TW201935009A - 探針、檢查治具、檢查單元以及檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種探針、具備該探針的檢查治具、具備該檢查治具的檢查單元以及具備該檢查單元的檢查裝置，所述探針能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物。探針包括：第1接觸部及第2接觸部；中間部，配置於第1接觸部及第2接觸部之間；第1彈性部，使第1接觸部相對於中間部而沿第1排列方向移動；以及可動部，使第2接觸部相對於中間部而沿與第1排列方向交叉的方向移動。

Description

探針、檢查治具、檢查單元以及檢查裝置

本揭示是有關於一種探針（probe pin）、具備該探針的檢查治具、具備該檢查治具的檢查單元（unit）以及具備該檢查單元的檢查裝置。

對於攝影機（camera）或者液晶面板（panel）等電子零件模組（module），一般會在其製造步驟中進行導通檢查及動作特性檢查等。該些檢查是藉由下述方式來進行，即，使用探針，將用於與設置於電子零件模組中的本體基板連接的可撓性印刷電路（Flexible Printed Circuit，FPC）接觸電極或者所安裝的基板對基板連接器（connector）等的電極部、與檢查裝置予以連接。

作為此種探針，例如有專利文獻1所記載者。該探針包括：一對接觸部（contact），可分別接觸至電子零件的電極端子及被連接電子零件的電極端子；以及蛇行部，介隔於一對接觸部間，將一對接觸部予以連接。所述探針中，構成為：蛇行部沿著連結一對接觸部的排列方向而伸縮，各接觸部沿著該排列方向往復移動，藉此各接觸部在排列方向上接觸至電磁零件的電極端子及被連接電子零件的電極端子。
[現有技術文獻]
[專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2002-134202號公報

[發明所欲解決之課題]

近年來，伴隨檢查裝置及檢查對象物的多樣化，在各接觸部沿著同一方向往復移動的、所謂直線型的所述探針難以應對的情況增加。

例如，顯示器模組（display module）的檢查有時要在顯示器面板上配置有電極部的狀態下進行。若在此類檢查中使用所述探針，則其中一個接觸部接觸至顯示器面板上的電極部，另一個接觸部接觸至檢查裝置，但若顯示器面板是由有機電致發光（Electroluminescence，EL）之類的強度弱的材料構成，則有可能在所述探針接觸時，有過度的力作用於顯示器，從而導致顯示器面板發生破裂。

本揭示的目的在於提供一種能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的探針、具備該探針的檢查治具、具備該檢查治具的檢查單元以及具備該檢查單元的檢查裝置。
[解決課題之手段]

本揭示的一例的探針包括：
第1接觸部及第2接觸部；
中間部，配置於所述第1接觸部及所述第2接觸部之間；
第1彈性部，連接於所述第1接觸部及所述中間部，沿著連結所述第1接觸部及所述中間部的第1排列方向而伸縮，使所述第1接觸部相對於所述中間部而沿所述第1排列方向移動；以及
可動部，連接於所述中間部及所述第2接觸部，使所述第2接觸部相對於所述中間部而沿與所述第1排列方向交叉的方向移動，
所述第1接觸部、所述第1彈性部、所述中間部、所述可動部及所述第2接觸部是串聯地配置。

另外，本揭示的一例的檢查治具包括：
所述探針；以及
插座，具有可收容所述探針的收容部，
所述插座具有卡止部，所述卡止部在沿著所述第1排列方向而從所述第1接觸部朝向所述第2接觸部的方向上，對收容於所述收容部中的所述探針的所述中間部進行卡止。

另外，本揭示的一例的檢查單元包括至少一個所述檢查治具。

另外，本揭示的一例的檢查裝置包括至少一個所述檢查單元。
[發明的效果]

根據所述探針，第1接觸部構成為藉由第1彈性部，可相對於中間部而沿著連結第1接觸部及中間部的第1排列方向移動，第2接觸部構成為藉由可動部，可相對於中間部而朝與第1排列方向交叉的方向移動。藉此，可實現能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向而接觸至檢查對象物的探針。

另外，根據所述檢查治具，藉由所述探針，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查治具。

另外，根據所述檢查單元，藉由所述檢查治具，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查單元。

另外，根據所述檢查裝置，藉由所述檢查單元，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。

以下，依照附圖來說明本揭示的一例。再者，以下的說明中，根據需要而使用表示特定方向或者位置的用語（例如包含「上」、「下」、「右」、「左」的用語），但該些用語的使用是為了便於參照圖式來理解本揭示，並不因該些用語的含義而限定本揭示的技術範圍。而且，以下的說明本質上不過是例示，並不意圖限制本揭示、其適用物、或者其用途。進而，圖式為示意性者，各尺寸的比率等未必與現實一致。

（第1實施形態）
本揭示的第1實施形態的探針10具有導電性，例如如圖1及圖2所示，在收容於插座50中的狀態下使用，且與插座50一同構成檢查治具2。在該檢查治具2中，作為一例，收容有多個細長的薄板狀的多個探針10。

而且，檢查治具2構成檢查單元1的一部分。檢查單元1至少包含一個檢查治具2。如圖1所示，第1實施形態中，檢查單元1包含鄰接地配置的兩個檢查治具2。

插座50如圖1所示，包含大致矩形板狀的板狀部51、及連接於該板狀部51的長邊方向中央的大致長方體狀的長方體部52，具有大致T字的箱形狀。而且，如圖2所示，在板狀部51及長方體部52的內部，分別設有可收容一個探針10的多個收容部53。

