CN110118882B - 探针、检查夹具、检查单元和检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针、检查夹具、检查单元和检查装置，该探针在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物，该检查夹具具备上述探针，该检查单元具备上述检查夹具，该检查装置具备上述检查单元。探针具备：第一接触部和第二接触部；配置在第一接触部和第二接触部之间的中间部；使第一接触部相对于中间部在第一排列方向上移动的第一弹性部；以及使第二接触部相对于中间部在与第一排列方向交叉的方向上移动的可动部。

Description

探针、检查夹具、检查单元和检查装置

技术领域

本发明涉及探针、具备该探针的检查夹具、具备该检查夹具的检查单元、以及具备该检查单元的检查装置。

背景技术

在照相机或液晶面板等的电子零件模块中，一般地，在其制造工序中，进行导通检查和工作特性检查等。通过使用探针将在电子零件模块中设置的用于连接本体基板的FPC接触电极或安装的基板对基板连接器等的电极部与检查装置连接，进行这些检查。

作为这样的探针，例如，有记载在专利文献1中的探针。该探针具备：可分别接触电子零件的电极端子和被连接电子零件的电极端子的一对触点；以及夹在一对触点间并连接一对触点的曲折部。在所述探针中，曲折部沿连接了一对触点的排列方向伸缩，通过各触点沿该排列方向往复移动，各触点在排列方向上与电子零件的电极端子和被连接电子零件的电极端子接触。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002－134202号公报

发明要解决的课题

近年来，伴随检查装置和检查对象物的多样化，难以用各触点沿同一方向往复往移动的、所谓直线型的所述探针来应对的情况在增加。

例如，显示器模块的检查，有在显示器面板上配置了电极部的状态下进行的情况。若在这样的检查中使用所述探针，则一个触点接触到显示器面板上的电极部，另一个触点接触到检查装置，但若显示器面板由有机EL那样的强度较弱的材料构成，则在所述探针接触时过大的力作用于显示器，显示器面板有可能破裂。

发明内容

本发明的目的在于，提供在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物的探针、具备该探针的检查夹具、具备该检查夹具的检查单元、以及具备该检查单元的检查装置。

用于解决课题的方案

本发明的一例子的探针具备：第一接触部和第二接触部；中间部，其配置在所述第一接触部与所述第二接触部之间；第一弹性部，其与所述第一接触部和所述中间部连接，并沿连接所述第一接触部和所述中间部的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部相对于所述中间部在所述第一排列方向上移动；以及可动部，其与所述中间部和所述第二接触部连接，使所述第二接触部相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，所述第一接触部、所述第一弹性部、所述中间部、所述可动部和所述第二接触部被串联地配置。

此外，本发明的一例的检查夹具具备：所述探针；以及具有可收纳所述探针的收纳部的座，所述座具有卡止部，该卡止部在沿所述第一排列方向且从所述第一接触部向所述第二接触部的方向对所述收纳部中收纳的所述探针的所述中间部进行卡止。

此外，本发明的一例的检查单元具备至少一个所述检查夹具。

此外，本发明的一例的检查装置具备至少一个所述检查单元。

发明效果

根据所述探针，通过第一弹性部，第一接触部相对中间部沿连接了第一接触部和中间部的第一排列方向可移动地构成，通过可动部，第二接触部相对于中间部在与第一排列方向交叉的方向上可移动地构成。由此，能够实现在相对于检查装置的接触方向不同的方向中可接触检查对象物的探针。

此外，根据所述检查夹具，利用所述探针，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具。

此外，根据所述检查单元，利用所述检查夹具，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查单元。

此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查装置。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。

