JP6044525B2 - プローブカード - Google Patents
プローブカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP6044525B2 JP6044525B2 JP2013241963A JP2013241963A JP6044525B2 JP 6044525 B2 JP6044525 B2 JP 6044525B2 JP 2013241963 A JP2013241963 A JP 2013241963A JP 2013241963 A JP2013241963 A JP 2013241963A JP 6044525 B2 JP6044525 B2 JP 6044525B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- contacts
- substrate
- restraining
- free sliding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るプローブカード10の正面図である。プローブカード10は絶縁体で形成された基板12を備えている。基板12には、例えばはんだによりソケット14、16、18、20、22、24、26が固定されている。基板12にはソケット14を介して第1接触子群28が固定されている。第1接触子群28は、4本の第1自由摺動接触子28a、28b、28c、28dと1本の第1拘束接触子28eを有している。第1自由摺動接触子28a、28b、28c、28dと第1拘束接触子28eは例えば銅などの金属で形成する。
図8は本発明の実施の形態2に係るプローブカード150の正面図である。基板12には、例えばはんだによりソケット152が固定されている。基板12にはソケット152を介して接触子群160が固定されている。
図10は本発明の実施の形態3に係るプローブカード200の正面図である。プローブカード200は、ソケット201を介して基板12に固定された接続部202、204を備えている。接続部202は第1部分202a、第2部分202b、及び第3部分202cを備えている。
図13は本発明の実施の形態4に係るプローブカード300の正面図である。接続部302、304は銅を材料とする板材で形成されている。そして、接続部302の一端が第1拘束接触子28eに接し、他端が第2拘束接触子30aに接する。接続部304の一端が第2拘束接触子30eに接し、他端が第3拘束接触子32aに接する。
Claims (6)
- 基板と、
製品端子に対して押し当てられると前記製品端子の表面を摺動する形状の金属で形成された第1自由摺動接触子と、金属で形成され、前記第1自由摺動接触子と重ねられた第1拘束接触子と、を有し、前記基板に固定された第1接触子群と、
前記第1自由摺動接触子と同じ形状の金属で形成された第2自由摺動接触子と、金属で形成され、前記第2自由摺動接触子と重ねられた第2拘束接触子と、を有し、前記基板に固定された第2接触子群と、
前記第1拘束接触子と前記第2拘束接触子を、前記基板から見て前記製品端子側の部分で電気的に接続する接続部と、を備え、
前記第1自由摺動接触子は前記第1拘束接触子に対して自由に摺動し、前記第2自由摺動接触子は前記第2拘束接触子に対して自由に摺動することを特徴とするプローブカード。 - 前記接続部は配線で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記第1拘束接触子、前記接続部、及び前記第2拘束接触子は前記第1自由摺動接触子と同じ形状で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記接続部は、
前記基板の上面側と下面側の両方で前記第1拘束接触子と接する第1部分と、
前記基板の上面側と下面側の両方で前記第2拘束接触子と接する第2部分と、
前記第1部分と前記第2部分を前記基板の下面側で接続する第3部分と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 前記第1部分と前記第2部分の前記基板からの突出量は、前記第1自由摺動接触子の前記基板からの突出量より小さいことを特徴とする請求項4に記載のプローブカード。
- 前記接続部は板材で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013241963A JP6044525B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013241963A JP6044525B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015102378A JP2015102378A (ja) | 2015-06-04 |
JP6044525B2 true JP6044525B2 (ja) | 2016-12-14 |
Family
ID=53378198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013241963A Active JP6044525B2 (ja) | 2013-11-22 | 2013-11-22 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6044525B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102111942B1 (ko) | 2016-06-28 | 2020-05-18 | 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 | 전기적 접속장치 및 접촉자 |
JP7110817B2 (ja) * | 2018-08-09 | 2022-08-02 | オムロン株式会社 | 検査具、検査ユニットおよび検査装置 |
JP7236848B2 (ja) * | 2018-11-27 | 2023-03-10 | 日本メクトロン株式会社 | プローブ装置、電気検査装置、および電気検査方法 |
JP7318297B2 (ja) * | 2019-04-25 | 2023-08-01 | オムロン株式会社 | プローブピン、検査治具および検査ユニット |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6756798B2 (en) * | 2002-03-14 | 2004-06-29 | Ceramic Component Technologies, Inc. | Contactor assembly for testing ceramic surface mount devices and other electronic components |
JP2006234428A (ja) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Omron Corp | コンタクトプローブおよび検査装置 |
JP2008032400A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Fujifilm Corp | Icソケットのコンタクトピン |
JP2010122057A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Nhk Spring Co Ltd | プローブユニット |
JP5470537B2 (ja) * | 2010-06-11 | 2014-04-16 | 有限会社清田製作所 | 積層型プローブ |
-
2013
- 2013-11-22 JP JP2013241963A patent/JP6044525B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015102378A (ja) | 2015-06-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107783024B (zh) | 垂直式探针卡之探针装置 | |
JP6044525B2 (ja) | プローブカード | |
TWI571636B (zh) | 具有用於電子裝置測試之交錯蜿蜒測試接觸件之探針模組 | |
US8269516B1 (en) | High-speed contactor interconnect with circuitry | |
JP5770720B2 (ja) | Ic電流測定用装置、及びic電流測定用アダプタ | |
US20150061719A1 (en) | Vertical probe card for micro-bump probing | |
US8106671B2 (en) | Socketless integrated circuit contact connector | |
US10613116B2 (en) | Kelvin connection with positional accuracy | |
JP4574588B2 (ja) | ケルビンコンタクト測定装置および測定方法 | |
US8278955B2 (en) | Test interconnect | |
JP6039425B2 (ja) | 検査システム | |
US7525299B1 (en) | Apparatus for accessing and probing the connections between a chip package and a printed circuit board | |
JP6469620B2 (ja) | コンタクト装置システム | |
JPH0348171A (ja) | 混成集積回路板の電気的特性検査を行う方法 | |
CN106601639B (zh) | 不着检出测试方法及其所用的基板与压板 | |
US20180299490A1 (en) | Probe and probe card including the same | |
JP6993193B2 (ja) | 電気的接続装置及び特性測定方法 | |
CN110463360A (zh) | 用于制造电子控制模块的方法 | |
KR200464205Y1 (ko) | 볼 그리드 어레이 커넥터 | |
KR102532503B1 (ko) | 프로브니들 | |
JP2011180019A (ja) | 半導体測定装置および半導体測定装置用ピッチ変換治具 | |
KR20090108791A (ko) | 탐침 부재 및 이를 포함하는 프로브 카드 | |
US10436817B2 (en) | Test matrix adapter device | |
JP2017112012A (ja) | 電気接触子及びこれを備えた電気部品用ソケット | |
KR20130011948A (ko) | 반도체 시험 장치에 있어서의 전기 길이 측정 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161006 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161031 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6044525 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |