力抵接于位于第二穿孔的孔壁上的导电线路。

优选地，垂直式探针头进一步包含有设置于第二导板的一电路匹配单元，并且电路匹配单元电性耦接于导电线路，以使相对应扣持结构能通过抵接于导电线路而电性耦接于电路匹配单元。

优选地，导电线路进一步限定为一接地线路。

优选地，第一导板与第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且垂直式探针头不包含第一导板与第二导板以外的任何导板。

优选地，垂直式探针头进一步包含有一转接板以及夹持于第一导板与第二导板之间的一间隔板，并且多个分支式探针的固定段皆固定于转接板，而多个分支式探针的针测段用来可分离地抵接于一待测物。

本发明实施例也公开一种垂直式探针头的分支式探针，其包括：一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接针测段与固定段的一行程段；以及一支臂，自固定段朝向行程段延伸所形成；其中，支臂的一自由端部形成有一扣持结构，并且扣持结构与传输针体的固定段之间留有一间距；其中，分支式探针的支臂能够相对于传输针体的固定段摆动，以使得扣持结构能朝固定段位移。

优选地，行程段包含有一弹力段，并且扣持结构在平行固定段的一方向上至少局部重叠于弹力段。

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针头及其分支式探针，可以通过支臂的扣持结构来定位于第二导板，使得所述分支式探针不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其分支式探针。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的垂直式探针头的立体示意图。

图2为本发明实施例一的分支式探针的立体示意图。

图3为本发明实施例一的分支式探针穿过第一穿孔的示意图(一)。

图4为本发明实施例一的分支式探针穿过第一穿孔的示意图(二)。

图5为本发明实施例一的分支式探针穿过第一穿孔的示意图(三)。

图6为图5的分支式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。

图7为本发明实施例二的垂直式探针头的上视示意图。

图8为图7沿剖线VIII-VIII的剖视示意图。

图9为图8的分支式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。

图10为本发明实施例三的垂直式探针头的上视示意图。

图11为图10沿剖线XI-XI的剖视示意图。

图12为图11的分支式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。

图13为本发明实施例四的垂直式探针头的剖视示意图。

图14为图13的分支式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。

图15为图13的分支式探针在进行拆解时的示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“垂直式探针头及其分支式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图6所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种垂直式探针头，包括有一探针头100(probe head)以及抵接于上述探针头100一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(space transformer)(图未示出)，并且所述探针头100的另一侧(如：图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。

需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现垂直式探针头的局部构造，以便于清楚地呈现垂直式探针头的各个组件构造与连接关系，但本发明并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。

所述探针头100包含有一第一导板1、与第一导板1间隔地设置的一第二导板2、夹持于第一导板1与第二导板2之间的一间隔板6及多个分支式探针3。需说明的是，所述第一导板1与所述第二导板2于本实施例中为彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板1与所述第二导板2以外的任何导板。再者，所述分支式探针3也可以搭配其他构件或是单独地应用。

其中，所述第一导板1形成有多个第一穿孔11，并且所述第二导板2形成有多个第二穿孔21。所述多个第二穿孔21的位置分别对应于多个第一穿孔11的位置(也就是，每个第二穿孔21于本实施例中是位于相对应第一穿孔11的正下方)，并且每个所述第一穿孔11的尺寸大于相对应所述第二穿孔21的尺寸。

再者，所述间隔板6可以是环形构造、并夹持于第一导板1及第二导板2的相对应外围部位，以使第一导板1与第二导板2能够彼此平行地间隔设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一导板1及第二导板2个可以在其外围部位呈凸出状并相互抵接，据以取代上述间隔板6。据此，所述探针头100的间隔板6也可以省略或是其他构件取代。

所述多个分支式探针3分别穿设于所述第一导板1的多个第一穿孔11、并分别穿设于所述第二导板2的多个第二穿孔21。其中，所述分支式探针3于本实施例中为可导电且一体成形的单件式构造，并且所述分支式探针3可以是由微机电系统(MEMS)技术所制造，但本发明不以此为限。

由于本实施例探针头100的多个分支式探针3构造皆大致相同，所以下述说明是以单个分支式探针3为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的多个分支式探针3也可以是具有彼此相异的构造。再者，为便于理解分支式探针3构造，下述将以所述探针头100处于植针位置时的分支式探针3进行介绍。

