KR200358243Y1 - 프로브 가이드 조립체의 프로브 장착바 - Google Patents

Abstract

본 고안은 프로브 가이드 조립체의 프로브 장착바에 관한 것으로서, 길다란 각형의 바부재(331), 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(332), 상기 바부재(331)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)를 포함하고, 상기 상판부재(332)와 상기 하판부재(333) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(331)의 일측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있는 것으로 되어 있다.

Description

프로브 가이드 조립체의 프로브 장착바{PROBE MOUNTING BAR OF A PROBE GUINDING ASSEMBLY}

본 고안은 반도체 시험 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼 상에 형성된 다수의 반도체 장치를 일괄하여 시험하는 것을 반도체 시험장치가 가능하게 하는 프로브 가이드 조립체의 프로브 장착바에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 집적 회로 장치의 시험을 위해 반도체 시험 장치를 이용하여 반도체 웨이퍼 상에 형성된 반도체 장치의 전기적 특성이 측정된다.

종래의 기술로서, 반도체 웨이퍼 상에 형성된 다수의 반도체 장치를 일괄하여 시험하는 장치가 대한민국 실용등록공보 제0340108호에 개시되어 있다.

도 1은 상기 종래의 반도체 시험 장치에 따른 프로브 가이드 조립체(100)에 대한 사시도이다. 도 1에 도시된 프로브 가이드 조립체(100)는 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브(110), 이 프로브 복수개가 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈(121)이 양측부에 형성된 프로브 장착바(120), 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바(120)의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바(120)가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부(130), 그리고 상기 프레임부(130)와 체결되는 회로기판(160)을 포함하고 있다.

여기에서, 상기 프로브(110)는 도 1에 도시된 바와 같이, 장방형의 몸체(111), 이 몸체(111)의 상단에 형성되어 반도체 시험 장치의 작동시 웨이퍼(170)에 형성된 복수개의 전극 패드(171)에 접촉하게 될 탄성 탐침핀부(112), 그리고 이 몸체의 하단에 형성되어 회로기판(160)의 패드(161)에 접촉하게 될 탄성 단자부(113)를 포함하고 있다.

도 2는 도 1의 프로브(110)가 종래의 프로브 장착바(120) 3개를 이용하여 양측부가 상기 프로브 장착바(120)에 끼워져 2열로 배치되어 있는 상태에서 프로브의 탄성 탐침핀부(112)와 접속된 웨이퍼(170)가 위에 배치되어 있고, 프로브의 탄성 단자부(113)와 접속된 회로기판(160)이 아래에 배치되어 있는 것을 도시하고 있다.

반도체 웨이퍼의 시험 시에, 도 2에 도시된 바와 같은 상태로 장착된 프로브가 열 간격이 협소한 상태에서 2열로 위에 배치되어 있는 패드(171)를 구비한 웨이퍼에 적용되는 예가 도 3에 도시되어 있다.

도 3에 도시된 프로브(110)는, 상기 양측부가 프로브 장착바(120) 2개 사이에 배치되어 프로브 장착바(120)에 끼워삽입되는 관계로, 협소한 간격의 열로 배치되어 패드(171)를 구비한 웨이퍼에는 어쩔수 없이, 프로브의 탐침핀부(112)가 서로 마주하는 방향으로 경사져 있게 상기 프로브(110)가 상기 프로브 장착바(120)에 배치되어야 한다.

이러한 상태에서, 웨이퍼(170)가 고정 적재된 웨이퍼 척(202)이 상향으로 이동되어, 웨이퍼(170) 상에 협소하게 이격되어 배치된 2열의 패드(171)에 상기 탄성 탐침핀부(112)가, 도 4에 도시된 바와 같이, 접촉하게 되면, 하나의 열에 있는 상기 탄성 탐침핀부(112)와 다른 하나의 열에 있는 상기 탄성 탐침핀부(112)들이 서로 마주하는 방향으로 변형되어 열의 간격을 좁히는 방향으로 이동하게 된다.

