JP2020034352A - プローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジングを提供すること。【解決手段】検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つのプローブピンを収容保持可能なプローブピン収容部を備える。プローブピン収容部は、選択されたプローブピンの種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部の中から選択された１つのプローブピン収容部で構成され、選択されたプローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。【選択図】図３

Description

本開示は、検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジング、このプローブピン用ハウジングを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、検査用の治具を用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。

このような治具としては、例えば、特許文献１に記載された電子部品用ソケットがある。この電子部品用ソケットは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトを有する電極部と、この電極部を内部に収容するソケット本体とを備えている。

特開２００２−１３４２０２号公報

前記電子部品用ソケットでは、収容される電極部の形状および大きさなどに応じて、ソケット本体が設計される。このため、検査対象あるいは検査装置が変更されて電極部の設計が変更される度に、電極部を収容するソケット本体の形状または大きさを変更しなければならず、前記電子部品用ソケットの製造コストを低減することが難しい場合があった。

本開示は、製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置を提供することを課題とする。

本開示の一例のプローブピン用ハウジングは、
検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、
延在方向の両端部にそれぞれ接点部を有する複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つの前記プローブピンを前記接点部の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部を備え、
前記プローブピン収容部は、選択された前記プローブピンの種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部の中から選択された１つの前記プローブピン収容部で構成され、
選択された前記プローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピン用ハウジングと
前記プローブピン用ハウジングに収容された前記プローブピンと
を備える。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具と、
前記プローブピンの前記接点部の各々が外部に露出した状態で前記検査治具を収容保持可能な治具収容部を有する検査治具用ハウジングと
を備える。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備える。

前記プローブピン用ハウジングによれば、選択されたプローブピンの種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部の中から選択された１つのプローブピン収容部を備え、選択されたプローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。このような構成により、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピンの種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピンが収容された検査治具を容易に得ることができる。その結果、検査ユニットひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジングを実現できる。

前記検査治具によれば、前記プローブピン用ハウジングによって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピンの種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニットひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具を実現できる。

前記検査ユニットによれば、前記検査治具によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニットを実現できる。

前記検査装置によれば、前記検査ユニットによって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。

本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 図３のIV-IV線に沿った断面図。 図３の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す斜視図。 図５のVI-VI線に沿った断面図。 図３および図５の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とが選択された検査治具を示す斜視図。 図７のVIII-VIII線に沿った断面図。 図３、図５および図７の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す断面図。 図３、図５、図７および図９の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す断面図。 図３の検査治具の第１の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第２の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第３の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第４の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第５の変形例を示す斜視図。 図１５の検査治具を示す平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態の検査ユニット１は、図１に示すように、検査治具１０と、この検査治具１０が収容された検査治具用ハウジング２０とを備えている。この実施形態では、検査ユニット１は、一例として、５つの検査治具１０を備えている。

図２に示すように、検査治具用ハウジング２０は、各検査治具１０を収容可能な治具収容部２１を有している。この実施形態では、検査治具用ハウジング２０は、一例として、略直方体状で、その内部に５つの治具収容部２１を有している。各治具収容部２１には、後述するプローブピン１２がその延在方向の両端部の各々が検査治具用ハウジング２０の外部に露出した状態で、検査治具１０が収容されている。

検査治具用ハウジング２０には、締結部材１１０を介して基板１００が固定されている。基板１００の表面には、各検査治具１０に対応する接続端子１０１が設けられ、この接続端子１０１に、プローブピン１２の一端が接続されている。

検査治具１０は、図３に示すように、プローブピン用ハウジング１１と、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２とを備えている。

プローブピン用ハウジング１１は、図３に示すように、一例として、略円筒形状で、その延在方向の両端部４１、４２の各々から後述するプローブピン１２の両端の接点部１２６、１２７が、それぞれ外部に突出可能に構成されている。

