JP7110817B2 - 検査具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Description

本開示は、検査対象物（例えば、バッテリーモジュール等の電子部品モジュール）を検査可能な検査具、この検査具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

バッテリーモジュール等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、一般に、複数のプローブピンが収容された検査具を用いて、検査装置と電子部品モジュールとを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたポゴピンタイプのプローブピンがある。このプローブピンは、接触端子および接触端子と同軸に設けられたプランジャ本体部を有するプランジャ部と、プランジャ部の外周側に設けられたバレル部とを備えている。

特開２０１６－１４２６４４号公報

近年、電子部品モジュールの小型化が進み、電子部品モジュールの検査を行うための検査具も小型化に対応することが要請されている。

前記プローブピンのようなポゴピンタイプのプローブピンは、一般に、小型化すればするほど剛性が低下して損傷し易くなる。このため、前記プローブピンを用いた検査具では、小型化に対応できないおそれがある。

本開示は、小型化に対応可能な検査具、検査ユニットおよび検査装置を提供することを課題とする。

本開示の一例の検査具は、
少なくとも３つの収容部を内部に有するハウジングと、
延在方向の両端部が前記ハウジングの外部に露出した状態で前記収容部にそれぞれ収容された第１電源端子、信号端子および第２電源端子と
を備え、
前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の各々が、前記延在方向に伸縮可能な少なくとも１つの板状のプローブピンで構成され、
前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の各々を構成する前記プローブピンが、その板面同士が対向するように板厚方向に直列的に並んで配置され、
前記信号端子が、前記板厚方向において、前記第１電源端子および前記第２電源端子の間に配置されている。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査具を少なくとも１つ備えた。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

前記検査具によれば、延在方向の両端部がハウジングの外部に露出した状態で少なくとも３つの収容部にそれぞれ収容された第１電源端子、信号端子および第２電源端子を備え、第１電源端子、信号端子および第２電源端子の各々が、少なくとも１つの板状のプローブピンで構成されている。すなわち、第１電源端子、信号端子および第２電源端子の各々が、小型化しても剛性が低下し難い板状のプローブピンで構成されているので、小型化に対応可能な検査具を実現できる。

前記検査ユニットによれば、前記検査具により、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査ユニットを実現できる。

前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査装置を実現できる。

本開示の一実施形態の検査具を示す斜視図。 図１の検査具の端子接続部を取り除いた状態の斜視図。 図１のIII-III線に沿った断面図。 図１のIV-IV線に沿った断面図。 図１の検査具の端子接続部部分の拡大平面図。 図１の検査具の端子接続部を示す平面図。 図１の検査具のプローブピンを示す斜視図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態の検査具１は、図１に示すように、絶縁性のハウジング１０と、ハウジング１０の内部に収容された導電性の第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３とを備えている。なお、図１には、第１電源端子２１および信号端子２２のみ示している。

ハウジング１０は、図２および図３に示すように、少なくとも３つの収容部１７を内部に有している。各収容部１７には、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３が、それぞれ収容されている。第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々は、少なくとも１つの板状のプローブピン３０で構成されている。

詳しくは、ハウジング１０は、図２に示すように、略直方体状のベースハウジング１１と、このベースハウジング１１の内部に収容されたコアハウジング１２とを有している。

ベースハウジング１１は、図２に示すように、その外面の１つを構成する略矩形状の接続面１１１を有し、この接続面１１１の長手方向の略中央には、図３に示すように、略矩形状の開口部１４を有する凹部１３が設けられている。この凹部１３は、図２に示すように、開口部１４の長手方向がベースハウジング１１の短手方向と略平行になるように配置され、その内部に、略直方体状のコアハウジング１２が収容されている。

