KR100583794B1 - 도전성 접촉자 및 전기 프로브 유닛 - Google Patents

Abstract

코일 스프링(2)의 양단에 한 쌍의 플런저(3, 4)를 결합한 플런저 어셈블리(5)는, 절연체로 이루어지는 홀더(6)에 설치된 지지구멍(7)에 한 쌍의 플런저(3, 4)의 왕복 운동이 가능하도록 수용되고, 일단 측 플런저(4)는 외측으로 돌출되는 동시에 탈락 방지되고, 타단 측 플런저(3)는 홀더(6)에 적층된 배선 플레이트(11)에 전기적으로 접속되어 장착되고, 또한 플런저 어셈블리(5)는 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11) 측 개구부(9a)를 통하여 지지구멍(7)에 삽입 발취 가능하도록, 지지구멍(7)의 개구부(9a)가 배선 플레이트(11)의 이탈에 의해 개방된다.

도전성 접촉자, 전기 프로브, 플런저, 코일 스프링, 홀더, 배선 플레이트

Description

도전성 접촉자 및 전기 프로브 유닛 {CONDUCTIVE CONTACTOR AND ELECTRIC PROBE UNIT}

본 발명은 침부(針部)로서의 플런저를 액정 디스플레이용 기판, TAB, 또는 패키지 기판(PKG 등의 접촉대상에 접촉시켜 전기 신호를 인출 리드 도체 등의 신호 전송선을 통하여 외부회로에 전송하는, 도전성의 소형 접촉자, 소켓핀(SCP), 씬프로브(THP) 등의, 도전성 접촉자(microcontactor probe)에 관한 것이다. 본 발명은 또한, 복수의 도전성 접촉자로 구성되는 전기 프로브 유닛에 관한 것이다.

인쇄회로기판의 도체 패턴 또는 전자 소자 등의 전기적 검사를 위해 이용되는 종래의 전기 프로브 유닛은 도전성 침부로서의 플런저와, 이 플런저를 축 방향으로 출몰 가능하게 지지하는 홀더와, 플런저의 돌출 단부를 홀더의 전방 단부(한쪽 축 방향 단부)부터 돌출시키는 방향으로 탄발 가압하는 코일 스프링으로 이루어지는 도전성 접촉자를 구비하여 구성되고, 플런저의 돌출 단부를 검사 대상의 피접촉체에 탄발적으로 접촉시킨다.

일례로서, 도 7에 나타내는 도전성 접촉자(100)가 알려져 있다. 이 도전성 접촉자(100)는 코일 스프링(2)의 양단에 한 쌍의 플런저(3, 4)를 결합한 플런저 어셈블리(5)가 절연성의 홀더(6)에 설치된 지지구멍(7)에 플런저(3, 4)의 왕복 운동 이 가능하도록 수용되어 장착되고, 플런저(3, 4)가 외측으로 돌출된 상태로 탈락 방지된다.

홀더(6)는 중간 절연체(8)와, 이 중간 절연체(8)를 사이에 끼워 상하로 적층된 상측 절연체(9) 및 하측 절연체(10)로 구성되고, 플런저(3, 4)는 각각의 원통부 직경이 상이한 계단부를 가지고, 이 계단부는 상측 절연체(9) 및 하측 절연체(10)를 관통 고정하여 탈락을 방지한다.

도전성 접촉자(100)는 그 사용 시, 상측의 플런저(3)의 돌출 단부를 홀더(6)에 적층되는 배선 플레이트(도시하지 않음)에 고정된 리드 도체(도시하지 않음)에 탄성적으로 접촉하여 전기적으로 접속한 상태에서 하측의 플런저(4)의 돌출 단부를 검사 대상의 피접촉체(도시하지 않음)에 탄발적으로 접촉시키고, 이에 따라, 기판 상에 형성된 인쇄회로의 단락 또는 단선의 유무를 검사한다.

