JP2021189052A - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本願発明のプローブユニット10は、第1のピッチで配列されるように保持され、一端が上面21aから突出し、他端が下面22aから突出するプローブ23と、を有するワーク側プローブホルダ20と、一端が上面32a上において第1のピッチで電極35を形成してプローブ23と接触し、他端が下面31a上において第1のピッチより広い第2のピッチで電極35を形成するケーブル33と、を有するインターポーザ30と、一端が上面41aから突出して下面31a上の電極と接触し、他端が下面42aから突出するプローブ43と、を有するインターフェースプローブホルダ40と、一端が上面51a上で電極を形成してプローブ43の他端と接触し、他端が下面51bから突出するコネクタ端子52と、を有する端子ブロック50と、を備える。
【選択図】図2
Description
本実施形態に係るプローブユニットについて、図面を参照しながら説明する。図1は、第1の実施形態に係るプローブユニット10の構成を示す外観図である。図2は、第1の実施形態に係るプローブユニット10の構成を示す断面図である。
被測定対象が載置されるワーク側プローブホルダ20は、被測定対象に応じて設計されている。ワーク側プローブホルダ20は、絶縁性の上部プレート21と、絶縁性の下部プレート22と、上部プレート21及び下部プレート22により保持された複数のプローブ23とを備える。
インターポーザ30は、ワーク側プローブホルダ20のプローブ23のピッチを、テスタ側の電極のピッチに変換するために用いられるものである。インターポーザ30は、絶縁性の升状部材31と、升状部材の開口部を塞ぐように設けられた絶縁性の上部プレート32と、絶縁性の物質で被覆された導電性の電線であるケーブル33とを備える。インターポーザ30の内部には、升状部材31と、升状部材の開口部を塞ぐように設けられた上部プレート32とにより、閉空間である空間部34が形成されている。上部プレート32の上面32a、すなわちインターポーザ30の上面32aは、上述のワーク側プローブホルダ20の下面22aと接する。また、升状部材31の下面31a、すなわちインターポーザ30の下面31aは、インターポーザ30の上面32aと平行な面である。
インターフェースプローブホルダ40は、上述のインターポーザ30と後述の端子ブロック50とを電気的に導通させるためのものである。インターフェースプローブホルダ40は、絶縁性の上部プレート41と、絶縁性の下部プレート42と、上部プレート41及び下部プレート42により保持された複数のプローブ43とを備える。上部プレート41の上面41a、すなわちインターフェースプローブホルダ40の上面41aは、インターポーザ30の下面31aと接する。
端子ブロック50とは、テスタと接続される部分である。端子ブロック50は、絶縁性のプレート51と、プレート51により保持された複数の導電性のコネクタ端子52とを備える。絶縁性のプレート51の上面51a、すなわち端子ブロック50の上面51aは、上述のインターフェースプローブホルダ40の下面42aと接する。
以下、プローブユニット10の動作について、説明する。ワーク側プローブホルダ20のプローブ23上に、ICチップ等の被測定対象が載置されると、被測定対象の電極がプローブ23の一端に接触することにより、被測定対象の電極はプローブ23と電気的に導通される。
次に、第2の実施形態に係るプローブユニットについて、図面を参照しながら説明する。図5は、第2の実施形態に係るプローブユニット10aの構成を示す外観図である。プローブユニット10aは、ワーク側プローブホルダ20と、インターポーザ30aと、インターフェースプローブホルダ40と、端子ブロック50と、図示しないビス、位置決めピン等を備える。
次に、第3の実施形態に係るプローブユニット30、30aについて、図面を参照しながら説明する。図6は、第3の実施形態に係る電極36の構成を示す図である。図6に示すように、第3の実施形態に係るプローブユニット30、30aは、ケーブル33の代わりに角材であるケーブル33aを備える点で、第1の実施形態及び実施形態と異なる。インターポーザ30又はインターポーザ30aと同様の構成要素には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
(その他の変形例)
20 ワーク側プローブホルダ
21 上部プレート
21a 上面
22 下部プレート
22a 下面
23 プローブ
