WO2020045066A1 - プローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

プローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 Download PDF

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WO2020045066A1
WO2020045066A1 PCT/JP2019/031720 JP2019031720W WO2020045066A1 WO 2020045066 A1 WO2020045066 A1 WO 2020045066A1 JP 2019031720 W JP2019031720 W JP 2019031720W WO 2020045066 A1 WO2020045066 A1 WO 2020045066A1
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housing
probe
inspection
pin housing
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PCT/JP2019/031720
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直哉 笹野
宏真 寺西
貴浩 酒井
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オムロン株式会社
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    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted

Definitions

  • the present disclosure relates to a probe pin housing that constitutes a part of an inspection jig that can be housed in an inspection jig housing of an inspection unit, an inspection jig provided with the probe pin housing, and an inspection provided with the inspection jig.
  • the present invention relates to a unit and an inspection device provided with the inspection unit.
  • an inspection jig an electrode unit such as an FPC contact electrode or a mounted board-to-board connector for connecting to a main board installed in an electronic component module is connected to an inspection device. It is done by doing.
  • the electronic component socket includes an electrode portion having a pair of contacts that can contact the electrode terminal of the electronic component and the electrode terminal of the connected electronic component, respectively, and a socket body that houses the electrode portion inside. I have.
  • the socket body is designed according to the shape and size of the electrode part to be accommodated. Therefore, every time the inspection object or the inspection apparatus is changed and the design of the electrode portion is changed, the shape or size of the socket body accommodating the electrode portion must be changed. In some cases, it was difficult to reduce costs.
  • An object of the present disclosure is to provide a probe pin housing, an inspection jig, an inspection unit, and an inspection device that can easily reduce the manufacturing cost.
  • the probe pin housing includes: A probe pin housing constituting a part of an inspection jig that can be housed in the inspection jig housing of the inspection unit, A probe pin receiving portion capable of receiving and holding at least one probe pin selected from a plurality of types of probe pins having contact portions at both ends in the extending direction with each of the contact portions exposed to the outside With
  • the probe pin receiving section is configured by one probe pin receiving section selected from a plurality of types of the probe pin receiving sections, depending on the type and the number of the selected probe pins, Regardless of the type of the selected probe pin housing, the probe has the same outer shape and size.
  • the probe pin housing includes the probe pin housing and the probe pin housed in the probe pin housing.
  • an inspection unit includes: The inspection jig; An inspection jig housing having a jig accommodating portion capable of accommodating and holding the inspection jig in a state where each of the contact portions of the probe pin is exposed to the outside.
  • an inspection apparatus includes: At least one inspection unit is provided.
  • one probe pin housing selected from a plurality of types of probe pin housings is provided according to the type and number of the selected probe pins, and the selected probe pin housing is provided. Regardless of the type of part, they have the same external shape and size. With such a configuration, even if the inspection object or the inspection apparatus is changed and the type and number of necessary probe pins are changed, the changed probe pins are housed without changing the external shape and size. Inspection jig can be easily obtained. As a result, a probe pin housing that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit and, consequently, the inspection device can be realized.
  • the type and number of accommodated probe pins can be easily changed by the probe pin housing without changing the external shape and size. As a result, it is possible to realize an inspection jig that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit and, consequently, the inspection device.
  • an inspection unit capable of easily reducing manufacturing costs can be realized by the inspection jig.
  • an inspection device capable of easily reducing manufacturing costs can be realized by the inspection unit.
  • FIG. 1 is a perspective view illustrating an inspection unit according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 1.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an inspection jig according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an inspection jig constituted by a probe tweezers different from the inspection jig of FIG. 3 and a probe pin housing corresponding to the probe tweezers.
  • FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5.
  • FIG. 5 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5.
  • FIG. 6 is a perspective view showing an inspection jig in which probe tweezers different from the inspection jigs of FIGS. 3 and 5 and a probe pin housing corresponding to the probe tweezers are selected.
  • FIG. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG. 7.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view showing an inspection jig configured with a probe tweezer different from the inspection jig of FIGS. 3, 5, and 7, and a probe pin housing corresponding to the probe tweezer.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing an inspection jig composed of a probe tweezer different from the inspection jig of FIGS.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a first modification of the inspection jig of FIG. 3.
  • FIG. 4 is a perspective view showing a second modification of the inspection jig in FIG. 3.
  • FIG. 9 is a perspective view showing a third modification of the inspection jig in FIG. 3.
  • FIG. 14 is a perspective view showing a fourth modification of the inspection jig of FIG. 3.
  • FIG. 14 is a perspective view showing a fifth modification of the inspection jig of FIG. 3.
  • FIG. 16 is a plan view showing the inspection jig of FIG. 15.
  • the inspection unit 1 includes an inspection jig 10 and an inspection jig housing 20 in which the inspection jig 10 is stored.
  • the inspection unit 1 includes, for example, five inspection jigs 10.
  • the inspection jig housing 20 has a jig accommodating portion 21 capable of accommodating each inspection jig 10.
  • the inspection jig housing 20 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and has five jig accommodating portions 21 therein.
  • the inspection jig 10 is accommodated in each jig accommodating portion 21 in such a manner that a probe pin 12 described later is exposed outside the inspection jig housing 20 at both ends in the extending direction thereof.
  • the substrate 100 is fixed to the inspection jig housing 20 via the fastening member 110.
