TW202009489A

TW202009489A - 檢查具、檢查單元以及檢查裝置

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Publication number: TW202009489A
Application number: TW108115665A
Authority: TW
Inventors: 笹野直哉; 寺西宏真; 酒井貴浩
Original assignee: 日商歐姆龍股份有限公司
Priority date: 2018-08-09
Filing date: 2019-05-07
Publication date: 2020-03-01
Also published as: JP7110817B2; KR20200018221A; CN110857963A; JP2020026972A; CN110857963B; KR102148842B1; CN114690049A; TWI709749B

Abstract

本發明提供檢查具、檢查單元以及檢查裝置，所述檢查具能夠應對小型化。檢查具包括：殼體，內部具有至少三個收容部；以及第一電源端子、信號端子及第二電源端子，在延伸方向的兩端部露出於殼體的外部的狀態下分別收容於收容部。第一電源端子、信號端子及第二電源端子分別包含能夠在延伸方向上伸縮的至少一個板狀探針，所述探針以其板面彼此相向的方式在板厚方向上串聯排列配置。而且，信號端子在探針的板厚方向上配置於第一電源端子與第二電源端子之間。

Description

檢查具、檢查單元以及檢查裝置

本揭示是有關於一種能夠對檢查對象物（例如電池模組等電子零件模組）進行檢查的檢查具、具備該檢查具的檢查單元以及具備該檢查單元的檢查裝置。

電池模組等電子零件模組中，一般而言，在其製造步驟中要進行導通檢查及動作特性檢查等。該些檢查一般而言藉由使用收容有多個探針（probe pin）的檢查具將檢查裝置與電子零件模組連接而進行。

作為這種探針，有專利文獻1中記載之彈簧針式（pogo pin type）的探針。該探針具備：柱塞（plunger）部，具有接觸端子及與接觸端子同軸設置的柱塞本體部；以及筒（barrel）部，設置於柱塞部的外周側。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2016-142644號公報

[發明所欲解決之課題]

近年來，電子零件模組的小型化已取得進展，且要求用以檢查電子零件模組的檢查具亦應對小型化。

一般而言，如所述探針那樣的彈簧針式的探針越小型化，剛性越低，越容易損傷。因此，使用所述探針的檢查會有無法應對小型化的疑慮。

本揭示的課題在於提供一種能夠應對小型化之檢查具、檢查單元以及檢查裝置。 [解決課題之手段]

本揭示的一例的檢查具包括：殼體，內部具有至少三個收容部；以及第一電源端子、信號端子及第二電源端子，在延伸方向的兩端部露出於所述殼體的外部的狀態下，分別收容於所述收容部；所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子分別包含能夠在所述延伸方向上伸縮的至少一個板狀探針，構成各個所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子的所述探針以其板面彼此相向的方式，在板厚方向上串聯排列配置，所述信號端子在所述板厚方向上，配置於所述第一電源端子與所述第二電源端子之間。

另外，本揭示的一例的檢查單元至少包括一個所述檢查具。

另外，本揭示的一例的檢查裝置至少包括一個所述檢查單元。 [發明的效果]

根據所述檢查具，包括在延伸方向的兩端部露出於殼體的外部的狀態下分別收容於至少三個收容部的第一電源端子、信號端子及第二電源端子，第一電源端子、信號端子及第二電源端子分別包含至少一個板狀探針。即，第一電源端子、信號端子及第二電源端子分別包含即使小型化剛性亦不易降低的板狀探針，因而可實現能夠應對小型化的檢查具。

根據所述檢查單元，藉由所述檢查具可實現能夠進行更小型的電子零件模組的檢查的檢查單元。

根據所述檢查裝置，藉由所述檢查單元可實現能夠進行更小型的電子零件模組的檢查的檢查裝置。

以下，根據隨附圖式對本揭示的一例進行說明。另外，在以下的說明中，視需要使用表示特定方向或位置的用語（例如包含「上」、「下」、「右」、「左」的用語），但該些用語的使用是為了容易理解參照了圖式的本揭示，且本揭示的技術範圍不受該些用語的含義的限制。另外，以下的說明本質上僅為例示，並不意圖限制本揭示、其應用或其用途。進而，圖式是示意性的，各尺寸的比率等未必與實際一致。

本揭示的一實施形態的檢查具1如圖1所示，包括絕緣性的殼體10、以及收容於殼體10的內部的導電性的第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23。另外，圖1中僅示出第一電源端子21及信號端子22。