各收容部53如圖2所示，具有狹縫（slit）狀，可彼此電性獨立地收容且保持各探針10，並且從板狀部51及長方體部52的連接方向（即，圖2的上下方向）觀察，沿著板狀部51的長邊方向（即，圖2的紙面貫穿方向）而排列成一列且等間隔地配置。

各收容部53中的板狀部51及長方體部52的連接方向的兩端部連接於彼此相向的第1開口部54及第2開口部55。第1開口部54設於板狀部51，第2開口部55設於長方體部52。再者，第1實施形態中，第1開口部54相對於各收容部53而設有兩個，從板狀部51及長方體部52的連接方向觀察，沿著板狀部51的短邊方向（即，圖2的左右方向）隔開間隔而配置。

另外，如圖2所示，在各收容部53中的板狀部51及長方體部52的連接方向的中間，設有從板狀部51及長方體部52的連接方向觀察而沿板狀部51的短邊方向延伸的卡止部56。該卡止部56在收容部53內，在沿著第1排列方向而從第1接觸部20朝向第2接觸部30的方向上，對後述的探針10的中間部40進行卡止。再者，卡止部56既可一體地設於插座50，亦可獨立於插座50而設置。

各探針10如圖3所示，包括：板狀的第1接觸部20及第2接觸部30；中間部40，配置於第1接觸部20及第2接觸部30之間；第1彈性部11，連接於第1接觸部20及中間部40；以及可動部12，連接於中間部40及第2接觸部30。各探針例如利用電鑄法而形成，從探針10的板厚方向觀察，第1接觸部20、第1彈性部11、中間部40、可動部12及第2接觸部30沿著探針10的長邊方向（即，圖3的上下方向）而串聯地配置且一體地構成。

第1接觸部20如圖4所示，從探針10的板厚方向觀察，具有沿著探針10的短邊方向延伸的大致矩形狀，在探針10的長邊方向的其中一個端部連接有第1彈性部11，在探針10的長邊方向的另一個端部設有第1觸點部21。第1觸點部21分別設於第1接觸部20的其延伸方向的兩端部。各第1觸點部21如圖2所示構成為：在收容於插座50的收容部53中的狀態下，經由第1開口部54而露出於插座50的外部，例如可在第1排列方向上連接於檢查裝置的基板100上所設的端子（未圖示）。即，各第1觸點部21相對於檢查裝置的基板100上所設的端子的接觸方向是與第1排列方向大致平行。

再者，如圖1所示，從板狀部51及長方體部52的連接方向（即，圖1的上下方向）觀察，收容於各收容部53中的探針10的第1觸點部21是配置於與板狀部51的長邊方向平行的同一第1假想直線L1上。

第2接觸部30如圖4所示，從探針10的板厚方向觀察，沿探針10的長邊方向延伸，在其延伸方向的一端部設有第2觸點部31，在其延伸方向的另一端部連接有可動部12。第2觸點部31如圖2所示構成為：在收容於插座50的收容部53中的狀態下，經由第2開口部55而露出至插座50的外部，例如，可在與第1排列方向交叉的方向上連接於基板對基板連接器110的電極部111。即，第2觸點部31相對於基板對基板連接器110的電極部111的接觸方向是與跟第1排列方向交叉的方向大致平行，與各第1觸點部21相對於檢查裝置的基板100上所設的端子的接觸方向不同。

再者，第2觸點部31是沿著第2假想直線L2而配置，該第2假想直線L2沿著連結第1接觸部20及中間部40的第1排列方向（以下，簡稱作第1排列方向）而延伸，且通過其中一個第1觸點部21（圖4左側的第1觸點部21）中的與第1排列方向正交的方向的中心。

而且，收容於各收容部53中的探針10的第2觸點部31是與第1觸點部21同樣地，從板狀部51及長方體部52的連接方向觀察，配置於與板狀部51的長邊方向平行的同一直線（未圖示）上。

在第2接觸部30，設有突起部13，該突起部13從第2接觸部30的第1排列方向上的第2觸點部31及可動部12（即，後述的第2彈性部15）的中間朝與第1排列方向交叉（例如，大致正交）的方向突出。作為一例，該突起部13具有從第2接觸部30朝與第1排列方向交叉的方向延伸的大致矩形狀，在其前端部的探針10的長邊方向且第2觸點部31側的面上，設有半圓狀的切口部14。在該切口部14，如圖2所示，連接有操作桿120，經由該操作桿120，對突起部13施加第1排列方向且接近第1接觸部20的方向（即，圖2的箭頭A方向）的外力。

中間部40如圖4所示，具有沿與第1排列方向交叉（例如正交）的方向延伸的大致矩形板狀。該中間部40相對於第2假想直線L2而朝與第2接觸部30的突起部13相同的一側延伸。

第1彈性部11如圖4所示，連接於第1接觸部20及中間部40，且構成為：沿著第1排列方向而伸縮，以使第1接觸部20相對於中間部40而沿第1排列方向移動。

詳細而言，第1彈性部11包含彼此隔開間隙115而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為四個帶狀彈性片）111、112、113、114。各帶狀彈性片111、112、113、114具有沿與第1排列方向交叉（例如正交）的方向延伸的多個直線帶部116及多個彎曲帶部117（本實施形態中，作為一例，為兩個直線帶部116及三個圓弧狀的彎曲帶部117）沿著第1排列方向交替地連接的蛇行形狀。

第1彈性部11的兩端的彎曲帶部117的各個是沿著第2假想直線L2而配置，其延伸方向的一端部連接於第2接觸部20或中間部40。再者，第1彈性部11的兩個直線帶部116是從連接於第2接觸部20或中間部40的彎曲帶部117的其延伸方向的另一端部，相對於第2假想直線L2而朝與第2接觸部30的突起部13及中間部40相同的一側分別延伸。

可動部12如圖4所示，連接於中間部40及第2接觸部30，且構成為可使第2接觸部30朝與第1排列方向交叉的方向移動。

詳細而言，可動部12具有第2彈性部15，該第2彈性部15沿著第1排列方向而延伸，並且第1排列方向的一端部連接於中間部40且第1排列方向的另一端部連接於第2接觸部30，可朝與第1排列方向交叉的方向彈性變形。

第2彈性部15如圖4所示，具有彼此隔開間隙153而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為兩個帶狀彈性片）151、152，且構成為：對應於經由突起部13施加至第2接觸部30的外力而彈性變形，使第2接觸部30以第2彈性部15及中間部40的連接部分16為支點而轉動（換言之，使其可動）。即，第1實施形態的探針10構成為：在經由操作桿120而對突起部13施加有圖2的箭頭A方向的外力時，第2彈性部15朝與第1排列方向交叉的方向彈性變形，第2接觸部30以第2彈性部15及中間部40的連接部分16為支點而轉動，從而相對於中間部40朝與第1排列方向交叉的方向移動。

配置於與第1排列方向正交的方向的其中一側（即，圖4的左側）的帶狀彈性片151具有沿著與第1排列方向平行的第2假想直線L2的直線狀。而且，配置於與第1排列方向正交的方向的另一側（即，圖4的右側）的帶狀彈性片152具有大致L字狀，該大致L字狀是由沿著與第1排列方向平行的第2假想直線L2延伸的第1部分154、與從第1部分154的第1排列方向的一端部（即，連接於中間部40的一側的端部）沿著中間部40延伸的第2部分155所構成。再者，間隙153是由帶狀彈性片151、152及中間部40所包圍，且呈大致L字狀地延伸。

再者，藉由以長條構件構成操作桿120，從而可利用一個操作桿120來對多個探針10的突起部13同時施加箭頭A方向的外力。

第1實施形態的探針10中，第1接觸部20構成為藉由第1彈性部11，可相對於中間部40而沿著連結第1接觸部20及中間部40的第1排列方向移動，第2接觸部30構成為藉由可動部12，可相對於中間部40而朝與第1排列方向交叉的方向移動。藉此，可實現能以與相對於檢查裝置（例如，檢查裝置的基板100）的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物（例如，基板對基板連接器110的電極部111）的探針10。

另外，還包括連接於第2接觸部30且從第2接觸部30朝與第1排列方向交叉的方向突出的突起部13，可動部12具有第2彈性部15，該第2彈性部15沿著第1排列方向延伸，並且可朝與第1排列方向交叉的方向彈性變形。並且，第2彈性部15對應於經由突起部13施加至第2接觸部30的外力而彈性變形，藉此，第2接觸部30以第2彈性部15及中間部40的連接部分16為支點而轉動，從而相對於中間部40而朝與第1排列方向交叉的方向移動。藉此，可容易地實現能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的探針10。

再者，施加至各突起部13的外力並不限於圖2的箭頭A方向，只要是如下所述的方向即可，即：對應於經由突起部13施加至第2接觸部30的外力而彈性變形，從而可使第2接觸部30以第2彈性部15及中間部40的連接部分16為支點而轉動的方向。例如，亦可對突起部13施加使各突起部13與第1排列方向交叉的方向且離開第2接觸部30的方向（即，圖2的箭頭B方向）的外力。

另外，藉由將突起部13的切口部14設為半圓狀，並將操作桿120的對切口部14的連接部分設為與切口部14的半圓狀一致的半圓狀，從而在使操作桿120沿箭頭A方向直線移動時，可確實地維持突起部13及操作桿120的連接狀態，從而可使第2接觸部30確實地轉動。

根據第1實施形態的檢查治具2，藉由探針10，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查治具2。即，例如，即使在顯示器面板由有機EL之類的強度弱的材料構成的情況下，亦不會損傷顯示器面板，而可進行顯示器面板模組的檢查。

另外，根據所述檢查單元1，藉由所述檢查治具2，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查單元1。

另外，根據所述檢查裝置，藉由所述檢查單元1，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。

再者，如圖2所示，所述檢查治具2中，探針10是在中間部40接觸至卡止部56的狀態下，收容於收容部53。即，探針10藉由卡止部56，在沿著第1排列方向而從第1接觸部20朝向第2接觸部30的方向上，支持且卡止探針10的中間部40。藉此，即使第1觸點部21例如接觸至檢查裝置的基板100而沿著第1排列方向從第1接觸部20朝向第2接觸部30（即，朝向收容部53的內部）受到按壓，由於中間部40被卡止部56支持且卡止，因此第1彈性部11的彈性力不會作用於第2接觸部30，可使第2接觸部30相對於中間部40而朝與第1排列方向交叉的方向確實地移動。即，可確實地實現所收容的探針10能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的檢查治具2。

第1實施形態的探針10的各結構可根據探針10的設計等來適當變更其形狀等。例如，第1觸點部21及第2觸點部31的各個可根據檢查裝置或者檢查對象物的各種樣式來適當變更形狀及位置等。

另外，例如亦可如圖5所示，在突起部13的突出方向上的接近第2接觸部30的端部，設置可朝第1排列方向且接近第1接觸部20的方向彈性變形的第3彈性部17。圖5的探針10中，第3彈性部17具有彼此隔開間隙173而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為兩個帶狀彈性片）171、172。其中一個帶狀彈性片171連接於第2彈性部15的直線狀的帶狀彈性片151，另一個帶狀彈性片172連接於第2彈性部15的大致L字狀的帶狀彈性片152。而且，兩個帶狀彈性片171、172之間的間隙173連接於第2彈性部15的間隙153。

另外，例如亦可如圖6所示，在第2接觸部30的第2觸點部31與突起部13之間，設置可朝與第1排列方向交叉的方向彈性變形的第4彈性部18。圖6的探針10中，第4彈性部18包含彼此隔開間隙184、185而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為三個彎曲成圓弧狀的帶狀彈性片）181、182、183。

如圖5及圖6所示，藉由在突起部13設置第3彈性部17，及/或在第2接觸部30設置第4彈性部18，可使第2接觸部30所產生的應力分散。例如，如圖2所示，在將此種探針10用於檢查治具2的情況下，當對突起部13施加有外力，第2接觸部30的第2觸點部31朝與第1排列方向交叉的方向移動而接觸至基板對基板連接器110的電極部111時，可防止對第2接觸部30施加過剩的應力而導致探針10發生破損。

另外，例如亦可如圖7所示，在中間部40設置貫穿板厚方向的貫穿孔41。作為一例，該貫穿孔41具有大致圓形狀，可配置大致圓柱形狀的連結棒部（未圖示）。該連結棒部可將多個探針10一體化而局部收容於對應的收容部53。在收容圖7的探針10的插座50中，設有沿其排列方向貫穿各收容部53的連結用孔部（未圖示），在該連結用孔部內配置連結棒部。此時，亦可取代卡止部56（或者，加上卡止部56），而在插座50中設置第2卡止部（未圖示），該第2卡止部在插座50於沿著第1排列方向而從第1接觸部20朝向第2接觸部30的方向上對連結棒部的兩端部進行卡止。

再者，第1～第4彈性部11、15、17、18的各個並不限於包含多個帶狀彈性片111、112、113、114、151、152、171、172、181、182、183的情況，例如亦可包含一個帶狀彈性片。

檢查治具2可根據檢查裝置或者檢查對象物的各種樣式來適當變更其結構。例如，亦可如圖8所示，在插座50的第2開口部55側的端部設置移動限制部57。該移動限制部57在對突起部13施加有外力時，限制第2接觸部30的第2觸點部31於移動的方向（即，與第1排列方向交叉的方向）上的第2接觸部30的移動。藉由該移動限制部57，當對突起部13施加有外力而第2接觸部30的第2觸點部31朝與第1排列方向交叉的方向移動時，可防止對可動部12的第2彈性部15施加過剩的應力而導致探針10發生破損。

另外，藉由使檢查治具2通用化，亦可提高檢查單元1（甚至檢查裝置）的生產性。

（第2實施形態）
本揭示的第2實施形態的探針10與第1實施形態的不同之處在於：如圖9～圖12所示，第2接觸部30及可動部12沿著與第1排列方向交叉的第2排列方向延伸，並且可動部12具有第5彈性部60。

再者，第2實施形態中，對於與第1實施形態相同的部分標註相同的參照編號並省略說明，對與第1實施形態的不同點進行說明。

第2接觸部30及可動部12如圖12所示，沿著第3假想直線L3而延伸，該第3假想直線L3與沿著第1排列方向延伸的第2假想直線L2交叉且通過第5彈性部60及中間部40的連接部分16。

第5彈性部60如圖12所示，第2排列方向的一端部連接於中間部40，且第2排列方向的另一端部連接於第2接觸部30，且構成為可朝與第1排列方向及第2排列方向交叉的方向彈性變形。

詳細而言，第5彈性部60包含彼此隔開間隙64、65而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為三個帶狀彈性片）61、62、63。各帶狀彈性片61、62、63具有沿著第2排列方向延伸的直線形狀，且構成為對應於施加至第2接觸部30的外力而發生彈性變形，藉此，第2接觸部30以第5彈性部60及中間部40的連接部分16為支點而轉動，從而相對於中間部40而朝與第1排列方向及第2排列方向交叉的方向移動。

在使用第2實施形態的探針10的檢查治具2中，如以下般使第2觸點部31連接於檢查對象物（例如，基板對基板連接器110的電極部111）。

即，首先，如圖10所示，從與第2排列方向交叉的方向且第2接觸部30接近第2假想直線L2的方向（即，圖10的箭頭C方向），經由操作桿120來對處於未被施加外力的恢復位置P1的第2接觸部30施加外力，使其移動至圖10所示的動作位置P2為止。此時，第5彈性部60朝與第1排列方向及第2排列方向交叉且第2接觸部30及可動部12的延伸方向與第1排列方向平行的方向（即，箭頭C方向）彈性變形。

然後，在使第2接觸部30位於動作位置P2的狀態下，使基板對基板連接器110的電極部111移動，以將電極部111配置於第2假想直線L2及第3假想直線L3之間。隨後，當去除操作桿120時，藉由第5彈性部60的恢復力，第2接觸部30以第5彈性部60及中間部40的連接部分16為支點，從動作位置P2朝向恢復位置P1轉動，第2觸點部31及電極部111接觸。