  • a connection terminal 101 corresponding to each inspection jig 10 is provided on the surface of the substrate 100, and one end of the probe pin 12 is connected to the connection terminal 101.
  • the inspection jig 10 includes a probe pin housing 11 and a probe pin 12 housed in the probe pin housing 11.
  • the probe pin housing 11 has, for example, a substantially cylindrical shape, and has contact points 126 and 127 at both ends of the probe pin 12, which will be described later, from both ends 41 and 42 in the extending direction. Each is configured to be able to protrude outside.
  • the probe pin housing 11 includes a tubular member 111 having an opening 113 at one end in the extending direction, and a lid member 112 that covers the opening 113 of the tubular member 111.
  • a probe pin housing 13 is provided inside the probe pin housing 11 and is capable of housing the probe pins 12 surrounded by the cylindrical member 111 and the cover member 112.
  • the other end of the cylindrical member 111 in the extending direction and the lid member 112 (that is, both ends 41 and 42 of the probe pin housing 11 in the extending direction) have the extension of the probe pin 12 housed therein.
  • Contact portions 126 and 127 at both ends of the probe pin 12 are exposed to the outside of the probe pin housing 11 through the through holes 114 and 115, respectively.
  • the probe pin 12 has a plate-like shape, and has an elastic portion 121 which can be extended and contracted in the longitudinal direction (ie, the vertical direction in FIG. 4), and the elastic portion 121 in the longitudinal direction of the probe pin 12.
  • a first contact portion 122 and a second contact portion 123 are respectively connected to both ends.
  • the elastic portion 121 has a meandering shape when viewed from the thickness direction of the probe pin 12 (that is, the direction penetrating the paper surface of FIG. 4), and includes a plurality of band-shaped elastic pieces (in this embodiment, two band-shaped elastic pieces 124, 125).
  • the first contact portion 122 has a first contact portion 126 having one end in the longitudinal direction of the probe pin 12 connected to the elastic portion 121 and a second contact portion 126 disposed at the other end in the longitudinal direction of the probe pin 12. I have.
  • the second contact portion 123 has one end in the longitudinal direction of the probe pin 12 connected to the elastic portion 121 and has a second contact portion 127 arranged at the other end in the longitudinal direction of the probe pin 12. are doing.
  • Each of the first contact portion 126 and the second contact portion 127 is arranged along the center line CL in the short direction of the probe pin 12 (that is, the left-right direction in FIG. 4).
  • the end of the first contact portion 122 on the elastic portion 121 side in the longitudinal direction of the probe pin 12 contacts the lid member 112 to support the probe pin 12 when the probe pin 12 is accommodated in the probe pin accommodation portion 13.
  • a support 128 is provided.
  • the second contact portion 123 comes into contact with the cylindrical member 111 at the end of the probe pin 12 on the elastic portion 121 side in the longitudinal direction. Is provided.
  • the probe pin 12 is formed by electroforming, for example, and the elastic portion 121, the first contact portion 122, and the second contact portion 123 are integrally formed.
  • the probe pin housing 13 is configured to be capable of housing and holding at least one probe pin 12 selected from a plurality of types of probe pins 12 with the respective contact portions 126 and 127 exposed to the outside.
  • one probe pin selected from a plurality of types of probe pin housings 13 is provided in accordance with the type and number of the selected probe pins 12 (that is, the selected probe pin set). It is composed of a housing 13.
  • a slit-shaped storage part 131 that can store one probe pin 12 is used as the probe pin storage part 13.
  • the inspection jig 10 is constituted by using the probe pin housing 11 having the above.
  • the probe pin receiving section 13 serves as the probe pin receiving section 13 as shown in FIGS.
  • the inspection jig 10 is configured by using the probe pin housing 11 including the slit-shaped first housing portion 14 capable of housing and holding the probe pin stacked bodies 30 stacked in the thickness direction in a contact state.
  • the inspection jig 10 shown in FIGS. 5 and 6 includes, as an example, a probe pin laminate 30 including three probe pins 12.
  • each of the probe pins 13 can accommodate one probe pin 12 and the accommodated probe pins 12 are spaced apart from each other in the plate thickness direction.
  • the inspection jig 10 is configured by using the probe pin housing 11 including the slit-shaped second storage unit 15 configured by the plurality of individual storage units 151 to be arranged.
  • the second accommodation portion 15 is configured by two individual accommodation portions 151, and one probe pin 12 is provided in each individual accommodation portion 151 in the thickness direction. It is housed with no space.
  • the inspection jig 10 can be configured using probe pins 12 of the type shown in FIGS. 9 and 10.
  • the probe pin 12 shown in FIG. 9 has a plurality of (here, two) second contact portions 127, and each of the first contact portion 126 and the second contact portion 127 is orthogonal to the center line CL. In the direction, it is arranged away from the center line CL.
  • the elastic portion 121 is formed of a coil spring, and the elastic portion 121, the first contact portion 122, and the second contact portion 123 are separately formed.
  • the first contact portion 122 and the second contact portion 123 are slidably connected in the extending direction of the probe pin 12 with the plate surfaces orthogonal to each other inside the coil spring as the elastic portion 121. That is, the probe pin housing 13 for housing the probe pins 12 shown in FIG. 10 has a substantially columnar shape.
