JPH11183520A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来より寸法や配列ピッチがより微細な検査
対象に対してもプローブの接触による検査が可能なプロ
ーブ装置の提供。 【解決手段】 プローブ装置は、互いに絶縁状態で重ね
合わされる一対のブレード形プローブ１ａ，１ｂと、こ
れらの一対のブレード形プローブ１ａ，１ｂを保持する
保持部材２とを備えている。また、このプローブ装置
は、上記保持部材２を、検査基板上の検査パッドに向か
って一定圧力で押圧するための押圧手段３を備えてい
る。両プローブ１ａ，１ｂは、各々の薄刃状ブレード部
１０ａ，１０ｂの前下方に、検査パッドに接触させるた
めの尖端部１２ａ，１２ｂを有している。各ブレード形
プローブ１ａ，１ｂの尖端部１２ａ，１２ｂは、個々の
プローブ装置全体の中で最も前方へ突出している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ベアボードや実装
基板における抵抗値計測等の検査に使用するプローブ装
置に係り、とりわけ、検査パッド（検査対象）の大きさ
や配置間隔が微細な場合の検査に適したプローブ装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ベアボードや実装基板における抵
抗値計測等の検査に使用するプローブ装置としては、図
７又は図８に示すような、全体として横断面形状が円形
のプローブを用いるものが一般的である。このうち図７
に示すプローブ装置は、円錐形状の先端部７４を有する
一対のコンタクトプローブ７２からなるプローブ部７０
を備え、その各コンタクトプローブ７２の先端部７４を
検査基板Ｂ上の検査パッド（端子）Ｐに接触させて検査
を行うものである。

【０００３】また、図８に示すプローブ装置は、円錐形
状の先端部８４を有する中心プローブ８２と、この中心
プローブ８２を囲む略円筒形状の外側プローブ８６とか
らなるプローブ部８０を備え、中心プローブ８２の先端
部８４と外側プローブ８６の先端部周縁８８とをそれぞ
れ検査基板Ｂ上の検査パッド（端子）Ｐに押圧接触させ
て検査を行うものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
プローブ装置には、以下のような問題点がある。すなわ
ち、近年のダウンサイジングのニーズに対応して検査パ
ッドＰの寸法や配列のピッチの微細化が進められてい
る。しかしながら、図７又は図８に示すような従来のプ
ローブ装置では、検査可能な検査パッドＰの寸法や配列
ピッチの大きさに限度があり、そのような微細化に対応
することが困難である。

【０００５】特に、いわゆる４端子測定（ケルビン測
定）を行う場合は、図７又は図８に示すプローブ部７
０，８０を備えた装置をそれぞれ一組づつ用いる必要が
あるが、そのような場合、微細なピッチで配列された４
端子に対応するように各プローブ７２，７２、８２，８
６の先端部７４，７４、８４，８８同士を接近させるこ
とが困難である。

【０００６】本発明は、このような点を考慮してなされ
たものであり、従来のプローブ装置に比べて、寸法や配
列ピッチがより微細な検査対象に対してもプローブの接
触による検査が可能なプローブ装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】第１の手段は、互いに絶
縁状態で重ね合わされた一対のブレード形プローブと、
これらの一対のブレード形プローブを保持する保持部材
と、この保持部材を、検査対象に向かって一定圧力で押
圧するための押圧手段とを備え、前記一対のブレード形
プローブは各々、検査対象に接触させるための尖端部を
有することを特徴とするプローブ装置である。

【０００８】この第１の手段によれば、押圧手段によっ
て保持部材を検査対象に向かって押圧することにより、
保持部材に保持された一対のブレード形プローブの尖端
部がそれぞれ検査対象に一定圧力で押圧された状態で検
査を行うことができる。そして、検査対象に接触させる
部分が、互いに重ね合わされた一対のブレード形プロー
ブの尖端部であるため、横断面形状が略円形のプローブ
の組を用いるプローブ装置に比べ、検査対象に接触させ
るプローブの尖端部同士をより近接させることが可能と
なる。

【０００９】第２の手段は、第１の手段において、前記
一対のブレード形プローブの一方は、前記保持部材に対
して固定され、前記一対のブレード形プローブの他方
は、前記保持部材に対して、前記押圧手段の押圧方向に
沿って摺動自在に取付けられ、前記保持部材は、前記他
方のブレード形プローブを前記押圧手段の押圧方向へ付
勢する付勢手段を有するとともに、前記他方のブレード
形プローブの尖端部は、検査対象に接触していない状態
で、前記一方のブレード形プローブの尖端部よりも、前
記押圧手段の押圧方向へ突出しているものである。