詳しくは、プローブピン用ハウジング１１は、延在方向の一端部に開口部１１３が設けられた筒状部材１１１と、筒状部材１１１の開口部１１３を覆う蓋部材１１２とで構成されている。図４に示すように、プローブピン用ハウジング１１の内部には、筒状部材１１１と蓋部材１１２とで囲まれてプローブピン１２を収容可能なプローブピン収容部１３が設けられている。

筒状部材１１１のその延在方向の他端部および蓋部材１１２（すなわち、プローブピン用ハウジング１１のその延在方向の両端部４１、４２）には、収容されたプローブピン１２のその延在方向の両端部がそれぞれ突出可能な貫通孔１１４、１１５が設けられている。各貫通孔１１４、１１５を介して、プローブピン１２の両端の接点部１２６、１２７が、プローブピン用ハウジング１１の外部にそれぞれ露出している。

プローブピン１２は、図４に示すように、板状で、その長手方向（すなわち、図４の上下方向）に沿って伸縮可能な弾性部１２１と、弾性部１２１のプローブピン１２の長手方向における両端部にそれぞれ接続された第１接触部１２２および第２接触部１２３とを備えている。

弾性部１２１は、プローブピン１２の板厚方向（すなわち、図４の紙面貫通方向）から見て、蛇行形状を有し、複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片１２４、１２５）で構成されている。

第１接触部１２２は、プローブピン１２の長手方向における一端部が弾性部１２１に接続されていると共に、プローブピン１２の長手方向における他端部に配置された第１接点部１２６を有している。また、第２接触部１２３は、プローブピン１２の長手方向における一端部が弾性部１２１に接続されていると共に、プローブピン１２の長手方向における他端部に配置された第２接点部１２７を有している。第１接点部１２６および第２接点部１２７の各々は、プローブピン１２の短手方向（すなわち、図４の左右方向）の中心線ＣＬ沿いに配置されている。

第１接触部１２２のプローブピン１２の長手方向における弾性部１２１側の端部には、プローブピン１２をプローブピン収容部１３に収容したときに蓋部材１１２と接触してプローブピン１２を支持する支持部１２８が設けられている。また、第２接触部１２３のプローブピン１２の長手方向における弾性部１２１側の端部には、プローブピン１２をプローブピン収容部１３に収容したときに筒状部材１１１と接触してプローブピン１２を支持する支持部１２９が設けられている。

なお、プローブピン１２は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部１２１、第１接触部１２２および第２接触部１２３が一体に構成されている。

プローブピン収容部１３は、複数種類のプローブピン１２の中から選択された少なくとも１つのプローブピン１２を各接点部１２６、１２７が外部に露出した状態で収容保持可能に構成されている。すなわち、プローブピン収容部１３は、選択されたプローブピン１２の種類および数（すなわち、選択されてプローブピンセット）に応じて、複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つのプローブピン収容部１３で構成されている。

例えば、選択されたプローブピン１２の数が１つであった場合、図３および図４に示すように、プローブピン収容部１３として、１つのプローブピン１２を収容可能なスリット状の収容部１３１を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。

選択されたプローブピン１２の種類が同じでかつ数が複数の場合、プローブピン収容部１３は、図５および図６に示すように、プローブピン収容部１３として、複数のプローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能なスリット状の第１収容部１４を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。図５および図６に示す検査治具１０では、一例として、３つのプローブピン１２で構成されたプローブピン積層体３０を備えている。

また、図７および図８に示すように、プローブピン収容部１３として、各々が１つのプローブピン１２を収容可能であると共に、収容されたプローブピン１２が板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成されたスリット状の第２収容部１５を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。図７および図８に示す検査治具１０では、一例として、第２収容部１５が２つの個別収容部１５１で構成され、各個別収容部１５１に１つのプローブピン１２がそれぞれ板厚方向に間隔を空けて収容されている。

例えば、図４に示すプローブピン１２に代えて、図９および図１０に示す種類のプローブピン１２を用いて検査治具１０を構成することもできる。

図９に示すプローブピン１２は、第２接点部１２７が複数（ここでは、２つ）設けられていると共に、第１接点部１２６および第２接点部１２７の各々が、中心線ＣＬに直交する方向において、中心線ＣＬから離れて配置されている。