なお、以下の説明において、接続面１１１の短手方向をＸ方向とし、接続面１１１の長手方向をＹ方向とし、接続面１１１に交差する方向をＺ方向とする。

コアハウジング１２は、図３に示すように、その内部にプローブピン３０を収容可能な少なくとも３つの収容部１７を有している。詳しくは、コアハウジング１２の内部には、相互に電気的に独立した状態で、開口部１４の長手方向（すなわち、Ｘ方向）に沿って直列的に並んで配置されかつ接続面１１１の直交方向（すなわち、Ｚ方向）に延びる５つの収容部１７の列が、開口部１４の短手方向（すなわち、Ｙ方向）に間隔を空けて２列設けられている。すなわち、この実施形態では、コアハウジング１２は、１０個の収容部１７を有している。

各収容部１７の列における両端の収容部１７には、それぞれ第１電源端子２１および第２電源端子２３が収容され、各収容部１７の列における中間の収容部１７には、信号端子２２が収容されている。各収容部１７の列において、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々を構成するプローブピン３０は、延在方向の両端部がハウジングの外部に露出した状態で、板面同士が対向するように板厚方向に直列的に並んで配置されている。すなわち、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々は、延在方向の両端部がハウジングの外部に露出した状態で収容部１７に収容されている。

第１電源端子２１および第２電源端子２３の各々は、複数のプローブピン３０で構成されている。詳しくは、図３に示すように、第１電源端子２１および第２電源端子２３の各々は、５つのプローブピン３０が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体２１１、２３１で、構成されている。また、信号端子２２は、板厚方向に間隔を空けて相互に独立して配置された複数のプローブピン３０で構成されている。詳しくは、図３に示すように、信号端子２２は、各収容部１７の列における中間の３つの収容部１７にそれぞれ１つ収容された３つのプローブピン３０で構成されている。

なお、この実施形態では、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々を構成するプローブピン３０が、同一形状を有している。

また、ハウジング１０は、図１に示すように、検査対象物または検査装置のコネクタ１００（図５に示す）に接続可能な絶縁性の端子接続部４０を有している。端子接続部４０は、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の延在方向（すなわち、Ｚ方向。以下、端子延在方向という。）に交差（例えば、直交）する接続面１１１上で、ハウジング１０に対して、端子延在方向に揺動可能な状態で支持されている。

詳しくは、図４に示すように、端子接続部４０は、接続面１１１に対向するように配置された略矩形板状の接続板部４１と、この接続板部４１の対向する一対の辺縁部から接続板部４１に交差（例えば、直交）する方向に延びる一対の接続壁部４２とを有している。

接続板部４１は、図５および図６に示すように、端子延在方向に貫通しかつ第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３を同時に収容可能な接続孔４３を有している。この接続孔４３は、第１収容領域４４と、第２収容領域４５とを有している。

第１収容領域４４は、端子延在方向から見て、接続孔４３の第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の配列方向（すなわち、Ｘ方向。以下、端子配列方向という。）に交差する方向（すなわち、Ｙ方向）の略中央に設けられ、後述する各プローブピン３０の第１接点部３１が配置されている。この第１収容領域４４は、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３に同時に接触可能な検査対象物または検査装置のコネクタ１００（図５に示す）を収容可能に構成されている。

第２収容領域４５は、端子延在方向から見て、第１収容領域４４に対する端子配列方向に交差する方向の少なくとも一方（この実施形態では、Ｙ方向の両方）に配置されている。この第２収容領域４５は、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の一部を配置可能に構成されている。

なお、接続孔４３は、図３および図４に示すように、後述する接続板部４１の外面４１１側に開口した凹部４３１と、この凹部４３１の底面に開口した複数の貫通孔４３２とで構成されている。各貫通孔４３２は、図６に示すように、端子延在方向において各コアハウジング１２の収容部１７にそれぞれ対応している。すなわち、この実施形態では、凹部４３１の底面には、１０個の貫通孔４３２が形成されている。

また、接続孔４３は、第２収容領域４５において、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の間を相互に仕切る２つの絶縁壁４８を有している。各絶縁壁４８は、第２収容領域４５の第１電源端子２１および信号端子２２の間と、信号端子２２および第２電源端子２３の間とにそれぞれ設けられ、端子延在方向から見て、端子配列方向に交差する方向に延びている。

