KR20220023538A - 회로 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 회로 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품의 제조공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성검사에 사용되는 회로 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은, 상부에 복수의 수용홈(110)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(100)와; 상기 복수의 수용홈(110)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 수용지그(100)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 개구부(210)가 형성되는 본체부(200)를 포함하는 회로 검사장치를 개시한다.

Description

회로 검사장치{Apparatus for inspecting circuit using the same}

본 발명은 회로 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자부품의 제조공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성검사에 사용되는 회로 검사장치에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자부품모듈에서는, 그 제조공정에 있어서 도통검사 및 동작 특성검사 등이 행해지며, 이러한 검사를 실시하기 위하여 프로브 핀을 사용하여 전자부품모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속한다.

즉, 전자부품모듈 내의 전극부와 검사장치를 접속하는 데 있어, 프로브 핀을 활용하여 전극부와 검사장치를 전기적으로 접속할 수 있으며, 이때 프로브 핀은 전자부품모듈의 전극 단자와 검사장치의 사이에서 적절한 접촉압력을 통해 안정적으로 접촉될 수 있다.

한편, 이와 같은 프로브 핀을 이용한 회로 검사장치는, 종래에는 스프링을 포함하는 포고핀이 사용되었으나, 이 경우 검사 대상물과 검사장치 사이의 통전 경로가 증가하여 전기저항이 증가되고 이에 따라 고전력이 요구되는 문제점이 있다.

또한, 종래의 프로브 핀을 이용한 회로 검사장치는, 프로브 핀 또는 포고핀이 소켓 내부에 결합된 상태에서 모듈화되어 제작 및 출고되므로, 일부 프로브 핀 또는 포고핀이 불량이거나 손상된 경우 전체 모듈을 교체해야 하는 문제점이 있다.

또한, 회로 검사장치는, 복수의 프로브 핀들을 일정하게 배치하여 설치함으로써, 전기적 접촉에 따른 특성 개선에 한계가 있는 문제점이 있다.

한편, 최근 고화질의 디스플레이, IOT, 자율주행 차량 등을 위한 고속데이터 전송에 대한 기술적 필요성이 높아졌다.

1Gbps 이상의 고속데이터 전송에서 프로브 핀은 일반적인 방식인 싱글 앤디드(single ended) 방식이 아닌 디퍼런셜(differential) 신호로 구성되어야 하며 각 주파수 대역 별로 프로브 핀과 이를 둘러싼 모듈에 따라 임피던스 매칭이 달라진다.

이때, 각 상황에 맞게 임피던스를 매칭하는 것이 필수적이며 이를 위해 HFSS시뮬레이션 등을 통해 주파수의 공진구간을 최소화시키는 과정이 필요하다.

본 발명의 목적은, 상기와 같은 본 발명의 문제점을 해결하기 위하여, 검사 대상물과 검사장치 사이의 접촉 신뢰성이 높으면서도, 접촉 저항이 낮은 회로 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 상부에 복수의 수용홈(110)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(100)와; 상기 복수의 수용홈(110)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 수용지그(100)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 개구부(210)가 형성되는 본체부(200)를 포함하는 회로 검사장치를 개시한다.

상기 복수의 수용홈(110)은, 상기 수용지그(100)의 폭 중심을 길이방향으로 가로지르는 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 좌우에 대칭되어 형성될 수 있다.

상기 복수의 수용홈(110)은, 상기 수용지그(100)의 폭 중심을 길이방향으로 가로지르는 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 평면 상 좌우로 어긋나도록 교대로 형성될 수 있다.

상기 복수의 수용홈(110)은, 상기 수용지그(100)의 길이방향에 대하여 수직방향으로 형성될수 있다.

상기 수용지그(100)는, 양단에 상기 복수의 수용홈(110)에 대하여 수직방향으로 형성되어 각각 단일의 프로브 핀(1)을 수용하는 제1수용홈(120) 및 제2수용홈(130)을 추가로 포함할 수 있다.

상기 본체부(200)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 상기 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(300)를 포함할 수 있다.