즉, 하나의 열에 있는 상기 탐침핀부(112)와 다른 하나의 열에 있는 상기 탐침핀부(112)는 서로 동일한 변위량으로 그 첨단부가 패드(171) 위에서 서로 마주하는 방향으로 이동된다는 것이다.

이는, 각각의 열에 있는 상기 탄성 탐침핀부(112)가 각각의 열에 해당하는 웨이퍼의 패드(171)의 중심에 위치결정되어 있지 않으면, 중심에 맞지 않은 열에 장착된 탐침핀부(112)가 상기 패드(171)와 상기 탄성 탐침핀부(112) 간의 접촉시 패드(171)상에 위치되지 못하여, 도 5에 도시된 바와 같이, 측정작업을 할 수 없는 경우가 발생한다.

이를 해결하려면, 소정의 변형량에 대해서는 웨이퍼 척(202)만을 약간 이동시켜 그 변형량을 보상하여야만 하지만, 양측부가 프로브 장착바(120)에 장착된 상태에서, 프로브의 탐침핀부(112)가 서로 마주하는 방향으로 경사져 있는 관계로,변형에 의한 열 간격이 좁아져 웨이퍼 척(202)의 이동으로는 불가능하다는 단점이 있다.

따라서, 패드(171)의 중심부에 있지 않은 탐침핀부(112)의 열에 있는 프로브 장착바(120)를 장방형의 프레임부(130)에서 탈착하여야 하지만, 프로브(110)가 2개의 프로브 장착바(120) 사이에 개재되어 상기 2개의 프로브 장착바(120)에 양단지지되어 있기 때문에, 하나의 프로브 장착바(120)만을 상기 장방형 프레임부에서 탈착할 수 없다고 하는 문제점이 있다.

본 고안은 상기된 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 반도체 시험 장치의 프로브 가이드 조립체에 장착되는 프로브 장착바의 홈에 프로브가 일측만이 끼워져 삽입되어 있지만, 종래와 동등하게 안정적으로 프로브 장착바에 지지될 수 있게 하는 구성을 프로브 장착바에 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 종래의 반도체 시험 장치에 따른 프로브 가이드 조립체에 대한 사시도,

도 2는 도 1의 프로브 가이드 조립체에서 3개의 종래의 프로브 장착바가 이용되어 프로브의 양측부가 상기 종래의 프로브 장착바에 끼워져 있는 상태를 도시한 사시도,

도 3은 반도체 웨이퍼 상의 패드들을 일괄하여 시험하기 위해, 도 2의 프로브들의 탐침핀부가 웨이퍼의 패드들에 접촉되기 직전에서, 상기 프로브의 탐침핀부가 서로 마주하는 방향으로 배치되는 상태를 도시한 도면,

도 4는, 도 3의 척이 상향으로 이동되어 프로브의 탐침핀부가 접촉될 때, 상기 프로브 탐침핀부가 변형되는 상태를 도시한 도면,

도 5는 도 3의 어느 한 열에 있는 프로브들의 탐침핀부들이 그 열에 상응하는 열에 있는 패드들의 중심과 맞지 않을 때, 상기 탐침핀부와 상기 패드 간의 접촉이 이루어 지지 않는 상태를 도시한 도면,