图2是沿图1的II-II线的剖面图。

图3是本发明的第一实施方式的探针的立体图。

图4是图3的探针的平面图。

图5是用于说明图3的探针的第一变形例的平面图。

图6是用于说明图3的探针的第二变形例的平面图。

图7是用于说明图3的探针的第三变形例的平面图。

图8是用于说明图1的检查单元和检查夹具的变形例的剖面图。

图9是表示本发明的第二实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。

图10是沿图9的X-X线的剖面图。

图11是本发明的第二实施方式的探针的立体图。

图12是图11的探针的平面图。

图13是用于说明图11的探针的第一变形例的平面图。

图14是用于说明图11的探针的第二变形例的平面图。

图15是表示本发明的第三实施方式的检查单元和检查夹具的立体图。

图16是沿图15的XVI-XVI线的剖面图。

图17是用于说明图15的检查夹具的第一变形例的剖面图。

图18是用于说明图15的检查夹具的第二变形例的剖面图。

附图标记说明

1 检查单元

2 检查夹具

3 间隙

10 探针

11 第一弹性部

111、112、113、114 带状弹性片

115 间隙

116 直线带部

117 弯曲带部

12 可动部

13 突起部

14 切口部

15 第二弹性部

151、152 带状弹性片

16 连接部分

17 第三弹性部

171、172 带状弹性片

173 间隙

18 第四弹性部

181、182、183 带状弹性片

184、185 间隙

20 第一接触部

21 第一触点部

30 第二接触部

31 第二触点部

40 中间部

50 座

51 板状部

52 长方体部

53 收纳部

54 第一开口部

55 第二开口部

56 卡止部

57 移动限制部

60 第五弹性部

601 直线带部

602 弯曲带部

61、62、63、66、67 带状弹性片

64、65、68 间隙

70 第一壳体

71 第一收纳部

80 第二壳体

81 第二收纳部

82 倾斜面

90 凸轮部

91 轴部

100 基板

110 基板对基板连接器

111 电极部

120 操作杆

L1 第一虚拟直线

L2 第二虚拟直线

L3 第三虚拟直线

P1 复位位置

P2 动作位置

A～E 箭头

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的一例子。另外，在以下的说明中，根据需要而使用表示特定的方向或者位置的术语(例如，包含“上”、“下”、“右”、“左”的术语)，但这些术语的使用是为了便于参照附图的本发明的理解，本发明的技术的范围不由这些术语的含义限定。此外，以下的说明本质上仅是例示，并没有限制本发明、其适用物、或其用途的意图。进而，附图是示意性的，各尺寸的比率等未必与现实的尺寸一致。

(第一实施方式)

本发明的第一实施方式的探针10具有导电性，例如，如图1和图2所示，在收纳于座50中的状态下使用，与座50一起构成检查夹具2。作为一例子，在该检查夹具2中，收纳了多个细长的薄板状的多个探针10。

此外，检查夹具2构成检查单元1的一部分。检查单元1至少由一个检查夹具2构成。如图1所示，在第一实施方式中，检查单元1由相邻配置的2个检查夹具2构成。

如图1所示，座50由大致矩形板状的板状部51和连接到该板状部51的长边方向的中央的大致长方体状的长方体部52构成，具有大致T字的箱形状。此外，如图2所示，在板状部51和长方体部52的内部，分别设置可收纳一个探针10的多个收纳部53。

如图2所示，各收纳部53具有缝隙状，将各探针10可彼此电气独立地收纳并且可保持，同时从板状部51和长方体部52的连接方向(即，图2的上下方向)观察，沿板状部51的长边方向(即，图2的纸面贯通方向)排列成一列并且等间隔配置。

各收纳部53中的板状部51和长方体部52的连接方向的两端部与彼此相对的第一开口部54和第二开口部55连接。第一开口部54设置在板状部51内，第二开口部55设置在长方体部52内。另外，在第一实施方式中，第一开口部54相对于各收纳部53设置2个，从板状部51和长方体部52的连接方向观察，隔开间隔配置在板状部51的短边方向(即，图2的左右方向)上。

此外，如图2所示，在各收纳部53中的板状部51和长方体部52的连接方向的中间，从板状部51和长方体部52的连接方向观察，设置有在板状部51的短边方向上延伸的卡止部56。该卡止部56将在收纳部53内后述的探针10的中间部40沿第一排列方向并从第一接触部20向第二接触部30的方向卡止。另外，卡止部56可以一体地设置在座50内，也可以与座50分体地设置。

如图3所示，各探针10为板状，具备：第一接触部20和第二接触部30；配置在第一接触部20和第二接触部30之间的中间部40；与第一接触部20和中间部40连接的第一弹性部11；以及与中间部40和第二接触部30连接的可动部12。各探针例如以电铸法形成，从探针10的板厚方向观察，第一接触部20、第一弹性部11、中间部40、可动部12和第二接触部30沿探针10的长边方向(即，图3的上下方向)串联地配置并且一体地构成。

如图4所示，从探针10的板厚方向观察，第一接触部20具有沿探针10的短边方向延伸的大致矩形状，在探针10的长边方向的一方的端部连接第一弹性部11，在探针10的长边方向的另一方的端部设置第一触点部21。第一触点部21分别设置在第一接触部20的其延长方向的两端部。如图2所示，在收纳于座50的收纳部53中的状态下，各第一触点部21经由第一开口部54露出到座50的外部，例如，在第一排列方向上与设置在检查装置的基板100上的端子(未图示)可连接地构成。即，各第一触点部21相对于设置在检查装置的基板100上的端子的接触方向为大致与第一排列方向平行。

另外，如图1所示，从板状部51和长方体部52的连接方向(即，图1的上下方向)观察，各收纳部53中收纳的探针10的第一触点部21被配置在与板状部51的长边方向平行的相同的第一虚拟直线L1上。