図１０に示すプローブピン１２は、弾性部１２１がコイルばねで構成されており、弾性部１２１、第１接触部１２２および第２接触部１２３が、それぞれ別体で構成されている。第１接触部１２２および第２接触部１２３は、弾性部１２１であるコイルばねの内部において、板面が直交した状態でプローブピン１２の延在方向にスライド移動可能に接続されている。すなわち、図１０に示すプローブピン１２を収容するプローブピン収容部１３は、略円柱形状を有している。

すなわち、前記プローブピン用ハウジング１１は、その延在方向から見た場合の両端部４１、４２が、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて異なる形状を有しているものの（具体的には、貫通孔１１４、１１５に接続された開口部の数および大きさが異なっている。）、その延在方向まわりの側部４３（すなわち、プローブピン用ハウジング１１の外周面）が、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。

前記プローブピン用ハウジング１１によれば、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つのプローブピン収容部１３を備え、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。このような構成により、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピン１２の種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピン１２が収容された検査治具１０を容易に得ることができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング１１を実現できる。

また、複数種類のプローブピン収容部１３の中に、複数のプローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能な第１収容部１４が含まれている。このような構成により、例えば、１つのプローブピン１２が収容保持された検査治具１０と比較して、大きな電流を流すことができる検査治具１０を得ることができる。

また、複数種類のプローブピン収容部１３の中に、プローブピン１２を収容可能であると共に、収容されたプローブピン１２が板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成された第２収容部１５が含まれている。このような構成により、例えば、ケルビン接続により導通検査を行うことができる検査治具１０を得ることができる。

また、前記検査治具１０によれば、プローブピン用ハウジング１１と、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２とを備える。すなわち、プローブピン用ハウジング１１によって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピン１２の種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具１０を実現できる。

また、前記検査ユニット１によれば、検査治具１０と、プローブピン１２の各接点部１２６、１２７が外部に露出した状態で検査治具１０を収容保持可能な治具収容部２１を有する検査治具用ハウジング２０とを備えている。すなわち、検査治具１０によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニット１を実現できる。

また、検査ユニット１によって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。この検査装置は、少なくとも１つの検査ユニット１を備えていればよい。

なお、選択可能なプローブピン１２の種類および数、並びに、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて選択されるプローブピン収容部１３は、前記実施形態に限らず、検査治具１０、検査ユニット１および検査装置の設計に応じて、任意に設定することができる。

また、プローブピン用ハウジング１１の外形形状は、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一であればよく、略円筒形状に限らない。

例えば、プローブピン用ハウジング１１の外形は、図１１に示すように、略多角柱状（図１１では、略六角柱状）であってもよいし、図１２に示すように、楕円柱形状であってもよい。

図１３に示すように、プローブピン収容部１３に収容されたプローブピン１２の延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状であってもよい。図１３に示す検査治具１０では、プローブピン用ハウジング１１は、筒状部材１１１の他端部から一端部に向かって（すなわち、図１３の上側から下側に向かって）先細りとなっている略円筒形状の外形を有している。このように、プローブピン用ハウジング１１の外形を先細り形状にすることで、検査治具１０の治具収容部２１に対する収容方向を規定することができる。

図１４に示すように、プローブピン用ハウジング１１は、プローブピン収容部１３の内部および外部に連通してプローブピン収容部１３の内部をプローブピン収容部１３の外部から確認可能な確認窓１６を備えることもできる。図１４に示す検査治具１０では、プローブピン用ハウジング１１は、筒状部材１１１の側部４３に、筒状部材１１１の延在方向に沿って間隔を空けて配置された２つの確認窓１６を備えている。このように、プローブピン用ハウジング１１に確認窓１６を設けることで、内部に収容されているプローブピン１２の収容状態をプローブピン用ハウジング１１の外部から容易に確認することができる。