【００１０】第３の手段は、第１の手段において、前記
一対のブレード形プローブは各々、前記保持部材に対し
て、前記押圧手段の押圧方向に沿って摺動自在に取付け
られ、前記保持部材は、前記一対のブレード形プローブ
を各々前記押圧手段の押圧方向へ付勢する付勢手段を有
するものである。

【００１１】第４の手段は、第１の手段において、前記
各ブレード形プローブは、その尖端部がほぼ前記押圧手
段の押圧方向に沿って揺動自在となるよう、前記保持部
材に対して取付られるとともに、前記保持部材は、前記
各ブレード形プローブの尖端部の揺動を前記押圧手段の
押圧方向へ付勢する付勢手段を有するものである。

【００１２】第５の手段は、互いに絶縁状態で並設され
た一対の板ばね形プローブと、これらの一対の板ばね形
プローブを保持する保持部材と、この保持部材を、検査
対象に向かって一定圧力で押圧するための押圧手段とを
備え、前記一対の板ばね形プローブは各々、検査対象に
接触させるための尖端部を有するとともに、前記押圧手
段の押圧方向に弾性変形可能であることを特徴とするプ
ローブ装置である。

【００１３】この第５の手段によれば、押圧手段によっ
て保持部材を検査対象に向かって押圧することにより、
保持部材に保持された一対の板ばね形プローブの尖端部
がそれぞれ検査対象に一定圧力で押圧された状態で検査
を行うことができる。そして、検査対象に接触させる部
分が、互いに並設された一対の板ばね形プローブの尖端
部であるため、横断面形状が略円形のプローブの組を用
いるプローブ装置に比べ、検査対象に接触させるプロー
ブの尖端部同士をより近接させることが可能となる。

【００１４】第６の手段は、第１乃至第５の手段のいず
れかにおいて、前記各プローブの尖端部は、プローブ装
置全体の中で最も前方へ突出しているものである。

【００１５】この第６の手段によれば、第１乃至第５の
手段のいずれかにおいて、一対のプローブ装置の前方側
同士を向かい合わせた状態で、両装置の向かい合うプロ
ーブの尖端部同士をぎりぎりまで近接させることが可能
となる。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図６は本発明によ
るプローブ装置の実施の形態を示す図である。

【００１７】［第１の実施形態］まず、図１乃至図３に
より本発明の第１の実施形態について説明する。図１に
おいて、プローブ装置は、互いに絶縁状態で重ね合わさ
れる一対のブレード形プローブ１ａ，１ｂと、これらの
一対のブレード形プローブ１ａ，１ｂを保持する保持部
材２とを備えている。また、図３に示すように、このプ
ローブ装置は、上記保持部材２を、検査基板Ｂ上の検査
パッド（検査対象）Ｐに向かって一定圧力で押圧するた
めの押圧手段（押圧機構付き本体）３を備えている。な
お、図１（ｂ）に符号２９で示すのは、保持部材２を図
３に示す押圧手段３に対してボルト等で取り付けるため
の取付孔である。

【００１８】ここで、図３には、本発明によるプローブ
装置を一対、互いに前方側同士を向かい合わせ、各一対
のプローブ１ａ，１ｂによって検査対象の４端子検査を
行う状態が示されている。また、このプローブ装置は、
検査基板Ｂに沿うＸ- Ｙ平面上において、押圧手段３ご
と一対のプローブ１ａ，１ｂをＸ方向及びＹ方向に自由
に移動させて、任意の位置にある検査パッドＰの検査を
行うことができるように構成されている。

【００１９】次に、図１（ｂ）に示すように、上記一対
のブレード形プローブの一方（固定プローブ）１ａは、
上記保持部材２に対して固定され、他方（可動プロー
ブ）１ｂは、保持部材２に対して、（押圧手段３の押圧
方向に沿って）上下方向に摺動自在に取付けられてい
る。具体的には、固定プローブ１ａは、保持部材２内に
一対のねじ２０，２０及びピン２１によって固定された
ホルダ部１６ａと、このホルダ部１６ａの下部内側に固
着された薄刃状のブレード部１０ａとからなり、可動プ
ローブ１ｂは、保持部材２内に摺動自在に収納されたホ
ルダ部１６ｂと、このホルダ部１６ｂの下部内側に固着
された薄刃状のブレード部１０ｂとからなっている。

