CN113376413A - 垂直式探针头及其双臂式探针 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种垂直式探针头及其双臂式探针。所述双臂式探针包含一传输针体与一延伸臂体。所述传输针体包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段。所述延伸臂体自邻近所述行程段的所述固定段边缘延伸至所述针测段的旁边所形成。所述延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述针测段之间留有一间距。其中，所述双臂式探针的所述延伸臂体能够相对于所述传输针体的所述针测段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述针测段位移。据此，所述双臂式探针不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其双臂式探针。

Description

垂直式探针头及其双臂式探针
技术领域
本发明涉及一种探针头，尤其涉及一种垂直式探针头及其双臂式探针。
背景技术
现有的垂直式探针头包含有多个导板及穿设于上述多个导板的多个导电探针，并且上述每个导电探针会受到多个导板的错位所定位。然而，由于现有导电探针的结构设计，使其定位需要由所述多个导板的错位来实现，所以使得导电探针的发展因而受到局限。
于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。
发明内容
本发明实施例在于提供一种垂直式探针头及其双臂式探针，能有效地改善现有垂直式探针头的导电探针所可能产生的缺陷。
本发明实施例公开一种垂直式探针头，其包括一第一导板、一第二导板及多个双臂式探针。第一导板形成有多个第一穿孔；一第二导板与第一导板呈间隔地设置，并且第二导板形成有位置分别对应于多个第一穿孔的多个第二穿孔，而每个第一穿孔的尺寸大于相对应第二穿孔的尺寸；多个双臂式探针分别穿设于上导板的多个第一穿孔、并分别穿设于下导板的多个第二穿孔；其中，每个双臂式探针包含有一传输针体及一延伸臂体。传输针体包含有穿设于相对应第一穿孔的一针测段、穿设于相对应第二穿孔的一固定段及连接针测段与固定段的一行程段；一延伸臂体自邻近行程段的固定段边缘延伸至针测段的旁边所形成；其中，延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，扣持结构扣持于相对应第一穿孔的孔壁、并与传输针体的针测段之间留有一间距；其中，每个双臂式探针的延伸臂体能够相对于传输针体的针测段摆动，以使得当每个双臂式探针在植入相对应的第一穿孔时，扣持结构能通过朝针测段位移而进入相对应第一穿孔、并以一预定压力扣持于相对应第一穿孔的孔壁。
优选地，于每个双臂式探针中，扣持结构包含有一抵接部、连接于抵接部远离固定段一端的一限位部及连接于抵接部邻近固定段一端的一导引部；当每个双臂式探针在植入相对应的第一穿孔时，第一导板顶抵于导引部以迫使扣持结构朝针测段位移，而令相对应第一穿孔的孔壁进入抵接部、限位部及导引部所共同包围构成的一凹槽内。
优选地，于每个双臂式探针中，行程段包含有朝向延伸臂体延伸的一弹力段，并且弹力段与延伸臂体之间留有一间距。
优选地，于每个双臂式探针中，扣持结构与针测段之间的间距小于弹力段与延伸臂体之间的间距，以使得当针测段顶抵于一待测物时，弹力段能朝向延伸臂体变形，并且针测段朝向扣持结构位移且保持压抵于扣持结构。
优选地，垂直式探针头进一步包含有设置于第一导板的一导电线路，并且导电线路延伸至一个第一穿孔的孔壁，而相对应扣持结构在针测段顶抵于待测物时，其通过针测段的压抵而抵接于位于第一穿孔的孔壁上的导电线路。
优选地，于每个双臂式探针中，扣持结构在平行针测段的一方向上至少局部重叠于弹力段。
优选地，垂直式探针头进一步包含有设置于第一导板的一导电线路，并且导电线路延伸至一个第一穿孔的孔壁，而相对应扣持结构以预定压力抵接于位于第一穿孔的孔壁上的导电线路。
优选地，所述垂直式探针头包含有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，第一导板与第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且垂直式探针头不包含第一导板与第二导板以外的任何导板。
本发明实施例也公开一种垂直式探针头的双臂式探针，其包括：一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接针测段与固定段的一行程段；以及一延伸臂体，自邻近行程段的固定段边缘延伸至针测段的旁边所形成；其中，延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，并且扣持结构与传输针体的针测段之间留有一间距；其中，双臂式探针的延伸臂体能够相对于传输针体的针测段摆动，以使得扣持结构能朝针测段位移。
优选地，行程段包含有朝向延伸臂体延伸的一弹力段，并且弹力段与延伸臂体之间留有一间距；扣持结构与针测段之间的间距小于弹力段与延伸臂体之间的间距，并且扣持结构在平行针测段的一方向上至少局部重叠于弹力段。