第2實施形態的探針10中，第2接觸部30及可動部12具有第5彈性部60，該第5彈性部60沿著與第1排列方向交叉的第2排列方向延伸，並且，可動部12可朝與第2排列方向交叉的方向彈性變形。並且，第5彈性部60對應於施加至第2接觸部30的外力而彈性變形，藉此，第2接觸部30以第5彈性部60及中間部40的連接部分16為支點而轉動，從而相對於所述中間部而朝與所述第1排列方向及所述第2排列方向交叉的方向移動。藉此，可容易地實現能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的探針10。

再者，第5彈性部60亦可如圖13所示，具有直線帶部601與彎曲帶部602交替地連續的蛇行形狀，所述直線帶部601與第2排列方向交叉，所述彎曲帶部602連接於直線帶部601。圖13的探針10中，作為一例，第5彈性部60包含彼此隔開間隙68而配置的多個帶狀彈性片（本實施形態中，為兩個帶狀彈性片）66、67，各帶狀彈性片66、67包含兩個直線帶部601與三個彎曲帶部602。

另外，例如亦可如圖14所示，還包括從第2接觸部20朝與第2排列方向交叉的方向突出的突起部13，且構成為經由突起部13來對第2接觸部30施加外力。圖14的探針10中，在突起部13的突出方向上的遠離第2接觸部30的端部，設有半圓狀的切口部14。

如此，第2實施形態的探針10的第5彈性部60可對應探針10的設計等來適當變更其形狀等。藉此，可實現設計自由度高的探針10。

（第3實施形態）
本揭示的第3實施形態的檢查治具2與第1實施形態的不同之處在於：如圖15及圖16所示，插座50具有第1殼體（housing）70、第2殼體80及凸輪(cam)部90。

再者，第3實施形態中，對於與第1實施形態相同的部分標註相同的參照編號並省略說明，對與第1實施形態的不同點進行說明。

第3實施形態的探針10未設有突起部13，除了此點以外，具有與第1實施形態的探針10相同的結構。

第1殼體70如圖15所示，為由板狀部51與長方體部52構成的大致T字的箱形狀，且如圖16所示，具有收容第1接觸部20及中間部40的多個第1收容部71。各第1收容部71具有狹縫狀，可彼此電性獨立地收容且保持各探針10，並且從板狀部51及長方體部52的連接方向（即，圖16的上下方向）觀察，沿著板狀部51的長邊方向（即，圖16的紙面貫穿方向）排列成一行且等間隔地配置。而且，探針10的可動部12從各第1收容部71的第1開口部55露出至第1殼體70的外部。

另外，第2殼體80如圖15所示，為大致長方體狀，且如圖16所示，具有收容第2接觸部30的第2收容部81。各第2收容部81是與第1收容部71同樣地，具有狹縫狀，可彼此電性獨立地收容且保持各探針10，並且從板狀部51及長方體部52的連接方向觀察，沿著板狀部51的長邊方向而排列成一行且等間隔地配置。各第2收容部81的、板狀部51及長方體部52的連接方向的兩端部開口，探針10的第2觸點部31及可動部12分別露出於各第2收容部81的外部。另外，第2殼體80構成為可在與第1排列方向交叉的方向（即，圖16的左右方向）上相對於第1殼體70而相對地移動。

如圖16所示，在檢查單元1的鄰接的檢查治具2之間，設有大致固定間隔的間隙3。在該間隙3，配置有凸輪部90。該凸輪部90具有能以沿著各收容部71、81的排列方向延伸的軸部91為中心而轉動的大致長方體狀。藉由凸輪部90轉動，第2殼體80朝與第1排列方向交叉的方向移動，且與第2殼體80的移動聯動而探針10的第2接觸部30朝與第1排列方向交叉的方向移動。

第3實施形態的檢查治具2中，如以下般使第2觸點部31連接於檢查對象物（例如，基板對基板連接器110的電極部111）。

即，首先，如圖16所示，在未對第2接觸部30施加有外力的狀態下使基板對基板連接器110的電極部111移動，使電極部111相對於第2觸點部31而鄰接於凸輪部90的第1排列方向的相反側。並且，當使凸輪部90轉動時，第2殼體80在第1排列方向且朝遠離凸輪部90的方向（即，圖18的箭頭D方向）移動，以使探針10的第2接觸部30沿箭頭D方向移動。藉此，第2接觸部30以可動部12及中間部40的連接部分16為支點而轉動，相對於中間部40朝與第1排列方向交叉的方向移動，而第2觸點部31及電極部111接觸。

第3實施形態的檢查治具2中，插座50包括：第1殼體70，收容第1接觸部20及中間部40；第2殼體80，收容第2接觸部30，且可在與第1排列方向交叉的方向上相對於第1殼體70而相對地移動；以及凸輪部90，可使第2殼體80朝與第1排列方向交叉的方向擺動。如此，檢查治具2可對應檢查裝置或者檢查對象物的各種樣式來適當變更其結構。藉此，可實現設計自由度高，且能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查治具2。

再者，第3實施形態的檢查治具2並不限於圖16所示的探針10，例如可使用如圖17所示，在第2接觸部30的第2觸點部31與可動部12之間設有第4彈性部18的探針10。