また、接続板部４１は、端子延在方向における接続面１１１に対向する面の反対側の外面４１１でかつ接続孔４３の周囲に設けられた位置決め用凹部４６を有している。この位置決め用凹部４６は、検査対象物または検査装置のコネクタ１００を第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３に接続するときに、検査対象物または検査装置の一部が収容されて、端子接続部４０に対する検査対象物または検査装置のコネクタ１００の位置が決まるように構成されている。

各接続壁部４２は、図４に示すように、その延在方向の接続板部４１から遠い方の先端部が、接続面１１１の凹部１３まわりに設けられた収容溝１５に収容されている。各接続壁部４２の先端部には、各接続壁部４２から相互に離れる方向に延びるフランジ部４７が設けられている。各フランジ部４７は、各フランジ部４７を接続面１１１に向かって付勢するコイルばね５０と共に、収容溝１５に接続されかつベースハウジング１１の内部に設けられた収容空間１６に収容されている。この収容空間１６によって、各フランジ部４７の移動が、接続面１１１に交差する方向（すなわち、Ｚ方向）の初期位置Ｐ１と接続位置Ｐ２との間のみに規制されている。なお、初期位置Ｐ１は、検査対象物または検査装置のコネクタ１００が接続されていない状態の端子接続部４０の位置であり、接続位置Ｐ２は、検査対象物または検査装置のコネクタ１００が接続された状態の端子接続部４０の位置である。

図３および図４に示すように、端子接続部４０が初期位置Ｐ１にある場合、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３を構成する各プローブピン３０のその延在方向の一端部が、接続孔４３の貫通孔４３２に収容されている。これにより、端子延在方向に交差する方向（すなわち、ＸＹ方向）における各プローブピン３０のその延在方向の一端部の移動が規制され、ハウジング１０に対する第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々の位置を正確に決めることができる。

各プローブピン３０は、図７に示すように、その長手方向（すなわち、図７の上下方向）に沿って伸縮可能な弾性部３３と、弾性部３３のプローブピン３０の長手方向における両端部にそれぞれ接続された第１接触部３４および第２接触部３５とを備えている。

弾性部３３は、相互に隙間を空けて配置され、プローブピン３０の延在方向に弾性変形可能な複数の帯状弾性片（この実施形態では、４つの帯状弾性片）で構成されている。第１接触部３４は、プローブピン３０の長手方向における一端部が弾性部３３に接続されていると共に、プローブピン３０の長手方向における他端部に配置された第１接点部３１を有している。また、第２接触部３５は、プローブピン３０の長手方向における一端部が弾性部３３に接続されていると共に、プローブピン３０の長手方向における他端部に配置された第２接点部３２を有している。

第１接触部３４の延在方向の中間部における弾性部３３側には、プローブピン３０を収容部１７に収容したときにコアハウジング１２と接触してプローブピン３０を支持する支持部３６が設けられている。また、第２接触部３５の延在方向の中間部における弾性部３３側には、プローブピン３０を収容部１７に収容したときにベースハウジング１１と接触してプローブピン３０を支持する支持部３７が設けられている。

なお、各プローブピン３０は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部３３、第１接触部３４および第２接触部３５が一体に構成されている。

前記検査具１では、延在方向の両端部がハウジング１０の外部に露出した状態で少なくとも３つの収容部１７にそれぞれ収容された第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３を備え、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々が、少なくとも１つの板状のプローブピン３０で構成されている。すなわち、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々が、小型化しても剛性が低下し難い板状のプローブピン３０で構成されているので、小型化に対応可能な検査具１を実現できる。

また、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々を構成するプローブピン３０が、同一形状を有している。このような構成により、例えば、第１電源端子２１または第２電源端子２３を複数のプローブピンで構成することで、全体に亘って均一な断面形状を有する第１電源端子２１または第２電源端子２３を容易に得ることができる。

また、第１電源端子２１および第２電源端子２３の各々が、複数のプローブピン３０が相互に接触した状態で板厚方向に積層されたプローブピン積層体２１１、２３１で構成され、信号端子２２が、板厚方向に間隔を空けて相互に独立して配置された複数のプローブピン３０で構成されている。このような構成により、流れる電流の大きさが異なる各端子２１、２２、２３を複数のプローブピン３０を用いて容易に形成することができる。