【００２０】また、両ブレード形プローブ１ａ，１ｂ
は、その全体が電導体で作られ、各々のホルダ部１６
ａ，１６ｂの上端部に導線取付孔２２が形成されてい
る。そして、これらの導線取付孔２２には各々、図３に
示すように、検査装置に連結される導線Ｌが取付けられ
るようになっている。

【００２１】また、図１（ｂ）に示すように、固定プロ
ーブ１ａと可動プローブ１ｂとは、各々のホルダ部１６
ａ，１６ｂ同士の間に介設された絶縁板５によって、互
いに絶縁状態で重ね合わされている。この絶縁板５は、
固定プローブ１ａのホルダ部１６ａとともに、一対のね
じ２０，２０及びピン２１によって保持部材２に対して
固定されている。なお、固定プローブ１ａと可動プロー
ブ１ｂの各ブレード部１０ａ，１０ｂ同士は、僅かな間
隙を置いて重ね合わされている（図２参照）。

【００２２】次に、図１（ａ）に示すように、保持部材
２には、可動プローブ１ｂを下方（押圧手段３の押圧方
向）へ付勢するコイルばね（付勢手段）４が設けられて
いる。このコイルばね４は、可動プローブ１ｂのホルダ
部１６ｂに螺合したばね受けねじ２３と、保持部材２に
螺合した付勢力調節ねじ２４との間に介設されている。
また、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、可動プ
ローブ１ｂのホルダ部１６ｂに厚さ方向の貫通孔２５が
形成されるとともに、保持部材２に対して固定されたピ
ン２６が、この貫通孔２５内に延びて、可動プローブ１
ｂの摺動範囲を規制している。

【００２３】次に、固定プローブ１ａと可動プローブ１
ｂとは、各々のブレード部１０ａ，１０ｂの前下方部分
に、検査パッドＰに接触させるための尖端部１２ａ，１
２ｂを有している。具体的には、図１において、各ブレ
ード形プローブ１ａ，１ｂのブレード部１０ａ，１０ｂ
は、その前部及び下部がブレード部１０ａ，１０ｂ同士
の内側へ向かってテーパ状に削ぎ取られ、図１（ａ）に
示すように、極めて薄い前縁部１３及び下縁部１４が形
成されている。また、各ブレード部１０ａ，１０ｂの前
縁部１３は垂直方向に対して僅かに後傾した直線をな
し、下縁部１４は水平方向に対して前傾した直線をなし
ている。そして、これらの前縁部１３と下縁部１４とが
交わる位置に、尖端部１２ａ，１２ｂが形成されてい
る。

【００２４】ここで、図２に示すように、可動プローブ
１ａの尖端部１０ａは、検査対象に接触していない状態
で、固定プローブ１ｂの尖端部１０ｂよりも、押圧手段
３の押圧方向へ微小長さｓだけ突出している。

【００２５】また、図３に示すように、各ブレード形プ
ローブ１ａ，１ｂの尖端部１２ａ，１２ｂは、保持部材
２の前面側２ａよりも前方へ、すなわち個々のプローブ
装置全体の中で最も前方へ突出している。

【００２６】なお、図１（ｂ）に示すように、可動プロ
ーブ１ｂのホルダ部１６ｂと保持部材２との間に、適当
な厚さの隙間調節板２７が介設されており、この隙間調
節板２７によって主に可動プローブ１ｂの保持部材２に
対するガタを無くすようにしている。また、可動プロー
ブ１ｂの多数回の摺動による磨耗で、可動プローブ１ｂ
と保持部材２との間でガタが生じた場合は、一対の隙間
調節ねじ２８によって隙間調節板２７を可動プローブ１
ｂ側へ移動させることにより、そのようなガタを無くす
ことができるように構成されている。

【００２７】ここで、以上のような構成よりなるプロー
ブ装置の動作について説明する。このプローブ装置によ
って検査基板Ｂ上の検査パッドＰの検査を行う場合、押
圧手段３ごと保持部材２を水平方向に移動させて、各ブ
レード形プローブ１ａ，１ｂの尖端部１２ａ，１２ｂを
検査パッドＰ上の所定位置の上方に位置決めする。次
に、押圧手段３によって、保持部材２を下方の検査パッ
ドＰに向かって一定圧力で押圧する。