  • the probe pin housing 11 has two end portions 41 and 42 when viewed from the extending direction, which have different shapes according to the type and number of the selected probe pins 12 (specifically). Are different in the number and size of the openings connected to the through holes 114 and 115.), and the side 43 around the extending direction thereof (that is, the outer peripheral surface of the probe pin housing 11) is selected. Irrespective of the type of the probe pin housing 13 provided, it has the same external shape and size.
  • one probe pin receiving portion 13 selected from a plurality of types of probe pin receiving portions 13 is provided according to the type and number of the selected probe pins 12, and the selected probe pin receiving portion 13 is provided. Irrespective of the type of the probe pin accommodating portion 13, it has the same external shape and size. With such a configuration, even if the inspection target or the inspection device is changed and the type and the number of the necessary probe pins 12 are changed, the changed probe pins 12 can be changed without changing the external shape and size. The housed inspection jig 10 can be easily obtained. As a result, the probe pin housing 11 that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit 1 and thus the inspection device can be realized.
  • the plurality of types of probe pin housing portions 13 include a first housing portion 14 capable of housing and holding the probe pin stacked bodies 30 stacked in the thickness direction in a state where the plurality of probe pins 12 are in contact with each other. Have been. With such a configuration, it is possible to obtain the inspection jig 10 capable of flowing a larger current than the inspection jig 10 in which one probe pin 12 is housed and held, for example.
  • the plurality of types of probe pin housing portions 13 can house the probe pins 12 and the plurality of individual housing portions 151 in which the housed probe pins 12 are arranged at intervals in the thickness direction. Is included in the second storage unit 15. With such a configuration, for example, the inspection jig 10 that can perform the continuity inspection by the Kelvin connection can be obtained.
  • the probe jig 10 includes the probe pin housing 11 and the probe pins 12 housed in the probe pin housing 11. That is, the probe pin housing 11 allows the type and number of the accommodated probe pins 12 to be easily changed without changing the external shape and size. As a result, an inspection jig 10 that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit 1 and thus the inspection device can be realized.
  • the inspection unit 1 the inspection having the inspection jig 10 and the jig accommodating portion 21 capable of accommodating and holding the inspection jig 10 in a state where the contact portions 126 and 127 of the probe pins 12 are exposed to the outside. And a jig housing 20. That is, the inspection jig 10 can realize the inspection unit 1 that can easily reduce the manufacturing cost.
  • the inspection unit 1 can realize an inspection apparatus capable of easily reducing the manufacturing cost.
  • the inspection device only needs to include at least one inspection unit 1.
  • the type and number of selectable probe pins 12 and the probe pin housing 13 selected according to the type and number of selected probe pins 12 are not limited to the above-described embodiment. It can be set arbitrarily according to the design of the inspection unit 1 and the inspection device.
  • the outer shape of the probe pin housing 11 may be the same regardless of the type of the selected probe pin housing 13 and is not limited to a substantially cylindrical shape.
  • the outer shape of the probe pin housing 11 may be a substantially polygonal column shape (a substantially hexagonal column shape in FIG. 11) as shown in FIG. 11, or an elliptical column shape as shown in FIG. Is also good.
  • the probe pin 12 may be tapered from one end to the other end in the extending direction of the probe pin 12 housed in the probe pin housing 13.
  • the probe pin housing 11 tapers from the other end of the tubular member 111 to one end (that is, from the upper side to the lower side in FIG. 13). It has a substantially cylindrical outer shape. In this manner, by making the outer shape of the probe pin housing 11 tapered, the housing direction of the inspection jig 10 with respect to the jig housing portion 21 can be defined.
  • the probe pin housing 11 communicates with the inside and the outside of the probe pin housing 13 and has a confirmation window 16 through which the inside of the probe pin housing 13 can be checked from the outside of the probe pin housing 13. It can also be provided.
  • the probe pin housing 11 has two confirmation windows 16 arranged on the side portion 43 of the tubular member 111 at intervals along the extending direction of the tubular member 111. It has. By providing the confirmation window 16 in the probe pin housing 11 in this manner, the housing state of the probe pin 12 housed therein can be easily checked from outside the probe pin housing 11.
  • the positioning protrusion 17 may be provided on the probe pin housing 11, and the positioning recess 22 capable of accommodating the positioning protrusion 17 may be provided on the inspection jig housing 20.
  • the probe pin housing 11 has a cylindrical shape.
  • the positioning projection 17 projects radially from the outer peripheral surface of the cylindrical member 111 of the probe pin housing 11 and in a direction away from the probe pin housing 11, and also projects the outer peripheral surface of the cylindrical member 111 into the probe pin housing. 11 has a substantially rectangular parallelepiped shape extending along the extending direction.
  • the positioning recess 22 is connected to the jig accommodating section 21. With this configuration, the inspection jig 10 accommodated in the jig accommodating portion 21 is rotated around the extending direction of the probe pin housing 11 (ie, the extension of the probe pin 12 accommodated in the probe pin housing 11). (Around direction).
  • the probe pin housing 11 includes: A probe pin housing 11 that constitutes a part of the inspection jig 10 that can be accommodated in the inspection jig housing 20 of the inspection unit 1, At least one probe pin 12 selected from a plurality of types of probe pins 12 having contact portions 126 and 127 at both ends in the extending direction is accommodated in a state where each of the contact portions 126 and 127 is exposed to the outside.