도전성 접촉자(100)는 플런저(3 또는 4)와 홀더(6) 사이에 이물질이 개재되어 플런저(3 또는 4)의 탄발적인 출몰이 저해되었을 때, 또는 플런저(3 또는 4)가 파손되었을 때에, 리드 도체 또는 검사 대상의 피접촉체와의 접촉 불량에 기인한 검사 정밀도의 저하를 방지하기 위해 플런저 어셈블리(5)를 교환한다.

이 교환 작업은 피접촉체의 파인피치화(처리속도의 고속화나 칩의 소형화·박형화에 따라 파인피치화가 진전됨)에 대응하도록 배열 피치를 예를 들면 0.2∼0.15mm로 좁게 한 도전성 접촉자인 경우에는 중간 절연체(8)에 대한 상측 절연체(9)(또는 하측 절연체(10))의 이탈, 위치 결정, 재고착 작업을 수반하고, 홀더의 해체 및 재조립이 필요하게 되어, 고도의 숙련이 요구된다.

본 발명은 홀더의 해체 및 재조립을 행하지 않고, 플런저 어셈블리를 용이하게 교환할 수 있는 도전성 접촉자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 지지구멍을 구비한 절연체와, 상기 지지구멍의 일단으로 노출되는 리드 도체와, 상기 지지구멍의 타단에서 외부로 노출되는 제1 도체부와 상기 리드 도체에 접촉하는 제2 도체부로 이루어지고, 상기 지지구멍에 탈락 방지되도록 장착된 탄발성의 도체 어셈블리로 이루어지는 도전성 접촉자에 있어서, 상기 절연체를 분리하여 상기 지지구멍 내로 액세스 가능하게 한 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 전기 프로브 유닛의 사시도이다.

도 2는 본 발명의 도 1의 전기 프로브 유닛의 도전성 접촉자의 단면도이다.

도 3은 도 2의 도전성 접촉자의 리드 도체의 사시도이다.

도 4는 본 발명의 별도의 실시예에 따른 전기 프로브 유닛의 도전성 접촉자의 주요부 단면도이다.

도 5는 본 발명의 별도의 실시예에 따른 전기 프로브 유닛의 도전성 접촉자의 단면도이다.

도 6은 본 발명의 별도의 실시예에 따른 전기 프로브 유닛의 도전성 접촉자의 단면도이다.

도 7은 종래의 전기 프로브 유닛의 도전성 접촉자의 주요부 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 동일한 부재는 동일한 부호로 나타낸다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기 프로브 유닛 PU를 나타낸다. 이 프로브 유닛 PU는 프로브 카드로서 구성되고, 비교적 큰 기판인 양면 퍼포먼스 보드 H2와, 퍼포먼스 보드 H2의 하측에 나사 고정된 비교적 작은 중계 기판인 대략 평평한 트랜스포머 H1을 구비하고, 하나 이상의 전기 프로브 모듈 PM이 트랜스포머 H1의 하측에 나사 고정된다. 프로브 유닛 PU는「테스터」라고 칭하는 컴퓨터 지원용 다축 위치 결정 로봇(도시하지 않음)에 지지되어, 프로브모듈 PM을 설계 공간 영역 내의 임의 위치에서 인쇄회로기판, 마이크로칩, 또는 반도체웨이퍼 등의 피검사체(도시하지 않음)의 검사에 최적인 자세로 설정되고, 전기접촉에 의한 탐침에 의해 전도 또는 성능 체크 등의 전류데이터 또는 신호를 취득 또는 추출한다.

전기 프로브 모듈 PM은 트랜스포머 H1에 고정된 대략 평평한 절연성의 모듈 하우징 MH와, 모듈 하우징 MH에 조립되고, 예를 들면 약 0.15mm의 설계거리로 접촉 하단부가 외측에 노출되는 수백 또는 수천의 도전성 접촉자(1)의 매트릭스로서 대상 전용으로 배열된 복수(본 형태에서는 4개)의 전기 프로브 블록 PB로 이루어진다. 각 프로브(1)는 트랜스포머 H1에 적층되는 배선기판이 대응하는 리드 도체에 접속된다.