図１５および図１６に示すように、検査ユニット１において、プローブピン用ハウジング１１に位置決め突出部１７を設け、検査治具用ハウジング２０に位置決め突出部１７を収容可能な位置決め凹部２２を設けてもよい。図１５および図１６に示す検査ユニット１では、プローブピン用ハウジング１１は、円筒状を有している。位置決め突出部１７は、プローブピン用ハウジング１１の筒状部材１１１の外周面から径方向でかつプローブピン用ハウジング１１から離れる方向に突出していると共に、筒状部材１１１の外周面をプローブピン用ハウジング１１の延在方向に沿って延びる略直方体状を有している。また、位置決め凹部２２は、治具収容部２１に接続されている。このように構成することで、治具収容部２１に収容された検査治具１０をプローブピン用ハウジング１１の延在方向まわり（すなわち、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２の延在方向まわり）において位置決めすることができる。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン用ハウジング１１は、
検査ユニット１の検査治具用ハウジング２０に収容可能な検査治具１０の一部を構成するプローブピン用ハウジング１１であって、
延在方向の両端にそれぞれ接点部１２６、１２７を有する複数種類のプローブピン１２の中から選択された少なくとも１つの前記プローブピン１２を前記接点部１２６、１２７の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部１３を備え、
前記プローブピン収容部１３は、選択された前記プローブピン１２の種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部１３の中から選択された１つの前記プローブピン収容部１３で構成され、
選択された前記プローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。

言い換えると、本開示の第１態様のプローブピン用ハウジング１１は、
第１のプローブピンセットに対応する第１のプローブピン収容部と、第２のプローブピンセットに対応しかつ前記第１のプローブピン収容部とは異なる第２のプローブピン収容部とを含む複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つの前記プローブピン収容部１３を備え、
選択された前記プローブピン収容部１３の種類にかかわらず、同一の外形形状および大きさを有している。

第１態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピン１２の種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピン１２が収容された検査治具１０を容易に得ることができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング１１を実現できる。

なお、プローブピンセットは、例えば、図３および図４に示す検査治具１０では、１つのプローブピン１２であり、図５および図６に示す検査治具１０では、３つのプローブピン１２が板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０であり、図７および図８に示す検査治具１０では、板厚方向に間隔を空けて配置される２つのプローブピン１２である。すなわち、例えば、第１のプローブピンセットが、図３および図４に示す１つのプローブピン１２であった場合、第１のプローブピン収容部は、収容部１３１であり、第２のプローブピンセットが、図５および図６に示すプローブピン積層体３０であった場合、第２のプローブピン収容部は、第１収容部１４である。

本開示の第２態様のプローブピン用ハウジング１１は、
複数種類の前記プローブピン収容部１３の中に、
複数の前記プローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能な第１収容部１４が含まれている。

第２態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、例えば、１つのプローブピン１２が収容保持された検査治具１０と比較して、大きな電流を流すことができる検査治具１０を得ることができる。

本開示の第３態様のプローブピン用ハウジング１１は、
複数種類の前記プローブピン収容部１３の中に、
前記プローブピン１２を収容可能であると共に、収容された前記プローブピン１２が前記板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成された第２収容部１５が含まれている。

第３態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、例えば、ケルビン接続により導通検査を行うことができる検査治具１０を得ることができる。

本開示の第４態様のプローブピン用ハウジング１１は、
前記プローブピン収容部１３の内部および外部に連通して前記プローブピン収容部１３の内部を前記プローブピン収容部１３の外部から確認可能な確認窓１６をさらに備える。

第４態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、内部に収容されているプローブピン１２の収容状態をプローブピン用ハウジング１１の外部から容易に確認することができる。

本開示の第５態様のプローブピン用ハウジング１１は、
前記プローブピン収容部１３に収容された前記プローブピン１２の前記延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状を有している。

第５態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、プローブピン用ハウジング１１の外形が先細り形状にすることで、検査治具１０の治具収容部２１に対する収容方向を規定することができる。

本開示の第６態様の検査治具１０は、
前記プローブピン用ハウジング１１と、
前記プローブピン用ハウジング１１に収容された前記プローブピン１２と
を備える。

第６態様の検査治具１０によれば、プローブピン用ハウジング１１によって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピン１２の種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具１０を実現できる。