  • a probe pin housing 13 that can be held, The probe pin housing 13 is configured by one probe pin housing 13 selected from a plurality of types of the probe pin housings 13 in accordance with the type and number of the selected probe pins 12, Regardless of the type of the probe pin housing 13 selected, it has the same external shape and size.
  • the probe pin housing 11 includes: A plurality of types including a first probe pin housing corresponding to the first probe tweezers and a second probe pin housing corresponding to the second probe tweezers and different from the first probe pin housing.
  • the probe pin housing 11 of the first aspect even if the inspection object or the inspection device is changed and the type and the number of the necessary probe pins 12 are changed, without changing the external shape and size, The inspection jig 10 in which the changed probe pins 12 are accommodated can be easily obtained. As a result, the probe pin housing 11 that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit 1 and thus the inspection device can be realized.
  • the probe tweezers are, for example, one probe pin 12 in the inspection jig 10 shown in FIGS. 3 and 4, and three probe pins 12 in the inspection jig 10 shown in FIGS.
  • the probe pin stack 30 is stacked in the direction, and in the inspection jig 10 shown in FIGS. 7 and 8, two probe pins 12 are arranged at intervals in the plate thickness direction. That is, for example, when the first probe tweezers is one probe pin 12 shown in FIGS. 3 and 4, the first probe pin housing is the housing 131, and the second probe tweezers is In the case of the probe pin stack 30 shown in FIGS. 5 and 6, the second probe pin housing is the first housing 14.
  • the probe pin housing 11 includes: In the plurality of types of the probe pin housings 13, A first housing portion 14 capable of housing and holding a probe pin stack 30 stacked in the thickness direction in a state where the plurality of probe pins 12 are in contact with each other is included.
  • the inspection jig 10 capable of flowing a larger current than the inspection jig 10 in which one probe pin 12 is accommodated and held can be obtained.
  • the probe pin housing 11 includes: In the plurality of types of the probe pin housings 13, A second housing portion that is capable of housing the probe pins and includes a plurality of individual housing portions in which the housed probe pins are arranged at intervals in the thickness direction; Have been.
  • the inspection jig 10 capable of performing a continuity inspection by, for example, Kelvin connection.
  • the probe pin housing 11 includes: There is further provided a confirmation window 16 that communicates with the inside and outside of the probe pin housing 13 and allows the inside of the probe pin housing 13 to be checked from outside the probe pin housing 13.
  • the housing state of the probe pins 12 housed therein can be easily checked from the outside of the probe pin housing 11.
  • the probe pin housing 11 includes: The probe pin 12 housed in the probe pin housing 13 has a tapered shape that tapers from one end to the other end in the extending direction.
  • the housing direction of the inspection jig 10 with respect to the jig housing portion 21 can be defined by making the outer shape of the probe pin housing 11 tapered.
  • the inspection jig 10 includes: A housing 11 for the probe pin; And the probe pins 12 housed in the probe pin housing 11.
  • the type and number of the accommodated probe pins 12 can be easily changed by the probe pin housing 11 without changing the external shape and size.
  • an inspection jig 10 that can easily reduce the manufacturing cost of the inspection unit 1 and thus the inspection device can be realized.
  • the inspection unit 1 includes: The inspection jig 10, An inspection jig housing 20 having a jig accommodating portion 21 capable of accommodating and holding the inspection jig 10 with each of the contact portions 126 and 127 of the probe pin 12 exposed to the outside.
  • the inspection jig 10 can realize the inspection unit 1 whose manufacturing cost can be easily reduced.
  • the inspection unit 1 includes:
  • the probe pin housing 11 has a cylindrical shape, and has a positioning protruding portion 17 that protrudes radially from the outer peripheral surface thereof and in a direction away from the probe pin housing 11,
  • the inspection jig housing 20 is connected to the jig accommodating portion 21, and accommodates the positioning protrusion 17, and extends the probe pin 12 in the inspection jig 10 in the extending direction. It has a positioning recess 22 for determining the surrounding position.
  • the inspection jig 10 housed in the jig housing part 21 can be positioned around the extending direction of the probe pins 12 housed in the probe pin housing 11.
  • An inspection device includes: The inspection unit 1 is provided.
  • the inspection unit 1 can realize an inspection apparatus capable of easily reducing manufacturing costs.
  • the inspection jig housing of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection jig used for inspection of a liquid crystal panel.
  • the inspection jig of the present disclosure can be applied to, for example, an inspection unit used for inspection of a liquid crystal panel.
  • the inspection unit of the present disclosure can be applied to, for example, a liquid crystal panel inspection device.
  • the inspection device of the present disclosure can be used, for example, for inspection of a liquid crystal panel.