殼體10如圖2及圖3所示，內部具有至少三個收容部17。各收容部17中分別收容有第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23。第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23分別包含至少一個板狀探針30。

詳細而言，殼體10如圖2所示，具有大致長方體狀的基底殼體11、及收容於該基底殼體11的內部的芯殼體12。

基底殼體11如圖2所示，具有構成其一個外表面的大致矩形狀的連接面111，在該連接面111的長邊方向的大致中央處，如圖3所示，設置有具有大致矩形狀的開口部14的凹部13。該凹部13如圖2所示，以開口部14的長邊方向與基底殼體11的短邊方向大致平行的方式配置，在其內部收容大致長方體狀的芯殼體12。

另外，以下的說明中，將連接面111的短邊方向設為X方向，連接面111的長邊方向設為Y方向，與連接面111交叉的方向設為Z方向。

芯殼體12如圖3所示，具有在其內部能夠收容探針30的至少三個收容部17。詳細而言，在芯殼體12的內部，在彼此電性獨立的狀態下，沿著開口部14的長邊方向（即，X方向）串聯並列配置且在連接面111的正交方向（即，Z方向）延伸的五個收容部17的行在開口部14的短邊方向（即，Y方向）上隔開間隔設置2行。即，本實施形態中，芯殼體12具有10個收容部17。

在各收容部17的行中的兩端的收容部17中分別收容第一電源端子21及第二電源端子23，在各收容部17的行的中間的收容部17收容信號端子22。在各收容部17的行中，構成各個第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的探針30在延伸方向的兩端部露出於殼體的外部的狀態下，以板面彼此相向的方式在板厚方向上串聯排列配置。即，第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23分別在延伸方向的兩端部露出於殼體的外部的狀態下收容於收容部17。

第一電源端子21及第二電源端子23分別包含多個探針30。詳細而言，如圖3所示，第一電源端子21及第二電源端子23分別包含在五個探針30相互接觸的狀態下在板厚方向上積層的探針積層體211、探針積層體231。而且，信號端子22包含在板厚方向上隔開間隔且相互獨立地配置的多個探針30。詳細而言，如圖3所示，信號端子22包含三個探針30，該三個探針30在各收容部17的行的中間的三個收容部17中各收容一個。

另外，本實施形態中，構成各個第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的探針30具有同一形狀。

另外，殼體10如圖1所示，具有能夠與檢查對象物或檢查裝置的連接器100（圖5所示）連接的絕緣性的端子連接部40。端子連接部40以能夠相對於殼體10在端子延伸方向擺動的狀態支持在連接面111上，所述連接面111與第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的延伸方向（即，Z方向。以下稱作端子延伸方向。）交叉（例如正交）。

詳細而言，如圖4所示，端子連接部40具有：大致矩形板狀的連接板部41，以與連接面111相向的方式配置；以及一對連接壁部42，從該連接板部41的相向的一對邊緣部向與連接板部41交叉（例如正交）的方向延伸。

連接板部41如圖5及圖6所示具有連接孔43，該連接孔43在端子延伸方向上貫通且能夠同時收容第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23。該連接孔43具有第一收容區域44及第二收容區域45。

第一收容區域44從端子延伸方向觀察時，設置於與連接孔43的第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的排列方向（即，X方向。以下，稱作端子排列方向）交叉的方向（即，Y方向）的大致中央處，且配置有後述的各探針30的第一觸點部31。該第一收容區域44構成為能夠收容可同時與第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23接觸的檢查對象物或檢查裝置的連接器100（圖5所示）。

第二收容區域45從端子延伸方向觀察時，配置於與針對第一收容區域44的端子排列方向交叉的方向的至少一方（本實施形態中為Y方向的兩方）。該第二收容區域45構成為能夠配置第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的一部分。

另外，連接孔43如圖3及圖4所示，包含：在後述的連接板部41的外表面411側開口的凹部431，以及在該凹部431的底面開口的多個貫通孔432。各貫通孔432如圖6所示，在端子延伸方向上分別對應於各芯殼體12的收容部17。即，本實施形態中，在凹部431的底面形成有10個貫通孔432。

另外，連接孔43在第二收容區域45中，具有將第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23之間相互隔開的兩個絕緣壁48。各絕緣壁48分別設置於第二收容區域45的第一電源端子21與信號端子22之間、及信號端子22與第二電源端子23之間，從端子延伸方向觀察時，在與端子排列方向交叉的方向上延伸。