本開示の第７態様の検査ユニット１は、
前記検査治具１０と、
前記プローブピン１２の前記接点部１２６、１２７の各々が外部に露出した状態で前記検査治具１０を収容保持可能な治具収容部２１を有する検査治具用ハウジング２０と
を備える。

第７態様の検査ユニット１によれば、検査治具１０によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニット１を実現できる。

本開示の第８態様の検査ユニット１は、
前記プローブピン用ハウジング１３が、円筒状を有すると共に、その外周面から径方向でかつ前記プローブピン用ハウジング１３から離れる方向に突出する位置決め突出部１７を有し、
前記検査治具用ハウジング２０が、前記治具収容部２１に接続されていると共に、前記位置決め突出部１７を収容して、前記検査治具１０における収容された前記プローブピン１２の前記延在方向まわりの位置を決める位置決め凹部２２を有している。

第８態様の検査ユニット１によれば、治具収容部２１に収容された検査治具１０をプローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２の延在方向まわりにおいて位置決めすることができる。

本開示の第９態様の検査装置は、
前記検査ユニット１を備える。

第９態様の検査装置によれば、検査ユニット１によって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示の検査治具用ハウジングは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
１０ 検査治具
１１ プローブピン用ハウジング
１１１ 筒状部材
１１２ 蓋部材
１１３ 開口部
１１４、１１５ 貫通孔
１２ プローブピン
１２１ 弾性部
１２２ 第１接触部
１２３ 第２接触部
１２４、１２５ 帯状弾性片
１２６ 第１接点部
１２７ 第２接点部
１２８、１２９ 支持部
１３ プローブピン収容部
１３１ 収容部
１４ 第１収容部
１５ 第２収容部
１５１ 個別収容部
１６ 確認窓
１７ 位置決め突出部
２０ 検査治具用ハウジング
２１ 治具収容部
２２ 位置決め凹部
３０ プローブピン積層体
４１、４２ 端部
４３ 側部
１００ 基板
１０１ 接続端子
１１０ 締結部材
ＣＬ 中心線

Claims (9)

1. 検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、
   延在方向の両端にそれぞれ接点部を有する複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つの前記プローブピンを前記接点部の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部を備え、
   前記プローブピン収容部は、選択された前記プローブピンの種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部の中から選択された１つの前記プローブピン収容部で構成され、
   選択された前記プローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する、プローブピン用ハウジング。
2. 複数種類の前記プローブピン収容部の中に、
   複数の前記プローブピンが相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体を収容保持可能な第１収容部が含まれている、請求項１のプローブピン用ハウジング。
3. 複数種類の前記プローブピン収容部の中に、
   前記プローブピンを収容可能であると共に、収容された前記プローブピンが板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部で構成された第２収容部が含まれている、請求項１または２のプローブピン用ハウジング。
4. 前記プローブピン収容部の内部および外部に連通して前記プローブピン収容部の内部を前記プローブピン収容部の外部から確認可能な確認窓をさらに備える、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン用ハウジング。
5. 前記プローブピン収容部に収容された前記プローブピンの前記延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状を有している、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン用ハウジング。
6. 請求項１から５のいずれか１つのプローブピン用ハウジングと、
   前記プローブピン用ハウジングに収容された前記プローブピンと
   を備える、検査治具。
7. 請求項６の検査治具と、
   前記プローブピンの前記接点部の各々が外部に露出した状態で前記検査治具を収容保持可能な治具収容部を有する検査治具用ハウジングと
   を備える、検査ユニット。
8. 前記プローブピン用ハウジングが、円筒状を有すると共に、その外周面から径方向でかつ前記プローブピン用ハウジングから離れる方向に突出する位置決め突出部を有し、
   前記検査治具用ハウジングが、前記治具収容部に接続されていると共に、前記位置決め突出部を収容して、前記検査治具における収容された前記プローブピンの前記延在方向まわりの位置を決める位置決め凹部を有している、請求項７の検査ユニット。
9. 請求項７または８の検査ユニットを備える、検査装置。

Images