상기 커버부(300)는, 상기 복수의 수용홈(110)들에 대응되어 복수의 개구홈(311)들이 형성되는 커버플레이트(310)와, 상기 커버플레이트(310)와 상기 본체부(200) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 상기 커버플레이트(310)를 상하로 이동 가능하게 하는 복수의 탄성체(320)들을 포함할 수 있다.

상기 수용지그(100)의 하측에서 상기 본체부(200)에 결합되며, 상기 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 하측개구부(410)가 형성되는 베이스부(400)를 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 회로 검사장치는, 프로브 핀이 수용되는 수용지그와 본체부 사이의 결합구조를 통해, 사용되는 복수의 프로브 핀 중 적어도 일부가 불량 또는 손상된 경우, 일부의 프로브 핀만을 교체하여 사용가능한 이점이 있다.

즉, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 컴팩트한 구조로서 조립성이 뛰어나며, 사용되는 복수의 프로브 핀 중 적어도 일부만을 용이하게 교체할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 프로브 핀이 길이방향으로 신축가능한 탄성부를 포함하고, 커버부 또한 상하방향으로 신축가능한 탄성체를 포함함으로써, 검사장치와 검사대상물 사이의 다양한 환경에서도 안정된 접촉을 유지하여, 접촉신뢰성이 높은 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 프로브 핀이 수용되는 수용지그의 수용홈이 수용지그의 길이방향에 대하여 다양한 배치로 형성됨으로써, 접촉신뢰성은 높이면서 접촉저항은 낮아 전기적 특성이 개선되는 이점이 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 프로브 핀의 일 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 프로브 핀의 다른 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 3은, 본 발명에 따른 회로 검사장치의 구성을 보여주는 분해사시도이다.
도 4는, 도 3의 회로 검사장치의 프로브 핀의 설치모습을 보여주는 단면도이다.
도 5는, 본 발명에 따른 다른 실시예의 회로 검사장치의 구성을 보여주는 분해사시도이다.
도 6은, 도 5에 따른 회로 검사장치 중 수용지그의 모습을 보여주는 확대평면도이다.
도 7은, 도 5에 따른 회로 검사장치의 프로브 핀의 설치모습을 보여주는 단면도이다.
도 8은, 도 5에 따른 회로 검사장치의 TDR테스트 결과를 보여주는 그래프로서, X축은 시간, Y축은 저항을 나타내는 그래프이다.
도 9는, 도 5에 따른 회로 검사장치의 Eye-Diagram을 보여주는 그래프이다.
도 10은, 도 5에 따른 회로 검사장치의 S-parameter를 보여주는 그래프로서, X축은 주파수, Y축은 데시벨을 나타내는 그래프이다.

이하 본 발명에 따른 프로브 핀 및 그를 가지는 회로 검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상부에 복수의 수용홈(110)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(100)와; 상기 복수의 수용홈(110)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들과; 상기 수용지그(100)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 상기 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 개구부(210)가 형성되는 본체부(200)를 포함한다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 본체부(200)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 커버부(300)를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 수용지그(100)의 하측에서 본체부(200)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되도록, 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 하측개구부(410)가 형성되는 베이스부(400)를 포함할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 베이스부(400)의 하측면에 탈착가능하도록 구비되며, 프로브 핀(1)의 일단에 접촉되어 검사 대상물을 검사하기 위한 기판을 추가로 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 검사 대상물은, 전기적 접촉을 통해 사용되는 전자부품이면 어떠한 구성도 적용 가능하다.

예를 들면, 상기 검사 대상물은, FPC(Flexible Printed Circuit), FFC(Flexible, Flat Cable), 모바일 등에 사용되는 카메라 모듈, LCD, OLED, B2B 커넥터 등의 검사를 위하여 사용될 수 있다.

여기서 본 발명에 따른 프로브 핀(1)은, 수용지그(100)의 복수의 수용홈(110)들에 장착되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 프로브 핀(1)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 길이방향을 따라 신축하는 탄성부(10)와, 탄성부(10)의 길이방향의 일단에 형성되는 제1접촉부(20)와, 탄성부(10)의 길이방향의 타단에 형성되는 제2접촉부(30)를 포함할 수 있다.