综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针头及其双臂式探针，可以通过延伸臂体的扣持结构来定位于第一导板，使得所述双臂式探针不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其双臂式探针。
为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。
附图说明
图1为本发明实施例一的垂直式探针头的立体示意图。
图2为本发明实施例一的双臂式探针的立体示意图。
图3为本发明实施例一的双臂式探针穿过第一穿孔的示意图(一)。
图4为本发明实施例一的双臂式探针穿过第一穿孔的示意图(二)。
图5为本发明实施例一的双臂式探针穿过第一穿孔的示意图(三)。
图6为图5的双臂式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。
图7为本发明实施例二的垂直式探针头的上视示意图。
图8为图7沿剖线VIII-VIII的剖视示意图。
图9为图8的双臂式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。
图10为本发明实施例三的垂直式探针头的上视示意图。
图11为图10沿剖线XI-XI的剖视示意图。
图12为图11的双臂式探针以针测段顶抵于待测物的示意图。
图13为本发明实施例四的垂直式探针头的剖视示意图。
具体实施方式
以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“垂直式探针头及其双臂式探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。
应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。
[实施例一]
请参阅图1至图6所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种垂直式探针头，包括有一探针头100(probe head)以及抵接于上述探针头100一侧(如：图1中的探针头100顶侧)的一转接板(space transformer)(图未示出)，并且所述探针头100的另一侧(如：图1中的探针头100底侧)能用来顶抵测试一待测物(device under test，DUT)(图未示出，如：半导体晶片)。
需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现垂直式探针头的局部构造，以便于清楚地呈现垂直式探针头的各个组件构造与连接关系，但本发明并不以附图为限。以下将分别介绍所述探针头100的各个组件构造及其连接关系。
所述探针头100包含有一第一导板1、与第一导板1间隔地设置的一第二导板2、夹持于第一导板1与第二导板2之间的一间隔板(图未示出)及多个双臂式探针3。需说明的是，所述第一导板1与所述第二导板2于本实施例中为彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板1与所述第二导板2以外的任何导板。再者，所述双臂式探针3也可以搭配其他构件或是单独地应用。
其中，所述第一导板1形成有多个第一穿孔11，并且所述第二导板2形成有多个第二穿孔21。所述多个第二穿孔21的位置分别对应于多个第一穿孔11的位置(也就是，每个第二穿孔21于本实施例中是位于相对应第一穿孔11的正下方)，并且每个所述第一穿孔11的尺寸大于相对应所述第二穿孔21的尺寸。
再者，所述间隔板可以是环形构造、并夹持于第一导板1及第二导板2的相对应外围部位，以使第一导板1与第二导板2能够彼此平行地间隔设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一导板1及第二导板2个可以在其外围部位呈凸出状并相互抵接，据以取代上述间隔板。据此，所述探针头100的间隔板也可以省略或是其他构件取代。由于所述间隔板与本发明的改良重点的相关性较低，所以下述不详加说明间隔板的细部构造。
所述多个双臂式探针3分别穿设于所述第一导板1的多个第一穿孔11、并分别穿设于所述第二导板2的多个第二穿孔21。其中，所述双臂式探针3于本实施例中为可导电且一体成形的单件式构造，并且所述双臂式探针3可以是由微机电系统(MEMS)技术所制造，但本发明不以此为限。
由于本实施例探针头100的多个双臂式探针3构造皆大致相同，所以下述说明是以单个双臂式探针3为例，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针头100的多个双臂式探针3也可以是具有彼此相异的构造。再者，为便于理解双臂式探针3构造，下述将以所述探针头100处于植针位置时的双臂式探针3进行介绍。
所述双臂式探针3包含有一传输针体31及自所述传输针体31间隔地延伸的一延伸臂体32。其中，所述传输针体31包含有穿设于相对应所述第一穿孔11的一针测段311、穿设于相对应所述第二穿孔21的一固定段312及连接所述针测段311与所述固定段312的一行程段313。