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Abstract

検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つのプローブピンを収容保持可能なプローブピン収容部を備える。プローブピン収容部は、選択されたプローブピンの種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部の中から選択された１つのプローブピン収容部で構成され、選択されたプローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。

Description

プローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置
　本開示は、検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジング、このプローブピン用ハウジングを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、検査用の治具を用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。
　このような治具としては、例えば、特許文献１に記載された電子部品用ソケットがある。この電子部品用ソケットは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトを有する電極部と、この電極部を内部に収容するソケット本体とを備えている。
特開２００２－１３４２０２号公報
　前記電子部品用ソケットでは、収容される電極部の形状および大きさなどに応じて、ソケット本体が設計される。このため、検査対象あるいは検査装置が変更されて電極部の設計が変更される度に、電極部を収容するソケット本体の形状または大きさを変更しなければならず、前記電子部品用ソケットの製造コストを低減することが難しい場合があった。
　本開示は、製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング、検査治具、検査ユニットおよび検査装置を提供することを課題とする。
　本開示の一例のプローブピン用ハウジングは、
　検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、
　延在方向の両端部にそれぞれ接点部を有する複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つの前記プローブピンを前記接点部の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部を備え、
　前記プローブピン収容部は、選択された前記プローブピンの種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部の中から選択された１つの前記プローブピン収容部で構成され、
　選択された前記プローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。
　また、本開示の一例の検査治具は、
　前記プローブピン用ハウジングと
　前記プローブピン用ハウジングに収容された前記プローブピンと
を備える。
　また、本開示の一例の検査ユニットは、
　前記検査治具と、
　前記プローブピンの前記接点部の各々が外部に露出した状態で前記検査治具を収容保持可能な治具収容部を有する検査治具用ハウジングと
を備える。
　また、本開示の一例の検査装置は、
　前記検査ユニットを少なくとも１つ備える。
　前記プローブピン用ハウジングによれば、選択されたプローブピンの種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部の中から選択された１つのプローブピン収容部を備え、選択されたプローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。このような構成により、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピンの種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピンが収容された検査治具を容易に得ることができる。その結果、検査ユニットひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジングを実現できる。
　前記検査治具によれば、前記プローブピン用ハウジングによって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピンの種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニットひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具を実現できる。
　前記検査ユニットによれば、前記検査治具によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニットを実現できる。
　前記検査装置によれば、前記検査ユニットによって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。
本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 図３のIV-IV線に沿った断面図。 図３の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す斜視図。 図５のVI-VI線に沿った断面図。 図３および図５の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とが選択された検査治具を示す斜視図。 図７のVIII-VIII線に沿った断面図。 図３、図５および図７の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す断面図。 図３、図５、図７および図９の検査治具とは異なるプローブピンセットと、このプローブピンセットに対応するプローブピン収容部とで構成された検査治具を示す断面図。 図３の検査治具の第１の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第２の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第３の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第４の変形例を示す斜視図。 図３の検査治具の第５の変形例を示す斜視図。 図１５の検査治具を示す平面図。
　以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本開示の一実施形態の検査ユニット１は、図１に示すように、検査治具１０と、この検査治具１０が収容された検査治具用ハウジング２０とを備えている。この実施形態では、検査ユニット１は、一例として、５つの検査治具１０を備えている。
　図２に示すように、検査治具用ハウジング２０は、各検査治具１０を収容可能な治具収容部２１を有している。この実施形態では、検査治具用ハウジング２０は、一例として、略直方体状で、その内部に５つの治具収容部２１を有している。各治具収容部２１には、後述するプローブピン１２がその延在方向の両端部の各々が検査治具用ハウジング２０の外部に露出した状態で、検査治具１０が収容されている。
　検査治具用ハウジング２０には、締結部材１１０を介して基板１００が固定されている。基板１００の表面には、各検査治具１０に対応する接続端子１０１が設けられ、この接続端子１０１に、プローブピン１２の一端が接続されている。
　検査治具１０は、図３に示すように、プローブピン用ハウジング１１と、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２とを備えている。