【００２８】その際、まず始めに可動プローブ１ｂの尖
端部１２ｂが検査パッドＰの所定位置に当接する。そし
て、可動プローブ１ｂが、次第に保持部材２に対して
（コイルばね４の弾性力に抗して）上方へ摺動し、次に
固定プローブ１ａの尖端部１２ａが検査パッドＰの所定
位置に当接する。そして、両ブレード形プローブ１ａ，
１ｂの尖端部１２ａ，１２ｂが検査パッドＰの所定位置
に対して一定圧力で押圧された状態で、抵抗値計測等の
所定の検査が行われる。

【００２９】次に、このような構成よりなる本実施形態
の作用効果について説明する。本実施形態によれば、互
いに僅かな間隙を置いて重ね合わされた薄板状ブレード
部１０ａ，１０ｂの尖端部１２ａ，１２ｂを検査パッド
（検査対象）Ｐに当接させて検査を行うように構成され
たブレード形プローブを備えているので、横断面形状が
略円形のプローブの組を用いる従来のプローブ装置に比
べ、検査パッドＰに接触させるプローブの尖端部１２
ａ，１２ｂ同士をより近接させることが可能となる。こ
のため、従来のプローブ装置に比べて、寸法や配列ピッ
チがより微細な検査対象に対してもプローブの尖端部の
接触による検査が可能となる。

【００３０】また、各ブレード形プローブ１ａ，１ｂの
尖端部１２ａ，１２ｂは、個々のプローブ装置全体の中
で最も前方へ突出しているので、図３に示すように、一
対のプローブ装置の前方側同士を向かい合わせた状態
で、両装置の向かい合ったブレード形プローブ１ａ，１
ｂの尖端部１２ａ，１２ｂ同士をぎりぎりまで近接させ
ることが可能となる。このため、一対のプローブ装置を
用いて、微細なピッチで配列された４端子を有する検査
パッドＰにおける、いわゆる４端子測定を容易に行うこ
とができる。

【００３１】［第２の実施形態］次に、図４により本発
明の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、
図４に示すように、一対のブレード形プローブ３０ａ，
３０ｂが両方とも、保持部材２Ａに対して、（押圧手段
３の押圧方向に沿って）上下方向に摺動自在に取付けら
れている点で上記第１の実施形態と異なり、その他の構
成は図１及び図３に示す上記第１の実施形態と略同様で
ある。

【００３２】具体的には、図４に示すように、一対のブ
レード形プローブ３０ａ，３０ｂは各々、保持部材２Ａ
内に摺動自在に収納された薄板状の摺動部３６ａ，３６
ｂと、この摺動部３６ａ，３６ｂの下端部から略前下方
へ延びる薄刃状のブレード部３１ａ，３１ｂとからなっ
ている。そして、これらの一対のブレード形プローブ３
０ａ，３０ｂは、両者間に介設された薄い絶縁板５Ａに
よって、互いに絶縁状態で重ね合わされている。また、
各ブレード形プローブ３０ａ，３０ｂは、そのブレード
部３１ａ，３１ｂの前下方部分に、検査パッドＰに接触
させるための尖端部３２ａ，３２ｂを有している。ま
た、保持部材２Ａは、一対のブレード形プローブ３０
ａ，３０ｂを各々上記押圧手段３の押圧方向へ付勢する
一対のコイルばね（付勢手段）４Ａ，４Ａを有してい
る。このうち、一方のブレード形プローブ３０ａに対応
するコイルばね４Ａに対応して、付勢力調節ねじ３３が
設けられている。

【００３３】また、各ブレード形プローブ３０ａ，３０
ｂの摺動部３６ａ，３６ｂに厚さ方向の貫通孔３５が形
成されるとともに、保持部材２Ａに対して固定されたピ
ン３７が、この貫通孔３５内に延びて、各プローブ３０
ａ，３０ｂの摺動範囲を規制している。

【００３４】さらに、各ブレード形プローブ３０ａ，３
０ｂの摺動部３６ａ，３６ｂに、保持部材２Ａを遊貫し
て後方へ延びる端子棒３４，３４がそれぞれ取付けら
れ、これらの端子棒３４，３４の先端部に、検査装置に
連結される導線（図示せず）が取付けられるようになっ
ている。なお、図４に符号３９で示すのは、保持部材２
Ａを図３に示す押圧手段３に対してボルト等で取り付け
るための取付孔である。