도 2는 도 1의 전기 프로브 유닛 PU의 임의의 도전성 접촉자(1)를 나타낸다.

프로브 유닛 PU는 모듈 하우징 MH에 고정된 절연판부로서의 프로브 홀더(6) 와, 프로브 홀더(6) 상에 적층되어 리드 도체(12)가 형성된 절연 기판으로서의 배선 플레이트(11)를 가진다.

이 도전성 접촉자(1)는 코일 스프링(2)의 양단에 한 쌍의 플런저(3, 4)를 고착한 플런저 어셈블리(5)를 절연성의 홀더(6)에 설치한 지지구멍(7)에 플런저(3, 4)가 왕복 운동 가능하도록 수용하고, 일단 측 플런저(4)는 외측으로 돌출시켜 탈락 방지되도록 한 상태로 장착하고, 타단 측 플런저(3)는 홀더(6)에 적층된 배선 플레이트(11)의 리드 도체(12)에 탄성적으로 접촉시켜서 전기적으로 접속하여 장착한다. 플런저(3, 4)는 Ni 도금으로 베이스 처리하고 Au 도금으로 마무리한 외경 0.1mm의 공구강(SK)으로 이루어진다. 코일 스프링(2)은 두께 0.3㎛의 Ni 도금으로 베이스 처리하고 두께 0.3∼0.5㎛의 Au 도금으로 마무리한 나선형의 피아노선(SWPA)으로 이루어진다.

플런저 어셈블리(5)는 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11)가 적층된 쪽 개구부(9a)를 통하여 지지구멍(7)에 삽입 및 발취 가능하게 조립된다.

홀더(6)는 중간 절연체(8) 및 이 중간 절연체(8)를 사이에 끼워 상하에 적층된 상측 절연체(9) 및 하측 절연체(10)로 구성된다. 지지구멍(7)은 각 절연체(8, 9, 10)에 동심으로 배치된 관통공(8a, 9a, 10a)이 서로 연통되도록 구성된다.

즉, 지지구멍(7)은 관통공(8a)의 상측 및 하측에 각각 관통공(9a 및 10a)을 연통시키고, 관통공(8a)과 관통공(9a)을 대략 동일한 직경으로 하고, 또한 관통공(10a)의 직경을 관통공(8a)보다 작게 설정한다. 이로 인하여 본 실시예에서는 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11) 측 단부는 관통공(9a)으로 구성된다.

플런저(3, 4)는 관통공(8a, 9a)에서 안내되면서 슬라이딩 가능한 직경을 가지는 직경이 확대된 원통부(3a, 4a)와, 코일 스프링(2)의 코일 단부를 감을 수 있는 직경을 가지는 원통부(3a, 4a)에 돌출 형성된 결합 보스부(3b, 4b)와, 결합 보스부(3b, 4b)에 대향하여 직경이 확대된 원통부(3a, 4a)에 돌출 형성된 침부(3c, 4c)로 이루어진다. 침부(4c)는 하측 절연체(10)의 관통공(10a)에서 안내되면서 상하 이동 가능한 직경을 가진다.

플런저 어셈블리(5)는 코일 스프링(2)의 양단부에 보스부(3b, 4b)를 압입하여 플런저(3 및 4)에 고착한다. 이 플런저(3 및 4)의 결합은 그 외에 브레이징(brazing), 납땜, 또는 접착제를 이용하여 행할 수도 있다.