　プローブピン用ハウジング１１は、図３に示すように、一例として、略円筒形状で、その延在方向の両端部４１、４２の各々から後述するプローブピン１２の両端の接点部１２６、１２７が、それぞれ外部に突出可能に構成されている。
　詳しくは、プローブピン用ハウジング１１は、延在方向の一端部に開口部１１３が設けられた筒状部材１１１と、筒状部材１１１の開口部１１３を覆う蓋部材１１２とで構成されている。図４に示すように、プローブピン用ハウジング１１の内部には、筒状部材１１１と蓋部材１１２とで囲まれてプローブピン１２を収容可能なプローブピン収容部１３が設けられている。
　筒状部材１１１のその延在方向の他端部および蓋部材１１２（すなわち、プローブピン用ハウジング１１のその延在方向の両端部４１、４２）には、収容されたプローブピン１２のその延在方向の両端部がそれぞれ突出可能な貫通孔１１４、１１５が設けられている。各貫通孔１１４、１１５を介して、プローブピン１２の両端の接点部１２６、１２７が、プローブピン用ハウジング１１の外部にそれぞれ露出している。
　プローブピン１２は、図４に示すように、板状で、その長手方向（すなわち、図４の上下方向）に沿って伸縮可能な弾性部１２１と、弾性部１２１のプローブピン１２の長手方向における両端部にそれぞれ接続された第１接触部１２２および第２接触部１２３とを備えている。
　弾性部１２１は、プローブピン１２の板厚方向（すなわち、図４の紙面貫通方向）から見て、蛇行形状を有し、複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片１２４、１２５）で構成されている。
　第１接触部１２２は、プローブピン１２の長手方向における一端部が弾性部１２１に接続されていると共に、プローブピン１２の長手方向における他端部に配置された第１接点部１２６を有している。また、第２接触部１２３は、プローブピン１２の長手方向における一端部が弾性部１２１に接続されていると共に、プローブピン１２の長手方向における他端部に配置された第２接点部１２７を有している。第１接点部１２６および第２接点部１２７の各々は、プローブピン１２の短手方向（すなわち、図４の左右方向）の中心線ＣＬ沿いに配置されている。
　第１接触部１２２のプローブピン１２の長手方向における弾性部１２１側の端部には、プローブピン１２をプローブピン収容部１３に収容したときに蓋部材１１２と接触してプローブピン１２を支持する支持部１２８が設けられている。また、第２接触部１２３のプローブピン１２の長手方向における弾性部１２１側の端部には、プローブピン１２をプローブピン収容部１３に収容したときに筒状部材１１１と接触してプローブピン１２を支持する支持部１２９が設けられている。
　なお、プローブピン１２は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部１２１、第１接触部１２２および第２接触部１２３が一体に構成されている。
　プローブピン収容部１３は、複数種類のプローブピン１２の中から選択された少なくとも１つのプローブピン１２を各接点部１２６、１２７が外部に露出した状態で収容保持可能に構成されている。すなわち、プローブピン収容部１３は、選択されたプローブピン１２の種類および数（すなわち、選択されてプローブピンセット）に応じて、複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つのプローブピン収容部１３で構成されている。
　例えば、選択されたプローブピン１２の数が１つであった場合、図３および図４に示すように、プローブピン収容部１３として、１つのプローブピン１２を収容可能なスリット状の収容部１３１を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。
　選択されたプローブピン１２の種類が同じでかつ数が複数の場合、プローブピン収容部１３は、図５および図６に示すように、プローブピン収容部１３として、複数のプローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能なスリット状の第１収容部１４を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。図５および図６に示す検査治具１０では、一例として、３つのプローブピン１２で構成されたプローブピン積層体３０を備えている。
　また、図７および図８に示すように、プローブピン収容部１３として、各々が１つのプローブピン１２を収容可能であると共に、収容されたプローブピン１２が板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成されたスリット状の第２収容部１５を備えたプローブピン用ハウジング１１を用いて、検査治具１０を構成する。図７および図８に示す検査治具１０では、一例として、第２収容部１５が２つの個別収容部１５１で構成され、各個別収容部１５１に１つのプローブピン１２がそれぞれ板厚方向に間隔を空けて収容されている。
　例えば、図４に示すプローブピン１２に代えて、図９および図１０に示す種類のプローブピン１２を用いて検査治具１０を構成することもできる。
　図９に示すプローブピン１２は、第２接点部１２７が複数（ここでは、２つ）設けられていると共に、第１接点部１２６および第２接点部１２７の各々が、中心線ＣＬに直交する方向において、中心線ＣＬから離れて配置されている。
　図１０に示すプローブピン１２は、弾性部１２１がコイルばねで構成されており、弾性部１２１、第１接触部１２２および第２接触部１２３が、それぞれ別体で構成されている。第１接触部１２２および第２接触部１２３は、弾性部１２１であるコイルばねの内部において、板面が直交した状態でプローブピン１２の延在方向にスライド移動可能に接続されている。すなわち、図１０に示すプローブピン１２を収容するプローブピン収容部１３は、略円柱形状を有している。
　すなわち、前記プローブピン用ハウジング１１は、その延在方向から見た場合の両端部４１、４２が、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて異なる形状を有しているものの（具体的には、貫通孔１１４、１１５に接続された開口部の数および大きさが異なっている。）、その延在方向まわりの側部４３（すなわち、プローブピン用ハウジング１１の外周面）が、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。
　前記プローブピン用ハウジング１１によれば、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて、複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つのプローブピン収容部１３を備え、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有している。このような構成により、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピン１２の種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピン１２が収容された検査治具１０を容易に得ることができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング１１を実現できる。
　また、複数種類のプローブピン収容部１３の中に、複数のプローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能な第１収容部１４が含まれている。このような構成により、例えば、１つのプローブピン１２が収容保持された検査治具１０と比較して、大きな電流を流すことができる検査治具１０を得ることができる。