进一步地说，所述针测段311的一部位是于相对应所述第一穿孔11内，而所述针测段311的其余部位穿出相对应所述第一穿孔11(也就是，位在图5中第一导板1的上方)；所述固定段312的一部位是位于相对应所述第二穿孔21内，而所述固定段312的其余部位则是穿出所述第二穿孔21(也就是，位在图5中第二导板2的下方)；所述行程段313位于所述第一导板1与所述第二导板2之间。换个角度来看，面向所述第一导板1的所述固定段312的一端缘(如：图5中的固定段312顶缘)于本实施例中依序延伸形成有上述行程段313与针测段311。
再者，所述行程段313包含有朝向所述延伸臂体32延伸的一弹力段3131，并且所述弹力段3131与所述延伸臂体32之间留有一间距D1。其中，所述弹力段3131于本实施例中呈圆弧状且其弧心位在所述弹力段3131远离所述延伸臂体32的一侧(如：图5中的弹力段3131左侧)，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述弹力段3131也可以是朝向远离所述延伸臂体32的方向延伸而形成，也就是说，所述弹力段3131的弧心可以是位在所述弹力段3131邻近所述延伸臂体32的一侧；又或者，所述弹力段3131可以是非弧形的构造(如：波浪状)。
需额外说明的是，所述传输针体31的针测段311与固定段312是分别依据其用途而形成，所以针测段311与固定段312并不具有相互置换使用的可能性。举例来说，本实施例的多个双臂式探针3的固定段312皆固定于所述转接板，而多个双臂式探针3的针测段311则是用来可分离地抵接于待测物，所以上述针测段311与固定段312的构造并不相同也不具备彼此置换的动机。
所述延伸臂体32自邻近所述行程段313的所述固定段312边缘(如：图5中的固定段312顶缘)延伸至所述针测段311的旁边所形成；于本实施例中，所述固定段312顶缘的相反两侧分别间隔地延伸形成上述行程段313与延伸臂体32；也就是说，所述延伸臂体32为所述双臂式探针3的其中一臂，而所述行程段313与针测段311则共同构成所述双臂式探针3的其中另一臂。
更详细地说，所述延伸臂体32包含有相连于所述固定段312的一连接段321及自所述连接段321延伸的一扣持结构322；也就是说，所述扣持结构322相当于是位在所述延伸臂体32的一自由端部，并且所述扣持结构322能扣持于相对应所述第一穿孔11的孔壁12。其中，所述扣持结构322与所述传输针体31的针测段311之间留有一间距D2，并且所述扣持结构322在平行所述针测段311的一方向(如：图5中的由上而下)上至少局部重叠于所述弹力段3131，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述扣持结构322在平行所述针测段311的方向上也可以是未重叠于所述弹力段3131。
进一步地说，基于所述延伸臂体32是与上述传输针体31的针测段311与行程段313呈间隔地设置，所以所述延伸臂体32能够相对于所述传输针体31的针测段311摆动。据此，当所述双臂式探针3在植入相对应的第一穿孔11时，所述扣持结构322能通过朝所述针测段311位移而进入相对应第一穿孔11、并以一预定压力扣持于相对应所述第一穿孔11的孔壁12。其中，上述预定压力可以依据设计需求而加以调整变化，本发明在此不加以限制。
再者，如图5和图6所示，所述双臂式探针3于本实施例中还能通过上述扣持结构322与针测段311之间的间距D2小于所述弹力段3131与延伸臂体32之间的所述间距D1，以使得当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述弹力段3131能朝向所述延伸臂体32变形，并且所述针测段311朝向所述扣持结构322位移且保持压抵于所述扣持结构322。
据此，所述双臂式探针3可以通过针测段311压抵于扣持结构322，而令扣持结构322更为稳固地扣持于第一导板1，并使得在所述传输针体31内行进的信号也能流经所述延伸臂体32，据以有效地提升双臂式探针3的信号传输稳定性与效率，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述针测段311也可以未接触于所述扣持结构322。
需额外说明的是，能够实现上述扣持结构322功能的实施方式繁多，为便于理解，本实施例以图2和图5中的扣持结构322作一说明，但本发明扣持结构322的具体实施方式并不以此为限。
所述扣持结构322包含有一抵接部3221、连接于所述抵接部3221远离所述固定段312一端(如：图2中的抵接部3221顶端)的一限位部3222、连接于所述抵接部3221邻近所述固定段312一端(如：图2中的抵接部3221底端)的一导引部3223及自所述抵接部3221朝向所述针测段311延伸的一凸出部3224；也就是说，所述抵接部3221、限位部3222及导引部3223的内缘共同构成一凹槽，并且所述抵接部3221为所述凹槽的槽底，而突伸出上述抵接部3221的所述导引部3223的长度不大于所述扣持结构322与针测段311之间的间距D2，据以利于导引部3223穿过所述第一穿孔11。再者，所述凸出部3224的尺寸可依据设计需求而调整，据以有效地控制上述扣持结构322与针测段311之间的间距D2；也就是说，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述针测段311是压抵于上述扣持结构322的凸出部3224。