所述分支式探针3包含有一传输针体31及自所述传输针体31延伸的一支臂32，并且所述支臂32与上述传输针体31呈间隔地设置。其中，所述传输针体31包含有穿设于相对应所述第一穿孔11的一针测段311、穿设于相对应所述第二穿孔21的一固定段312及连接所述针测段311与所述固定段312的一行程段313。

进一步地说，所述针测段311的一部位是于相对应所述第一穿孔11内，而所述针测段311的其余部位穿出相对应所述第一穿孔11(也就是，位在图5中第一导板1的上方)；所述固定段312的一部位是位于相对应所述第二穿孔21内，而所述固定段312的其余部位则是穿出所述第二穿孔21(也就是，位在图5中第二导板2的下方)；所述行程段313位于所述第一导板1与所述第二导板2之间。换个角度来看，面向所述第一导板1的所述固定段312的一端缘(如：图5中的固定段312顶缘)于本实施例中依序延伸形成有上述行程段313与针测段311。

再者，所述行程段313包含有一弹力段3131，并且所述弹力段3131于本实施例中呈圆弧状且其弧心位在所述弹力段3131远离所述支臂32的一侧(如：图5中的弹力段3131左侧)，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述弹力段3131的弧心可以是位在所述弹力段3131邻近所述支臂32的一侧；又或者，所述弹力段3131可以是非弧形的构造(如：波浪状)。

需额外说明的是，所述传输针体31的针测段311与固定段312是分别依据其用途而形成，所以针测段311与固定段312并不具有相互置换使用的可能性。举例来说，本实施例的多个分支式探针3的固定段312皆固定于所述转接板200，而多个分支式探针3的针测段311则是用来可分离地抵接于待测物，所以上述针测段311与固定段312的构造并不相同也不具备彼此置换的动机。

所述支臂32自所述固定段312朝向所述行程段313延伸所形成；于本实施例中，穿过所述第二导板2的所述固定段312部位的侧缘延伸形成上述支臂32，并且所述固定段312与所述支臂32之间留有一间距D。

更详细地说，所述支臂32包含有相连于所述固定段312的一连接段321及自所述连接段321延伸的一扣持结构322；也就是说，所述扣持结构322相当于是位在所述支臂32的一自由端部，并且所述扣持结构322能扣持于相对应所述第二穿孔21的孔壁22。其中，所述扣持结构322在平行所述固定段312的一方向(如：图5中的由上而下)上至少局部重叠于所述弹力段3131，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述扣持结构322在平行所述固定段312的方向上也可以是未重叠于所述弹力段3131。

进一步地说，基于所述支臂32是与上述传输针体31的固定段312呈间隔地设置，所以所述支臂32能够相对于所述传输针体31的固定段312摆动。据此，当所述分支式探针3在植入相对应的第二穿孔21时，所述扣持结构322能通过朝所述固定段312位移而进入相对应第二穿孔21、并以一预定压力扣持于相对应所述第二穿孔21的孔壁22。其中，上述预定压力可以依据设计需求而加以调整变化，本发明在此不加以限制。

再者，如图5和图6所示，所述分支式探针3于本实施例中还能通过所述支臂32与固定段312能够相对地摆动，以使得当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述弹力段3131能朝向所述支臂32变形，并且所述固定段312朝向所述扣持结构322位移且保持压抵于所述扣持结构322。

据此，所述分支式探针3可以通过固定段312压抵于扣持结构322，而令扣持结构322更为稳固地扣持于第二导板2，并使得在所述传输针体31内行进的信号也能流经所述支臂32，据以有效地提升分支式探针3的信号传输稳定性与效率，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述固定段312也可以未接触于所述扣持结构322。

需额外说明的是，能够实现上述扣持结构322功能的实施方式繁多，为便于理解，本实施例以图2和图5中的扣持结构322作一说明，但本发明扣持结构322的具体实施方式并不以此为限。

所述扣持结构322包含有一抵接部3221、连接于所述抵接部3221邻近所述针测段311一端(如：图2中的抵接部3221顶端)的一限位部3222、连接于所述抵接部3221远离所述针测段311一端(如：图2中的抵接部3221底端)的一导引部3223及自所述抵接部3221朝向所述固定段312延伸的一凸出部3224；也就是说，所述抵接部3221、限位部3222及导引部3223的内缘共同构成一凹槽，并且所述抵接部3221为所述凹槽的槽底，而突伸出上述抵接部3221的所述导引部3223的长度不大于所述扣持结构322与固定段312之间的间距D，据以利于导引部3223穿过所述第二穿孔21。再者，所述凸出部3224的尺寸可依据设计需求而调整，据以有效地控制上述扣持结构322与固定段312之间的间距D；也就是说，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述固定段312是压抵于上述扣持结构322的凸出部3224。