상기 탄성부(10)는, 길이방향을 따라 신축하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 탄성부(10)는, 제1접촉부(20)와 제2접촉부(30)를 연결하는 길이방향에 대하여 제1접촉부(20)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(20)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제1탄성부(40)와, 제2접촉부(30)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(20)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 제2탄성부(50)와, 제1탄성부(40) 및 제2탄성부(50) 사이에서 제1접촉부(20)에 접근하는 방향으로 형성되는 제3탄성부(60)를 포함할 수 있다.

상기 제1탄성부(40)는, 제1접촉부(20)와 제2접촉부(30)를 연결하는 길이방향에 대하여, 제1접촉부(20)와 교차하는 방향으로 연장되며, 제1접촉부(20)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1탄성부(40)는, 제1접촉부(20)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제1직선부(41)와 일단이 제1직선부(41)에 접속되고 타단이 제3탄성부(60)의 일단에 접속되는 원호형의 제1만곡부(42)를 포함할 수 있다.

상기 제1직선부(41)는, 제1접촉부(20)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1직선부(41)는, 제1접촉부(20)의 하측 끝단에서 굽어져 수평방향으로 형성될 수 있으며, 이를 통해 상부면이 본체부(200)에 면접촉되어 설치될 수 있다.

상기 제1직선부(41)는, 신축성 있는 재질로 형성될 수 있으며, 제1접촉부(20)의 하측으로의 가압 시, 제1접촉부(20)와 접속되는 일단이 하측으로 하강하고, 제1만곡부(42)와 접속되는 타단이 유지됨으로써 전체적으로 길이방향에 대하여 신축하도록 할 수 있다.

한편, 상기 제1직선부(41)는, 접속면이 제1접촉부(20)와 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서 접속면이 제1접촉부(20)와 길이방향에 직교하도록 접속될 수 있고, 접속면이 제1접촉부(20)와 길이방향에 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수도 있다.

상기 제1만곡부(42)는, 일단이 제1직선부(41)에 접속되고 타단이 제3탄성부(60)의 일단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1만곡부(42)는, 제1직선부(41)의 제1접촉부(20)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제1직선부(41)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.

이때, 상기 제1만곡부(42)는, 탄성부(10)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 제1직선부(41)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.

상기 제2탄성부(50)는, 제2접촉부(30)와 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되며 제1접촉부(20)로부터 이격되는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2탄성부(50)는, 제2접촉부(30)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 제2직선부(51)와, 일단이 제2직선부(51)에 접속되고 타단이 제3탄성부(60)의 타단에 접속되는 원호형의 제2만곡부(52)를 포함할 수 있다.

상기 제2직선부(51)는, 제2접촉부(30)와 길이방향에 직교하는 방향으로 연장되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 제2직선부(51)는, 길이방향에 대하여 제1직선부(41)와 같은 방향으로 연장되어 형성될 수 있으며, 후술하는 베이스부(400)의 지지면(411)에 면접되어 안착될 수 있다.

상기 제2직선부(51)는, 제1접촉부(20)의 가압 시, 신축을 위하여 지지되는 구성으로서, 신축 가능한 재질일 수 있으나 단단한 재질이어도 무방하다.

즉, 상기 제2직선부(51)는, 베이스부(400)의 지지면(411)에 지지되어 제1탄성부(40) 및 제3탄성부(60)가 길이방향으로 신축하도록 일측을 지지하는 구성일 수 있다.

한편, 상기 제2직선부(51)는, 제1직선부(41)와 같이 제2접촉부(30)와의 접속면이 길이방향에 평행하도록 접속될 수 있으며, 다른 예로서, 접속면이 제2접촉부(30)와 길이방향에 직교 또는 경사를 가지고 교차하도록 접속될 수 있다.

상기 제2만곡부(52)는, 일단이 제2직선부(51)에 접속되고 타단이 제3탄성부(60)의 타단에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2만곡부(52)는, 제2직선부(51)의 제2접촉부(30)와의 접속되는 일단의 반대측 타단에서 연장형성되며, 가상의 중심이 제2직선부(51)의 하측에 위치하도록 원호형으로 형성될 수 있다.

이때, 상기 제2만곡부(52)는, 탄성부(10)의 전체적인 길이방향에 대한 신축을 위하여, 후술하는 제2접속부(62)가 가압에 따른 변형 시 경사지기 유리하도록 형성될 수 있으며, 이를 위하여 가상의 중심에 대하여 중심각이 180도 이상일 수 있다.