플런저 어셈블리(5)는 지지구멍(7)의 개구부(9a) 측에서, 플런저(4)의 침부(4c)를 선두로 하여 지지구멍(7)에 삽입하고, 원통부(4a)의 단면을 하측 절연체(10)의 내면에 접촉시켜 탈락을 방지하고, 침부(4c)를 관통공(10a)을 통하여 하측 절연체(10)의 외측으로 돌출시킨 상태에서 지지구멍(7)에 수용한다. 이 수용상태에서는 배선 플레이트(11)가 적층되어 있지 않기 때문에, 코일 스프링(2)의 다른 쪽 단부에 결합된 플런저(3)는 탈락이 방지되지 않고, 코일 스프링(2)의 자유길이만큼만 지지구멍(7)의 개구부(9a)로부터 외측으로 돌출된다.

상측 절연체(9)의 상면에는 홀더(6)의 일부가 되기도 하는 배선 플레이트(11)가 적층되고, 그 배선 플레이트(11)에는 지지구멍(7)의 개구부(9a)에 대향하는 부분에 대직경인 지지구멍(11a)이 소정의 깊이로써 설치된다. 지지구멍(11a)에는 신호 전송선으로서 에나멜선 등의 단선(單線)으로 이루어지는 리드 도체(12)의 단부에 형성된 대략 원형의 편평부(12a)가 수용된다. 이 편평부(12a)는 도 2에 도시한 바와 같이 리드 도체(12)의 단부를 축선과 직교하는 방향으로 프레스 가공하여 소성 변형시킨 것일 수도 있으며, 그에 따라서, 도면에 도시한 바와 같이 리드 도체(12)의 외경(에나멜선의 외경)(d)보다도 직경이 확대된(d+α) 대략 원형의 형상으로 형성된다.

리드 도체(12)는 지지구멍(11a)과 연통되도록 배선 플레이트(11)에 형성된 소직경 구멍부로서의 리드 도체 삽입공(11b)을 통하여 외측으로 연장되어, 측정기로서의 외부회로(13)에 접속된다. 리드 도체 삽입공(11b)은 상기 편평부(12a)의 탈락을 방지하는 크기로서 리드 도체(12)에 삽입되어 통과가 가능한 정도의 직경으로 개구된다. 지지구멍(11a)에 수용된 편평부(12a)가 지지구멍(11a)과 리드 도체 삽입공(11b)의 계단부에 의해, 리드 도체(12)의 연장 방향에 대하여 탈락이 방지된다. 지지구멍(11a)은 지지구멍(7)의 일부로 간주한다.

지지구멍(8a)에 편평부(9a)가 수용된 리드 도체(12)의 축선 방향 단부면(12b)이 지지구멍(11a) 내에서 지지구멍(7)의 개구부(9a)에 대면하도록 위치되고, 그 단부면(12b)에 플런저(3)의 침부(3c)가 탄발적으로 접촉한다.

복수의 도전성 접촉자(1)를 종횡으로 소정의 피치로 설치하여 프로브 유닛을 구성하고, 그 프로브를 검사 대상인 예를 들면 반도체칩 탑재용 기판(14)에 근접시킴으로써, 검사 바늘인 하측 플런저(4)의 침부(4c)의 돌출 단부를 피접촉체인 전극(14a)에 탄발적으로 접촉시킨다. 이 플런저(4)로 인출한 전기 신호는 플런저 어셈블리(5)를 통하여 리드 도체(12)의 단부면(12b)에 도달되고, 리드 도체(12)를 통하여 외부회로(13)에 전송된다.

도전성 접촉자(1)는 플런저(3 또는 4)가 탄발적으로 출몰되지 않는 경우, 또는 플런저(3 또는 4)가 파손된 경우 등, 결함이 있는 플런저를 교환할 필요가 생겼을 때에, 홀더(6)에 적층된 배선 플레이트(11)를 이탈시킴으로써 지지구멍(7)의 개구부(9a)를 개방할 수 있고, 이 개구부(9a)를 통하여 결함이 있는 플런저를 가진 플런저 어셈블리(5)를 뽑아내어 제거할 수 있다. 또한 비워진 지지구멍(7)에 새로운 플런저 어셈블리(5)를 삽입하고, 배선 플레이트(11)를 홀더(6)에 적층하여, 플런저 어셈블리(5)의 교환 작업을 행할 수 있다. 이 교환 작업은 홀더(6) 자체의 해체 및 재조립을 수반하는 일이 없기 때문에, 고도의 숙련을 요하지 않고 용이하게 행할 수 있다.