【００３５】このプローブ装置によって、図３に示すよ
うな検査基板Ｂ上の検査パッドＰの検査を行う際は、上
記第１の実施形態の場合と同様、各ブレード形プローブ
３０ａ，３０ｂの尖端部３２ａ，３２ｂを検査パッドＰ
上の所定位置の上方に位置決めし、押圧手段３によっ
て、保持部材２Ａを下方の検査パッドＰに向かって一定
圧力で押圧する。

【００３６】その際、一対のブレード形プローブ３０
ａ，３０ｂの尖端部３２ａ，３２ｂが検査パッドＰの所
定位置にほぼ同時に当接する。そして、一対のブレード
形プローブ３０ａ，３０ｂが、それぞれ保持部材２Ａに
対して（各コイルばね４Ａの弾性力に抗して）上方へ摺
動し、両ブレード形プローブ３０ａ，３０ｂの尖端部３
２ａ，３２ｂが検査パッドＰの所定位置に対して一定圧
力で押圧された状態で、抵抗値計測等の所定の検査が行
われる。

【００３７】そして、このような構成よりなる本実施形
態によっても、上記第１の実施形態と同様の作用効果を
奏することができる。

【００３８】［第３の実施形態］次に、図５により本発
明の第３の実施形態について説明する。本実施形態は、
図５に示すように、各ブレード形プローブ４０ａ，４０
ｂが、保持部材２Ｂに対して、その尖端部４２ａ，４２
ｂが（ほぼ押圧手段３の押圧方向に沿って）上下方向に
揺動自在となるように取付けられている点で上記第２の
実施形態と異なり、その他の構成は図４に示す上記第２
の実施形態と略同様である。

【００３９】具体的には、図５に示すように、一対の薄
刃状のブレード形プローブ４０ａ，４０ｂは各々、その
後部が保持部材２Ｂに対してピン４６によって揺動自在
に取り付けられている。また、これらのブレード形プロ
ーブ４０ａ，４０ｂは、その上部が保持部材２Ｂ内に摺
動可能に収納されるとともに、両者間に介設された薄い
絶縁板５Ｂによって、互いに絶縁状態で重ね合わされて
いる。また、各ブレード形プローブ４０ａ，４０ｂは、
その前下方部分に、検査パッドＰに接触させるための尖
端部４２ａ，４２ｂを有している。また、保持部材２Ｂ
は、一対のブレード形プローブ４０ａ，４０ｂの揺動を
各々、ほぼ上記押圧手段３の押圧方向（図５（ｂ）の下
向き矢印方向）へ付勢する一対のコイルばね（付勢手
段）４Ｂ，４Ｂを有している。このうち、一方のブレー
ド形プローブ４０ａに対応するコイルばね４Ｂに対応し
て、付勢力調節ねじ４３が設けられている。

【００４０】また、各ブレード形プローブ４０ａ，４０
ｂの前部に厚さ方向の貫通孔４５が形成されるととも
に、保持部材２Ｂに対して固定されたピン４７が、この
貫通孔４５内に延びて、各プローブ４０ａ，４０ｂの揺
動範囲を規制している。

【００４１】さらに、各ブレード形プローブ４０ａ，４
０ｂの後端面に、保持部材２Ｂを遊貫して延びる端子板
４４，４４がそれぞれ取付けられ、これらの端子板４
４，４４の先端部に、検査装置に連結される導線（図示
せず）が取付けられるようになっている。なお、図５に
符号４９で示すのは、保持部材２Ｂを図３に示す押圧手
段３に対してボルト等で取り付けるための取付孔であ
る。

【００４２】このプローブ装置によって、図３に示すよ
うな検査基板Ｂ上の検査パッドＰの検査を行う際は、上
記第１の実施形態の場合と同様、各ブレード形プローブ
４０ａ，４０ｂの尖端部４２ａ，４２ｂを検査パッドＰ
の所定位置の上方に位置決めし、押圧手段３によって、
保持部材２Ｂを下方の検査パッドＰに向かって一定圧力
で押圧する。

【００４３】その際、一対のブレード形プローブ４０
ａ，４０ｂの尖端部４２ａ，４２ｂが検査パッドＰの所
定位置にほぼ同時に当接する。そして、一対のブレード
形プローブ４０ａ，４０ｂが、それぞれ保持部材２Ｂに
対して（各コイルばね４Ｂの弾性力に抗して）上方へ揺
動し、両ブレード形プローブ４０ａ，４０ｂの尖端部４
２ａ，４２ｂが検査パッドＰ上の所定位置に対して一定
圧力で押圧された状態で、抵抗値計測等の所定の検査が
行われる。