另外，連接板部41具有定位用凹部46，該定位用凹部46設置於端子延伸方向上的與連接面111相向的面的相反側的外表面411且連接孔43的周圍。該定位用凹部46構成為在將檢查對象物或檢查裝置的連接器100連接於第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23時，收容檢查對象物或檢查裝置的一部分，並決定檢查對象物或檢查裝置的連接器100相對於端子連接部40的位置。

各連接壁部42如圖4所示，遠離其延伸方向的連接板部41的前端部收容於收容槽15，該收容槽15設置在連接面111的凹部13周圍。在各連接壁部42的前端部設置有在相互遠離各連接壁部42的方向上延伸的凸緣部47。各凸緣部47與將各凸緣部47朝向連接面111施力的盤簧50一起收容於收容空間16，該收容空間16連接於收容槽15且設置於基底殼體11的內部。藉由該收容空間16，各凸緣部47的移動僅被限制在與連接面111交叉的方向（即，Z方向）的初始位置P1與連接位置P2之間。另外，初始位置P1是尚未連接檢查對象物或檢查裝置的連接器100的狀態的端子連接部40的位置，連接位置P2是已連接檢查對象物或檢查裝置的連接器100的狀態的端子連接部40的位置。

如圖3及圖4所示，在端子連接部40位於初始位置P1的情況下，構成第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的各探針30的延伸方向的一端部收容於連接孔43的貫通孔432。藉此，與端子延伸方向交叉的方向（即，XY方向）上的各探針30的延伸方向的一端部的移動受到限制，可準確地決定第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23各自相對於殼體10的位置。

各探針30如圖7所示，包括：能夠沿著其長邊方向（即，圖7的上下方向）伸縮的彈性部33，以及分別與彈性部33的探針30的長邊方向上的兩端部連接的第一接觸部34及第二接觸部35。

彈性部33包含多個帶狀彈性片（本實施形態中為四個帶狀彈性片），所述多個帶狀彈性片相互隔開間隙而配置且能夠在探針30的延伸方向上彈性變形。第一接觸部34的探針30的長邊方向上的一端部連接於彈性部33，並且具有配置於探針30的長邊方向上的另一端部的第一觸點部31。而且，第二接觸部35的探針30的長邊方向上的一端部連接於彈性部33，並且具有配置於探針30的長邊方向上的另一端部的第二觸點部32。

在第一接觸部34的延伸方向的中間部的彈性部33側設置有支持部36，該支持部36在將探針30收容於收容部17時與芯殼體12接觸而支持探針30。而且，在第二接觸部35的延伸方向的中間部的彈性部33側設置有支持部37，該支持部37在將探針30收容於收容部17時與基底殼體11接觸而支持探針30。

另外，各探針30作為一例，利用電鑄法形成，一體地構成彈性部33、第一接觸部34及第二接觸部35。

所述檢查具1中，包括第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23，其在延伸方向的兩端部露出於殼體10的外部的狀態下分別收容於至少三個收容部17，第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23分別包含至少一個板狀探針30。即，第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23分別包含即便小型化剛性亦不易降低的板狀探針30，因而可實現能夠應對小型化的檢查具1。

另外，構成各個第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的探針30具有同一形狀。藉由這種構成，例如，藉由由多個探針構成第一電源端子21或第二電源端子23，可容易地獲得整體上具有均勻的剖面形狀的第一電源端子21或第二電源端子23。

另外，第一電源端子21及第二電源端子23分別包含在多個探針30相互接觸的狀態下積層於板厚方向的探針積層體211、探針積層體231，信號端子22包含在板厚方向上隔開間隔而相互獨立地配置的多個探針30。藉由這種構成，可使用多個探針30容易地形成流動電流的大小不同的各端子21、端子22、端子23。

另外，具有端子連接部40，該端子連接部40以能夠相對於殼體10在端子延伸方向上擺動的狀態支持在殼體10的連接面111上，且能夠與檢查對象物或檢查裝置連接，所述殼體10的連接面111與端子延伸方向交叉，端子連接部40具有在端子延伸方向上貫通且能夠同時收容第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的連接孔43。藉由該端子連接部40，例如僅在將檢查具1連接於檢查對象物或檢查裝置的情況下，可使各端子21、端子22、端子23的端子延伸方向的一端部露出於檢查具1的外部，因而可減少各端子21、端子22、端子23的損傷的發生。

