CN113625019A - 垂直式测试装置及其片状探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种垂直式测试装置及其片状探针，所述片状探针包括一片本体、一第一接触部、一行程部及一第二接触部。所述片本体在一长度方向上具有一长度，所述片本体在垂直所述长度方向的一厚度方向上具有一厚度，并且所述长度除以所述厚度的一比值介于25～85。所述第一接触部自所述片本体的顶缘延伸所形成。所述行程部自所述片本体的底缘朝远离所述片本体的方向弯曲地延伸所形成，所述行程部能够受力变形而续有一回弹力。所述第二接触部自远离所述片本体的所述行程部端缘延伸所形成。据此，通过片本体来定位于第一导板单元，而行程段无需通过错位即可提供片状探针检测受力所需的行程，进而利于垂直式测试装置进行片状探针的植针与维护更换。

Description

垂直式测试装置及其片状探针

技术领域

本发明涉及一种探针头，尤其涉及一种垂直式测试装置及其片状探针。

背景技术

现有的垂直式测试装置包含多个导板及穿设于上述多个导板的多个导电探针，并且上述每个导电探针会受到位在间隔板相反侧的两个导板单元的错位所定位、并形变成弯曲段，以提供所述导电探针检测时所需的行程。据此，现有垂直式测试装置中的导电探针并不易植针与维护更换，进而使得生产与维修成本难以降低。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种垂直式测试装置及其片状探针，能有效地改善现有垂直式测试装置的导电探针所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种垂直式测试装置，其包括：一第一导板单元与一第二导板，其彼此对应设置；其中，第一导板单元包含有两个第一导板，并且两个第一导板各形成有多个第一长形孔，每个第一长形孔平行于一长度方向；其中，任一个第一导板的多个第一长形孔沿垂直长度方向的一高度方向分别对应于另一个第一导板的多个第一长形孔；以及多个片状探针，其两端分别穿过第一导板单元与第二导板单元，并且每个片状探针包含有：一片本体，其穿设于分属不同第一导板且彼此对应的两个第一长形孔内、并被两个第一导板所夹持；其中，片本体在长度方向上具有一长度，片本体在垂直长度方向与高度方向的一厚度方向上具有一厚度，并且长度除以厚度的一比值介于25～85；一第一接触部，其自片本体的顶缘延伸所形成，并且第一接触部裸露于两个的一导板之外；一行程部，自片本体的底缘朝远离片本体的方向弯曲地延伸所形成，并且行程部在长度方向上的一延伸距离不大于长度的两倍；其中，行程部位于第一导板单元与第二导板单元之间，并且行程部能够受力变形而续有一回弹力；及一第二接触部，自远离片本体的行程部端缘沿高度方向延伸所形成，并且第二接触部穿过第二导板单元。

优选地，于每个片状探针及相对应的两个第一长形孔中，片本体在垂直厚度方向的一表面上凹设形成有一卡槽，第一导板单元在相对应的两个第一长形孔中的至少其中一个内形成有一卡榫；其中，两个第一导板于厚度方向上彼此位移，以使每个卡榫插设于相对应的片状探针的卡槽。

优选地，于每个片状探针中，并且长度除以厚度的一比值介于5～7，并且第一接触部、行程部及第二接触部皆位于片本体沿长度方向与高度方向所虚拟延伸的空间之内。

优选地，于每个片状探针中，行程部具有一圆弧段，并且圆弧段的曲率半径自片本体朝向第二接触部的方向渐增，而圆弧状能够受力变形而续有回弹力。

优选地，每个片状探针的行程部在长度方向上的延伸距离大于长度，并且每个片状探针能相对于高度方向以小于45度的一植针角度依序插设于第一导板单元与第二导板单元；其中，多个第二接触部沿厚度方向排成一列，而多个片本体则交错地分布于该列第二接触部的相反两侧。

