JP5936510B2

JP5936510B2 - 積層プローブ

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Publication number: JP5936510B2
Application number: JP2012222718A
Authority: JP
Inventors: 信宏篠田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2012-10-05
Filing date: 2012-10-05
Publication date: 2016-06-22
Anticipated expiration: 2032-10-05
Also published as: JP2014074674A

Description

本発明は積層プローブに関し、特に、大電流を要する電気的特性検査に用いる積層プローブに関する。

半導体装置の電気的特性検査、特に大電流を要する電気的特性検査を行う際、被測定物としての半導体装置にプローブを接触させて検査を行う。

一般に、プローブとして、スプリング式プローブもしくは、積層プローブが用いられる。スプリング式プローブは、ばねで上下に伸縮可能な金属ピンを半導体装置に接触させて、半導体装置との電気的接続を行うプローブである。

また、積層プローブは、厚み方向に積層した金属薄板を半導体装置に押し当てることにより、半導体装置の表面形状に沿ってプローブ形状を変化させて、電気的接続を行うプローブである（例えば、特許文献１参照）。

実用新案登録第３１２５１５６号公報

上述の従来のスプリング式プローブは、被測定物との接点数が少ないため、通電電流に制限があり、大電流を要する電気的特性試験に適さない問題があった。また、プローブの形状による自己のインダクタンス成分により、本来必要とする試験条件を満足できないことがあった。

また、従来の積層プローブは、大電流を引き出すために、多数のケーブルを取り付ける必要があり、構造上の煩わしさがあった。

本発明は以上の課題を解決するためになされたものであり、簡易な構造で大電流を通電可能な積層プローブの提供を目的とする。

本発明に係る積層プローブは、金属薄板からなる互いに同じ形状の複数のプローブ部品と、積層保持部品とを備え、複数のプローブ部品は厚み方向に積層されて、積層用部品によって付与される密着力で固定され、隣接するプローブ部品の金属薄板面が接して電気的に接続されることを特徴とし、プローブ部品は、本体部と、当該本体部から延在し、被測定物に押圧されるコンタクト部とを備え、コンタクト部は被測定物に押圧される方向に弾性を有し、プローブ部品は、コンタクト部が弾性を有する方向に対して縦長であり、積層保持部品は、コンタクト部が弾性を有する方向に対して垂直な方向に複数のプローブ部品を積層して保持する。

本発明によれば、積層された複数のプローブ部品は、少なくとも本体部全面が密着して電気的に接続されるため、積層プローブのインピーダンスを低減させることが可能である。また、積層された各プローブ部品のコンタクト部の各々が被測定物からの押圧力に応じて変形するため、積層プローブは、被測定物の形状に沿って変形する。よって、積層プローブと被測定物は、多数の接点で接続されるため、接触抵抗を低減させることが可能であり、また、大電流を流すことが可能である。また、積層保持部品に外部接続用配線を接続すれば、簡易な構造で、外部に電流を引き出すことが可能である。

実施の形態１に係るプローブ部品の正面図である。実施の形態１に係る積層プローブの側面図である。実施の形態１に係る積層プローブの動作を説明する図である。実施の形態２に係る積層プローブの正面図と側面図である。実施の形態３に係る積層プローブの側面図と断面図である。実施の形態４に係る積層プローブの斜視図である。実施の形態５に係る積層プローブの側面図である。実施の形態６に係る積層プローブの斜視図である。実施の形態６に係る積層プローブの断面図である。

＜実施の形態１＞
＜構成＞
本実施の形態における積層プローブ１００は、図１に示す金属薄板からなるプローブ部品１を、図２の様に厚み方向に複数積層し、積層保持部品（即ち、積層用ねじ２）によって密着させた構造を持つ。

図１の様に、プローブ部品１は、本体部１１と、本体部１１から延在し被測定物に押圧されるコンタクト部１２とを備える。コンタクト部１２は、片持ち構造であり、本体部１１に比べて細いため、押圧方向、即ち被測定物に押し付けられる方向に弾性を有する。また、本体部１１とコンタクト部１２の厚みは等しいとする。

また、図１に示す様に、本体部１１には、電流引き出し穴１ａが設けられる。また、本体部１１には、さらに穴状の切欠き１ｂが２つ設けられる。なお、穴状の切欠き１ｂは、貫通穴であっても良い。また、穴状の切欠き１ｂの個数は１つ以上であれば良い。