另外，端子連接部40具有定位用凹部46，該定位用凹部46設置於端子延伸方向上的與連接面111相向的面的相反側的外表面411且連接孔43的周圍，以決定檢查對象物或檢查裝置相對於端子連接部40的位置。藉由該定位用凹部46，可將檢查具1更準確地連接於檢查對象物或檢查裝置。

另外，連接孔43具有：第一收容區域44，能夠收容檢查對象物或檢查裝置的連接器100；以及第二收容區域45，從端子延伸方向觀察時，配置於與針對第一收容區域44的端子排列方向交叉的方向的至少一方且能夠配置第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的一部分。藉由這種構成，可將構成各端子21、端子22、端子23的各探針30從第一收容區域44配置至第二收容區域45。其結果，例如，當在各探針30的寬度方向（即，與端子延伸方向及端子排列方向交叉的方向）的一端部設置第一觸點部31時，可將各探針30的第一觸點部31配置於第一收容區域44而應對檢查對象物或檢查裝置的連接器100的小型化，且充分確保各端子21、端子22、端子23的大小。

另外，連接孔43具有兩個絕緣壁48，該兩個絕緣壁48分別設置於第二收容區域45的第一電源端子21與信號端子22之間及信號端子22與第二電源端子23之間，從端子延伸方向觀察時，分別在與端子排列方向交叉的方向上延伸。藉由該絕緣壁48，可更確實地確保各端子21、端子22、端子23間的絕緣性。

所述檢查具1可用於檢查單元。藉由所述檢查具1，可實現能夠檢查更小型的電子零件模組的檢查單元。

另外，所述檢查單元可用於檢查裝置。藉由所述檢查單元，可實現能夠檢查更小型的電子零件模組的檢查裝置。

再者，各探針30可根據檢查具1的設計等適當變更其形狀等。例如，可針對每個構成各端子21、端子22、端子23的探針30來變更其形狀，可由一個探針30構成第一電源端子21及第二電源端子23中的一者，由探針積層體211、探針積層體231構成另一者。

另外，可根據檢查裝置或檢查對象物的各種形態，適當變更第一觸點部31及第二觸點部32各自的形狀及位置等。

基底殼體11及芯殼體12可根據檢查裝置或檢查對象物的各種形態，適當地變更其構成。即，可使基底殼體11及芯殼體12通用化，以提高檢查具1（進而檢查單元以及檢查裝置）的生產性。

端子連接部40可根據檢查具1的設計等而予以省略。即，檢查具1至少包括如下即可：殼體10，內部具有至少三個收容部17；以及第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23，分別收容於各收容部17。

定位用凹部46及絕緣壁48可分別根據檢查具1的設計等而予以省略。

連接孔43只要至少具有能夠收容檢查對象物或檢查裝置的連接器100的第一收容區域44即可，亦可省略第二收容區域45。

以上，參照圖式對本揭示中的各種實施形態進行了詳細說明，最後，對本揭示的各種形態進行說明。另外，以下的說明中，作為一例，亦附上參照符號加以記載。

本揭示的第一形態的檢查具1包括：殼體10，內部具有至少三個收容部17；以及第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23，在延伸方向的兩端部露出於所述殼體10的外部的狀態下，分別收容於所述收容部17；所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23分別包含能夠在所述延伸方向上伸縮的至少一個板狀探針30，構成各個所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23的所述探針30以其板面彼此相向的方式，在板厚方向上串聯排列配置，所述信號端子22在所述板厚方向上，配置於所述第一電源端子21與所述第二電源端子23之間。

根據第一形態的檢查具1，第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23分別包含即便小型化剛性亦不易降低的板狀探針30，因而可實現能夠應對小型化的檢查具1。

本揭示的第二形態的檢查具1中，構成各個所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23的所述探針30具有同一形狀。

根據第二形態的檢查具1，例如，藉由多個探針構成第一電源端子21或第二電源端子23，而可容易地獲得整體上具有均勻的剖面形狀的第一電源端子21或第二電源端子23。

本揭示的第三形態的檢查具1中，所述第一電源端子21及所述第二電源端子23分別包含探針積層體211、探針積層體231，所述探針積層體211、所述探針積層體231在多個所述探針30相互接觸的狀態下積層於所述板厚方向上，所述信號端子22包含在所述板厚方向上隔開間隔且相互獨立地配置的多個所述探針30。