优选地，于每个片状探针中，行程部位于片本体沿高度方向正投影所形成的一投影区域内，以使每个片状探针能沿高度方向依序插设于第一导板单元与第二导板单元。

优选地，于每个片状探针中，第一接触部呈T字形或L字形，并且第一接触部挡止于远离第二导板单元的第一导板单元的表面。

优选地，垂直式测试装置进一步包括有一转接板，并且每个片状探针的第一接触部固定于转接板，而每个片状探针的第二接触部用来可分离地顶抵于一待测物。

优选地，垂直式测试装置进一步包括有：多个垫片，分别设置于第一导板单元与第二导板单元彼此相邻的表面；一间隔板，通过多个垫片而夹持于第一导板单元与第二导板单元之间；及一垫高板，夹持于两个第一导板之间；其中，任一个垫片可选择性地抽离垂直式测试装置。

本发明实施例也公开一种片状探针，其包括：一片本体，其在一长度方向上具有一长度，片本体在垂直长度方向的一厚度方向上具有一厚度，并且长度除以厚度的一比值介于25～85；一第一接触部，其自片本体的顶缘延伸所形成；一行程部，自片本体的底缘朝远离片本体的方向弯曲地延伸所形成，并且行程部在长度方向上的一延伸距离不大于长度的两倍；其中，行程部能够受力变形而续有一回弹力；以及一第二接触部，自远离片本体的行程部端缘沿高度方向延伸所形成。

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式测试装置及其片状探针，通过片本体来定位于第一导板单元，而所述行程段无需通过错位即可提供所述片状探针检测受力所需的行程，进而利于所述垂直式测试装置进行所述片状探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的垂直式测试装置的立体示意图。

图2为本发明实施例一的片状探针的立体示意图。

图3为本发明实施例一的垂直式测试装置的剖视示意图。

图4为图2的片状探针另一种方式的立体示意图。

图5为图4的片状探针又一种方式的立体示意图。

图6为本发明实施例二的垂直式测试装置的剖视示意图。

图7为图6的垂直式测试装置的底视示意图。

图8为图6的垂直式测试装置的植针方式示意图。

图9为本发明实施例三的垂直式测试装置的立体示意图。

图10为本发明实施例四的垂直式测试装置的立体示意图。

图11为图10的垂直式测试装置的底视示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“垂直式测试装置及其片状探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图5所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种垂直式测试装置1000，包括有一探针头100以及抵接于上述探针头100(probe head)一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板200(space transformer)，并且所述探针头100的另一侧(图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。

需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现所述垂直式测试装置1000的局部构造，以便于清楚地呈现所述垂直式测试装置1000的各个组件构造与连接关系，但本发明并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。

所述探针头100包含有一第一导板单元1、与所述第一导板单元1间隔地设置的一第二导板单元2、位于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间的多个垫片3、通过多个所述垫片3而夹持于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间的一间隔板4及两端分别穿过于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2的多个片状探针5。

需说明的是，所述第一导板单元1与所述第二导板单元2于本实施例中为彼此对应设置，并且所述探针头100不包含所述第一导板单元1与所述第二导板单元2以外的任何导板单元。再者，所述片状探针5于本实施例中是以搭配于上述组件(如：第一导板单元1、第二导板单元2)来说明，但所述片状探针5也可以搭配其他构件或是单独地应用(如：贩卖)。

其中，所述第一导板单元1包含有两个第一导板11及夹持于两个所述第一导板11之间的一垫高板12。两个所述第一导板11各形成有多个第一长形孔111，每个所述第一长形孔111(的长轴方向)平行于一长度方向L。其中，任一个所述第一导板11的多个所述第一长形孔111沿垂直所述长度方向L的一高度方向H分别对应于另一个所述第一导板11的多个所述第一长形孔111。于本实施例中，任一个所述第一长形孔111的形状为矩形，但本发明不受限于此。

所述垫高板12可以是环形构造、并夹持于两个所述第一导板11的相对应外围部位，以使两个所述第一导板11能够彼此平行地间隔设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，两个所述第一导板11可以在其相对应外围部位呈凸出状并互相抵接，据以取代上述垫高板12。

所述第二导板单元2于本实施例中为单个导板、并形成有多个第二穿孔21，多个所述第二穿孔21的位置分别对应于多个所述第一长形孔111(如：每个所述第二穿孔21于本实施例中是位于相对应所述第一长形孔111的正下方，但本发明不受限于此)，并且每个所述第一长形孔111的尺寸大于相对应所述第二穿孔21的尺寸。然而，在本发明未示出的其他实施例中，所述第二导板单元2也可以包含有多个导板及夹持于任两个相邻导板之间的一垫高板。