再者，如图3至图5所示，当所述双臂式探针3在植入相对应的第一穿孔11时，所述第一导板1顶抵于所述导引部3223(的斜面)以迫使所述扣持结构322朝所述针测段311位移，而令所述于导引部3223能够穿过上述第一穿孔11，以使得相对应所述第一穿孔11的所述孔壁12进入所述抵接部3221、所述限位部3222及所述导引部3223所共同包围构成的所述凹槽内。其中，所述抵接部3221较佳是以所述预定压力抵接于相对应所述第一穿孔11的孔壁12；或者，当所述针测段311顶抵于上述待测物时，所述抵接部3221可以是保持压抵于相对应所述第一穿孔11的孔壁12。
依上所述，所述垂直式探针头的双臂式探针3可以通过延伸臂体32的扣持结构322来定位于第一导板1，使得所述双臂式探针3不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其双臂式探针3。再者，由于所述双臂式探针3无须以错位设置的多个导板来定位、并且双臂式探针3可以搭配于单个第一导板1与单个第二导板2，所以双臂式探针3的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。另外，所述垂直式探针头在更换其双臂式探针3的时候，可通过在所述延伸臂体32的扣持结构322直接进行操作与取针，以使双臂式探针3脱离第一导板1与第二导板2而实现更换作业，进而有效地提升所述垂直式探针头的维修效率。
[实施例二]
请参阅图7至图9所示，其为本发明的实施例二，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：
于本实施例中，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板1的一导电线路4，并且所述导电线路4于本实施例中进一步限定为一接地线路。其中，所述导电线路4延伸入至少一个所述第一穿孔11的所述孔壁12，而相对应所述扣持结构322以所述预定压力抵接于位于至少一个所述第一穿孔11的所述孔壁12上的所述导电线路4。需说明的是，本实施例中的导电线路4是以延伸至两个第一穿孔11的孔壁12来说明，也就是说，所述导电线路4是连接于作为接地用的两个双臂式探针3的扣持结构322，但本发明不受限于此。
再者，当相对应所述扣持结构322在所述针测段311顶抵于所述待测物时，其通过所述针测段311的压抵而抵接于位于所述第一穿孔11的所述孔壁12上的所述导电线路4，据以使得上述扣持结构322(的抵接部3221)与导电线路4之间的连接能够更为稳定。
[实施例三]
请参阅图10至图12所示，其为本发明的实施例三，由于本实施例类似于上述实施例二，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例二的差异大致说明如下：
于本实施例中，所述导电线路4用来传输信号、而非接地线路。其中，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板1的一电路匹配单元5，并且所述电路匹配单元5电性耦接于所述导电线路4，以使相对应所述扣持结构322能通过抵接于所述导电线路4而电性耦接于所述电路匹配单元5。据此，所述垂直式探针头能够以双臂式探针3搭配于所述第一导板1上的导电线路4，以使得所述电路匹配单元5与待测物之间的路径能够被有效地缩短。
需说明的是，本实施例中的导电线路4包含有两条线路，其分别延伸至两个第一穿孔11的孔壁12来说明，也就是说，所述导电线路4的两条线路是分别连接于作为接地用的双臂式探针3的扣持结构322以及作为传输电力用的双臂式探针3的扣持结构322，但本发明不受限于此。
[实施例四]
请参阅图13所示，其为本发明的实施例四，由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例与上述实施例一的差异大致说明如下：
于本实施例中，所述垂直式探针头在第一导板1与第二导板2之间夹持有彼此堆栈设置的一间隔板S1与一垫片S2；也就是说，所述垫片S2于本实施例中是夹持于所述第一导板1与间隔板S1之间，但在本发明未示出的其他实施例中，所述垫片S2于本实施例中夹持于所述第二导板2与间隔板S1之间。
其中，所述双臂式探针3的固定段312与转接板的相对应金属垫(图未示)之间的连接，其可以通过调整所述垫片S2的厚度来实现。再者，所述垫片S2还可以用来提供缓冲效果。
[本发明实施例的技术效果]
综上所述，本发明实施例所公开的垂直式探针头及其双臂式探针，可以通过延伸臂体的扣持结构来定位于第一导板，使得所述双臂式探针不再需要以错位设置的多个导板来定位，进而提供一种有别于以往的垂直式探针头及其双臂式探针。
再者，由于所述双臂式探针无须以错位设置的多个导板来定位、并且双臂式探针可以搭配于单个第一导板与单个第二导板，所以双臂式探针的长度能够被有效地缩短，以有效地提升测试效能。另外，所述垂直式探针头在更换其双臂式探针的时候，可通过在所述延伸臂体的扣持结构直接进行操作与取针，以使双臂式探针脱离第一导板与第二导板而实现更换作业，进而有效地提升所述垂直式探针头的维修效率。
另外，本发明实施例所公开的垂直式探针头，能够以双臂式探针搭配于所述第一导板上的导电线路，并且所述导电线路电性耦接于电路匹配单元，据以使得所述电路匹配单元与待测物之间的路径能够被有效地缩短。