상기 제3탄성부(60)는, 제1탄성부(40) 및 제2탄성부(50) 사이에서 제1접촉부(20)에 접근하는 방향으로 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제3탄성부(60)는, 제1탄성부(40)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 제1접속부(61)와, 제2탄성부(50)와 길이방향에 교차하는 방향으로 접속하는 제2접속부(62)와, 제1접속부(61) 및 제2접속부(62) 사이에 접속되는 원호형의 제3만곡부(63)를 포함할 수 있다.

상기 제1접속부(61)는, 제1탄성부(40)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1접속부(61)는, 일단이 제3만곡부(63)와 접속하고 타단이 제1만곡부(42)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제1접속부(61)는, 제1만곡부(42)로부터 제3만곡부(63)로 갈수록 상측으로 올라가는 경사를 가질 수 있다.

즉, 상기 제1접속부(61)는, 제1탄성부(40)로부터 제1접촉부(20)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.

이를 통해, 상기 제1접속부(61)는, 탄성부(10)의 압축 시 제3만곡부(63)가 제1직선부(41) 및 제2직선부(51)와 접촉되도록 함으로써, 전체적인 전기저항을 줄일 수 있다.

상기 제2접속부(62)는, 제2탄성부(50)로부터 길이방향에 교차하는 방향으로 연장되어 접속되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제2접속부(62)는, 일단이 제3만곡부(63)와 접속하고 타단이 제1만곡부(42)와 접속하도록 형성되며, 길이방향에 교차하는 방향으로 경사를 가지고 형성될 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제2접속부(62)는, 제2만곡부(52)로부터 제3만곡부(63)로 갈수록 하측으로 내려가는 경사를 가질 수 있다.

즉, 상기 제2접속부(62)는, 제2탄성부(50)로부터 제2접촉부(30)를 향하는 방향으로 연장되어 형성될 수 있다.

이를 통해, 상기 제2접속부(62)는, 탄성부(10)의 압축 시 제3만곡부(63)가 제2직선부(51)와 접촉되도록 함으로써, 전기저항을 줄일 수 있다.

상기 제3만곡부(63)는, 제1접속부(61) 및 제2접속부(62) 사이에 접속되는 원호형의 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제3만곡부(63)는, 제1접속부(61)와 제2접속부(62) 사이에서 원호형으로 형성될 수 있으며, 가상의 중심을 기준으로 중심각이 180도 이상이 되도록 형성될 수 있다.

또한, 상기 탄성부(10)는, 서로 간극을 두고 배치된 띠 형상의 한 쌍의 탄성편(11, 12)들로 구비될 수 있다.

상기 제1접촉부(20)는, 적어도 일부가 커버부(300)의 상측으로 노출됨으로써, 상측에 위치하는 검사 대상물의 전극부와 접촉되어 통전될 수 있다.

상기 제1접촉부(20)는, 탄성부(10)의 일단에서 상측으로 연장되어 형성되는 제1연결부(21)와, 제1연결부(21)의 끝단에 형성되어 검사 대상물의 전극부와 접촉되는 제1접촉면(22)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1접촉부(20)는, 제1연결부(21)에 관통되어 형성되는 개구(23)를 추가로 포함할 수 있으며, 이를 통해 전기적 특성을 개선할 수 있다.

상기 제2접촉부(30)는, 탄성부(10)의 길이방향의 타단에 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히, 상기 제2접촉부(30)는, 적어도 일부가 베이스부(400)의 하측으로 노출됨으로써, 하측에 위치하는 검사를 위한 기판 또는 PCB와 접촉되어 통전되도록 할 수 있다.

상기 제2접촉부(30)는, 탄성부(10)의 타단에서 하측으로 연장되어 형성되는 제2연결부(31)와, 제2연결부(31)의 끝단에 형성되어 기판 또는 PCB와 접촉되는 제2접촉면(32)을 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2접촉부(30)는, 제2연결부(31)를 기준으로 제2직선부(51)의 반대측으로 연장형성되는 연장부(33)를 추가로 포함할 수 있다.