多个所述垫片3分别设置于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2彼此相邻的表面(如：图3中位于下方的第一导板11的底面及第二导板单元2的顶面)，并且多个所述垫片3分别设置于所述第一导板单元1及所述第二导板单元2的相对应外围部位。其中，任一个所述垫片3可依据使用者需求而调整，例如：所述垫片3可以被选择性地抽离。

再者，所述间隔板4可以是环形构造、并通过多个所述垫片3相对应外围部位而夹持于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间(如：所述间隔板4相当于沿着所述探针头100的边缘设置)，以使所述第一导板单元1与所述第二导板单元2能够彼此平行地间隔设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一导板单元1及第二导板单元2可以在其外围部位呈凸出状并相互抵接，据以取代上述间隔板4。据此，所述探针头100的所述间隔板4也可以省略或是其他构件取代。由于所述间隔板4与本发明的改良重点的相关性较低，所以下述不详加说明所述间隔板4的细部构造。

多个所述片状探针5的一端分别穿过于所述第一导板单元1的两个所述第一导板11的多个所述第一长形孔111，并且多个所述片状探针5的另一端分别穿过所述第二导板单元2的多个第二穿孔21。进一步地说，每个所述片状探针5的局部(如：下述行程部54)位于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间。其中，所述片状探针5于本实施例中为可导电且一体成形的单件式构造，并且所述片状探针5可以是由微机电系统(MEMS)技术所制造，但本发明不以此为限。

需额外说明的是，多个所述片状探针5于本实施例的图1中是以沿着所述探针头100的一边排成一列来说明，但在本实施例未绘出的部位中，多个所述片状探针5可以是沿着所述探针头100的至少两边排列，并且沿着所述探针头100任一边排列的多个所述片状探针5也可以是排成至少两列。也就是说，多个所述片状探针5在所述探针头100中的排列方式可以依据设计需求而加以调整，不以本实施例为限。

由于本实施例所述探针头100的多个所述片状探针5构造皆大致相同，所以下述说明是以单个所述片状探针5为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的多个所述片状探针5也可以是具有彼此相异的构造。再者，为便于理解所述片状探针5构造，下述将以所述探针头100处于植针位置时的所述片状探针5进行介绍。

所述片状探针5包含有一片本体51、自所述片本体51的顶缘延伸所形成的一第一接触部52、自所述片本体51的底缘延伸所形成的一行程部54及自所述行程部54端缘延伸所形成的一第二接触部53。详细地说，所述片本体51穿设于相对应的两个所述第一长形孔111，所述第二接触部53穿设于相对应所述第二穿孔21，所述行程部54连接所述片本体51与所述第二接触部53，所述第一接触部52裸露于所述第一导板单元1表面。换个角度来看，面向所述第一导板单元1的所述第一接触部52的一端缘(如：图3中的第一接触部52顶缘)于本实施例中依序延伸形成有所述片本体51、所述行程部54、与所述第二接触部53。

进一步地说，所述片本体51穿设于分属不同所述第一导板11且彼此对应的两个所述第一长形孔111内、并且被两个所述第一导板11所夹持。也就是说，所述片本体51相对应设置于两个所述第一长形孔111，且固定于所述第一导板单元1。据此，两个所述第一导板11可以通过彼此平移而对所述片本体51产生摩擦力，以稳定地固定所述片状探针5，进而在所述探针头100承受移动或是翻转时，使所述片状探针5不易掉出。

再者，垂直所述高度方向H的所述片本体51的横剖面大致呈矩形，所述片本体51在所述长度方向L上具有一长度L51，所述片本体51在垂直所述长度方向L与所述高度方向H的一厚度方向D上具有一厚度D51，并且所述长度L51除以所述厚度D51的一比值是介于25～85。