プローブ部品１は、本体部１１の幅よりも、本体部１１の上端からコンタクト部１２の先端までの長さの方が大きい。つまり、図１の様に縦長の構造である。プローブ部品１を縦長の形状とすることで、被測定物のコンタクトエリアの周囲が狭い場合であっても、プロービングが可能である。

また、プローブ部品１は、例えば、金メッキを施したニッケルである。また、本体部１１とコンタクト部１２の厚みは等しく、例えば、１００μｍである。

図２を用いて、積層プローブ１００の構成を説明する。プローブ部品１は、厚み方向に積層される。積層数は、被測定物の大きさや形状に応じて調整可能であり、例えば、１０〜１００程度積層される。

積層された複数のプローブ部品１は、積層保持部品によって付与される密着力によって固定される。本実施の形態において、積層保持部品は、積層用ねじ２である。積層されたプローブ部品１の電流引き出し穴１ａに、積層用ねじ２が貫通し、積層用ねじ２は、例えば、ナット３で止められる。

積層用ねじ２でねじ止めされることにより、積層された複数のプローブ部品１は密着して、電気的に接続される。

また、積層されたプローブ部品１の穴状の切欠き１ｂには、棒状部材５が挿入される。棒状部材５を挿入することで、積層されたプローブ部品１の積層がずれることを防止することができる。

なお、積層用ねじ２および棒状部材５は、例えば、ステンレス鋼からなり、絶縁性の材料を用いる必要は無い。

＜動作＞
図３を用いて、本実施の形態における積層プローブ１００の動作を説明する。積層プローブ１００が被測定物７（例えば、半導体装置の電極）に押圧されると、各プローブ部品１のコンタクト部１２は、被測定物７から受ける押圧力により、押圧方向に変形する。よって、図３に示すように、各プローブ部品１のコンタクト部１２が個別に変形することにより、積層プローブ１００は、被測定物７の形状に沿った形状となる。

なお、積層プローブ１００を被測定物７に押圧する際に、各プローブ部品１にかかる押圧力は、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも大きいとする。

つまり、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも大きい押圧力で各プローブ部品１を被測定物７に押圧することにより、積層プローブ１００の形状を、被測定物７の形状に沿って変化させることができる。

次に、被測定物７に沿った形状に変形した積層プローブ１００を、被測定物７から離間させた場合のコンタクト部１２の形状変化について説明する。

コンタクト部１２の弾性力が、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも大きい場合、積層プローブ１００を被測定物７から離間させると、コンタクト部１２の弾性力により、積層プローブ１００の形状は、図２の様に、下端が一直線の状態に戻る。

一方、コンタクト部１２の弾性力が、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも小さい場合、積層プローブ１００を被測定物７から離間させても、コンタクト部１２は、変形した形状を維持する。この場合であっても、別の被測定物７に積層プローブ１００を押圧すれば、その被測定物７の形状に沿って、各プローブ部品１のコンタクト部１２の形状が変化するため、使用上の問題は無い。

なお、本実施の形態のプローブ部品１において、本体部１１の厚みよりも、コンタクト部１２の厚みを薄くしてもよい。この場合、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間において、摩擦力は生じない。よって、積層プローブ１００を被測定物７に押圧する際、各プローブ部品１にかかる押圧力は、各プローブ部品１のコンタクト部１２の弾性力よりも大きければよい。

また、プローブ部品１において、本体部１１の厚みよりも、コンタクト部１２の厚みが薄い場合、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間には摩擦力が生じないため、積層プローブ１００を被測定物７から離間させると、コンタクト部１２の変形は元に戻り、図２の状態となる。

なお、本実施の形態において、積層保持部品としての積層用ねじ２に、外部に電流を引き出すための外部接続用配線（図示せず）を接続すれば、簡易な構造で外部への電流引き出しが可能となる。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００は、金属薄板からなる複数のプローブ部品１と、積層保持部品とを備え、複数のプローブ部品１は厚み方向に積層されて、積層保持部品によって付与される密着力で固定され、隣接するプローブ部品１の金属薄板面が接して電気的に接続されることを特徴とし、プローブ部品１は、本体部１１と、本体部１１から延在し、被測定物に押圧されるコンタクト部１２とを備え、コンタクト部１２は弾性を有することを特徴とする。