이때 제2연결부(31) 및 연장부(33)의 제2직선부(51)의 반대측에 위치한 측면은 탄성부(10)의 길이방향과 평행하도록 수직으로 형성되어 후술하는 수용홈(110) 및 수용지그(100)의 수용부(140)에 면접촉하여 안정적으로 설치되도록 할 수 있다.

상기 수용지그(100)는, 상부에 복수의 수용홈(110)들이 일렬로 배열되어 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 수용지그(100)는, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록 장착되는 수용홈(110)이 형성되는 수용부(140)를 포함할 수 있다.

이때, 상기 수용지그(100)는, 길이를 가지는 수용부(140)의 측면에 길이방향으로 일렬로 배열되어 수용홈(110)들이 형성될 수 있으며, 수용부(140)의 상측에는 후술하는 본체부(200)와의 결합 시, 장착된 프로브 핀(1)의 상측 적어도 일부가 외부로 노출될 수 있도록 돌출부가 형성될 수 있다.

한편, 상기 수용지그(100)는, 도 3에 도시된 바와 같이 2개 이상으로 구비될 수 있으며, 도 5에 도시된 바와 같이, 단일로 구비될 수 있다.

상기 수용홈(110)은, 수용부(140)의 폭 중심을 길이방향으로 지나는 가상의 중심선(L)을 기준으로 측면 측에서 상면 및 저면의 일부를 포함하여 형성됨으로써, 프로브 핀(1)이 끼워져 장착될 수 있도록 구비될 수 있다.

이 경우, 상기 수용홈(110)은, 수용지그(100)의 폭 중심을 길이방향으로 가로지르는 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 좌우에 대칭되어 형성될 수 있다.

이로써, 상기 수용홈(110)은, 수용부(140)의 길이방향에 수직인 단면에서 서로 가상의 중심선(L)을 기준으로 서로 대칭으로 형성될 수 있으며, 이때 수용홈(110)들 사이에는 수용부(140) 중심인 차단부(141)가 형성될 수 있다.

한편, 다른 예로서, 상기 수용홈(110)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 수용지그(100)의 폭 중심을 길이방향으로 가로지르는 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 평면 상 좌우로 어긋나도록 교대로 형성될 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 수용홈(110)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 평면 상 수용지그(100)의 길이방향으로 좌우로 한번씩 번갈아가며 형성될 수 있으며, 이로써 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 평면 상 좌우로 어긋나도록 교대로 형성될 수 있다.

한편, 이 경우, 프로브 핀(1) 또한 수용홈(110)에 장착되는 구성인 바, 가상의 중심선(L)을 기준으로 길이방향으로 좌우로 교대로 배치될 수 있다.

상기 수용홈(110)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 장착되는 프로브 핀(1)의 제1접촉부(20) 및 제2접촉부(30)가 인접하는 프로브 핀(1)의 제1접촉부(20) 및 제2접촉부(30)와 정면 상 완전히 겹쳐질 수 있도록, 차단부(141)의 가상의 중심선(L)의 반대측 일부까지 형성될 수 있다.

한편, 다른 예로서, 상기 수용홈(110)은, 장착되는 프로브 핀(1)의 제1접촉부(20) 및 제접촉부(30)가 인접하는 프로브 핀(1)과 적어도 일부가 겹쳐지도록 수용부(140)의 가상의 중심선(L)의 반대측 일부까지 형성될 수 있다.

이 경우, 인접하는 프로브 핀(1)들이 정면 상 겹쳐지지 않도록 좌우로 교대로 배치될 수 있음은 또한 물론이다.

한편, 상기 복수의 수용홈(110)들은, 수용지그(100)의 길이방향에 대하여 수직방향으로 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 가상의 중심선(L)에 대하여 수용부(140)의 측면에서 수직방향으로 형성될 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 수용지그(100)는, 양단에 복수의 수용홈(110)에 대하여 수직방향으로 형성되어 각각 단일의 프로브 핀(1)을 수용하는 제1수용홈(120) 및 제2수용홈(130)을 추가로 포함할 수 있다.