【００４４】そして、このような構成よりなる本実施形
態によっても、上記第１の実施形態と同様の作用効果を
奏することができる。

【００４５】［第４の実施形態］次に、図６により本発
明の第４の実施形態について説明する。本実施形態は、
図６に示すように、上記ブレード形プローブ２０ａ，２
０ｂ及びコイルばね（付勢手段）４Ａに代えて、互いに
絶縁状態で並設された一対の板ばね形プローブ５０ａ，
５０ｂを備えた点で上記第２の実施形態と異なり、その
他の構成は図４に示す上記第２の実施形態と同様であ
る。

【００４６】具体的には、図６に示すように、ほぼ上記
押圧手段３の押圧方向に弾性変形可能な一対の板ばね形
プローブ５０ａ，５０ｂが各々、板状取付部材５６ａ，
５６ｂの底部に各一対のねじ５７によって固定されてい
る。これらの板ばね形プローブ５０ａ，５０ｂ及び板状
取付部材５６ａ，５６ｂは、共に電導性材料で作られて
いる。そして、取付部材５６ａ，５６ｂは、保持部材２
Ｃに対して一対のねじ５８によって固定されるととも
に、両者間に介設された薄い絶縁板５Ｃによって、互い
に絶縁状態で重ね合わされている。

【００４７】また、一対の板ばね形プローブ５０ａ，５
０ｂは互いに絶縁状態で並設されるとともに、各々の前
端部分に、検査パッドＰに接触させるための下方へ延び
る尖端部５２ａ，５２ｂを有している。さらに、各取付
部材５６ａ，５６ｂの後端面に端子板５４，５４がそれ
ぞれ取付けられ、これらの端子板５４，５４の先端部
に、検査装置に連結される導線（図示せず）が取付けら
れるようになっている。

【００４８】なお、本実施形態の板ばね形プローブ５０
ａ，５０ｂの尖端部５２ａ，５２ｂも、上記第１乃至第
３の実施形態におけるブレード形プローブの尖端部１２
ａ〜４２ａ，１２ｂ〜４２ｂと同様、保持部材２Ｃの前
面側２ｃよりも前方へ突出し、個々のプローブ装置全体
の中で最も前方へ突出するようになっている。また、図
６に符号５９で示すのは、保持部材２Ｃを図３に示す押
圧手段３に対してボルト等で取り付けるための取付孔で
ある。

【００４９】このプローブ装置によって、図３に示すよ
うな検査基板Ｂ上の検査パッドＰの検査を行う際は、上
記第１の実施形態の場合と同様、各板ばね形プローブ５
０ａ，５０ｂの尖端部５２ａ，５２ｂを検査パッドＰ上
の所定位置の上方に位置決めし、押圧手段３によって、
保持部材２Ｃを下方の検査パッドＰに向かって一定圧力
で押圧する。

【００５０】その際、一対の板ばね形プローブ５０ａ，
５０ｂの尖端部５２ａ，５２ｂが検査パッドＰの所定位
置にほぼ同時に当接する。そして、一対の板ばね形プロ
ーブ５０ａ，５０ｂがそれぞれ上方へ弾性変形し、両板
ばね形プローブ５０ａ，５０ｂの尖端部５２ａ，５２ｂ
が検査パッドＰの所定位置に対して一定圧力で押圧され
た状態で、抵抗値計測等の所定の検査が行われる。

【００５１】そして、このような構成よりなる本実施形
態によっても、上記第１の実施形態と同様の作用効果を
奏することができる。また、本実施形態によれば、上記
第１乃至第３の実施形態の場合のように、ブレード形プ
ローブ１ａ〜４０ａ，１ｂ〜４０ｂの他にコイルばね
（付勢手段）４〜４Ｂを用いる必要がなく、構造を簡素
化することができる。

【００５２】

【発明の効果】請求項１又は５記載の発明によれば、横
断面形状が略円形のプローブの組を用いるプローブ装置
に比べ、検査対象に接触させるプローブの尖端部同士を
より近接させることが可能となる。このため、従来のプ
ローブ装置に比べて、寸法や配列ピッチがより微細な検
査対象に対してもプローブの尖端部の接触による検査が
可能となる。