于本实施例中，在垂直于所述厚度方向D的所述第一接触部52侧表面大致呈T字形(如：图1至图3)或者呈L字形(如：图4与图5)，并且所述第一接触部52裸露于两个所述第一导板11之外，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一接触部52可以是矩形的构造。此外，所述探针头100也可以在图1所示的多个片状探针5的配置方式之下，同时采用如图4和图5所示的多个片状探针5，并使其第一接触部52彼此远离，据以扩大相邻两个所述第一接触部52的间距，进而影响所述转接板200的间距设定，并降低制板的难度。

也就是说，所述第一接触部52邻近于所述片本体51的一端，而所述第一接触部52于所述长度方向L的长度大于所述片本体51的所述长度L51，据以使所述第一接触部52能够设置于所述第一导板单元1顶侧(如：图3中的第一导板单元1上方)。更详细地说，所述第一接触部52挡止于远离所述第二导板单元2的所述第一导板单元1的表面，并且所述第一接触部52的顶端固定于所述转接板200。

所述行程部54自所述片本体51的底缘朝远离所述片本体51的方向弯曲地延伸所形成。其中，所述行程部54位于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间。也就是说，所述行程部54位于所述间隔板4所围绕的空间内。进一步地说，所述行程部54在所述长度方向L上的延伸距离L54大于所述长度L51。在本实施例中，所述行程部54在所述长度方向L上的所述延伸距离L54较佳为不大于所述长度L51的两倍，但本发明不受限于此。

其中，所述行程部54具有一圆弧段541，并且所述行程部54的圆弧段541能够受力变形而续有一回弹力，进而提供所述片状探针5运作时所需的行程。其中，垂直所述高度方向H的所述圆弧段541的横剖面大致呈矩形，并且所述圆弧段541的曲率半径自所述片本体51可以是朝向所述第二接触部53的方向渐增，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述圆弧段541可以是非弧状的构造(如：波浪状)。

所述第二接触部53自远离所述片本体51的所述行程部54端缘(如：图1中的所述行程部54的底缘)沿所述高度方向H延伸所形成，垂直所述高度方向H的所述第二接触部53的横剖面大致呈矩形。所述第二接触部53的部分相对应所述第二穿孔21内，而所述第二接触部53的其余部位则是穿出所述第二穿孔21(也就是，位于图3中第二导板单元2的下方)。所述第二接触部53用来可分离地顶抵于所述待测物。

需额外说明的是，所述片状探针5的所述第一接触部52与所述第二接触部53是分别依据其用途而形成，所以所述第一接触部52与所述第二接触部53并不具有相互置换使用的可能性。举例来说，本实施例的多个所述片状探针5的所述第一接触部52皆固定于所述转接板200，而多个所述片状探针5的所述第二接触部53则是用来可分离抵接于待测物，所以上述第二接触部53与所述第一接触部52的构造不相同也不具备彼此置换的动机。

再者，所述片状探针5在注入相对的所述第一长形孔111时，每个所述片状探针5能相对于所述高度方向H以小于45度的一植针角度依序插设于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2。所述片本体51能够固定于相对应的第一长形孔111，所述第二接触部53部分穿设于所述第二穿孔21、且远离所述第一接触部52的所述第二接触部53一端凸出所述第二导板单元2表面。

详细地说，所述片状探针5的所述第一接触部52、所述行程部54及所述第二接触部53皆位于所述片本体51沿所述长度方向L与所述高度方向H所虚拟延伸的空间之内，但本发明不受限于此。

当每个所述第二接触部53顶抵于所述待测物时，通过所述行程部54的所述圆弧段541提供弹性，使得每个所述第二接触部53确实接触所述待测物，据以使得所述第二接触部53与所述待测物的连接能够更为稳定。

依上所述，所述垂直式测试装置1000的所述片状探针5可以通过所述片本体51来定位于所述第一导板单元1，而所述行程段54无需通过错位即可提供所述片状探针5检测受力所需的行程，，进而提供一种有别于以往的所述垂直式测试装置1000及其所述片状探针5。再者，由于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2无须以错位设置来定位所述片状探针5，所以所述片状探针5的长度能够被有效地缩短，据以有效地提升测试效能结果。

[实施例二]

请参阅图6至图8所示，其为本发明的实施例二，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中的每个所述片状探针5中，所述行程部54位于所述片本体51沿所述高度方向H正投影所形成的一投影区域P内，以使每个所述片状探针5能沿所述高度方向H依序插设于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2。