また、端子延在方向に交差するハウジング１０の接続面１１１上で、ハウジング１０に対して、端子延在方向に揺動可能な状態で支持されて、検査対象物または検査装置に接続可能な端子接続部４０を有し、端子接続部４０が、端子延在方向に貫通しかつ第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３を同時に収容可能な接続孔４３を有している。この端子接続部４０により、例えば、検査対象物または検査装置に検査具１を接続する場合にのみ、各端子２１、２２、２３の端子延在方向の一端部を検査具１の外部に露出させることができるので、各端子２１、２２、２３の損傷の発生を低減できる。

また、端子接続部４０が、端子延在方向における接続面１１１に対向する面の反対側の外面４１１でかつ接続孔４３の周囲に設けられて、端子接続部４０に対する検査対象物または検査装置の位置を決める位置決め用凹部４６を有している。この位置決め用凹部４６により、検査対象物または検査装置に検査具１をより正確に接続することができる。

また、接続孔４３が、検査対象物または検査装置のコネクタ１００が収容可能な第１収容領域４４と、端子延在方向から見て、第１収容領域４４に対する端子配列方向に交差する方向の少なくとも一方に配置されて第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の一部を配置可能な第２収容領域４５とを有している。このような構成により、各端子２１、２２、２３を構成する各プローブピン３０を第１収容領域４４から第２収容領域４５に亘って配置することができる。その結果、例えば、各プローブピン３０の幅方向（すなわち、端子延在方向および端子配列方向に交差する方向）の一端部に第１接点部３１を設けた場合、各プローブピン３０の第１接点部３１を第１収容領域４４に配置して検査対象物または検査装置のコネクタ１００の小型化に対応しつつ、各端子２１、２２、２３の大きさを十分に確保することができる。

また、接続孔４３が、第２収容領域４５の第１電源端子２１および信号端子２２の間と、信号端子２２および第２電源端子２３の間とにそれぞれ設けられ、端子延在方向から見て、端子配列方向に交差する方向にそれぞれ延びている２つの絶縁壁４８を有している。この絶縁壁４８により、各端子２１、２２、２３間の絶縁性をより確実に確保することができる。

前記検査具１は、検査ユニットに用いることができる。前記検査具１により、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査ユニットを実現できる。

また、前記検査ユニットは、検査装置に用いることができる。前記検査ユニットにより、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査装置を実現できる。

なお、各プローブピン３０は、検査具１の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、各端子２１、２２、２３を構成するプローブピン３０毎にその形状を変更してもよいし、第１電源端子２１および第２電源端子２３の一方を１つのプローブピン３０で構成し、他方をプローブピン積層体２１１、２３１で構成してもよい。

また、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、第１接点部３１および第２接点部３２の各々の形状および位置などを適宜変更してもよい。

ベースハウジング１１およびコアハウジング１２は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、ベースハウジング１１およびコアハウジング１２を汎用化して、検査具１（ひいては、検査ユニットおよび検査装置）の生産性を向上させることができる。

端子接続部４０は、検査具１の設計等に応じて、省略することができる。すなわち、検査具１は、少なくとも３つの収容部１７を内部に有するハウジング１０と、各収容部１７にそれぞれ収容された第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３とを少なくとも備えていればよい。

位置決め用凹部４６および絶縁壁４８の各々は、検査具１の設計等に応じて、省略することができる。

接続孔４３は、検査対象物または検査装置のコネクタ１００を収容可能な第１収容領域４４を少なくとも有していればよく、第２収容領域４５は省略してもよい。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様の検査具１は、
少なくとも３つの収容部１７を内部に有するハウジング１０と、
延在方向の両端部が前記ハウジング１０の外部に露出した状態で前記収容部１７にそれぞれ収容された第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３と
を備え、
前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の各々が、前記延在方向に伸縮可能な少なくとも１つの板状のプローブピン３０で構成され、
前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の各々を構成する前記プローブピン３０が、その板面同士が対向するように板厚方向に直列的に並んで配置され、
前記信号端子２２が、前記板厚方向において、前記第１電源端子２１および前記第２電源端子２３の間に配置されている。