보다 구체적으로, 상기 제1수용홈(120) 및 제2수용홈(130)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 수용지그(100)의 양단에 각각 형성되어 프로브 핀(1)이 장착되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

이 경우, 상기 제1수용홈(120) 및 제2수용홈(130)은, 수용지그의(100)의 양단에서 수용홈(110)에 대하여 수직방향, 즉 수용부(140)의 길이방향과 평행하게 형성될 수 있다.

상기 본체부(200)는, 수용지그(100)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 상측으로 노출되도록, 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 개구부(210)가 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 본체부(200)는, 도 3 및 도 5에 도시된 바와 같이, 수용지그의(100)의 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 개구부(210)가 형성되는 바디부(220)와, 바디부(220)의 하측면에 후술하는 베이스부(400)가 삽입되도록 형성되는 단차부(223)를 포함할 수 있다.

한편, 상기 본체부(200)는, 바디부(220)를 관통하도록 형성되어 커버부(300)와의 나사결합이 가능하도록 하는 복수의 관통공(221)이 형성될 수 있다.

또한, 상기 본체부(200)는, 후술하는 커버부(300)의 상하방향으로의 상대이동이 가능하도록 탄성체(320)가 삽입되는 복수의 삽입공(222)이 추가로 형성될 수 있다.

상기 커버부(300)는, 본체부(200)의 상측에서 상하방향으로 이동가능하도록 설치되어, 가압을 통한 상하이동을 통해 프로브 핀(1)의 적어도 일부를 상측으로 노출시키는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 커버부(300)는, 복수의 수용홈(110)들에 대응되어 복수의 개구홈(311)들이 형성되는 커버플레이트(310)와, 커버플레이트(310)와 본체부(200) 사이에 구비되어 압축 및 복원력을 통해 커버플레이트(310)를 상하로 이동하도록 하는 복수의 탄성체(320)들을 포함할 수 있다.

상기 커버플레이트(310)는, 복수의 수용홈(110)들에 대응되어 복수의 개구홈(311)들이 형성되어, 상하이동 시, 복수의 수용홈(110)들에 장착되어 설치되는 복수의 프로브 핀(1)의 상측 일부가 노출되도록 하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

상기 커버플레이트(310)는, 상측에 검사 대상물이 위치하며, 검사 대상물이 위치함에 따른 가압으로 하측으로 이동하여, 노출된 프로브 핀(1)의 상측 일부가 검사 대상물의 전극부에 접촉하는 구성일 수 있다.

따라서, 상기 커버플레이트(310)는, 검사 대상물과의 접촉이 수반되는 바, 절연재질로 구비될 수 있다.

또한, 상기 커버플레이트(310)는, 본체부(200)에 볼트 결합되는 볼트(330)가 관통되도록 형성되는 커버볼트공(312)을 포함할 수 있다.

즉, 상기 커버플레이트(310)는, 볼트(330)가 커버볼트공(312)을 관통하여 본체부(200)에 결합되며, 이때 상하이동 가능하도록, 커버볼트공(312)이 볼트(330)의 직경보다 크게 형성될 수 있다.

상기 복수의 탄성체(320)들은, 커버플레이트(310)가 상하이동 가능하도록, 커버플레이트(310)와 본체부(200) 사이에 구비되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 복수의 탄성체(320)들은, 본체부(200)의 상면 또는 커버플레이트(310)의 하부면 중 적어도 하나에 일부가 삽입되도록 구비되며, 검사 대상물의 자중 또는 사용자의 가압에 따라 커버플레이트(310)가 하측으로 이동하는 경우 압축되고, 외력이 제거된 경우에는 복원력에 따라 커버플레이트(310)를 상측으로 이동시키는 구성일 수 있다.

한편, 상기 복수의 탄성체(320)들은, 직사각형 형상의 커버플레이트(310) 및 본체부(200)의 모서리에 각각 구비될 수 있다.

상기 베이스부(400)는, 수용지그(100)의 하측에서 본체부(200)에 결합되며, 프로브 핀(1)의 적어도 일부가 하측으로 노출되도록 복수의 수용홈(110)들에 대응되는 하측개구부(410)가 형성되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 베이스부(400)는, 베이스본체(420)와 베이스본체(420)의 내부 저면에 형성되어 프로브 핀(1)의 적어도 일부, 보다 바람직하게는 제2접촉면(32)이 돌출되어 기판 또는 PCB와 전기적으로 연결되도록 형성되는 하측개구부(410)를 포함할 수 있다.