従って、積層された複数のプローブ部品１は、少なくとも本体部１１全面が密着して電気的に接続されるため、積層プローブ１００のインピーダンスを低減させることが可能である。また、積層された各プローブ部品１のコンタクト部１２の各々が被測定物７からの押圧力に応じて変形するため、積層プローブ１００は、被測定物７の形状に沿って変形する。よって、積層プローブ１００と被測定物７は、多数の接点で接続されるため、接触抵抗を低減させることが可能であり、また、大電流を流すことが可能である。また、積層保持部品、即ち積層用ねじ２に外部接続用配線を接続すれば、簡易な構造で、外部に電流を引き出すことが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００は、ねじ止めのみで簡単に組み立て可能であり、組み立てにはんだ接合等を用いないため、製造の際の歩留まりが向上する。また、はんだの劣化等が無いため、長期使用が可能である。また、積層用ねじ２をはずすだけで、簡単に積層プローブ１００を分解することが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、本体部１１は、電流引き出し穴１ａを備え、積層保持部品は、電流引き出し穴１ａを貫通する積層用ねじ２を備える。

従って、積層用ねじ２によって、積層されたプローブ部品１をねじ止めして、密着力を付与することが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、コンタクト部１２の各々は、積層保持部品による密着力と、被測定物７への押圧力とに応じて個別に押圧方向に可動することを特徴とする。

従って、積層保持部品による密着力から生じる、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも、各プローブ部品１が受ける押圧力が大きければ、コンタクト部１２の各々は、個別に押圧方向に可動する。よって、積層プローブ１００を、被測定物７の形状に沿って変形させることが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００のプローブ部品１において、本体部１１の厚みとコンタクト部１２の厚みが等しいことを特徴とする。

従って、積層保持部品即ち積層用ねじ２によって、積層されたプローブ部品１に密着力が付加されると、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２間には、静止摩擦力が生じる。よって、この静止摩擦力よりも、プローブ部品１が押圧される力が大きければ、コンタクト部１２の各々は、個別に押圧方向に変形するため、積層プローブ１００を被測定物７の形状に沿って変形させることが可能となる。

また、本実施の形態における積層プローブ１００は、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２の間の静止摩擦力よりも、プローブ部品１が被測定物７に押圧される力が大きいことを特徴とする。

従って、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２の間の静止摩擦力よりも、大きい力でプローブ部品１を被測定物７に押圧することで、コンタクト部１２が押圧力に応じて変形し、積層プローブ１００を被測定物７の形状に沿って変形させることが可能となる。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、プローブ部品１のコンタクト部１２の弾性力は、当該プローブ部品１のコンタクト部１２と、当該プローブ部品１に隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２の間の静止摩擦力よりも大きいことを特徴とする。

従って、積層プローブ１００が被測定物７の形状に沿って変形した状態において、積層プローブ１００を被測定物７から離間させると、各プローブ部品１のコンタクト部１２は、自己の弾性力によってもとの形状に戻るため、積層プローブ１００の下端は一直線の状態に戻る。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、プローブ部品１のコンタクト部１２の弾性力は、当該プローブ部品１のコンタクト部１２と、当該プローブ部品１に隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２の間の静止摩擦力よりも小さいことを特徴とする。

従って、積層プローブ１００が被測定物７の形状に沿って変形した状態において、積層プローブ１００を被測定物７から離間させると、コンタクト部１２は、隣接するコンタクト部１２との静止摩擦力によって、変形した形状を保つ。そして、再び別の被測定物７に押圧されると、積層プローブ１００は、その被測定物７の形状に沿って変形する。よって、コンタクト部１２の弾性力が、隣接するコンタクト部１２間の静止摩擦力よりも大きい場合であっても、積層プローブ１００を被測定物７の形状に沿って変形させることが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００のプローブ部品１において、本体部１１の厚みよりも、コンタクト部１２の厚みが薄いことを特徴とする。

従って、隣接するプローブ部品１のコンタクト部１２の間には隙間ができるため、コンタクト部１２の間で摩擦が生じない。よって、積層プローブ１００を被測定物７に押圧する際に、各プローブ部品１が、コンタクト部１２の弾性力よりも大きい力で押圧されれば、コンタクト部１２の各々は、個別に押圧方向に変形するため、積層プローブ１００の形状を被測定物７に沿って変形させることが可能となる。