如图4所示，从探针10的板厚方向观察，第二接触部30在探针10的长边方向上延伸，在该延长方向的一端部设置第二触点部31，在该延长方向的另一端部连接着可动部12。如图2所示，在收纳在座50的收纳部53中的状态下，第二触点部31经由第二开口部55露出到座50的外部，例如，在与第一排列方向交叉的方向上与基板对基板连接器110的电极部111可连接地构成。即，第二触点部31相对于基板对基板连接器110的电极部111的接触方向为大致与第一排列方向交叉的方向平行，与各第一触点部21相对于设置在检查装置的基板100上的端子的接触方向不同。

另外，第二触点部31配置在沿连接了第一接触部20和中间部40的第一排列方向(以下，仅称为第一排列方向。)延伸且沿穿过与一方的第一触点部21(图4的左侧的第一触点部21)中的第一排列方向正交的方向的中心的第二虚拟直线L2上。

此外，与第一触点部21同样，从板状部51和长方体部52的连接方向观察，各收纳部53中收纳的探针10的第二触点部31配置在与板状部51的长边方向平行的同一直线(未图示)上。

在第二接触部30中，设置突起部13，该突起部从第二接触部30的第一排列方向的第二触点部31和可动部12(即，后述的第二弹性部15)的中间向与第一排列方向交叉(例如，大致正交)的方向突出。作为一例子，该突起部13具有从第二接触部30向与第一排列方向交叉的方向延伸的大致矩形状，在其前端部中的探针10的长边方向且第二触点部31一侧的面中，设置半圆状的切口部14。如图2所示，在该切口部14连接有操作杆120，经由该操作杆120，对于突起部13在第一排列方向且接近第一接触部20的方向(即，图2的箭头A方向)施加外力。

如图4所示，中间部40具有在与第一排列方向交叉(例如，正交)的方向上延伸的大致矩形板状。该中间部40相对于第二虚拟直线L2延伸到与第二接触部30的突起部13相同的一侧。

如图4所示，第一弹性部11与第一接触部20和中间部40连接，沿第一排列方向伸缩，使第一接触部20相对于中间部40在第一排列方向上移动。

详细地说，第一弹性部11由彼此隔开间隙115配置的多个带状弹性片(本实施方式中，为4个带状弹性片)111、112、113、114构成。各带状弹性片111、112、113、114具有将在与第一排列方向交叉(例如，正交)的方向上延伸的多个直线带部116和多个弯曲带部117(本实施方式中，作为一例子，为2个直线带部116和3个圆弧状的弯曲带部117)沿第一排列方向交替地连接的曲折形状。

第一弹性部11的两端的弯曲带部117各自沿第二虚拟直线L2配置，其延长方向的一端部连接到第二接触部20或中间部40。另外，第一弹性部11的2个直线带部116从连接到第二接触部20或中间部40的弯曲带部117的其延长方向的另一端部，相对于第二虚拟直线L2分别延伸到与第二接触部30的突起部13和中间部40相同的一侧。

如图4所示，可动部12与中间部40和第二接触部30连接，可以使第二接触部30在与第一排列方向交叉的方向上移动。

详细地说，可动部12具有第二弹性部15，该第二弹性部15沿第一排列方向延伸，并且第一排列方向的一端部连接到中间部40且第一排列方向的另一端部连接到第二接触部30，并在与第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第二弹性部15。

如图4所示，第二弹性部15具有彼此隔开间隙153配置的多个带状弹性片(本实施方式中，为2个带状弹性片)151、152，根据经由突起部13施加给第二接触部30的外力而弹性变形，使第二接触部30以第二弹性部15和中间部40的连接部分16为支点转动(换句话说，使其可动)。即，第一实施方式的探针10，若经由操作杆120对突起部13施加了图2的箭头A方向的外力，则第二弹性部15在与第一排列方向交叉的方向上弹性变形，第二接触部30以第二弹性部15和中间部40的连接部分16为支点转动并相对于中间部40在与第一排列方向交叉的方向上移动。

配置在与第一排列方向正交的方向的一侧(即，图4的左侧)的带状弹性片151具有沿与第一排列方向平行的第二虚拟直线L2的直线状。此外，配置在与第一排列方向正交的方向的另一侧(即，图4的右侧)的带状弹性片152具有由沿与第一排列方向平行的第二虚拟直线L2延伸的第一部分154和从第一部分154的第一排列方向的一端部(即，连接到中间部40一侧的端部)沿中间部40延伸的第二部分155构成的大致L字状。另外，间隙153由带状弹性片151、152和中间部40包围，大至L字状地延伸。

另外，通过将操作杆120以长条构件构成，可以用一个操作杆120相对于多个探针10的突起部13同时地施加箭头A方向的外力。

在第一实施方式的探针10中，第一接触部20利用第一弹性部11沿相对于中间部40连接了第一接触部20和中间部40的第一排列方向可移动地构成，第二接触部30利用可动部12，在相对于中间部40与第一排列方向交叉的方向上可移动地构成。由此，可以实现在与检查装置(例如，检查装置的基板100)的接触方向不同的方向上可接触检查对象物(例如，基板对基板连接器110的电极部111)的探针10。