　また、複数種類のプローブピン収容部１３の中に、プローブピン１２を収容可能であると共に、収容されたプローブピン１２が板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成された第２収容部１５が含まれている。このような構成により、例えば、ケルビン接続により導通検査を行うことができる検査治具１０を得ることができる。
　また、前記検査治具１０によれば、プローブピン用ハウジング１１と、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２とを備える。すなわち、プローブピン用ハウジング１１によって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピン１２の種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具１０を実現できる。
　また、前記検査ユニット１によれば、検査治具１０と、プローブピン１２の各接点部１２６、１２７が外部に露出した状態で検査治具１０を収容保持可能な治具収容部２１を有する検査治具用ハウジング２０とを備えている。すなわち、検査治具１０によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニット１を実現できる。
　また、検査ユニット１によって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。この検査装置は、少なくとも１つの検査ユニット１を備えていればよい。
　なお、選択可能なプローブピン１２の種類および数、並びに、選択されたプローブピン１２の種類および数に応じて選択されるプローブピン収容部１３は、前記実施形態に限らず、検査治具１０、検査ユニット１および検査装置の設計に応じて、任意に設定することができる。
　また、プローブピン用ハウジング１１の外形形状は、選択されたプローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一であればよく、略円筒形状に限らない。
　例えば、プローブピン用ハウジング１１の外形は、図１１に示すように、略多角柱状（図１１では、略六角柱状）であってもよいし、図１２に示すように、楕円柱形状であってもよい。
　図１３に示すように、プローブピン収容部１３に収容されたプローブピン１２の延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状であってもよい。図１３に示す検査治具１０では、プローブピン用ハウジング１１は、筒状部材１１１の他端部から一端部に向かって（すなわち、図１３の上側から下側に向かって）先細りとなっている略円筒形状の外形を有している。このように、プローブピン用ハウジング１１の外形を先細り形状にすることで、検査治具１０の治具収容部２１に対する収容方向を規定することができる。
　図１４に示すように、プローブピン用ハウジング１１は、プローブピン収容部１３の内部および外部に連通してプローブピン収容部１３の内部をプローブピン収容部１３の外部から確認可能な確認窓１６を備えることもできる。図１４に示す検査治具１０では、プローブピン用ハウジング１１は、筒状部材１１１の側部４３に、筒状部材１１１の延在方向に沿って間隔を空けて配置された２つの確認窓１６を備えている。このように、プローブピン用ハウジング１１に確認窓１６を設けることで、内部に収容されているプローブピン１２の収容状態をプローブピン用ハウジング１１の外部から容易に確認することができる。
　図１５および図１６に示すように、検査ユニット１において、プローブピン用ハウジング１１に位置決め突出部１７を設け、検査治具用ハウジング２０に位置決め突出部１７を収容可能な位置決め凹部２２を設けてもよい。図１５および図１６に示す検査ユニット１では、プローブピン用ハウジング１１は、円筒状を有している。位置決め突出部１７は、プローブピン用ハウジング１１の筒状部材１１１の外周面から径方向でかつプローブピン用ハウジング１１から離れる方向に突出していると共に、筒状部材１１１の外周面をプローブピン用ハウジング１１の延在方向に沿って延びる略直方体状を有している。また、位置決め凹部２２は、治具収容部２１に接続されている。このように構成することで、治具収容部２１に収容された検査治具１０をプローブピン用ハウジング１１の延在方向まわり（すなわち、プローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２の延在方向まわり）において位置決めすることができる。
　以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
　本開示の第１態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　検査ユニット１の検査治具用ハウジング２０に収容可能な検査治具１０の一部を構成するプローブピン用ハウジング１１であって、
　延在方向の両端にそれぞれ接点部１２６、１２７を有する複数種類のプローブピン１２の中から選択された少なくとも１つの前記プローブピン１２を前記接点部１２６、１２７の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部１３を備え、
　前記プローブピン収容部１３は、選択された前記プローブピン１２の種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部１３の中から選択された１つの前記プローブピン収容部１３で構成され、
　選択された前記プローブピン収容部１３の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する。
　言い換えると、本開示の第１態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　第１のプローブピンセットに対応する第１のプローブピン収容部と、第２のプローブピンセットに対応しかつ前記第１のプローブピン収容部とは異なる第２のプローブピン収容部とを含む複数種類のプローブピン収容部１３の中から選択された１つの前記プローブピン収容部１３を備え、
　選択された前記プローブピン収容部１３の種類にかかわらず、同一の外形形状および大きさを有している。
　第１態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、検査対象あるいは検査装置が変更されて、必要なプローブピン１２の種類および数が変更されたとしても、外形形状および大きさを変更することなく、変更されたプローブピン１２が収容された検査治具１０を容易に得ることができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能なプローブピン用ハウジング１１を実現できる。
　なお、プローブピンセットは、例えば、図３および図４に示す検査治具１０では、１つのプローブピン１２であり、図５および図６に示す検査治具１０では、３つのプローブピン１２が板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０であり、図７および図８に示す検査治具１０では、板厚方向に間隔を空けて配置される２つのプローブピン１２である。すなわち、例えば、第１のプローブピンセットが、図３および図４に示す１つのプローブピン１２であった場合、第１のプローブピン収容部は、収容部１３１であり、第２のプローブピンセットが、図５および図６に示すプローブピン積層体３０であった場合、第２のプローブピン収容部は、第１収容部１４である。
　本開示の第２態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　複数種類の前記プローブピン収容部１３の中に、
　複数の前記プローブピン１２が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体３０を収容保持可能な第１収容部１４が含まれている。
　第２態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、例えば、１つのプローブピン１２が収容保持された検査治具１０と比較して、大きな電流を流すことができる検査治具１０を得ることができる。