また、本実施の形態における積層プローブ１００は、積層保持部品即ち積層用ねじ２に接続された外部接続用配線（図示せず）をさらに備える。

従って、積層されたプローブ部品１に密着力を付与する積層用ねじ２に、外部に電流を引き出すための外部接続用配線を接続することで、簡易な構造で、外部への電流引き出しが可能となる。

本実施の形態における積層プローブ１００において、プローブ部品１の本体部１１は、穴状の切欠き１ｂ又は貫通穴をさらに備え、積層プローブ１００は、穴状の切り欠き１ｂ又は貫通穴に貫通した棒状部材５をさらに備える。

従って、積層用ねじ２を電流引き出し穴１ａに貫通させて、各プローブ部品１をねじ止めにより密着させることに加えて、プローブ部品１にさらに設けられた穴状の切欠き１ｂ又は貫通穴に、棒状部材５を貫通させることによって、プローブ部品１の積層がずれることを防止することが可能である。また、穴状の切欠き１ｂ又は貫通穴を複数設けて、それぞれに棒状部材５を貫通させることで、積層のずれをより確実に防止することが可能となる。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、プローブ部品１は、本体部１１の幅よりも、本体部１１上端からコンタクト部１２先端までの長さのほうが大きいことを特徴とする。

従って、プローブ部品１は縦長の形状である。よって、プローブ部品１を積層した積層プローブ１００も縦長の形状となるため、被測定物７の周囲の空間が限られている場合であっても、プロービングが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００において、プローブ部品１は、金メッキを施したニッケルであることを特徴とする。

従って、金メッキを施すことにより、接触抵抗を低減させることが可能である。また、プローブ部品１の腐食を防止することが可能である。

＜実施の形態２＞
＜構成＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ａの平面図と側面図をそれぞれ図４（ａ）、図４（ｂ）に示す。

本実施の形態におけるプローブ部品１の構造は、実施の形態１（図１）と同じであるため、説明を省略する。

実施の形態１において、積層プローブ１００は、積層保持部品として積層用ねじ２を備えた。本実施の形態における積層プローブ１００Ａは、積層保持部品として、さらに金属プレート４を備える。

図４（ａ）に示す様に、金属プレート４には、プローブ部品１の本体部１１上部の形状に合わせて凹部４ｂが設けられる。また、凹部４ｂには、プローブ部品１の本体部１１に設けられた電流引き出し穴１ａに対応する位置に、貫通穴が設けられる。

本実施の形態では、上述した金属プレート４を介して、積層用ねじ２で、積層した複数のプローブ部品１をねじ止めして密着させる。

つまり、積層用ねじ２は、金属プレート４の凹部４ｂの貫通穴を貫通し、さらに、積層したプローブ部品１の電流引き出し穴１ａを貫通して、ナット３によりねじ止めされる。

また、金属プレート４に、さらに外部接続用穴４ａを設ければ、積層プローブ１００Ａから電流を引き出すための外部接続用配線（図示せず）を接続し易くなり、利便性が向上する。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ａにおいて、積層保持部品は、積層用ねじ２がねじ止めされる金属プレート４をさらに備える。

従って、プローブ部品１に金属プレート４をねじ止めして密着させ、金属プレート４に外部接続用穴４ａを設けて、外部接続用配線（図示せず）を接続すれば、積層プローブ１００の自己インダクタンスの影響を抑制して、プローブ部品１に流れる電流を安定して外部に引き出すことが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００Ａにおいて、金属プレート４には、プローブ部品１の形状に応じた凹部４ｂが設けられることを特徴とする。

従って、金属プレート４に凹部４ｂを設けることで、積層されたプローブ部品１と金属プレート４が接触する面積が大きくなり、密着性が向上する。

また、本実施の形態における積層プローブ１００Ａに備わる金属プレート４は、外部接続用穴４ａをさらに備える。

従って、外部に電流を引き出すための外部接続用配線を積層プローブ１００Ａに接続する場合には、外部接続用配線を、ねじ止め等で外部接続用穴４ａに接続すれば良いため、利便性が向上する。

＜実施の形態３＞
＜構成＞
図５（ａ）に、本実施の形態における積層プローブ１００Ｂの側面図を示す。また、図５（ｂ）に、図５(ａ）の線分Ａ−Ａ’における断面図を示す。