再者，如图3至图5所示，当所述分支式探针3在植入相对应的第二穿孔21时，所述第二导板2顶抵于所述导引部3223(的斜面)以迫使所述扣持结构322朝所述固定段312位移，而令所述于导引部3223能够穿过上述第二穿孔21，以使得相对应所述第二穿孔21的所述孔壁22进入所述抵接部3221、所述限位部3222及所述导引部3223所共同包围构成的所述凹槽内。其中，所述抵接部3221较佳是以所述预定压力抵接于相对应所述第二穿孔21的孔壁22；或者，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述抵接部3221可以是保持压抵于相对应所述第二穿孔21的孔壁22。

依上所述，所述垂直式探针头的分支式探针3可以通过支臂32的扣持结构322来定位于第二导板2，使得所述分支式探针3不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其分支式探针3。再者，由于所述分支式探针3无须以错位设置的多个导板来定位、并且分支式探针3可以搭配于单个第一导板1与单个第二导板2，所以分支式探针3的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。

[实施例二]

请参阅图7至图9所示，其为本发明的实施例二，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板1的一导电线路4，并且所述导电线路4于本实施例中进一步限定为一接地线路。其中，所述导电线路4延伸入至少一个所述第二穿孔21的所述孔壁22，而相对应所述扣持结构322以所述预定压力抵接于位于至少一个所述第二穿孔21的所述孔壁22上的所述导电线路4。需说明的是，本实施例中的导电线路4是以延伸至两个第二穿孔21的孔壁22来说明，也就是说，所述导电线路4是连接于作为接地用的两个分支式探针3的扣持结构322，但本发明不受限于此。

再者，当相对应所述扣持结构322在所述针测段311顶抵于所述待测物时，其通过所述固定段312的压抵而抵接于位于所述第二穿孔21的所述孔壁22上的所述导电线路4，据以使得上述扣持结构322(的抵接部3221)与导电线路4之间的连接能够更为稳定。

[实施例三]

请参阅图10至图12所示，其为本发明的实施例三，由于本实施例类似于上述实施例二，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例二的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述导电线路4用来传输信号、而非接地线路。其中，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第二导板2的一电路匹配单元5，并且所述电路匹配单元5电性耦接于所述导电线路4，以使相对应所述扣持结构322能通过抵接于所述导电线路4而电性耦接于所述电路匹配单元5。据此，所述垂直式探针头能够以分支式探针3搭配于所述第二导板2上的导电线路4，以使得所述电路匹配单元5与待测物之间的路径能够被有效地缩短。

需说明的是，本实施例中的导电线路4包含有两条线路，其分别延伸至两个第二穿孔21的孔壁22来说明，也就是说，所述导电线路4的两条线路是分别连接于作为接地用的分支式探针3的扣持结构322以及作为传输电力用的分支式探针3的扣持结构322，但本发明不受限于此。

[实施例四]

请参阅图13至图15所示，其为本发明的实施例四，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述分支式探针3的支臂32进一步包含有自所述扣持结构322延伸并穿入所述第一穿孔11的一延伸段323。其中，所述延伸段323未固定于所述第一穿孔11；也就是说，所述延伸段323可以是未接触于第一穿孔11的孔壁。所述延伸段323的末端于本实施例中是穿出所述第一穿孔11、但未及于所述针测段311。而于本发明未示出的其他实施例中，所述延伸段323的末端也可以是位于所述第一穿孔11内。

更详细地说，所述延伸段323包含有自所述扣持结构322(如：邻近限位部3222的区块)依序一体延伸的一延伸部3231与一操作部3232。其中，所述延伸部3231位于所述第一导板1与第二导板2之间、并与传输针体31的行程段313彼此间隔地相向。所述操作部3232位于所述第一穿孔11内、并与针测段311彼此间隔地相向。

再者，如图14所示，位于第一穿孔11内的所述操作部3232部位可以形成较大的厚度，使得所述针测段311在顶抵于待测物时能够抵靠于所述操作部3232，据以令所述针测段311能够以较小或预定的偏摆量接触于所述待测物。