또, 이 도전성 접촉자(1)에서는 리드 도체(12)를 필요 이상으로 가늘게 하지 않아도 된다. 따라서, 도선 저항이 비교적 커지는 직경 0.07mm 이하의 도선을 사용하지 않고, 직경 0.08mm 이상의 도선을 사용할 수 있다. 예를 들면 직경 0.08∼0.09mm의 도선인 경우에는 편평부(9a)의 폭(d+α)은 0.10∼0.11mm 정도가 되고, 파인피치화에 의해 피치가 0.15mm 정도로 되어도, 인접하는 도전성 접촉자 간에 간섭되지 않고 지지구멍(11a)을 형성할 수 있다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에서의, 배선 플레이트(11)를 생략한 도전성 접촉자(20)를 나타낸다. 이 도전성 접촉자(20)는 도전성 접촉자(1)에 비하여 플런저 어셈블리(5)를 구성하는 한쪽 플런저(3)의 형상이 상이하다.

본 실시예의 플런저(3)는 막대형 원통부(3d)의 선단부가 리드 도체(12)에 전 기적으로 접속되는 침부(3f)로서 형성되어 있다. 본 실시예에서, 침부(3f)는 막대형 원통부(3d)의 선단부가 날카로운 형상인 원추부로 형성되어 구성된다. 이것은 평탄면이나 그 외의 형상일 수도 있으며, 적당한 형상을 선택한다.

이 플런저(3)는 막대형 원통부(3d)의 후방 단부에 결합 보스부(3e)가 돌출 형성되어 있고, 이 결합 보스부(3e)가 압입되어서 코일 스프링(2)의 단부에 결합되어 있다. 코일 스프링(2)의 다른 쪽 단부에는 상기 실시예와 동일하게 플런저(4)가 결합된다.

이 도전성 접촉자(20)의 홀더(6)는 2층으로 적층된 중간 절연체(15, 16)와, 이 중간 절연체(15, 16)를 사이에 끼워 상하에 적층된 상측 절연체(9) 및 하측 절연체(10)로 구성된다. 지지구멍(7)은 각 절연체(9, 10, 15, 16)에 각각 동심으로 배치한 관통공(9a, 10a, 15a, 16a)이 서로 연통되도록 구성한다. 관통공(9a, 15a, 16a)은 대략 동일한 직경으로 형성되고, 관통공(10a)은 이보다 축소된 직경으로 형성된다.

본 실시예에서도, 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11)가 적층된 쪽 개구부는 관통공(9a)으로 구성되어 있고, 또한 플런저(3)의 막대형 원통부(3d)는 관통공(9a, 15a, 16a) 내로 안내되면서 이동 가능한 정도의 직경으로 형성되어 있기 때문에, 플런저 어셈블리(5)는 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11)가 적층된 쪽 개구부(9a)를 통하여 지지구멍(7)에 삽입 발취 가능하게 조립된다.

도전성 접촉자(20)는 전술한 실시예와 동일한 작용 효과를 얻을 수 있는 것 외에, 플런저(3)가 계단형의 원통부가 아닌 만큼 용이하게 가공할 수 있어, 비용의 저감을 도모할 수 있다.

도 5는 제2 실시예의 변형예인 제3 실시예에 따른 도전성 접촉자(21)를 나타낸다. 이 도전성 접촉자(21)는 도전성 접촉자(20)에 비하여 홀더(6)의 구성이 상이하다.