根據第三形態的檢查具1，可使用多個探針30容易地形成流動電流的大小不同的各端子21、端子22、端子23。

本揭示的第四形態的檢查具1，包括：端子連接部40，所述端子連接部40以能夠相對於所述殼體10在所述延伸方向上擺動的狀態支持在所述殼體10的連接面111上，且能夠與檢查對象物或檢查裝置連接，所述殼體10的連接面111與所述延伸方向交叉，所述端子連接部40具有連接孔43，所述連接孔43在所述延伸方向上貫通且能夠同時收容所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23。

根據第四形態的檢查具1，藉由端子連接部40，例如僅在將檢查具1連接於檢查對象物或檢查裝置的情況下，可使各端子21、端子22、端子23的延伸方向的一端部露出於檢查具1的外部，因而可減少各端子21、端子22、端子23的損傷的發生。

本揭示的第五形態的檢查具1中，所述端子連接部40具有定位用凹部46，所述定位用凹部46設置於所述延伸方向上所述端子連接部與所述連接面111相向的面的相反側的外表面411，且設置於所述連接孔43的周圍，以決定所述檢查對象物或所述檢查裝置相對於所述端子連接部40的位置。

根據第五形態的檢查具1，藉由定位用凹部46，可將檢查具1更準確地連接於檢查對象物或檢查裝置。

本揭示的第六形態的檢查具1中，所述連接孔43具有：第一收容區域44，能夠收容所述檢查對象物或所述檢查裝置的連接器100，所述檢查對象物或所述檢查裝置的連接器100可同時與所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23接觸；以及第二收容區域45，從所述延伸方向觀察時，相對於所述第一收容區域44的所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23配置於與其排列方向交叉的方向的至少一方，且能夠配置所述第一電源端子21、所述信號端子22及所述第二電源端子23的一部分。

根據第六形態的檢查具1，可將構成各端子21、端子22、端子23的各探針30從第一收容區域44配置到第二收容區域45。其結果，例如，當在各探針30的寬度方向（即，與第一電源端子21、信號端子22及第二電源端子23的延伸方向及排列方向交叉的方向）的一端部設置觸點部31時，可將各探針30的觸點部31配置於第一收容區域44而應對檢查對象物或檢查裝置的連接器100的小型化，且可充分確保各端子21、端子22、端子23的大小。

本揭示的第七形態的檢查具1中，所述連接孔43具有兩個絕緣壁48，所述兩個絕緣壁48分別設置於所述第二收容區域45的所述第一電源端子21與所述信號端子22之間、及所述信號端子22與所述第二電源端子23之間，從所述延伸方向觀察時，分別在與所述排列方向交叉的方向上延伸。

根據第七形態的檢查具1，藉由絕緣壁48可更確實地確保各端子21、端子22、端子23間的絕緣性。

本揭示的第八形態的檢查單元至少包括一個所述形態的檢查具1。

根據第八形態的檢查單元，藉由所述檢查具1，可實現能夠檢查更小型的電子零件模組的檢查單元。

本揭示的第九形態的檢查裝置至少包括一個所述形態的檢查單元。

根據第九形態的檢查裝置，藉由所述檢查單元，可實現能夠檢查更小型的電子零件模組的檢查裝置。

再者，藉由將所述各種實施形態或變形例中的任意的實施形態或變形例適當組合，而可獲得各自具有的效果。另外，實施形態彼此的組合或實施例彼此的組合或實施形態與實施例的組合是可能的，並且不同的實施形態或實施例中的特徵彼此的組合亦是可能的。 [產業上的可利用性]

本揭示的檢查具可應用於作為檢查對象物例如電池模組的檢查單元。

本揭示的檢查單元可應用於作為檢查對象物例如電池模組的檢查裝置。

本揭示的檢查裝置可應用於作為檢查對象物例如電池模組的檢查。

1‧‧‧檢查具 10‧‧‧殼體 11‧‧‧基底殼體 111‧‧‧連接面 12‧‧‧芯殼體 13‧‧‧凹部 14‧‧‧開口部 15‧‧‧收容槽 16‧‧‧收容空間 17‧‧‧收容部 21‧‧‧第一電源端子 211、231‧‧‧探針積層體 22‧‧‧信號端子 23‧‧‧第二電源端子 30‧‧‧探針 31‧‧‧第一觸點部 32‧‧‧第二觸點部 33‧‧‧彈性部 34‧‧‧第一接觸部 35‧‧‧第二接觸部 36、37‧‧‧支持部 40‧‧‧端子連接部 41‧‧‧連接板部 411‧‧‧外表面 42‧‧‧連接壁部 43‧‧‧連接孔 431‧‧‧凹部 432‧‧‧貫通孔 44‧‧‧第一收容區域 45‧‧‧第二收容區域 46‧‧‧定位用凹部 47‧‧‧凸緣部 48‧‧‧絕緣壁 50‧‧‧盤簧 100‧‧‧連接器 X、Y、Z‧‧‧方向 P1‧‧‧初始位置 P2‧‧‧連接位置