本実施の形態における積層プローブ１００Ｂは、実施の形態１（図２）における積層プローブ１００に対して、積層プローブ１００の外側を囲む樹脂ブロック６をさらに備える。樹脂ブロック６以外の構造は、実施の形態１（図２）と同じであるため、説明を省略する。

樹脂ブロック６は、第１樹脂ブロック６１と、第２樹脂ブロック６２から構成される。第１樹脂ブロック６１の外径と、第２樹脂ブロック６２の内径は等しいとする。

第１樹脂ブロック６１は分割線６１ａにおいて、２つに分割される。それぞれの第１樹脂ブロック６１の内側には、積層されたプローブ部品１の穴状の切欠き１ｂに貫通して突出する棒状部材５の形状に合わせて凹部が形成されている。

第１樹脂ブロック６１の各々は、棒状部材５の両側から装着される。さらに、第１樹脂ブロック６１の脱落を防ぐために、第１樹脂ブロック６１の外側には、第２樹脂ブロック６２が装着される。つまり、第１樹脂ブロック６１の外側に、第２樹脂ブロック６２を嵌合させる。

なお、第２樹脂ブロック６２には、実施の形態６にて後述する受け台との接続のために、貫通穴６２ａが設けられている。

第１樹脂ブロック６１と第２樹脂ブロック６２の嵌合の綿密さを調整することで、樹脂ブロック６が、積層されたプローブ部品１に与える密着力を調整することが可能である。

樹脂ブロック６を積層されたプローブ部品１から取り外す際は、組み立て工程とは逆に、第２樹脂ブロック６２を第１樹脂ブロック６１から取り外した後、第１樹脂ブロック６１を分割線６１ａにて分離する。

なお、本実施の形態の積層プローブ１００Ｂが、実施の形態２で述べた金属プレート４をさらに備える構成としても良い。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ｂは、複数のプローブ部品１を囲んで保持する樹脂ブロック６をさらに備える。

従って、第１樹脂ブロック６１と第２樹脂ブロック６２からなる樹脂ブロック６によって、積層されたプローブ部品１を囲むことによって、積層プローブ１００Ｂの周囲との絶縁性を高めることが可能である。

また、本実施の形態における積層プローブ１００Ｂにおいて、樹脂ブロック６および積層保持部品、即ち積層用ねじ２により、プローブ部品１に密着力が付与されることを特徴とする。

従って、樹脂ブロック６および積層保持部品の両方において、密着力を調整することができるため、利便性が向上する。

また、本実施の形態における積層プローブ１００Ｂにおいて、樹脂ブロック６は着脱自在であることを特徴とする。

従って、樹脂ブロック６が着脱自在であるため、プローブ部品１を容易に交換可能となり、利便性が向上する。

＜実施の形態４＞
＜構成＞
図６（ａ）に、本実施の形態における積層プローブ１００Ｃの斜視図を示す。本実施の形態における積層プローブ１００Ｃは、実施の形態３における積層プローブ１００Ｂを２つ備え、これらは向かい合わせに配置される（図６（ｂ）参照）。

樹脂ブロック６は、２つの積層プローブ１００Ｂを向かい合わせて保持する形状とする。樹脂ブロック６のその他の構成は実施の形態３（図５（ａ），図５（ｂ））と同じであるため、説明を省略する。

また、金属プレート４は、それぞれの積層プローブ１００Ｂと、積層用ねじ２によってねじ止めされている。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ｃにおいて、樹脂ブロック６は、２つの積層プローブ１００Ｂを向かい合わせに保持することを特徴とする。

従って、２つの積層プローブ１００Ｂを向かい合わせに保持する構造とすることにより、被測定物７のコンタクトエリアが狭い場合であっても、実施の形態１〜３と比較して、被測定物に対してより多くのプローブ部品１を接触させることが可能となる。よって、被測定物７により大きな電流を流して電気的特性試験を行うことが可能となる。

＜実施の形態５＞
＜構成＞
図７に、本実施の形態における積層プローブ１００Ｄの側面図を示す。本実施の形態における積層プローブ１００Ｅは、実施の形態１における積層プローブ１００（図２）に対して、積層されたプローブ部品１間に挟持される絶縁性ブロック８をさらに備える。