도 6는 본 고안에 따른 프로브 장착바의 제 1 실시예를 도시한 사시도,

도 7은 본 고안의 제 1 실시예인 프로브 장착바에 프로브가 장착된 상태를도시한 사시도,

도 8은 본 고안의 프로브 장착바 사이에 프로브의 일측부가 동일한 방향으로 개재되어 장착된 상태를 도시한 도면,

도 9는 본 고안에 따른 프로브 장착바의 제 2 실시예를 도시한 사시도,

도 10은 본 고안의 제 2 실시예인 프로브 장착바에 프로브가 장착된 상태를 도시한 사시도,

도 11 내지 도 14는 본 고안에 따른 프로브 장착바의 제 1실시예와 제 2실시예가 적용된 상태를 도시한 단면도,

본 고안은, 상기 목적을 달성하기 위해 , 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브, 이 프로브 복수개가 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 측부에 형성된 프로브 장착바, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 그리고 상기 프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하고 있는 프로브 가이드 조립체에 있어서, 상기 프로브 장착바는 길다란 각형의바부재, 상기 바부재의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재, 상기 바부재의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재를 포함하고, 상기 상판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재의 일측부는 상기 바부재의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 길이방향 길이는 상기 바부재의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재의 일측부는 상기 바부재의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며, 상기 상판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고, 상기 프로브 장착바에는 상기 상판부재와 상기 하판부재 각각의 돌출부분과 상기 바부재의 일측부에 의해 구획형성된 공간이 형성되어 있는 것으로 되어 있다.

이하, 본 고안에 따른 프로브 장착바에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도 6 내지 도 14를 참조하여 상세히 설명하면, 다음과 같다.

본 실시예의 프로브 장착바는 상기된 “종래의 기술”란에서 실용신안등록공보 제0340108호에 개시된 프로브 가이드 조립체의 장방형 프레임부에 동일하게 장착되는 것이므로, 본 실시예의 상세한 설명에서는 프로브 가이드 조립체의 구성요소인 프로브 장착바를 제외한 다른 구성요소들에 대해서는 더 이상의 상세한 설명은 생략된다.

도 6에는 본 실시예의 프로브 장착바가 전체적으로 300으로서 지시되어 있다.

이 프로브 장착바(300)는 길다란 각형의 바부재(331), 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(332), 상기 바부재(331)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)를 포함하고 있다.

여기서, 상기 상판부재(332)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(332)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(333)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있다.

또한, 상기 상판부재(332)의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있다.

또한, 도 6에는 상기 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 하측 세로 슬릿 홈(334b)들을 총칭하는 세로 슬릿 홈이 부호 334로서 지시되어 있다.

또한, 상기 프로브 장착바(300)에는 상기 상판부재(332)와 상기 하판부재(333) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(331)의 일측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있다.

상기와 같이 구성된 상기 프로브 장착바(300)에는 상기에서 설명된 프로브(110)가 도 7에 도시된 바와 같이 장착되게 된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 프로브(110)는 그 중앙부가 상기 공간(A)에 배치된 상태에서, 그 상측부가 상기 상판부재(332)의 상기 세로 슬릿 홈(334a)에 끼워져 삽입되고, 그 하측부가 상기 하판부재(333)의 상기 세로 슬릿 홈(334b)에 끼워져 삽입되어, 안정적으로 프로브 장착바(300)에 장착되게 된다.

즉, 종래 기술에서 설명된 프로브(110)가 종래의 프로브 장착바(120) 2개 사이에 배치되어 프로브의 몸체(111)의 상부와 하부를 제외한 프로브 몸체(111) 전체가 상기 종래의 2개의 프로브 장착바(120)의 세로 슬롯 홈(334)에 삽입되어 안정적으로 장착되어 있는 반면에, 본 실시예의 프로브 장착바(300)는, 프로브 장착바(300)의 공간(A)로 인하여, 프로브(110) 몸체의 중앙부를 제외한 프로브의 일측 상부 및 하부가 상기 프로브 장착바(300)에 삽입됨으로써, 프로브장착바(300)에 끼워지는 프로브(110)의 면적이 종래에 비하여는 작아졌지만, 그 장착의 안정성에 있어서는 종래의 프로브 장착바(120)와 차이가 없게 된다.

또한, 본 고안에 따른 프로브 장착바는 상기와 같은 구성에 의하여 신호의 전달효율이 증대된다는 효과가 있다.