圖1是表示本揭示的一實施形態的檢查具的立體圖。圖2是將圖1的檢查具的端子連接部去除的狀態的立體圖。圖3是沿著圖1的III-III線的剖面圖。圖4是沿著圖1的IV-IV線的剖面圖。圖5是圖1的檢查具的端子連接部部分的放大俯視圖。圖6是表示圖1的檢查具的端子連接部的俯視圖。圖7是表示圖1的檢查具的探針的立體圖。

1‧‧‧檢查具

10‧‧‧殼體

11‧‧‧基底殼體

111‧‧‧連接面

15‧‧‧收容槽

21‧‧‧第一電源端子

211‧‧‧探針積層體

22‧‧‧信號端子

23‧‧‧第二電源端子

231‧‧‧探針積層體

31‧‧‧第一觸點部

40‧‧‧端子連接部

41‧‧‧連接板部

411‧‧‧外表面

43‧‧‧連接孔

44‧‧‧第一收容區域

45‧‧‧第二收容區域

46‧‧‧定位用凹部

47‧‧‧凸緣部

48‧‧‧絕緣壁

100‧‧‧連接器

X、Y‧‧‧方向

Claims

一種檢查具，包括：殼體，內部具有至少三個收容部；以及第一電源端子、信號端子及第二電源端子，在延伸方向的兩端部露出於所述殼體的外部的狀態下，分別收容於所述收容部；所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子分別包含能夠在所述延伸方向上伸縮的至少一個板狀探針，構成各個所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子的所述探針以其板面彼此相向的方式，在板厚方向上串聯排列配置，所述信號端子在所述板厚方向上，配置於所述第一電源端子與所述第二電源端子之間。
如申請專利範圍第1項所述的檢查具，其中構成各個所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子的所述探針具有同一形狀。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的檢查具，其中所述第一電源端子及所述第二電源端子分別包含探針積層體，所述探針積層體在多個所述探針相互接觸的狀態下積層於所述板厚方向上，所述信號端子包含多個所述探針，多個所述探針在所述板厚方向上隔開間隔且相互獨立地配置。
如申請專利範圍第1項或第2項所述的檢查具，包括：端子連接部，所述端子連接部以能夠相對於所述殼體在所述延伸方向上擺動的狀態支持在所述殼體的連接面上，且能夠與檢查對象物或檢查裝置連接，所述殼體的所述連接面與所述延伸方向交叉，所述端子連接部具有連接孔，所述連接孔在所述延伸方向上貫通且能夠同時收容所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子。
如申請專利範圍第4項所述的檢查具，其中所述端子連接部具有定位用凹部，所述定位用凹部設置於所述延伸方向上所述端子連接部與所述連接面相向的面的相反側的外表面，且設置於所述連接孔的周圍，以決定所述檢查對象物或所述檢查裝置相對於所述端子連接部的位置。
如申請專利範圍第4項所述的檢查具，其中所述連接孔具有：第一收容區域，能夠收容所述檢查對象物或所述檢查裝置的連接器，所述檢查對象物或所述檢查裝置的所述連接器可同時與所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子接觸；以及第二收容區域，從所述延伸方向觀察時，相對於所述第一收容區域的所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子配置於與其排列方向交叉的方向的至少一方，且能夠配置所述第一電源端子、所述信號端子及所述第二電源端子的一部分。
如申請專利範圍第6項所述的檢查具，其中所述連接孔具有兩個絕緣壁，所述兩個絕緣壁分別設置於所述第二收容區域的所述第一電源端子與所述信號端子之間、及所述信號端子與所述第二電源端子之間，從所述延伸方向觀察時，分別在與所述排列方向交叉的方向上延伸。
一種檢查單元，包括至少一個如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的檢查具。
一種檢查裝置，包括至少一個如申請專利範圍第8項所述的檢查單元。