30、30a インターポーザ
31 升状部材
31a 下面
31b 底面プレート
31c 側面プレート
31d 開口部
31e 下部貫通孔
31f 側面
32 上部プレート
32a 上面
32b 上部貫通孔形成部
32c 上部貫通孔
32d 中心
33、33a ケーブル
34 空間部
35、36 電極
36a 角
36b 角部
37 位置決め部
40 インターフェースプローブホルダ
41 上部プレート
41a 上面
42 下部プレート
42a 下面
43 プローブ
50 端子ブロック
51 プレート
51a 上面
51b 下面
52 コネクタ端子
52a 抜け止め部
52b 接続部
60 プリント基板
61 スルーホール
70 コネクタケーブル
71 コネクタ
100 プローブユニット
200 プローブホルダ
200a プローブ
300 コネクタ
300a 端子
400 電極板
400a ケーブル
400b 上面
400c 下面
Claims (6)
- 第1の面及び第2の面を有する第1の主部と、第1のピッチで配列されるように前記第1の主部により保持され、一端が前記第1の面から突出し、他端が前記第2の面から突出する第1のプローブと、を有するワーク側プローブホルダと、
前記第1の面に接する第3の面、及び第4の面を有する第2の主部と、前記第2の主部により保持され、一端が前記第3の面上において前記第1のピッチで第1の電極を形成して前記第1のプローブと接触し、他端が前記第4の面上において前記第1のピッチより広い第2のピッチで第2の電極を形成するケーブルと、を有するインターポーザと、
前記第4の面に接する第5の面、及び第6の面を有する第3の主部と、前記第3の主部により保持され、一端が前記第5の面から突出して前記第2の電極と接触し、他端が前記第6の面から突出する第2のプローブと、を有するインターフェースプローブホルダと、
前記第6の面に接する第7の面、及び第8の面を有する第4の主部と、前記第4の主部により保持され、一端が前記第6の面上で第3の電極を形成して前記第2のプローブの他端と接触し、他端が前記第7の面から突出するコネクタ端子と、を有する端子ブロックと、
を備えたプローブユニット。 - 前記コネクタ端子の径は、前記ケーブルの径より大きいことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
- 前記インターポーザの前記第1の電極の数、前記インターポーザの前記第2の電極の数、及び前記インターフェースプローブホルダの前記第2のプローブの数は、前記プローブホルダの前記第1のプローブの数と同じであり、前記端子ブロックの前記コネクタ端子の数は、前記プローブホルダの前記コネクタ端子の数と同じ或いは多いことを特徴とする請求項1又請求項2に記載のプローブユニット。
- 前記第4の面は、前記第3の面と平行な面及び前記第3の面に垂直な面のうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のプローブユニット。
- 前記ケーブルは角材であり、前記第1の電極及び前記第2の電極は四角形状に形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のプローブユニット。
- 前記インターポーザの前記第2の主部は、底面プレート及び側面プレートを有する升状部材と、前記升状部材の開口部を塞ぐように設けられた上部プレートとを有し、
前記上部プレートには前記第1のピッチで配列された第1の貫通孔が設けられ、前記ケーブルの前記一端は前記第1の貫通孔に挿入され、
前記底面プレートには前記第2のピッチで配列された第2の貫通孔が設けられ、前記ケーブルの前記他端は前記第2の貫通孔に挿入され、
前記第1の貫通孔は、前記第1の貫通孔の配列方向に沿って前記第1の貫通孔の縁部に設けられる位置決め部を有することを特徴とする請求項5に記載のプローブユニット。
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JP2020095020A JP2021189052A (ja) | 2020-05-29 | 2020-05-29 | プローブユニット |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2020
- 2020-05-29 JP JP2020095020A patent/JP2021189052A/ja active Pending
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