以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包括：
一第一导板，形成有多个第一穿孔；
一第二导板，与所述第一导板呈间隔地设置，并且所述第二导板形成有位置分别对应于多个所述第一穿孔的多个第二穿孔，而每个所述第一穿孔的尺寸大于相对应所述第二穿孔的尺寸；以及
多个双臂式探针，分别穿设于所述上导板的多个所述第一穿孔、并分别穿设于所述下导板的多个所述第二穿孔；其中，每个所述双臂式探针包含有：
一传输针体，包含有穿设于相对应所述第一穿孔的一针测段、穿设于相对应所述第二穿孔的一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；及
一延伸臂体，自邻近所述行程段的所述固定段边缘延伸至所述针测段的旁边所形成；其中，所述延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，所述扣持结构扣持于相对应所述第一穿孔的孔壁、并与所述传输针体的所述针测段之间留有一间距；
其中，每个所述双臂式探针的所述延伸臂体能够相对于所述传输针体的所述针测段摆动，以使得当每个所述双臂式探针在植入相对应的所述第一穿孔时，所述扣持结构能通过朝所述针测段位移而进入相对应所述第一穿孔、并以一预定压力扣持于相对应所述第一穿孔的所述孔壁。
2.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构包含有一抵接部、连接于所述抵接部远离所述固定段一端的一限位部及连接于所述抵接部邻近所述固定段一端的一导引部；当每个所述双臂式探针在植入相对应的所述第一穿孔时，所述第一导板顶抵于所述导引部以迫使所述扣持结构朝所述针测段位移，而令相对应所述第一穿孔的所述孔壁进入所述抵接部、所述限位部及所述导引部所共同包围构成的一凹槽内。
3.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述行程段包含有朝向所述延伸臂体延伸的一弹力段，并且所述弹力段与所述延伸臂体之间留有一间距。
4.依据权利要求3所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构与所述针测段之间的所述间距小于所述弹力段与所述延伸臂体之间的所述间距，以使得当所述针测段顶抵于一待测物时，所述弹力段能朝向所述延伸臂体变形，并且所述针测段朝向所述扣持结构位移且保持压抵于所述扣持结构。
5.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第一穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构在所述针测段顶抵于所述待测物时，其通过所述针测段的压抵而抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。
6.依据权利要求3所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构在平行所述针测段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。
7.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第一穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构以所述预定压力抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。
8.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包含有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，所述第一导板与所述第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板与所述第二导板以外的任何导板。
9.一种垂直式探针头的双臂式探针，其特征在于，所述垂直式探针头的双臂式探针包括：
一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；以及
一延伸臂体，自邻近所述行程段的所述固定段边缘延伸至所述针测段的旁边所形成；其中，所述延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述针测段之间留有一间距；
其中，所述双臂式探针的所述延伸臂体能够相对于所述传输针体的所述针测段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述针测段位移。
10.依据权利要求9所述的垂直式探针头的双臂式探针，其特征在于，所述行程段包含有朝向所述延伸臂体延伸的一弹力段，并且所述弹力段与所述延伸臂体之间留有一间距；所述扣持结构与所述针测段之间的所述间距小于所述弹力段与所述延伸臂体之间的所述间距，并且所述扣持结构在平行所述针测段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。
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