第１態様の検査具１によれば、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の各々が、小型化しても剛性が低下し難い板状のプローブピン３０で構成されているので、小型化に対応可能な検査具１を実現できる。

本開示の第２態様の検査具１は、
前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の各々を構成する前記プローブピン３０が、同一形状を有している。

第２態様の検査具１によれば、例えば、第１電源端子２１または第２電源端子２３を複数のプローブピンで構成することで、全体に亘って均一な断面形状を有する第１電源端子２１または第２電源端子２３を容易に得ることができる。

本開示の第３態様の検査具１は、
前記第１電源端子２１および前記第２電源端子２３の各々が、複数の前記プローブピン３０が相互に接触した状態で前記板厚方向に積層されたプローブピン積層体２１１、２３１で構成され、
前記信号端子２２が、前記板厚方向に間隔を空けて相互に独立して配置された複数の前記プローブピン３０で構成されている。

第３態様の検査具１によれば、流れる電流の大きさが異なる各端子２１、２２、２３を複数のプローブピン３０を用いて容易に形成することができる。

本開示の第４態様の検査具１は、
前記延在方向に交差する前記ハウジング１０の接続面１１１上で、前記ハウジング１０に対して、前記延在方向に揺動可能な状態で支持されて、検査対象物または検査装置に接続可能な端子接続部４０を有し、
前記端子接続部４０が、前記延在方向に貫通しかつ前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３を同時に収容可能な接続孔４３を有している。

第４態様の検査具１によれば、端子接続部４０により、例えば、検査対象物または検査装置に検査具１を接続する場合にのみ、各端子２１、２２、２３のその延在方向の一端部を検査具１の外部に露出させることができるので、各端子２１、２２、２３の損傷の発生を低減できる。

本開示の第５態様の検査具１は、
前記端子接続部４０が、前記延在方向における前記接続面１１１に対向する面の反対側の外面４１１でかつ前記接続孔４３の周囲に設けられて、前記端子接続部４０に対する前記検査対象物または前記検査装置の位置を決める位置決め用凹部４６を有している。

第５態様の検査具１によれば、位置決め用凹部４６により、検査対象物または検査装置に検査具１をより正確に接続することができる。

本開示の第６態様の検査具１は、
前記接続孔４３が、
前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３に同時に接触可能な前記検査対象物または前記検査装置のコネクタ１００が収容可能な第１収容領域４４と、
前記延在方向から見て、前記第１収容領域４４に対する前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の配列方向に交差する方向の少なくとも一方に配置されて前記第１電源端子２１、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の一部を配置可能な第２収容領域４５と
を有している。

第６態様の検査具１によれば、各端子２１、２２、２３を構成する各プローブピン３０を第１収容領域４４から第２収容領域４５に亘って配置することができる。その結果、例えば、各プローブピン３０の幅方向（すなわち、第１電源端子２１、信号端子２２および第２電源端子２３の延在方向および配列方向に交差する方向）の一端部に接点部３１を設けた場合、各プローブピン３０の接点部３１を第１収容領域４４に配置して検査対象物または検査装置のコネクタ１００の小型化に対応しつつ、各端子２１、２２、２３の大きさを十分に確保することができる。

本開示の第７態様の検査具１は、
前記接続孔４３が、
前記第２収容領域４５の前記第１電源端子２１および前記信号端子２２の間と、前記信号端子２２および前記第２電源端子２３の間とにそれぞれ設けられ、前記延在方向から見て、前記配列方向に交差する方向にそれぞれ延びている２つの絶縁壁４８を有している。

第７態様の検査具１によれば、絶縁壁４８により、各端子２１、２２、２３間の絶縁性をより確実に確保することができる。

本開示の第８態様の検査ユニットは、
前記態様の検査具１を少なくとも１つ備えた。

第８態様の検査ユニットによれば、前記検査具１により、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査ユニットを実現できる。