本実施の形態における積層プローブ１００Ｄは、実施の形態１の積層プローブ１００において積層されたプローブ部品１の一部を、絶縁性ブロック８に置き換えた構造である。

絶縁性ブロック８には、プローブ部品１と同様に、電流引き出し穴１ａと穴状の切欠き１ｂが設けられている。

図７に示す様に、プローブ部品１と絶縁性ブロック８を組み合わせて積層することにより、幅広い形状の被測定物に対して積層プローブ１００Ｄを適用することが可能となる。

なお、絶縁性ブロック８以外の構成は、実施の形態１（図２）と同じであるため、説明を省略する。

なお、本実施の形態における積層プローブ１００Ｄは、実施の形態２（図４（ａ），図４（ｂ））の様に、金属プレート４をさらに備える構成としてもよい。また、実施の形態３（図５（ａ），図５（ｂ））の様に、樹脂ブロック６をさらに備える構成としてもよい。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ｄは、プローブ部品１間に挟持される絶縁性ブロック８をさらに備える。

従って、プローブ部品１間の任意の場所に絶縁性ブロック８を挟むことによって、被測定物７の表面部分に対して選択的にプロービングを行うことが可能となるため、被測定物７の形状や、被測定物７の電極の配置などに幅広く対応することが可能となる。

＜実施の形態６＞
＜構成＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ｅの斜視図と断面図を、図８、図９にそれぞれ示す。本実施の形態における積層プローブ１００Ｅは、実施の形態４における積層プローブ１００Ｃを、受け台１０に接続したものである。

本実施の形態における積層プローブ１００Ｅにおいて、積層プローブ１００Ｃは、受け台１０に対して着脱可能である。例えば、図９に示すように、受け台１０には、めねじが形成されており、受け台用ねじ９を、積層プローブ１００Ｃの樹脂ブロック６に設けられた貫通穴６２ａを貫通させて、受け台１０のめねじに止めることで、積層プローブ１００Ｃを受け台１０に接続することが可能である。

また、受け台１０の、積層プローブ１００Ｃを接続する部分にはスリットがもうけられており、積層プローブ１００Ｃを受け台１０にねじ止めすると、積層プローブ１００Ｃに備わる金属プレート４は、スリットを貫通して、受け台１０の裏面に突き出る。突き出た金属プレート４の外部接続用穴４ａには外部接続用配線（図示せず）が接続される。

上述のようにして、受け台１０に積層プローブ１００Ｃが接続される。受け台１０に積層プローブ１００Ｃを複数配置することで、より複雑な配置、形状の被測定物７に対応することが可能となる。

なお、受け台１０には、積層プローブ１００Ｃの代わりに、実施の形態３の積層プローブ１００Ｂを接続してもよい。また、樹脂ブロック６と金属プレート４を備える積層プローブであれば、他の実施の形態の積層プローブでもよい。

＜効果＞
本実施の形態における積層プローブ１００Ｅは、積層プローブ１００Ｃを着脱可能な受け台１０をさらに備える。

従って、受け台１０に複数の積層プローブ１００Ｃを配置すれば、複数の積層プローブ１００Ｃ間の位置関係を固定することが可能となるため、複数の被測定物７に対して、一括してプロービングが可能となる。また、受け台１０は、積層プローブ１００Ｃを着脱可能であるため、簡単に積層プローブ１００Ｃの配置を変更することが可能であり、利便性が向上する。

また、本実施の形態における積層プローブ１００Ｅにおいて、積層プローブ１００Ｃと受け台１０との接続は、ねじ止めにより行われることを特徴とする。

従って、ねじ止めにより積層プローブ１００Ｃを受け台１０に接続する構成とすることで、受け台１０と積層プローブ１００Ｃを着脱可能となるため、利便性が向上する。

なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

１プローブ部品、１ａ電流引き出し穴、１ｂ穴状の切欠き、２積層用ねじ、３ナット、４金属プレート、４ａ外部接続用穴、４ｂ凹部、５棒状部材、６樹脂ブロック、７被測定物、８絶縁性ブロック、９受け台用ねじ、１０受け台、１１本体部、１２コンタクト部、６１第１樹脂ブロック、６１ａ分割線、６２第２樹脂ブロック、６２ａ貫通穴、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ積層プローブ。