详细地说，所述片状探针5的所述第一接触部52、所述行程部54及所述第二接触部53也皆位于所述片本体51沿所述长度方向L与所述高度方向H所虚拟延伸的空间之内，但本发明不受限于此。

依上所述，所述垂直式测试装置1000的所述片状探针5可以依照所述行程部54位于所述片本体51沿所述高度方向H正投影所形成的所述投影区域P内，以使得每个所述片状探针5能够沿所述高度方向H直上直下，据以使所述片状探针5有助于提升植针效率或便于维护更换所述片状探针5。

[实施例三]

请参阅图9所示，其为本发明的实施例三，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，在所述第一导板单元1在相对应的两个所述第一长形孔111中，两个所述第一长形孔111其中一个所述第一长形孔111内形成有一卡榫112(截面大致呈矩形)，另一个所述第一长形孔111内未形成有所述卡榫112。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，在相对应的两个所述第一长形孔111，各自能形成有一个所述卡榫112，但本发明不受限于此。

每个所述片本体51于相对应的两个所述第一长形孔111中，所述片本体51在垂直所述厚度方向D的一表面上凹设形成有一卡槽511。每个所述卡槽511相对应于所述卡榫112设置，且所述卡槽511贯穿所述片本体51两侧。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述卡槽511也可以同时容置两个所述卡榫112，但本发明不受限于此。

再者，两个所述第一导板11于所述厚度方向D上彼此位移，以使每个所述卡榫112插设于相对应的所述片状探针5的所述卡槽511，以使所述片本体51能够更为稳定固定于所述第一导板单元1。

依上所述，所述垂直式测试装置1000的所述片状探针5能够通过所述卡槽511相对应设置于所述第一长形孔111中的所述卡榫112，据以使得所述片状探针5更能稳定固定于所述第一导板单元1，避免所述片状探针5自所述第一导板单元1松脱。

[实施例四]

请参阅图10与图11所示，其为本发明的实施例四，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，多个所述片状探针5穿设于所述第一导板单元1与所述第二导板单元2之间，多个所述第二接触部53沿所述厚度方向D排成一列，而多个所述片本体51则交错地分布于该列所述第二接触部53的相反两侧。据此，所述垂直式测试装置1000的多个所述片状探针5通过上述分布，据以使所述第一接触部52能够配合不同的转接板200，进而增加所述片状探针5的适用范围。再者，所述探针头100通过如图10中的多个所述第一接触部52的配置，而能有效地扩大相邻两个所述第一接触部52的间距，据以影响所述转接板200的间距设定。举例来说，如图10所示的所述探针头100仅需进一步搭配电路板，以利于提升电性质量与降低制造成本。

[本发明实施例的技术效果]

综上所述，本发明实施例所公开的垂直式测试装置及其片状探针，通过片本体来定位于第一导板单元，而所述行程段54无需通过错位即可提供所述片状探针5检测受力所需的行程，进而利于所述垂直式测试装置进行所述片状探针的植针与维护更换、并降低生产与维修成本。

再者，由于所述第一导板单元与第二导板单元不再需要以错位设置来定位所述片状探针，所以片状探针的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。另外，每个片状探针能够沿高度方向直上直下，据以使片状探针有助于提升植针效率或便于维护更换片状探针。

另外，本发明实施例所公开的垂直式测试装置，能够以片状探针的卡槽相对应设置于第一导板单元上的第一长形孔中的卡榫，据以使得片状探针有效地固定于第一导板单元，且不易自第一导板单元松脱。

此外，本发明实施例所公开的垂直式测试装置中，多个片本体可以交错地分布于该列第二接触部的相反两侧，以使第一接触部能够达到交叉设置效果，进而令第一接触部能够配合于不同的转接板。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种垂直式测试装置，其特征在于，所述垂直式测试装置包括：

一第一导板单元与一第二导板，其彼此对应设置；其中，所述第一导板单元包含有两个第一导板，并且两个所述第一导板各形成有多个第一长形孔，每个所述第一长形孔平行于一长度方向；其中，任一个所述第一导板的多个所述第一长形孔沿垂直所述长度方向的一高度方向分别对应于另一个所述第一导板的多个所述第一长形孔；以及