즉, 상기한 바와 같이 본 고안에 따른 프로브 가이드 조립체에 있어서는 상기 프로브(110) 몸체의 중앙부를 제외한 상하양측부만이 상기 프로브 장착바(300)에 삽입되어 있기 때문에, 상기 프로브 장착바(300)에 삽입된 프로브(110)들은 상기 공간(A)에 존재하는 공기를 매개체로 하여 서로에 인접되어 있으며, 이로 인해 상기 두개의 프로브(110)간의 정전용량(C)값은 작아지게 된다. 그 결과, 상기 프로브(110)를 통해 전달되는 신호(전류)는 상기 프로브(110)의 정전용량(C)에 따른 힘을 적게 받게 되어서, 신호(전류)의 전달 효율이 증대되게 된다.

이러한 원리에 대하여 아래의 [수학식 1]을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

즉, 모든 도체는 서로 떨어져 있더라도 그 사이에는 전기장에 의한 정전결합이 항상 존재하여, 마치 커패시터로 연결된 것 처럼 보이며, 동일한 두 평행 도체판의 경우 그 사이의 정전용량(C)은 아래의 [수학식 1]과 같이 표현될 수 있다.

C = ε * S / d

상기 [수학식 1]에서, ε는 두 판 사이의 물질의 유전율, S는 각 판의 면적, d는 평행판의 거리를 나타낸다. 여기에서 정전용량(C)는 유전율에 비례한다는 것을 알 수 있다. 이 유전율은 아무 물질도 없는 진공상태가 가장 낮으며, 공기도 진공과 거의 같은 유전율을 보인다.

따라서, 본 고안에 따른 프로드 가이드 조립체의 프로브 장착바(300)에 삽입되는 인접한 프로브(110)들 사이에는 공간(A)로 인해 유전율이 가장 낮은 공기에 의해 채워지게 되며, 이에 의해 상기 프로브(110)들 간의 정전용량(C)은 감소되어, 상기 프로브(110)를 통과하는 신호(전류)가 받는 전자기적 힘이 감소되어서, 상기 프로브(110)를 통한 신호(전류)의 전달효율이 증가하게 되는 것이다.

복수개의 프로브(110)가 그 일측이 끼워져 장착된 본 실시예의 프로브 장착바 2개를 프로브 가이드 조립체에 장착하여 반도체 시험장치에 적용된 상태가 도 8에 도시되어 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 위에 패드가 2열로 협소하게 배치된 웨이퍼(170)가 종래와 같은 척(202)에 장전되어 있다. 그리고 상기 웨이퍼(170) 위에는 본 실시예의 프로브 장착바(300)에 일측만이 끼워져 장착된 프로브의 탐침핀부(112)가 배치되어 있다.

따라서, 종래의 프로브 장착바는 프로브(110)를 지지하기 위해 프로브의 양측부를 끼워서 지지하는 구조로 되어 있어서, 만약 2열로 배치되는 구조에서는 3개의 프로브 장착바가 필요하게 되고, 그리고 3개의 프로브 장착바로 인한 프로브 간의 간격이 벌어지기 때문에 어쩔수 없이 프로브의 탄성 탐침핀부(112)가 서로 마주하는 방향으로 배치되지만, 본 실시예의 프로브 장착바(300)는 2개만을 이용하여 프로브를 2열로 배치시키는 것이 가능하기 때문에, 협소한 2열로 배치된 경우에도 프로브 탐침핀부(112)가 서로 동일한 방향으로 경사지게 배치될 수 있다.

따라서, 본 실시예의 프로브 장착바는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 패드(171)와 상기 탄성 탐침핀부(112) 간의 접촉시 서로 동일한 방향으로 그리고 서로 동일한 변형량으로 이동되므로, 소정의 변형량에 대해서는 척(202) 만을 이동시킴으로써 용이하게 상기 패드(171)와 상기 탄성 탐침핀부(112) 간의 접촉을 위한 위치결정을 가능하게 하고, 이러한 위치결정만으로도 상기 패드(171)와 상기 탄성 탐침핀부(112) 간의 접촉 가능 영역이 상기 탄성 탐침핀부(112)의 변형량을 초과하면, 어쩔수 없이 탐침핀부(112)가 장착된 프로브 장착바(300)를 장방형 프레임부로부터 탈착시켜야 한다.