Claims

金属薄板からなる互いに同じ形状の複数のプローブ部品と、
積層保持部品と、
を備え、
前記複数のプローブ部品は厚み方向に積層されて、前記積層保持部品によって付与される密着力で固定され、隣接する前記プローブ部品の金属薄板面が接して電気的に接続されることを特徴とし、
前記プローブ部品は、
本体部と、
前記本体部から延在し、被測定物に押圧されるコンタクト部と、
を備え、
前記コンタクト部は前記被測定物に押圧される方向に弾性を有し、
前記プローブ部品は、前記コンタクト部が弾性を有する方向に対して縦長であり、
前記積層保持部品は、前記コンタクト部が弾性を有する方向に対して垂直な方向に前記複数のプローブ部品を積層して保持する、
積層プローブ。
前記本体部は、電流引き出し穴を備え、
前記積層保持部品は、前記電流引き出し穴を貫通する積層用ねじを備える、
請求項１に記載の積層プローブ。
前記積層保持部品は、前記積層用ねじがねじ止めされる金属プレートをさらに備える、
請求項２に記載の積層プローブ。
前記コンタクト部の各々は、前記密着力と前記被測定物への押圧力とに応じて個別に押圧方向に可動することを特徴とする、
請求項１〜３のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品において、前記本体部の厚みよりも、前記コンタクト部の厚みが薄いことを特徴とする、
請求項１〜４のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品において、前記本体部の厚みと前記コンタクト部の厚みが等しいことを特徴とする、
請求項１〜４のいずれかに記載の積層プローブ。
隣接する前記プローブ部品の前記コンタクト部の間の静止摩擦力よりも、前記プローブ部品が前記被測定物に押圧される力が大きいことを特徴とする、
請求項１〜６のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品の前記コンタクト部の弾性力は、当該プローブ部品の前記コンタクト部と、当該プローブ部品に隣接する前記プローブ部品の前記コンタクト部の間の静止摩擦力よりも大きいことを特徴とする、
請求項１〜７のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品の前記コンタクト部の弾性力は、当該プローブ部品の前記コンタクト部と、当該プローブ部品に隣接する前記プローブ部品の前記コンタクト部の間の静止摩擦力よりも小さいことを特徴とする、
請求項１〜７のいずれかに記載の積層プローブ。
前記複数のプローブ部品を囲んで保持する樹脂ブロックをさらに備える、
請求項１〜９のいずれかに記載の積層プローブ。
前記樹脂ブロックおよび前記積層保持部品により、前記プローブ部品に前記密着力が付与されることを特徴とする、
請求項１０に記載の積層プローブ。
前記積層保持部品に接続された外部接続用配線をさらに備える、
請求項１〜１１のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品の前記本体部は、穴状の切欠き又は貫通穴をさらに備え、
前記積層プローブは、前記穴状の切り欠き又は貫通穴に貫通した棒状部材をさらに備える、
請求項１〜１２のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品は、前記本体部の幅よりも、前記本体部上端から前記コンタクト部先端までの長さのほうが大きいことを特徴とする、
請求項１〜１３のいずれかに記載の積層プローブ。
前記樹脂ブロックは、２つの前記積層プローブを向かい合わせに保持することを特徴とする、
請求項１０または１１に記載の積層プローブ。
前記樹脂ブロックは着脱自在であることを特徴とする、
請求項１０、１１、１５のいずれかに記載の積層プローブ。
前記プローブ部品間に挟持される絶縁性ブロックをさらに備える、
請求項１〜１６のいずれかに記載の積層プローブ。
前記金属プレートには、前記プローブ部品の形状に応じた凹部が設けられることを特徴とする、
請求項３に記載の積層プローブ。
前記金属プレートは、外部接続用穴をさらに備える、
請求項３または１８に記載の積層プローブ。
前記積層プローブを着脱可能な受け台をさらに備える、
請求項１〜１９のいずれかに記載の積層プローブ。
前記積層プローブと前記受け台との接続は、ねじ止めにより行われることを特徴とする、
請求項２０に記載の積層プローブ。
前記プローブ部品は、金メッキを施したニッケルであることを特徴とする、
請求項１〜２１のいずれかに記載の積層プローブ。
前記コンタクト部は片持ち構造である、
請求項１〜２２のいずれかに記載の積層プローブ。