이를 위해, 상기 베이스부(400)는, 하측에 구비되는 검사를 위한 기판, 즉 PCB와 전기적으로 접촉될 수 있다.

이때, 상기 베이스부(400)는, 적어도 하나, 보다 바람직하게는 모서리에 대응되는 4개의 베이스볼트공이 형성되어, 본체부(200)와 볼트결합을 통해 결합할 수 있다.

또한, 수용지그(100)가 내부에 안착될 수 있도록 단차를 가지고 내측으로 형성되는 홈부를 포함할 수 있으며, 홈부에 수용지그(100)가 안착하여 끼워짐으로써, 수용지그(100)가 쉽게 결합되도록 할 수 있다.

이 경우, 수용지그(100)의 수에 맞춰 수용지그(100)가 복수개 구비되는 경우, 홈부 또한 복수개가 형성될 수 있다.

한편 베이스부(400)는, 홈부의 바닥면인 지지면(411)에 전술한 프로브 핀(1)의 제2직선부(51)가 면접촉 하여 위치함으로써, 탄성부(10)의 안정적인 수축에 대한 지지가 가능하도록 할 수 있다.

한편 본 발명에 따른 회로 검사장치의 효과를 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 8에 도시된 바와 같이, TDR(Time Domain Reflectometry) 측정을 실시한 결과 임피던스값이 94.98Ω에서 120.62Ω 사이값을 갖는다.

PCI-e gen3에 해당하는 종래 개시된 고속 신호용 프로브 핀의 TDR 테스트의 이상범위인 100Ω에 인접한 범위 값을 갖는 것으로 확인함으로써, 종래 기술 대비 임피던스 범위값이 적정 범위 내에 존재하며 이에 따라 케이블의 결함이 적고 신호가 결점없이 전달되는 효과가 있음을 확인할 수 있다.

한편 이 경우, 도 8에 표시된 숫자로서, 3번은 프로브 핀의 시작지점, 4번은 프로브 핀의 끝지점, 1번은 범위 내 임피던스 최저값, 2번은 범위 내 임피던스 최고값을 의미한다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 신호 내에 잡음 정도를 판단하기 위해 도 9에 도시된 바와 같이, Eye-Diagram을 측정하였으며, 그 결과 종래 대비 잡음이 적어 품질이 뛰어남을 확인할 수 있다.

즉, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 9에 도시된 Eye-Diagram을 참조하건데, 눈 열림(Eye Opening)의 크기가 큰 것으로 보아 직관적으로 신호 품질이 뛰어나고 잡음이 적음을 알 수 있다.

이로써, 본 발명에 따른 회로 검사장치에 결합되는 기타 구성품을 포함한 전체 장비에서 신호 품질이 우수함을 확인할 수 있으며, 전체 장비의 결합에 따라 일부 잡음이 발생하는 상황에서도 프로브 핀을 통한 품질이 우수하므로 잡음 발생을 최소화할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명에 따른 회로 검사장치는, 도 10에 도시된 바와 같이, 프로브 핀 자체만의 인서션로스와 리턴로스를 측정하였으며, 그 결과는 고속신호대인 4GHz의 주파수를 기준으로 인서션로스가 -1dB ~ 0dB 사이의 값을 가지는 것을 확인할 수 있으며, 리턴로스가 -10dB 이하의 값을 가지는 것을 확인할 수 있다.

이로써 4Ghz 영역대에서 인서션로스가 -1dB ~ 0.5 dB 사이의 값을 가지고 리턴로스가 -10dB 이하의 값의 범위 내에 존재하므로 신호의 손실이 종래 기술 대비 충분히 저감되는 것을 확인하였다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

1: 프로브 핀 100: 수용지그
200: 본체부 300: 커버부
400: 베이스부

Claims (1)

1. 상부에 복수의 수용홈(110)들이 일렬로 배열되어 형성되는 수용지그(100)와;
   상기 복수의 수용홈(110)들에 장착되는 복수의 프로브 핀(1)들을 포함하는 것을 특징으로 하는 회로 검사장치.

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