하지만, 본 실시예의 프로브 장착바(300)에서는 종래와 달리 프로브 장착바(300)에 프로브(110)가 일측만이 끼워져 장착되어 있기 때문에, 모든 프로브 장착바(300)를 장방형 프레임부에서 탈착시킴 없이 변형량을 초과한 영역에 있는 프로브(110)를 장착하고 있는 프로브 장착바(300)만을 장방형 프레임부에서 탈착하여 프로브(110)를 재 미세조정하기만 하면 된다.

도 9에는 본 고안은 다른 실시예의 프로브 장착바가 전체적으로 400으로서 지시되어 있다.

이 프로브 장착바(400)는 길다란 각형의 바부재(431), 상기 바부재(431)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(432), 상기 바부재(431)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(433)를 포함하고 있다.

여기서, 상기 상판부재(432)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(432)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(433)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있다.

또한, 상기 상판부재(432)의 돌출된 양측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 돌출된 양측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있다.

또한, 상기 프로브 장착바(400)의 양측부에는 상기 상판부재(432)와 상기 하판부재(433) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(431)의 양측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있다. 이 공간은 상기 일실시예에서 설명된 공간과 동일한 역할을 한다.

상기와 같이 구성된 상기 프로브 장착바(400)는 본 고안의 종래 기술에서 언급된 프로브(110)가 도 10에 도시된 바와 같이 장착되게 된다.

도 11 내지 도 14에는 상기 제 1실시예의 프로브 장착바와 상기 제 2실시예의 프로브 장착바가 다양한 형태로 배치되어 있는 패드(171)를 가진 웨이퍼(170) 상에 프로브(110)의 탄성 탐침핀부(112)가 서로 동일하게 경사진 방향으로 배치된 채 적용될 수 있는 예들이 도시되어 있다.

도 11에 도시된 것은 2열로 배치된 패드(171)를 가진 웨이퍼(170) 상에 제 1실시예의 프로브 장착바(300)가 적용된 예가 도시되어 있고, 도 12에 도시된 것은 2열로 배치된 패드(171)를 가진 웨이퍼(170) 상에 제 2실시예의 프로브 장착바(400)가 적용된 예가 도시되어 있고, 도 13에 도시된 것은 2열로 배치된 패드(171)를 가진 웨이퍼(170)상에 제 1실시예의 프로브 장착바(300) 두개가 적용된 예가 도시되어 있고, 도 14에 도시된 것은 4열로 배치된 패드(171)를 가진 웨이퍼(170) 상에 제 2실시예의 프로브 장착바(400) 두개가 적용된 예가 도시되어 있다.

이상의 본 고안은 상기에서 기술된 실시예들에 의해 한정되지 않고, 당업자들에 의해 다양한 변형 및 변경을 가져올 수 있으며, 이는 첨부된 청구항에서 정의되는 본 고안의 취지와 범위에 포함된다.

이상 설명한 바와 같이 본 고안에 의하면, 반도체 시험 장치의 프로브 가이드 조립체에 장착되는 프로브 장착바의 세로 슬릿 홈에 프로브가 일측 만이 끼워져 삽입되어 있지만, 종래와 동등하게 안정적으로 프로브 장착바를 지지될 수 있게 하면서, 프로브의 위치결정을 용이하게 하고, 신호전달율도 좋게 하였다.