另外，如图15所示，所述操作部3232的末端可以穿出所述第一穿孔11，用以供维修人员按压而使扣持结构322脱离于所述第二导板2，据以令所述分支式探针3能够自所述第一导板1与第二导板2抽离而进行更换。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针头及其分支式探针，可以通过支臂的扣持结构来定位于第二导板，使得所述分支式探针不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其分支式探针。

再者，由于所述分支式探针无须以错位设置的多个导板来定位、并且分支式探针可以搭配于单个第一导板与单个第二导板，所以分支式探针的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。

另外，本发明实施例所公开的垂直式探针头，能够以分支式探针搭配于所述第二导板上的导电线路，并且所述导电线路电性耦接于电路匹配单元，据以使得所述电路匹配单元与待测物之间的路径能够被有效地缩短。

此外，本发明实施例所公开的垂直式探针头，能够在分支式探针的支臂进一步形成有延伸段，以使所述针测段能够通过抵靠于所述延伸段而以较小或预定的偏摆量接触于所述待测物，并且维修人员能够通过按压所述延伸段，而使扣持结构脱离于所述第二导板，以令所述分支式探针能够自所述第一导板与第二导板抽离而进行更换。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包括：

一第一导板，形成有多个第一穿孔；

一第二导板，与所述第一导板呈间隔地设置，并且所述第二导板形成有位置分别对应于多个所述第一穿孔的多个第二穿孔，而每个所述第一穿孔的尺寸大于相对应所述第二穿孔的尺寸；以及

多个分支式探针，分别穿设于所述第一导板的多个所述第一穿孔、并分别穿设于所述第二导板的多个所述第二穿孔；其中，每个所述分支式探针包含有：

一传输针体，包含有穿设于相对应所述第一穿孔的一针测段、穿设于相对应所述第二穿孔的一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段，并且所述行程段包含有一弹力段；及

一支臂，自所述固定段朝向所述行程段延伸所形成；其中，所述支臂的一自由端部形成有一扣持结构，所述扣持结构扣持于相对应所述第二穿孔的孔壁、并与所述传输针体的所述固定段之间留有一间距；

其中，每个所述分支式探针的所述支臂能够相对于所述传输针体的所述固定段摆动，以使得当每个所述分支式探针在植入相对应的所述第二穿孔时，所述扣持结构能通过朝所述固定段位移而进入相对应所述第二穿孔、并以一预定压力扣持于相对应所述第二穿孔的所述孔壁；

其中，每个所述分支式探针通过所述支臂与固定段能够相对地摆动，以使得当所述针测段顶抵于一待测物时，所述弹力段能朝向所述支臂变形，并且所述固定段朝向所述扣持结构位移且保持压抵于所述扣持结构。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述分支式探针中，所述扣持结构包含有一抵接部、连接于所述抵接部邻近所述针测段一端的一限位部及连接于所述抵接部远离所述针测段一端的一导引部；当每个所述分支式探针在植入相对应的所述第二穿孔时，所述第二导板顶抵于所述导引部以迫使所述扣持结构朝所述固定段位移，而令相对应所述第二穿孔的所述孔壁进入所述抵接部、所述限位部及所述导引部所共同包围构成的一凹槽内。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述分支式探针中，所述扣持结构在平行所述固定段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。

4.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第二穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构以所述预定压力抵接于位于所述第二穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。

5.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第二导板的一电路匹配单元，并且所述电路匹配单元电性耦接于所述导电线路，以使相对应所述扣持结构能通过抵接于所述导电线路而电性耦接于所述电路匹配单元。

6.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述导电线路进一步限定为一接地线路。

7.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述第一导板与所述第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板与所述第二导板以外的任何导板。

8.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有一转接板以及夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，并且多个所述分支式探针的所述固定段皆固定于所述转接板。

9.一种垂直式探针头的分支式探针，其特征在于，所述垂直式探针头的分支式探针包括：

一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段，并且所述行程段包含有一弹力段；以及

一支臂，自所述固定段朝向所述行程段延伸所形成；其中，所述支臂的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述固定段之间留有一间距；

其中，所述分支式探针的所述支臂能够相对于所述传输针体的所述固定段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述固定段位移；

其中，每个所述分支式探针通过所述支臂与固定段能够相对地摆动，以使得当所述针测段顶抵于一待测物时，所述弹力段能朝向所述支臂变形，并且所述固定段朝向所述扣持结构位移且保持压抵于所述扣持结构。

10.依据权利要求9所述的垂直式探针头的分支式探针，其特征在于，所述扣持结构在平行所述固定段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。