　本開示の第３態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　複数種類の前記プローブピン収容部１３の中に、
　前記プローブピン１２を収容可能であると共に、収容された前記プローブピン１２が前記板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部１５１で構成された第２収容部１５が含まれている。
　第３態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、例えば、ケルビン接続により導通検査を行うことができる検査治具１０を得ることができる。
　本開示の第４態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　前記プローブピン収容部１３の内部および外部に連通して前記プローブピン収容部１３の内部を前記プローブピン収容部１３の外部から確認可能な確認窓１６をさらに備える。
　第４態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、内部に収容されているプローブピン１２の収容状態をプローブピン用ハウジング１１の外部から容易に確認することができる。
　本開示の第５態様のプローブピン用ハウジング１１は、
　前記プローブピン収容部１３に収容された前記プローブピン１２の前記延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状を有している。
　第５態様のプローブピン用ハウジング１１によれば、プローブピン用ハウジング１１の外形が先細り形状にすることで、検査治具１０の治具収容部２１に対する収容方向を規定することができる。
　本開示の第６態様の検査治具１０は、
　前記プローブピン用ハウジング１１と、
　前記プローブピン用ハウジング１１に収容された前記プローブピン１２と
を備える。
　第６態様の検査治具１０によれば、プローブピン用ハウジング１１によって、外形形状および大きさを変更することなく、収容されるプローブピン１２の種類および数を容易に変更することができる。その結果、検査ユニット１ひいては検査装置の製造コストを容易に低減可能な検査治具１０を実現できる。
　本開示の第７態様の検査ユニット１は、
　前記検査治具１０と、
　前記プローブピン１２の前記接点部１２６、１２７の各々が外部に露出した状態で前記検査治具１０を収容保持可能な治具収容部２１を有する検査治具用ハウジング２０と
を備える。
　第７態様の検査ユニット１によれば、検査治具１０によって、製造コストを容易に低減可能な検査ユニット１を実現できる。
　本開示の第８態様の検査ユニット１は、
　前記プローブピン用ハウジング１１が、円筒状を有すると共に、その外周面から径方向でかつ前記プローブピン用ハウジング１１から離れる方向に突出する位置決め突出部１７を有し、
　前記検査治具用ハウジング２０が、前記治具収容部２１に接続されていると共に、前記位置決め突出部１７を収容して、前記検査治具１０における収容された前記プローブピン１２の前記延在方向まわりの位置を決める位置決め凹部２２を有している。
　第８態様の検査ユニット１によれば、治具収容部２１に収容された検査治具１０をプローブピン用ハウジング１１に収容されたプローブピン１２の延在方向まわりにおいて位置決めすることができる。
　本開示の第９態様の検査装置は、
　前記検査ユニット１を備える。
　第９態様の検査装置によれば、検査ユニット１によって、製造コストを容易に低減可能な検査装置を実現できる。
　なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本開示の検査治具用ハウジングは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。
　本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
　本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。
　本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。
１　検査ユニット
１０　検査治具
１１　プローブピン用ハウジング
１１１　筒状部材
１１２　蓋部材
１１３　開口部
１１４、１１５　貫通孔
１２　プローブピン
１２１　弾性部
１２２　第１接触部
１２３　第２接触部
１２４、１２５　帯状弾性片
１２６　第１接点部
１２７　第２接点部
１２８、１２９　支持部
１３　プローブピン収容部
１３１　収容部
１４　第１収容部
１５　第２収容部
１５１　個別収容部
１６　確認窓
１７　位置決め突出部
２０　検査治具用ハウジング
２１　治具収容部
２２　位置決め凹部
３０　プローブピン積層体
４１、４２　端部
４３　側部
１００　基板
１０１　接続端子
１１０　締結部材
ＣＬ　中心線

Claims (9)

  1. 　検査ユニットの検査治具用ハウジングに収容可能な検査治具の一部を構成するプローブピン用ハウジングであって、
    　延在方向の両端にそれぞれ接点部を有する複数種類のプローブピンの中から選択された少なくとも１つの前記プローブピンを前記接点部の各々が外部に露出した状態で収容保持可能なプローブピン収容部を備え、
    　前記プローブピン収容部は、選択された前記プローブピンの種類および数に応じて、複数種類の前記プローブピン収容部の中から選択された１つの前記プローブピン収容部で構成され、
    　選択された前記プローブピン収容部の種類にかかわらず同一の外形形状および大きさを有する、プローブピン用ハウジング。
  2. 　複数種類の前記プローブピン収容部の中に、
    　複数の前記プローブピンが相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体を収容保持可能な第１収容部が含まれている、請求項１のプローブピン用ハウジング。
  3. 　複数種類の前記プローブピン収容部の中に、
    　前記プローブピンを収容可能であると共に、収容された前記プローブピンが板厚方向に相互に間隔を空けて配置される複数の個別収容部で構成された第２収容部が含まれている、請求項１または２のプローブピン用ハウジング。
  4. 　前記プローブピン収容部の内部および外部に連通して前記プローブピン収容部の内部を前記プローブピン収容部の外部から確認可能な確認窓をさらに備える、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン用ハウジング。
  5. 　前記プローブピン収容部に収容された前記プローブピンの前記延在方向の一端部から他端部に向かって先細りとなる先細り形状を有している、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン用ハウジング。
  6. 　請求項１から５のいずれか１つのプローブピン用ハウジングと、
    　前記プローブピン用ハウジングに収容された前記プローブピンと
    を備える、検査治具。
  7. 　請求項６の検査治具と、
    　前記プローブピンの前記接点部の各々が外部に露出した状態で前記検査治具を収容保持可能な治具収容部を有する検査治具用ハウジングと
    を備える、検査ユニット。
  8. 　前記プローブピン用ハウジングが、円筒状を有すると共に、その外周面から径方向でかつ前記プローブピン用ハウジングから離れる方向に突出する位置決め突出部を有し、
    　前記検査治具用ハウジングが、前記治具収容部に接続されていると共に、前記位置決め突出部を収容して、前記検査治具における収容された前記プローブピンの前記延在方向まわりの位置を決める位置決め凹部を有している、請求項７の検査ユニット。
  9. 　請求項７または８の検査ユニットを備える、検査装置。
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