此外，还具备与第二接触部30连接、从第二接触部30向与第一排列方向交叉的方向突出的突起部13，可动部12具有沿第一排列方向延伸并且在与第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第二弹性部15。而且，通过第二弹性部15根据经由突起部13施加给第二接触部30的外力而弹性变形，第二接触部30以第二弹性部15和中间部40的连接部分16为支点转动并相对于中间部40在与第一排列方向交叉的方向上移动。由此，可以容易地实现在与检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物的探针10。

另外，施加给各突起部13的外力不限于图2的箭头A方向，只要是根据经由突起部13施加给第二接触部30的外力而弹性变形，使第二接触部30以第二弹性部15和中间部40的连接部分16为支点转动的方向即可。例如，在突起部13中，也可以在与第一排列方向交叉的方向且离开第二接触部30的方向(即，图2的箭头B方向)对各突起部13施加外力。

此外，通过将突起部13的切口部14设为半圆状，将操作杆120向切口部14的连接部分设为与切口部14的半圆状匹配的半圆状，当使操作杆120在箭头A方向上直线地移动时，可以可靠地维持突起部13和操作杆120的连接状态，可以使第二接触部30可靠地转动。

根据第一实施方式的检查夹具2，利用探针10，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具2。即，例如，即使在显示器面板由有机EL那样的强度较弱的材料构成的情况下，也可以进行显示器面板模块的检查，而不损坏显示器面板。

此外，根据所述检查单元1，利用所述检查夹具2，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查单元1。

此外，根据所述检查装置，利用所述检查单元1，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查装置。

另外，如图2所示，在所述检查夹具2中，在中间部40接触到卡止部56的状态下，探针10收纳在收纳部53中。即，探针10在沿第一排列方向且从第一接触部20向第二接触部30的方向通过卡止部56支承并且卡止探针10的中间部40。由此，例如，即使第一触点部21接触到检查装置的基板100并沿第一排列方向从第一接触部20向第二接触部30(即，向收纳部53的内部)被按压，由于中间部40由卡止部56支承并且卡止，所以第一弹性部11的弹力也不作用到第二接触部30，可以使第二接触部30相对于中间部40在与第一排列方向交叉的方向上可靠地移动。即，可以可靠地实现收纳的探针10能够在与检查装置的接触方向不同的方向上接触检查对象物的检查夹具2。

第一实施方式的探针10的各结构，可以根据探针10的设计等而适当变更其形状等。例如，第一触点部21和第二触点部31各自可以根据检查装置或检查对象物的各种各样的方式而适当变更形状和位置等。

此外，例如，如图5所示，在突起部13的突出方向的接近第二接触部30的端部，也可以设置在第一排列方向且接近第一接触部20的方向上可弹性变形的第三弹性部17。在图5的探针10中，第三弹性部17具有彼此隔开间隙173配置的多个带状弹性片(本实施方式中，为2个带状弹性片)171、172。一方的带状弹性片171连接到第二弹性部15的直线状的带状弹性片151，另一方的带状弹性片172连接到第二弹性部15的大致L字状的带状弹性片152。此外，2个带状弹性片171、172之间的间隙173连接到第二弹性部15的间隙153。

此外，例如，如图6所示，也可以在第二接触部30的第二触点部31和突起部13之间设置在与第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第四弹性部18。在图6的探针10中，第四弹性部18由彼此隔开间隙184、185配置的多个带状弹性片(本实施方式中，为3个圆弧状弯曲的带状弹性片)181、182、183构成。

如图5和图6所示，通过在突起部13设置第三弹性部17和/或在第二接触部30设置第四弹性部18，可以使第二接触部30中产生的应力分散。例如，如图2所示，在检查夹具2中使用了这样的探针10的情况下，突起部13被施加外力，第二接触部30的第二触点部31在与第一排列方向交叉的方向上移动而接触到基板对基板连接器110的电极部111时，能够防止第二接触部30被施加过剩的应力从而损坏探针10的情况。

此外，例如，如图7所示，也可以在中间部40中设置板厚方向上贯通的通孔41。作为一例子，该通孔41具有大致圆形状，可配置大致圆柱形状的连接杆部(未图示)。该连接杆部可以将多个探针10一体化，一部分收纳在对应的收纳部53中。在收纳图7的探针10的座50中，设置将各收纳部53在其排列方向上贯通的连接用孔部(未图示)，在该连接用孔部内配置连接杆部。这种情况下，也可以代替卡止部56(或者，在卡止部56的基础上)，在座50中设置将连接杆部的两端部在沿第一排列方向从第一接触部20向第二接触部30的方向卡止的第二卡止部(未图示)。