另外，並不限於以下述方式構成的情況，即：凸輪部90繞軸部91旋轉，藉此，使第2殼體80沿著箭頭D方向直線移動。例如，亦可如圖18所示般構成為：凸輪部90沿著第1排列方向（即，圖18的箭頭E方向）而直線移動，藉此，使第2殼體80沿著與第1排列方向正交的方向（即，圖18的箭頭D方向）直線移動。此時，凸輪部90具有能以軸部91為中心而朝第1排列方向移動的大致三稜柱狀，且以側面的一個與第1排列方向正交的方式而配置。而且，各第2殼體80具有與凸輪部90的側面的一個相向且可接觸地配置的傾斜面82。

本揭示的探針10只要包括：第1接觸部20及第2接觸部30；中間部40，配置於第1接觸部20及第2接觸部30之間；第1彈性部11，連接於第1接觸部20及中間部40，且沿著第1排列方向而伸縮；以及可動部12，連接於中間部40及第2接觸部30，且可使第2接觸部30朝與第1排列方向交叉的方向移動，且第1接觸部20、第1彈性部11、中間部40、可動部12及第2接觸部30串聯地配置即可，並不限於第1實施形態～第3實施形態的探針10。

以上，參照圖式詳細說明了本揭示中的各種實施形態，最後對本揭示的各種樣式進行說明。再者，以下的說明中，作為一例，亦添注參照符號來記載。

本揭示的第1樣式的探針10包括：
第1接觸部20及第2接觸部30；
中間部40，配置於所述第1接觸部20及所述第2接觸部30之間；
第1彈性部11，連接於所述第1接觸部20及所述中間部40，沿著連結所述第1接觸部20及所述中間部40的第1排列方向而伸縮，使所述第1接觸部20相對於所述中間部40而沿所述第1排列方向移動；以及
可動部12，連接於所述中間部40及所述第2接觸部30，使所述第2接觸部30相對於所述中間部40而沿與所述第1排列方向交叉的方向移動，
所述第1接觸部20、所述第1彈性部11、所述中間部40、所述可動部12及所述第2接觸部30是串聯地配置。

根據第1樣式的探針10，第1接觸部20構成為藉由第1彈性部11，可相對於中間部40而沿著連結第1接觸部20及中間部40的第1排列方向移動，第2接觸部30構成為藉由可動部12，可相對於中間部40而朝與第1排列方向交叉的方向移動。藉此，可實現能以與相對於檢查裝置（例如，檢查裝置的基板100）的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物（例如，基板對基板連接器110的電極部111）的探針10。

本揭示的第2樣式的探針10還包括：
突起部13，連接於所述第2接觸部30，從所述第2接觸部30朝與所述第1排列方向交叉的方向突出，
所述可動部12具有第2彈性部15，所述第2彈性部15沿著所述第1排列方向延伸，所述第1排列方向的一端部連接於所述中間部40且所述第1排列方向的另一端部連接於所述第2接觸部30，可朝與所述第1排列方向交叉的方向彈性變形，
所述第2彈性部15對應於經由所述突起部13施加至所述第2接觸部30的外力而彈性變形，藉此，所述第2接觸部30以所述第2彈性部15及所述中間部40的連接部分16為支點而轉動，相對於所述中間部40而朝與所述第1排列方向交叉的方向移動。

根據第2樣式的探針10，可容易地實現能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的探針10。

本揭示的第3樣式的探針10中，
所述突起部13具有第3彈性部17，所述第3彈性部17設於所述突起部13的突出方向上的靠近所述第2接觸部30的端部，可朝所述第1排列方向且接近所述第1接觸部20的方向彈性變形，
所述第3彈性部17對應於施加至所述突起部13的所述第1排列方向且朝接近所述第1接觸部20的方向的外力而彈性變形。

根據第3樣式的探針10，例如在用於檢查治具2時，當對突起部13施加有外力，而第2接觸部30的第2觸點部31朝與第1排列方向交叉的方向移動而接觸至基板對基板連接器110的電極部111時，可防止對第2接觸部30施加過剩的應力而導致探針10發生破損。

本揭示的第4樣式的探針10中，
所述第2接觸部30沿所述第1排列方向延伸，並且所述第1排列方向的一端部連接於所述第2彈性部15，在所述第1排列方向的另一端部具有觸點部31，所述突起部13連接於所述第1排列方向上的所述觸點部31及所述第2彈性部15的中間，
在所述第2接觸部30的所述第1排列方向上的所述觸點部31與所述突起部13之間，具有可朝與所述第1排列方向交叉的方向彈性變形的第4彈性部18，
所述第4彈性部18對應於所述第2接觸部30的所述觸點部31的朝向與所述第1排列方向交叉的方向的移動而彈性變形。

根據第4樣式的探針10，例如在用於檢查治具2時，當對突起部13施加有外力，第2接觸部30的第2觸點部31朝與第1排列方向交叉的方向移動而接觸至基板對基板連接器110的電極部111時，可防止對第2接觸部30施加過剩的應力而導致探針10發生破損。

本揭示的第5樣式的探針10中，
所述第2接觸部30及所述可動部12沿著與所述第1排列方向交叉的第2排列方向而延伸，並且
所述可動部12具有第5彈性部60，所述第5彈性部60的所述第2排列方向的一端部連接於所述中間部40，且所述第2排列方向的另一端部連接於所述第2接觸部30，可朝與所述第1排列方向及所述第2排列方向交叉的方向彈性變形，
所述第5彈性部60對應於施加至所述第2接觸部30的外力而彈性變形，藉此，所述第2接觸部30以所述第5彈性部60及所述中間部40的連接部分16為支點而轉動，相對於所述中間部40而朝與所述第1排列方向及所述第2排列方向交叉的方向移動。