【００５３】請求項６記載の発明によれば、一対のプロ
ーブ装置の前方側同士を向かい合わせた状態で、両装置
の向かい合ったプローブの尖端部同士をぎりぎりまで近
接させることが可能となる。このため、一対のプローブ
装置を用いて、微細なピッチで配列された４端子を有す
る検査対象における、いわゆる４端子測定を容易に行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明によるプローブ装置の第１の
実施形態の要部を示す縦断面図、（ｂ）は、（ａ）のＢ
−Ｂ線断面図。

【図２】図１に示すプローブ装置のブレード形プローブ
の尖端部を示す正面図。

【図３】図１に示すプローブ装置を一対向い合わせて使
用する状態を示す側面図。

【図４】（ａ）は、本発明によるプローブ装置の第２の
実施形態の要部を示す側面図、（ｂ）は、同じく正面
図、（ｃ）は、（ａ）のＣ−Ｃ線断面図。

【図５】（ａ）は、本発明によるプローブ装置の第３の
実施形態の要部を示す正面図、（ｂ）は、同じく側面
図。

【図６】（ａ）は、本発明によるプローブ装置の第４の
実施形態の要部を示す正面図、（ｂ）は、同じく側面
図。

【図７】従来のプローブ装置の一例を示す立面図。

【図８】従来のプローブ装置の他の例を示す縦断面図。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ、３０ａ，３０ｂ、４０ａ，４０ｂ ブレー
ド形プローブ ２，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ 保持部材 ３ 押圧手段 ４，４Ａ，４Ｂ コイルばね（付勢手段） ５，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ 絶縁板 １２ａ，１２ｂ、３２ａ，３２ｂ、４２ａ，４２ｂ ブ
レード形プローブの尖端部 ５０ａ，５０ｂ 板ばね形プローブ ５２ａ，５２ｂ 板ばね形プローブの尖端部 Ｂ 検査基板 Ｐ 検査パッド

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに絶縁状態で重ね合わされた一対のブ
   レード形プローブと、 これらの一対のブレード形プローブを保持する保持部材
   と、 この保持部材を、検査対象に向かって一定圧力で押圧す
   るための押圧手段とを備え、 前記一対のブレード形プローブは各々、検査対象に接触
   させるための尖端部を有することを特徴とするプローブ
   装置。
2. 【請求項２】前記一対のブレード形プローブの一方は、
   前記保持部材に対して固定され、 前記一対のブレード形プローブの他方は、前記保持部材
   に対して、前記押圧手段の押圧方向に沿って摺動自在に
   取付けられ、 前記保持部材は、前記他方のブレード形プローブを前記
   押圧手段の押圧方向へ付勢する付勢手段を有するととも
   に、 前記他方のブレード形プローブの尖端部は、検査対象に
   接触していない状態で、前記一方のブレード形プローブ
   の尖端部よりも、前記押圧手段の押圧方向へ突出してい
   ることを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
3. 【請求項３】前記一対のブレード形プローブは各々、前
   記保持部材に対して、前記押圧手段の押圧方向に沿って
   摺動自在に取付けられ、 前記保持部材は、前記一対のブレード形プローブを各々
   前記押圧手段の押圧方向へ付勢する付勢手段を有するこ
   とを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
4. 【請求項４】前記各ブレード形プローブは、その尖端部
   がほぼ前記押圧手段の押圧方向に沿って揺動自在となる
   よう、前記保持部材に対して取付られるとともに、 前記保持部材は、前記各ブレード形プローブの尖端部の
   揺動を前記押圧手段の押圧方向へ付勢する付勢手段を有
   することを特徴とする請求項１記載のプローブ装置。
5. 【請求項５】互いに絶縁状態で並設された一対の板ばね
   形プローブと、 これらの一対の板ばね形プローブを保持する保持部材
   と、 この保持部材を、検査対象に向かって一定圧力で押圧す
   るための押圧手段とを備え、 前記一対の板ばね形プローブは各々、検査対象に接触さ
   せるための尖端部を有するとともに、前記押圧手段の押
   圧方向に弾性変形可能であることを特徴とするプローブ
   装置。
6. 【請求項６】前記各プローブの尖端部は、プローブ装置
   全体の中で最も前方へ突出していることを特徴とする請
   求項１乃至５のいずれかに記載のプローブ装置。