另外，不限于第一～第四弹性部11、15、17、18各自由多个带状弹性片111、112、113、114、151、152、171、172、181、182、183构成的情况，例如，也可以由一个带状弹性片构成。

检查夹具2可以根据检查装置或检查对象物的各种各样的方式，适当变更其结构。例如，如图8所示，也可以在座50的第二开口部55侧的端部设置移动限制部57。该移动限制部57在对突起部13施加了外力时限制在第二接触部30的第二触点部31移动的方向(即，与第一排列方向交叉的方向)上的第二接触部30的移动。通过该移动限制部57，突起部13被施加外力，当第二接触部30的第二触点部31在与第一排列方向交叉的方向上移动时，可以防止可动部12的第二弹性部15被施加过剩的应力，探针10被损坏的情况。

此外，通过使检查夹具2通用化，还可以提高检查单元1(进而检查装置)的生产率。

(第二实施方式)

如图9～图12所示，在第二接触部30和可动部12沿与第一排列方向交叉的第二排列方向延伸，并且可动部12具有第五弹性部60的这方面，本发明的第二实施方式的探针10与第一实施方式不同。

另外，在第二实施方式中，对与第一实施方式相同部分附加相同参考符号并省略说明，说明与第一实施方式不同的方面。

如图12所示，第二接触部30和可动部12与沿第一排列方向延伸的第二虚拟直线L2交叉，且沿穿过第五弹性部60和中间部40的连接部分16的第三虚拟直线L3延伸。

如图12所示，第五弹性部60中，第二排列方向的一端部连接到中间部40且第二排列方向的另一端部连接到第二接触部30，在与第一排列方向和第二排列方向交叉的方向上可弹性变形。

详细地说，第五弹性部60由彼此隔开间隙64、65配置的多个带状弹性片(在本实施方式中，为3个带状弹性片)61、62、63构成。各带状弹性片61、62、63具有沿第二排列方向延伸的直线形状，通过根据对第二接触部30施加的外力而弹性变形，第二接触部30以第五弹性部60和中间部40的连接部分16为支点转动并相对于中间部40在与第一排列方向和第二排列方向交叉的方向上移动。

在使用了第二实施方式的探针10的检查夹具2中，使第二触点部31如下那样连接到检查对象物(例如，基板对基板连接器110的电极部111)。

即，首先，如图10所示，经由操作杆120，从与第二排列方向交叉的方向且第二接触部30接近第二虚拟直线L2的方向(即，图10的箭头C方向)施加外力，使处于未被施加外力的复位位置P1的第二接触部30移动至图10所示的动作位置P2。此时，第五弹性部60在与第一排列方向和第二排列方向交叉且第二接触部30和可动部12的延长方向与第一排列方向平行的方向(即，箭头C方向)上弹性变形。

然后，在使第二接触部30位于动作位置P2的状态下使基板对基板连接器110的电极部111移动，将电极部111配置在第二虚拟直线L2和第三虚拟直线L3之间。之后，若去除操作杆120，则通过第五弹性部60的复位力，第二接触部30以第五弹性部60和中间部40的连接部分16为支点，从动作位置P2向复位位置P1转动，第二触点部31和电极部111接触。

在第二实施方式的探针10中，第二接触部30和可动部12沿与第一排列方向交叉的第二排列方向延伸，并且，可动部12具有在与第二排列方向交叉的方向上可弹性变形的第五弹性部60。而且，通过第五弹性部60根据对第二接触部30施加的外力而弹性变形，第二接触部30以第五弹性部60和中间部40的连接部分16为支点转动并相对于所述中间部在与所述第一排列方向和所述第二排列方向交叉的方向上移动。由此，可以容易地实现在与对检查装置的接触方向不同的方向中可接触检查对象物的探针10。

另外，如图13所示，第五弹性部60也可以具有将与第二排列方向交叉的直线带部601和连接到直线带部601的弯曲带部602交替地连续的曲折形状。在图13的探针10中，作为一例子，第五弹性部60由彼此隔开间隙68配置的多个带状弹性片(在本实施方式中，为2个带状弹性片)66、67构成，各带状弹性片66、67由2个直线带部601和3个弯曲带部602构成。

此外，例如，如图14所示，也可以还具备从第二接触部20向与第二排列方向交叉的方向突出的突起部13，经由突起部13对第二接触部30施加外力。在图14的探针10中，半圆状的切口部14设置在突起部13的突出方向的距第二接触部30远的端部。

这样，第二实施方式的探针10的第五弹性部60根据探针10的设计等，可以适当变更其形状等。由此，可以实现设计的自由度高的探针10。

(第三实施方式)