이 도전성 접촉자(21)의 홀더(6)는 2층으로 적층된 중간 절연체(15, 16)만으로 구성되고, 지지구멍(7)은 각 중간 절연체(15, 16)에 동심으로 배치된 관통공(15a, 16a, 16b)이 서로 연통되도록 구성된다. 관통공(16b)은 플런저(4)의 침부(4c)를 슬라이딩 가능하게 안내하는 가느다란 구멍으로 형성되고, 중간 절연체(16)의 하부에 직경이 축소된 관통공(16a)이 형성된다.

본 실시예에서, 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11)가 적층된 쪽 개구부는 관통공(15a)으로 구성되고, 플런저 어셈블리(5)는 지지구멍(7)의 배선 플레이트(11)가 적층된 쪽 개구부(15a)를 통하여 지지구멍(7)에 삽입 발취 가능하게 조립된다.

도전성 접촉자(21)는 전술한 도전성 접촉자(20)와 동일한 작용 효과를 얻을 수 있는 것 외에, 상측 절연체(9) 및 하측 절연체(10)를 이용하지 않는 만큼, 부품수가 적고, 조립성이 향상되어, 지지구멍(7)을 구성하는 관통공(16a)과 관통공(16b)의 상대적인 위치 관계를 정밀하게 유지할 수 있다.

도 6은 제3 실시예의 변형예인 제4 실시예에 따른 도전성 접촉자(22)를 나타낸다. 이 도전성 접촉자(22)는 도전성 접촉자(21)에 비하여 배선 플레이트(11)의 구성이 상이하다.

배선 플레이트(11)로서, 상기한 리드 도체(12)를 이용한 리드 도체 구조 이 외에, 회로 기판이나 FPC(플렉시블 기판)도 사용 가능하지만, 본 변형예에서는 회로 기판을 이용한 예를 나타낸다.

즉, 본 변형예에서는 배선 플레이트(11)로서, 회로 도체(26)가 기판(25) 내에 매립되어 구성되는 회로 기판이 이용되고 있고, 플런저 어셈블리(5)의 플런저(3)는 그 침부(3f)가 기판(25)의 외표면에 노출된 회로 도체(26)의 노출면(26a)에 탄발적으로 접촉되어, 회로 도체(26)와의 전기적인 접속을 도모한다. 회로 도체(26)의 다른 쪽 단부(26b)는 적절하게 리드 도체(도시하지 않음)를 통하여 측정기인 외부회로(13)(도 1 참조)에 접속된다.

도전성 접촉자(22)도 도전성 접촉자(21)와 동일한 작용 효과를 얻는다.

이상의 실시예에 의하면, 코일 스프링의 양단에 한 쌍의 도전성 침상체(針狀體)를 결합한 침상체 어셈블리가, 절연체로 이루어지는 홀더에 형성된 지지구멍에, 상기 한 쌍의 도전성 침상체가 왕복 운동 가능하도록 수용되는 동시에, 일단 측의 도전성 침상체는 외측으로 돌출되는 동시에 탈락이 방지되도록 장착되어 있고, 또한 타단 측 도전성 침상체는 상기 홀더에 적층되는 배선 플레이트에 전기적으로 접속되어 장착되어 있는 도전성 접촉자에 있어서, 상기 침상체 어셈블리는 상기 지지구멍의 상기 배선 플레이트가 적층된 쪽 개구부를 통하여 상기 지지구멍에 삽입 발취 가능하게 조립되어 있다.

홀더에 적층된 배선 플레이트를 이탈시킴으로써, 지지구멍의 배선 플레이트가 적층된 쪽 개구부를 개방할 수 있고, 이 개구부를 통하여 플런저 어셈블리의 지지구멍에 대한 삽입 및 발취가 가능하게 된다.