根據第5樣式的探針10，可容易地實現能以與相對於檢查裝置的接觸方向不同的方向來接觸至檢查對象物的探針10。

本揭示的第6樣式的探針10中，
所述第5彈性部60具有直線帶部601與彎曲帶部602交替地連續的蛇行形狀，所述直線帶部601與所述第2排列方向交叉，所述彎曲帶部602連接於所述直線帶部601。

根據第6樣式的探針10，可實現設計自由度高的探針10。

本揭示的第7樣式的探針10還包括：
突起部13，從所述第2接觸部30朝與所述第2排列方向交叉的方向突出，且構成為經由所述突起部13來對所述第2接觸部30施加外力。

根據第7樣式的探針10，可實現設計自由度高的探針10。

本揭示的第8樣式的檢查治具2包括：
所述樣式的探針10；以及
插座50，具有可收容所述探針10的收容部53，
所述插座50具有卡止部56，所述卡止部56在沿著所述第1排列方向而從所述第1接觸部20朝向所述第2接觸部30的方向上，對收容於所述收容部53中的所述探針10的所述中間部40進行卡止。

根據第8樣式的檢查治具2，藉由探針10，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查治具2。

本揭示的第9樣式的檢查治具2中，
所述探針10為第2樣式至第4樣式中的任一個探針10，
所述插座50具有移動限制部57，所述移動限制部57限制與所述第1排列方向交叉的方向上的所述第2接觸部30的移動。

根據第9樣式的檢查治具2，藉由移動限制部57，當對突起部13施加有外力而第2接觸部30的第2觸點部31朝與第1排列方向交叉的方向移動時，可防止對可動部12的第2彈性部15施加過剩的應力而導致探針10發生破損。

本揭示的第10樣式的檢查治具2中，
所述插座50包括：
第1殼體70，收容所述第1接觸部20及所述中間部40；
第2殼體80，收容所述第2接觸部30且可在與所述第1排列方向交叉的方向上相對於所述第1殼體70而相對地移動；以及
凸輪部90，可使所述第2殼體80沿與所述第1排列方向交叉的方向移動。

根據第10樣式的檢查治具2，可實現設計自由度高，且能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查治具2。

本揭示的第11樣式的檢查單元1包括第8樣式至第10樣式中的任一個檢查治具2。

根據第11樣式的檢查單元1，藉由所述檢查治具2，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查單元1。

本揭示的第12樣式的檢查裝置包括第11樣式的檢查單元1。

根據第12樣式的檢查裝置，藉由所述檢查單元1，可實現能應對檢查裝置及檢查對象物的多樣化的檢查裝置。

再者，藉由將所述各種實施形態或變形例中的任意實施形態或變形例適當組合，可起到各自具有的效果。而且，可進行實施形態彼此的組合、實施例彼此的組合、或者實施形態與實施例的組合，並且亦可進行不同的實施形態或實施例的中的特徵彼此的組合。
[產業上的可利用性]

本揭示的探針例如可適用於液晶面板的檢查時所用的檢查治具。

本揭示的檢查治具例如可適用於液晶面板的檢查時所用的檢查單元。

本揭示的檢查單元例如可適用於液晶面板的檢查裝置。

本揭示的檢查裝置例如可使用於液晶面板的檢查。

1‧‧‧檢查單元

2‧‧‧檢查治具

3、64、65、68、115、153、173、184、185‧‧‧間隙

10‧‧‧探針

11‧‧‧第1彈性部

12‧‧‧可動部

13‧‧‧突起部

14‧‧‧切口部

15‧‧‧第2彈性部

16‧‧‧連接部分

17‧‧‧第3彈性部

18‧‧‧第4彈性部

20‧‧‧第1接觸部

21‧‧‧第1觸點部

30‧‧‧第2接觸部

31‧‧‧第2觸點部

40‧‧‧中間部

41‧‧‧貫穿孔

50‧‧‧插座

51‧‧‧板狀部

52‧‧‧長方體部

53‧‧‧收容部

54‧‧‧第1開口部

55‧‧‧第2開口部

56‧‧‧卡止部

57‧‧‧移動限制部

60‧‧‧第5彈性部

61、62、63、66、67、111、112、113、114、151、152、171、172、181、182、183‧‧‧帶狀彈性片

70‧‧‧第1殼體

71‧‧‧第1收容部

80‧‧‧第2殼體

81‧‧‧第2收容部

82‧‧‧傾斜面

90‧‧‧凸輪部

91‧‧‧軸部

100‧‧‧基板

110‧‧‧基板對基板連接器

111‧‧‧電極部

116、601‧‧‧直線帶部

117、602‧‧‧彎曲帶部

120‧‧‧操作桿

154‧‧‧第1部分

155‧‧‧第2部分

A～E‧‧‧箭頭

L1‧‧‧第1假想直線

L2‧‧‧第2假想直線

L3‧‧‧第3假想直線

P1‧‧‧恢復位置

P2‧‧‧動作位置

圖1是表示本揭示的第1實施形態的檢查單元及檢查治具的立體圖。

圖2是沿著圖1的II-II線的剖面圖。

圖3是本揭示的第1實施形態的探針的立體圖。

圖4是圖3的探針的平面圖。

圖5是用於說明圖3的探針的第1變形例的平面圖。

圖6是用於說明圖3的探針的第2變形例的平面圖。

圖7是用於說明圖3的探針的第3變形例的平面圖。

圖8是用於說明圖1的檢查單元及檢查治具的變形例的剖面圖。

圖9是表示本揭示的第2實施形態的檢查單元及檢查治具的立體圖。

圖10是沿著圖9的X-X線的剖面圖。

圖11是本揭示的第2實施形態的探針的立體圖。

圖12是圖11的探針的平面圖。

圖13是用於說明圖11的探針的第1變形例的平面圖。

圖14是用於說明圖11的探針的第2變形例的平面圖。

圖15是表示本揭示的第3實施形態的檢查單元及檢查治具的立體圖。

圖16是沿著圖16的XVI-XVI線的剖面圖。

圖17是用於說明圖15的檢查治具的第1變形例的剖面圖。

圖18是用於說明圖15的檢查治具的第2變形例的剖面圖。

Claims (12)