本開示の第９態様の検査装置は、
前記態様の検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

第９態様の検査装置によれば、前記検査ユニットにより、より小型の電子部品モジュールの検査を行うことが可能な検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示の検査具は、検査対象物として、例えば、バッテリーモジュールの検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、検査対象物として、例えば、バッテリーモジュールの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、検査対象物として、例えば、バッテリーモジュールの検査に用いることができる。

１ 検査具
１０ ハウジング
１１ ベースハウジング
１１１ 接続面
１２ コアハウジング
１３ 凹部
１４ 開口部
１５ 収容溝
１６ 収容空間
１７ 収容部
２１ 第１電源端子
２１１ プローブピン積層体
２２ 信号端子
２３ 第２電源端子
２３１ プローブピン積層体
３０ プローブピン
３１ 第１接点部
３２ 第２接点部
３３ 弾性部
３４ 第１接触部
３５ 第２接触部
３６、３７ 支持部
４０ 端子接続部
４１ 接続板部
４１１ 外面
４２ 接続壁部
４３ 接続孔
４３１ 凹部
４３２ 貫通孔
４４ 第１収容領域
４５ 第２収容領域
４６ 位置決め用凹部
４７ フランジ部
４８ 絶縁壁
５０ コイルばね
１００ コネクタ
Ｘ、Ｙ、Ｚ 方向
Ｐ１ 初期位置
Ｐ２ 接続位置

Claims (8)

1. 少なくとも３つの収容部を内部に有するハウジングと、
   延在方向の両端部が前記ハウジングの外部に露出した状態で前記収容部にそれぞれ収容された第１電源端子、信号端子および第２電源端子と
   を備え、
   前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の各々が、前記延在方向に伸縮可能な少なくとも１つの板状のプローブピンで構成され、
   前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の各々を構成する前記プローブピンが、その板面同士が対向するように板厚方向に直列的に並んで配置され、
   前記信号端子が、前記板厚方向において、前記第１電源端子および前記第２電源端子の間に配置され、
   前記第１電源端子および前記第２電源端子の各々が、複数の前記プローブピンが相互に接触した状態で前記板厚方向に積層されたプローブピン積層体で構成され、
   前記信号端子が、前記板厚方向に間隔を空けて相互に独立して配置された複数の前記プローブピンで構成されている、検査具。
2. 前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の各々を構成する前記プローブピンが、同一形状を有している、請求項１の検査具。
3. 前記延在方向に交差する前記ハウジングの接続面上で、前記ハウジングに対して、前記延在方向に揺動可能な状態で支持されて、検査対象物または検査装置に接続可能な端子接続部を有し、
   前記端子接続部が、前記延在方向に貫通しかつ前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子を同時に収容可能な接続孔を有している、請求項１または２の検査具。
4. 前記端子接続部が、前記延在方向における前記接続面に対向する面の反対側の外面でかつ前記接続孔の周囲に設けられて、前記端子接続部に対する前記検査対象物または前記検査装置の位置を決める位置決め用凹部を有している、請求項３の検査具。
5. 前記接続孔が、
   前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子に同時に接触可能な前記検査対象物または前記検査装置のコネクタが収容可能な第１収容領域と、
   前記延在方向から見て、前記第１収容領域に対する前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の配列方向に交差する方向の少なくとも一方に配置されて前記第１電源端子、前記信号端子および前記第２電源端子の一部を配置可能な第２収容領域と
   を有している、請求項３または４の検査具。
6. 前記接続孔が、
   前記第２収容領域の前記第１電源端子および前記信号端子の間と、前記信号端子および前記第２電源端子の間とにそれぞれ設けられ、前記延在方向から見て、前記配列方向に交差する方向にそれぞれ延びている２つの絶縁壁を有している、請求項５の検査具。
7. 請求項１から６のいずれか１つの検査具を少なくとも１つ備えた検査ユニット。
8. 請求項７の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。

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