따라서, 도전성 접촉자에 결함이 생긴 경우에는 홀더 자체의 해체 및 재조립을 수반하지 않고, 홀더에 적층된 배선 플레이트를 이탈시키는 것만으로, 지지구멍으로부터 결함이 있는 플런저 어셈블리를 뽑아내어 제거할 수 있는 동시에, 비워진 지지구멍에 새로운 플런저 어셈블리를 삽입하는 동시에 배선 플레이트를 홀더에 적층하여 플런저 어셈블리의 교환을 완료할 수 있다.

또, 상기 침상체 어셈블리의 타단 측 도전성 침상체는 막대형 원통부의 선단부에, 상기 배선 플레이트와 전기적으로 접속되는 침부가 형성되어 있다.

이로 인하여, 타단 측 플런저가 계단형 원통부가 아닌 만큼, 용이하게 가공할 수 있고, 나아가서는 비용의 저감을 도모할 수 있다.

본 발명에 의하면, 홀더의 해체 및 재조립을 행하지 않고, 플런저 어셈블리를 용이하게 교환할 수 있는 도전성 접촉자를 구성할 수 있고, 그 도전성 접촉자를 이용한 전기 프로브 유닛을 구성할 수 있다.

Claims (9)

1. 코일 스프링(2), 및 상기 코일 스프링(2)에 고착된 한 쌍의 플런저(3, 4)를 가지는 플런저 어셈블리(5),

   상기 플런저 어셈블리(5)를 수용하는 지지구멍(7)이 형성된 프로브 홀더(6), 및

   상기 프로브 홀더(6)에 적층되고, 상기 한 쌍의 플런저 중 한쪽 플런저(3)가 탄발적으로 접촉되는 도체(12)를 가지는 기판(11)

   을 포함하고,

   상기 지지구멍(7)은 상측 개구부(9a), 하측 개구부(10a), 및 상기 상측 개구부(9a) 및 상기 하측 개구부(10a)와 연통되는 중간 관통부(8a)를 가지고,

   상기 한쪽 플런저(3)는 상기 상측 개구부(9a) 및 상기 중간 관통부에서 안내되면서 슬라이딩 가능한 원통부(3a), 상기 원통부(3a)에 돌출 설치된 상기 코일 스프링(2)의 단부를 감을 수 있는 보스부(3b), 및 상기 원통부에 돌출 설치된 상기 도체(12)에 탄발적으로 접촉되는 침부(3c)를 가지는 도전성 접촉자이고,

   상기 기판(11)을 상기 홀더(6)로부터 분리시켰을 때에 상기 플런저 어셈블리(5)는 상기 상측 개구부(9a)를 통하여 삽입 발취가 가능한

   도전성 접촉자(1; 20-22).
2. 제1항에 있어서,

   상기 원통부(3a)와 상기 침부(3c) 사이에 단차를 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(1).
3. 제1항에 있어서,

   상기 원통부를 봉형으로 형성하고, 그 선단 원추부를 상기 침부(3f)로 한 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(20-22).
4. 제1항에 있어서,

   상기 프로브 홀더(6)는, 상기 상측 개구부(9a)가 형성된 상측의 절연체(9), 상기 하측 개구부(10a)가 형성된 하측 절연체(10), 및 상기 상측 절연체와 하측 절연체 사이에 놓이는 상기 중간 관통부(8a)가 형성된 중간 절연체(8)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(1).
5. 제4항에 있어서,

   상기 중간 절연체는 2층으로 적층된 중간 절연체(15, 16)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(20).
6. 제1항에 있어서,

   상기 프로브 홀더(6)는, 상기 상측 개구부(15a)가 형성된 상측의 중간 절연체(15), 및 상기 하측 개구부(16b)가 형성된 하측의 중간 절연체(16)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(21; 22).
7. 제1항에 있어서,

   상기 기판은 배선 플레이트(11)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(1).
8. 제1항에 있어서,

   상기 기판은 회로 도체(26)를 매설하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 도전성 접촉자(22).
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 도전성 접촉자를 복수 개 구비하여 이루어지는 전기 프로브 유닛.

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