如图15和图16所示，在座50具有第一壳体70、第二壳体80和凸轮部90这方面，本发明的第三实施方式的检查夹具2与第一实施方式不同。

另外，在第三实施方式中，对与第一实施方式相同部分附加相同符号并省略说明，说明与第一实施方式不同的方面。

第三实施方式的探针10，除了未设置突起部13方面以外，具有与第一实施方式的探针10相同的结构。

如图15所示，第一壳体70为由板状部51和长方体部52构成的大致T字的箱形状，如图16所示，具有收纳第一接触部20和中间部40的多个第一收纳部71。各第一收纳部71具有缝隙状，将各探针10可彼此电气独立地收纳并且可保持，而且从板状部51和长方体部52的连接方向(即，图16的上下方向)观察，沿板状部51的长边方向(即，图16的纸面贯通方向)一列地排列且等间隔地配置。此外，探针10的可动部12从各第一收纳部71的第一开口部55露出到第一壳体70的外部。

此外，如图15所示，第二壳体80为大致长方体状，如图16所示，具有收纳第二接触部30的第二收纳部81。与第一收纳部71同样，各第二收纳部81具有缝隙状，将各探针10可彼此电气独立地地收纳并且可保持，而且从板状部51和长方体部52的连接方向观察，沿板状部51的长边方向一列地排列且等间隔地配置。各第二收纳部81中，板状部51和长方体部52的连接方向的两端部开口，探针10的第二触点部31和可动部12分别露出到各第二收纳部81的外部。此外，第二壳体80在与第一排列方向交叉的方向(即，图16的左右方向)中相对于第一壳体70可相对移动地构成。

如图16所示，在检查单元1邻接的检查夹具2之间，设置大致固定间隔的间隙3。在该间隙3内，配置凸轮部90。该凸轮部90具有以沿各收纳部71、81的排列方向延伸的轴部91为中心可转动的大致长方体状。通过凸轮部90转动，第二壳体80在与第一排列方向交叉的方向上移动，与第二壳体80的移动联动而探针10的第二接触部30在与第一排列方向交叉的方向上移动。

在第三实施方式的检查夹具2中，使第二触点部31如下那样连接到检查对象物(例如，基板对基板连接器110的电极部111)。

即，首先，如图16所示，在外力未施加给第二接触部30的状态下使基板对基板连接器110的电极部111移动，使电极部111邻接相对于第二触点部31的凸轮部90的第一排列方向的相反侧。然后，若使凸轮部90转动，则第二壳体80在第一排列方向且从凸轮部90离开的方向(即，图18的箭头D方向)上移动，使探针10的第二接触部30在箭头D方向上移动。由此，第二接触部30以可动部12和中间部40的连接部分16为支点转动并相对于中间部40在与第一排列方向交叉的方向上移动，第二触点部31和电极部111接触。

第三实施方式的检查夹具2中，座50具有：收纳第一接触部20和中间部40的第一壳体70；收纳第二接触部30并且在与第一排列方向交叉的方向中相对于第一壳体70可相对移动的第二壳体80；以及在与第一排列方向交叉的方向可摆动第二壳体80的凸轮部90。这样，检查夹具2可以根据检查装置或检查对象物的各种各样的方式，适当变更其结构。由此，设计的自由度较高，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具2。

另外，第三实施方式的检查夹具2不限于图16所示的探针10，例如，如图17所示，可以使用在第二接触部30的第二触点部31和可动部12之间设置第四弹性部18的探针10。

此外，凸轮部90不限于通过围绕轴部91旋转，使第二壳体80沿箭头D方向直线地移动的情况。例如，如图18所示，凸轮部90通过沿第一排列方向(即，图18的箭头E方向)直线地移动，也可以使第二壳体80沿与第一排列方向正交的方向(即，图18的箭头D方向)直线地移动。这种情况下，凸轮部90具有以轴部91为中心在第一排列方向上可移动的大致三角柱状，以使一个侧面与第一排列方向正交而配置。此外，各第二壳体80具有面向凸轮部90的一个侧面并且可接触地配置的倾斜面82。

本发明的探针10具备：第一接触部20和第二接触部30；配置在第一接触部20与第二接触部30之间的中间部40；与第一接触部20和中间部40连接并沿第一排列方向伸缩的第一弹性部11；以及与中间部40和第二接触部30连接并在与第一排列方向交叉的方向上可移动第二接触部30的可动部12，第一接触部20、第一弹性部11、中间部40、可动部12和第二接触部30被串联地配置即可，并不限于第一实施方式～第三实施方式的探针10。

以上，参照附图详细地说明了本发明中的各种实施方式，但在最后说明本发明的各方式。另外，在以下的说明中，作为一例子，还添加记载了参考符号。

本发明的第一方式的探针10具备：第一接触部20和第二接触部30；配置在所述第一接触部20和所述第二接触部30之间的中间部40；与所述第一接触部20和所述中间部40连接，并沿连接所述第一接触部20和所述中间部40的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部20相对于所述中间部40在所述第一排列方向上移动的第一弹性部11；以及与所述中间部40和所述第二接触部30连接，使所述第二接触部30相对于所述中间部40在与所述第一排列方向交叉的方向上移动的可动部12，所述第一接触部20、所述第一弹性部11、所述中间部40、所述可动部12和所述第二接触部30被串联地配置。