Claims (3)

1. 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브, 이 프로브 복수개가 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 측부에 형성된 프로브 장착바, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 그리고 상기 프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하고 있는 프로브 가이드 조립체에 있어서,

   상기 프로브 장착바는 길다란 각형의 바부재(331), 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(332), 상기 바부재(331)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)를 포함하고,

   상기 상판부재(332)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(332)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(333)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며,

   상기 상판부재(332)의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)이소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고,

   상기 프로브 장착바(300)에는 상기 상판부재(332)와 상기 하판부재(333) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(331)의 일측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장착바.
2. 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브, 이 프로브 복수개가 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 측부에 형성된 프로브 장착바, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 그리고 상기 프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하고 있는 프로브 가이드 조립체에 있어서,

   상기 프로브 장착바는 길다란 각형의 바부재(431), 상기 바부재(431)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(432), 상기 바부재(431)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(433)를 포함하고,

   상기 상판부재(432)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(432)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(433)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고,

   상기 상판부재(432)의 돌출된 양측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 돌출된 양측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고,

   상기 프로브 장착바(400)의 양측부에는 상기 상판부재(432)와 상기 하판부재(433) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(431)의 양측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장착바.
3. 전체적으로 박판형상으로 되어 있는 프로브, 이 프로브 복수개가 양측부가 안정적으로 지지되는 상태에서 장착될 수 있게 세로형 슬릿 홈이 측부에 형성된 프로브 장착바, 중앙에 개구가 형성되어 있고 그 개구 주위에 홈이 형성되어 있어 상기 프로브 장착바의 양단이 상기 홈에 끼워진 상태에서 상기 프로브 장착바가 상기 개구를 횡단하게 하여 장착될 수 있게 되어 있는 장방형의 프레임부, 그리고 상기프레임부와 체결되는 회로기판을 포함하고 있는 프로브 가이드 조립체에 있어서,

   상기 프로브 장착바는 한 세트의 프로브 장착바(300, 400)이며,

   상기 제 1프로브 장착바(300)는 길다란 각형의 바부재(331), 상기 바부재(331)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(332), 상기 바부재(331)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(333)를 포함하고,

   상기 상판부재(332)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(332)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 길이방향 길이는 상기 바부재(331)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(332)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(331)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(333)의 일측부는 상기 바부재(331)의 일측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있으며,

   상기 상판부재(332)의 돌출된 측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있고, 그리고 상기 하판부재(333)의 돌출된 측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b)이 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 형성되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(334a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(334b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고,

   상기 프로브 장착바(300)에는 상기 상판부재(332)와 상기 하판부재(333) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(331)의 일측부에 의해 구획형성된 공간(A)이 형성되어 있고, 그리고

   상기 제 2프로브 장착바(400)는 길다란 각형의 바부재(431), 상기 바부재(431)의 윗면에 일체로 고정되어 있는 장방형의 상판부재(432), 상기 바부재(431)의 밑면에 일체 고정되어 있는 장방형의 하판부재(433)를 포함하고,

   상기 상판부재(432)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 상판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 상판부재(432)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 길이방향 길이는 상기 바부재(431)의 길이방향 길이보다 짧고, 상기 하판부재(432)의 윗면과 밑면 각각의 면적은 상기 바부재(431)의 윗면과 밑면 각각의 면적 보다 더 넓은 상태에서, 상기 하판부재(433)의 양측부는 상기 바부재(431)의 양측부에서 소정 길이 만큼 뻗어 돌출되어 있고,

   상기 상판부재(432)의 돌출된 양측에는, 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있고, 그리고 상기 하판부재(433)의 돌출된 양측에는, 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b)이 평행하게 형성되어 있고, 소정의 일정 간격을 두고 배치되어 있으며, 상기 복수개의 상측 세로 슬릿 홈(434a)과 상기 복수개의 하측 세로 슬릿 홈(434b) 각각은 서로 동일한 수직선 상에 상하로 배치되어 있고,

   상기 프로브 장착바(400)의 양측부에는 상기 상판부재(432)와 상기 하판부재(433) 각각의 돌출부분과 상기 바부재(431)의 양측부에 의해 구획형성된공간(A)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장착바.