1. 一種探針，包括： 第1接觸部及第2接觸部； 中間部，配置於所述第1接觸部及所述第2接觸部之間； 第1彈性部，連接於所述第1接觸部及所述中間部，沿著連結所述第1接觸部及所述中間部的第1排列方向而伸縮，使所述第1接觸部相對於所述中間部而沿所述第1排列方向移動；以及 可動部，連接於所述中間部及所述第2接觸部，使所述第2接觸部相對於所述中間部而沿與所述第1排列方向交叉的方向移動， 所述第1接觸部、所述第1彈性部、所述中間部、所述可動部及所述第2接觸部是串聯地配置。
2. 如申請專利範圍第1項所述的探針，還包括： 突起部，連接於所述第2接觸部，從所述第2接觸部朝與所述第1排列方向交叉的方向突出， 所述可動部具有第2彈性部，所述第2彈性部沿著所述第1排列方向延伸，所述第1排列方向的一端部連接於所述中間部且所述第1排列方向的另一端部連接於所述第2接觸部，能夠朝與所述第1排列方向交叉的方向彈性變形， 所述第2彈性部對應於經由所述突起部施加至所述第2接觸部的外力而彈性變形，藉此，所述第2接觸部以所述第2彈性部及所述中間部的連接部分為支點而轉動，相對於所述中間部而朝與所述第1排列方向交叉的方向移動。
3. 如申請專利範圍第2項所述的探針，其中 所述突起部具有第3彈性部，所述第3彈性部設於所述突起部的突出方向上的靠近所述第2接觸部的端部，能夠朝所述第1排列方向且接近所述第1接觸部的方向彈性變形， 所述第3彈性部對應於施加至所述突起部的所述第1排列方向且朝接近所述第1接觸部的方向的外力而彈性變形。
4. 如申請專利範圍第2項或第3項所述的探針，其中 所述第2接觸部沿所述第1排列方向延伸，並且所述第1排列方向的一端部連接於所述第2彈性部，在所述第1排列方向的另一端部具有觸點部，所述突起部連接於所述第1排列方向上的所述觸點部及所述第2彈性部的中間， 在所述第2接觸部的所述第1排列方向上的所述觸點部與所述突起部之間，具有能夠朝與所述第1排列方向交叉的方向彈性變形的第4彈性部， 所述第4彈性部對應於所述第2接觸部的所述觸點部的朝向與所述第1排列方向交叉的方向的移動而彈性變形。
5. 如申請專利範圍第1項所述的探針，其中 所述第2接觸部及所述可動部沿著與所述第1排列方向交叉的第2排列方向而延伸，並且 所述可動部具有第5彈性部，所述第5彈性部的所述第2排列方向的一端部連接於所述中間部，且所述第2排列方向的另一端部連接於所述第2接觸部，能夠朝與所述第1排列方向及所述第2排列方向交叉的方向彈性變形， 所述第5彈性部對應於施加至所述第2接觸部的外力而彈性變形，藉此，所述第2接觸部以所述第5彈性部及所述中間部的連接部分為支點而轉動，相對於所述中間部而朝與所述第1排列方向及所述第2排列方向交叉的方向移動。
6. 如申請專利範圍第5項所述的探針，其中 所述第5彈性部具有直線帶部與彎曲帶部交替地連續的蛇行形狀， 所述直線帶部與所述第2排列方向交叉， 所述彎曲帶部連接於所述直線帶部。
7. 如申請專利範圍第5項或第6項所述的探針，還包括： 突起部，從所述第2接觸部朝與所述第2排列方向交叉的方向突出，且構成為經由所述突起部來對所述第2接觸部施加外力。
8. 一種檢查治具，包括： 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的探針；以及 插座，具有能夠收容所述探針的收容部， 所述插座具有卡止部，所述卡止部在沿著所述第1排列方向而從所述第1接觸部朝向所述第2接觸部的方向上，對收容於所述收容部中的所述探針的所述中間部進行卡止。
9. 如申請專利範圍第8項所述的檢查治具，其中 所述探針為如申請專利範圍第2項至第4項中任一項所述的探針， 所述插座具有移動限制部，所述移動限制部限制與所述第1排列方向交叉的方向上的所述第2接觸部的移動。
10. 如申請專利範圍第8項所述的檢查治具，其中 所述插座包括： 第1殼體，收容所述第1接觸部及所述中間部； 第2殼體，收容所述第2接觸部且能夠在與所述第1排列方向交叉的方向上相對於所述第1殼體而相對地移動；以及 凸輪部，能夠使所述第2殼體沿與所述第1排列方向交叉的方向移動。
11. 一種檢查單元，包括如申請專利範圍第8項至第10項中任一項所述的檢查治具。
12. 一種檢查裝置，包括如申請專利範圍第11項所述的檢查單元。