根据第一方式的探针10，第一接触部20通过第一弹性部11相对于中间部40沿连接第一接触部20和中间部40的第一排列方向可移动地构成，第二接触部30通过可动部12相对于中间部40在与第一排列方向交叉的方向上可移动地构成。由此，可以实现在相对检查装置(例如，检查装置的基板100)的接触方向不同的方向上可接触检查对象物(例如，基板对基板连接器110的电极部111)的探针10。

本发明的第二方式的探针10还具备：与所述第二接触部30连接，从所述第二接触部30向与所述第一排列方向交叉的方向突出的突起部13，所述可动部12具有沿所述第一排列方向延伸，所述第一排列方向的一端部连接到所述中间部40，且所述第一排列方向的另一端部连接到所述第二接触部30，并在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第二弹性部15，通过所述第二弹性部15根据经由所述突起部13对所述第二接触部30施加的外力而弹性变形，由此，所述第二接触部30以所述第二弹性部15和所述中间部40的连接部分16为支点转动并相对于所述中间部40在与所述第一排列方向交叉的方向上移动。

根据第二方式的探针10，可以容易地实现在相对于检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物的探针10。

本发明的第三方式的探针10中，所述突起部13具有第三弹性部17，第三弹性部17设置在所述突起部13的突出方向的接近所述第二接触部30的端部，在所述第一排列方向中并且接近所述第一接触部20的方向上可弹性变形，所述第三弹性部17根据对所述突起部13施加的向所述第一排列方向且接近所述第一接触部20的方向的外力而弹性变形。

根据第三方式的探针10，例如，在使用检查夹具2的情况下，突起部13被施加外力，在第二接触部30的第二触点部31沿与第一排列方向交叉的方向移动并接触到基板对基板连接器110的电极部111时，可以防止第二接触部30被施加过剩的应力，从而损坏探针10的情况。

本发明的第四方式的探针10中，所述第二接触部30在所述第一排列方向上延伸，且所述第一排列方向的一端部连接到所述第二弹性部15，并在所述第一排列方向的另一端部具有触点部31，在所述第一排列方向的所述触点部31和所述第二弹性部15的中间连接有所述突起部13，在所述第二接触部30的所述第一排列方向的所述触点部31和所述突起部13之间，具有在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第四弹性部18，所述第四弹性部18根据所述第二接触部30的所述触点部31的向与所述第一排列方向交叉的方向的移动而弹性变形。

根据第四方式的探针10，例如，在使用检查夹具2的情况下，突起部13被施加外力，第二接触部30的第二触点部31沿与第一排列方向交叉的方向移动并接触到基板对基板连接器110的电极部111时，可以防止第二接触部30被施加过剩的应力，从而损坏探针的情况。

本发明的第五方式的探针10中，所述第二接触部30和所述可动部12沿与所述第一排列方向交叉的第二排列方向延伸，并且，所述可动部12具有第五弹性部60，第五弹性部60的所述第二排列方向的一端部连接到所述中间部40，且所述第二排列方向的另一端部连接到所述第二接触部30，并在与所述第一排列方向和所述第二排列方向交叉的方向上可弹性变形，通过所述第五弹性部60根据对所述第二接触部30施加的外力而弹性变形，由此，所述第二接触部30以所述第五弹性部60和所述中间部40的连接部分16为支点转动并相对于所述中间部40在与所述第一排列方向和所述第二排列方向交叉的方向上移动。

根据第五方式的探针10，可以容易地实现在相对接触到检查装置的接触方向不同的方向上可接触检查对象物的探针10。

本发明的第六方式的探针10中，所述第五弹性部60具有使与所述第二排列方向交叉的直线带部601和与所述直线带部601连接的弯曲带部602交替地连续的曲折形状。

根据第六方式的探针10，可以实现设计的自由度高的探针10。

本发明的第七方式的探针10还具备：从所述第二接触部30向与所述第二排列方向交叉的方向突出的突起部13，经由所述突起部13对所述第二接触部30施加外力。

根据第七方式的探针10，可以实现设计的自由度高的探针10。

本发明的第八方式的检查夹具2具备：所述方式的探针10；以及具有可收纳所述探针10的收纳部53的座50，所述座50具有卡止部56，卡止部56在沿所述第一排列方向从所述第一接触部20向所述第二接触部30的方向对所述收纳部53中收纳的所述探针10的所述中间部40进行卡止。

根据第八方式的检查夹具2，通过探针10，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具2。

本发明的第九方式的检查夹具2中，所述探针10是第二方式至第四方式的任意一个探针10，所述座50具有限制所述第二接触部30在与所述第一排列方向交叉的方向上移动的移动限制部57。