多个片状探针，其两端分别穿过所述第一导板单元与所述第二导板单元，并且每个所述片状探针包含有：

一片本体，其穿设于分属不同所述第一导板且彼此对应的两个所述第一长形孔内、并被两个所述第一导板所夹持；其中，所述片本体在所述长度方向上具有一长度，所述片本体在垂直所述长度方向与所述高度方向的一厚度方向上具有一厚度，并且所述长度除以所述厚度的一比值介于25～85；

一第一接触部，其自所述片本体的顶缘延伸所形成，并且所述第一接触部裸露于两个所述的一导板之外；

一行程部，自所述片本体的底缘朝远离所述片本体的方向弯曲地延伸所形成，并且所述行程部在所述长度方向上的一延伸距离不大于所述长度的两倍；其中，所述行程部位于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间，并且所述行程部能够受力变形而续有一回弹力；及

一第二接触部，自远离所述片本体的所述行程部端缘沿所述高度方向延伸所形成，并且所述第二接触部穿过所述第二导板单元。

2.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，于每个所述片状探针及相对应的两个所述第一长形孔中，所述片本体在垂直所述厚度方向的一表面上凹设形成有一卡槽，所述第一导板单元在相对应的两个所述第一长形孔中的至少其中一个内形成有一卡榫；其中，两个所述第一导板于所述厚度方向上彼此位移，以使每个所述卡榫插设于相对应的所述片状探针的所述卡槽。

3.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，于每个所述片状探针中，并且所述长度除以所述厚度的一比值介于5～7，并且所述第一接触部、所述行程部及所述第二接触部皆位于所述片本体沿所述长度方向与所述高度方向所虚拟延伸的空间之内。

4.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，于每个所述片状探针中，所述行程部具有一圆弧段，并且所述圆弧段的曲率半径自所述片本体朝向所述第二接触部的方向渐增，而所述圆弧状能够受力变形而续有所述回弹力。

5.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，每个所述片状探针的所述行程部在所述长度方向上的所述延伸距离大于所述长度，并且每个所述片状探针能相对于所述高度方向以小于45度的一植针角度依序插设于所述第一导板单元与所述第二导板单元；其中，多个所述第二接触部沿所述厚度方向排成一列，而多个所述片本体则交错地分布于该列所述第二接触部的相反两侧。

6.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，于每个所述片状探针中，所述行程部位于所述片本体沿所述高度方向正投影所形成的一投影区域内，以使每个所述片状探针能沿所述高度方向依序插设于所述第一导板单元与所述第二导板单元。

7.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，于每个所述片状探针中，所述第一接触部呈T字形或L字形，并且所述第一接触部挡止于远离所述第二导板单元的所述第一导板单元的表面。

8.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，所述垂直式测试装置进一步包括有一转接板，并且每个所述片状探针的所述第一接触部固定于所述转接板，而每个所述片状探针的所述第二接触部用来可分离地顶抵于一待测物。

9.依据权利要求1所述的垂直式测试装置，其特征在于，所述垂直式测试装置进一步包括有：

多个垫片，分别设置于所述第一导板单元与所述第二导板单元彼此相邻的表面；

一间隔板，通过多个所述垫片而夹持于所述第一导板单元与所述第二导板单元之间；及

一垫高板，夹持于两个所述第一导板之间；

其中，任一个所述垫片可选择性地抽离所述垂直式测试装置。

10.一种片状探针，其特征在于，所述片状探针包括：

一片本体，其在一长度方向上具有一长度，所述片本体在垂直所述长度方向的一厚度方向上具有一厚度，并且所述长度除以所述厚度的一比值介于25～85；

一第一接触部，其自所述片本体的顶缘延伸所形成；

一行程部，自所述片本体的底缘朝远离所述片本体的方向弯曲地延伸所形成，并且所述行程部在所述长度方向上的一延伸距离不大于所述长度的两倍；其中，所述行程部能够受力变形而续有一回弹力；以及

一第二接触部，自远离所述片本体的所述行程部端缘沿所述高度方向延伸所形成。

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