根据第九方式的检查夹具2，通过移动限制部57，对突起部13施加外力，在第二接触部30的第二触点部31在与第一排列方向交叉的方向移动时，可以防止可动部12的第二弹性部15被施加过剩的应力，从而损坏探针10的情况。

本发明的第十方式的检查夹具2中，所述座50具有：收纳所述第一接触部20和所述中间部40的第一壳体70；收纳所述第二接触部30并且在与所述第一排列方向交叉的方向上可相对于所述第一壳体70可相对移动的第二壳体80；以及可使所述第二壳体80在与所述第一排列方向交叉的方向上移动的凸轮部90。

根据第十方式的检查夹具2，设计的自由度高，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查夹具2。

本发明的第十一方式的检查单元1，具备了第八方式至第十方式的任意一个的检查夹具2。

根据第十一方式的检查单元1，通过所述检查夹具2，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查单元1。

本发明的第十二方式的检查装置具备第十一方式的检查单元1。

根据第十二方式的检查装置，通过所述检查单元1，能够实现可应对检查装置和检查对象物的多样化的检查装置。

另外，可以通过适当组合上述各种各样的实施方式或变形例之中任意的实施方式或变形例，可以发挥各自具有的效果。此外，可进行实施方式间的组合或实施例间的组合或实施方式和实施例的组合，并且也可进行不同的实施方式或实施例之中的特征间的组合。

工业实用性

例如，本发明的探针可以适用于液晶面板的检查中使用的检查夹具。

例如，本发明的检查夹具可以适用于液晶面板的检查中使用的检查单元。

例如，本发明的检查单元可以适用于液晶面板的检查装置。

例如，本发明的检查装置可以用于液晶面板的检查。

Claims (6)

1.一种检查夹具，具有探针和可收纳所述探针的收纳部的座，

所述探针具备：

第一接触部和第二接触部；

中间部，其配置在所述第一接触部与所述第二接触部之间；

第一弹性部，其与所述第一接触部和所述中间部连接，并沿连接所述第一接触部和所述中间部的第一排列方向伸缩，使所述第一接触部相对于所述中间部在所述第一排列方向上移动；以及

可动部，其与所述中间部和所述第二接触部连接，使所述第二接触部相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，

所述第一接触部、所述第一弹性部、所述中间部、所述可动部和所述第二接触部被串联地配置，

还具备突起部，该突起部与所述第二接触部连接，从所述第二接触部向与所述第一排列方向交叉的方向突出，

所述可动部具有第二弹性部，该第二弹性部沿所述第一排列方向延伸，所述第一排列方向的一端部与所述中间部连接，且所述第一排列方向的另一端部与所述第二接触部连接，并在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性变形，

所述第二弹性部根据经由所述突起部对所述第二接触部施加的外力而弹性变形，由此，所述第二接触部以所述第二弹性部和所述中间部的连接部分作为支点转动并相对于所述中间部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动，

所述座具有卡止部，该卡止部在沿所述第一排列方向且从所述第一接触部向所述第二接触部的方向对所述收纳部中收纳的所述探针的所述中间部进行卡止，

所述座具有：

收纳所述第一接触部和所述中间部的第一壳体；

收纳所述第二接触部并且在与所述第一排列方向交叉的方向上可相对于所述第一壳体相对移动的第二壳体；以及

可使所述第二壳体在与所述第一排列方向交叉的方向上移动的凸轮部。

2.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述突起部具有第三弹性部，该第三弹性部设置在所述突起部的突出方向的接近所述第二接触部的端部，可在所述第一排列方向且接近所述第一接触部的方向上弹性变形，

所述第三弹性部根据对所述突起部施加的在所述第一排列方向且向接近所述第一接触部的方向的外力而弹性变形。

3.如权利要求1或2所述的检查夹具，其特征在于，

所述第二接触部在所述第一排列方向上延伸，且所述第一排列方向的一端部与所述第二弹性部连接，并在所述第一排列方向的另一端部具有触点部，在所述第一排列方向的所述触点部和所述第二弹性部的中间连接所述突起部，

在所述第二接触部的所述第一排列方向的所述触点部和所述突起部之间，具有在与所述第一排列方向交叉的方向上可弹性变形的第四弹性部，

所述第四弹性部根据所述第二接触部的所述触点部向与所述第一排列方向交叉的方向的移动而弹性变形。

4.如权利要求1或2所述的检查夹具，其特征在于，

所述座具有移动限制部，该移动限制部限制所述第二接触部在与所述第一排列方向交叉的方向上移动。

5.一种检查单元，其特征在于，具备权利要求1～4中任一项的检查夹具。

6.一种检查装置，其特征在于，具备权利要求5的检查单元。

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