JP2014522960A - 互いに噛み合わされた蛇行する検査接点を有する電子デバイス検査用のプローブモジュール - Google Patents
互いに噛み合わされた蛇行する検査接点を有する電子デバイス検査用のプローブモジュール Download PDFInfo
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Abstract
【選択図】図5
Description
Claims (12)
- 電子デバイスを検査するためのプローブモジュールであって、
第1直線に沿う第1方向に伸長する第1端部、前記第1方向と反対の且つ第2直線に沿う第2方向に直線的に伸長する第2端部、および前記第1端部及び前記第2端部の間に延在する第3湾曲部を各々含む少なくとも2つの接点を備え、
前記第1直線は前記第2直線から離間するとともに前記第2直線と平行であり、
前記少なくとも2つの接点は、前記第1直線及び前記第2直線と直角の方向に互いに離間していることを特徴とするプローブモジュール。 - 前記第3湾曲部は蛇行形状を有することを特徴とする請求項1記載のプローブモジュール。
- 前記少なくとも2つの接点の各々は平板材料で作られ、
前記少なくとも2つの接点は、前記平板材料により画定される平面内で互いに噛み合わされており、
前記少なくとも2つの接点は、第1層で互いに噛み合わされる第1接点及び第2接点と、第2層で互いに噛み合わされる第3接点及び第4接点と、を備え、
前記プローブモジュールは、前記第1層及び前記第2層の間に、前記第1層の接点と前記第2層の接点との接触を防ぐ形状を有する絶縁シートを更に備えることを特徴とする請求項1又は2記載のプローブモジュール。 - 前記第1接点と前記第2接点との前記第1端部間の間隔が、前記第3接点と前記第4接点との前記第1端部間の間隔と等しく、
前記第1接点と前記第2接点との前記第2端部間の間隔が、前記第3接点と前記第4接点との前記第2端部間の間隔と異なることを特徴とする請求項3記載のプローブモジュール。 - 前記少なくとも2つの接点は第1接点と第2接点とを含み、
前記プローブモジュールは、
前記第1接点と前記第2接点の前記第3湾曲部を囲む凹部を含む接点ハウジングと、
前記凹部から前記接点ハウジングの外まで伸長する隣り合う溝と、
前記凹部から前記隣り合う溝と反対の方向に前記接点ハウジングの外まで伸長する互いに離間する開口と、を更に備え、
前記第1接点の前記第1端部は前記隣り合う溝のうちの第1溝に配置され、前記第2接点の前記第1端部は前記隣り合う溝のうちの第2溝に配置され、
前記第1接点の前記第2端部は前記互いに離間する開口のうちの第1開口に配置され、前記第2接点の前記第2端部は前記互いに離間する開口のうちの第2開口に配置されることを特徴とする請求項1又は2記載のプローブモジュール。 - 前記凹部が、前記隣り合う溝から略直角に伸長する制限面を備え、
前記第1接点の前記第1端部及び前記第3湾曲部は、前記第1溝及び前記制限面に接触する第1直角部を形成し、
前記第2接点の前記第1端部及び前記第3湾曲部は、前記第1直角部と同じ向きに曲がる第2直角部を形成し、
前記第2接点は、前記第2接点の前記第1端部から前記第2直角部と反対方向に伸長し前記前記第2直角部に隣接する突出部を備え、
前記突出部の上面が前記制限面に接触することを特徴とする請求項5記載のプローブモジュール。 - 前記接点ハウジングが、
取付面及び該取付面に取り付けられ且つ凹部を含む絶縁物の組み合わせと、
凹部を含む絶縁物及び該絶縁物と取り付けられるカバーの組み合わせと、
の少なくとも一方を更に備えることを特徴とする請求項5記載のプローブモジュール。 - 取付面及び該取付面と反対の面から該取付面に直角に伸長する取付フランジを含むモジュール台と、
前記取付面に連結される中央絶縁体であって、前記凹部は前記取付面に向いた前記中央絶縁体に配置され、前記中央絶縁体は前記取付面と反対側の面に第2凹部を備え、前記少なくとも2つの接点が第3接点と第4接点を含み、前記第3接点と前記第4接点の前記第3湾曲部が前記凹部に囲まれている中央絶縁体と、
前記隣り合う溝と同じ方向に前記第2凹部から前記中央絶縁体の外まで伸長する第2の隣り合う溝と、
前記互いに離間する開口と同じ方向に前記第2凹部から前記第2凹部の外まで伸長する第2の互いに離間する開口と、
前記取付面に固定され前記第2凹部側に向くカバーと、を備え、
前記第3接点の前記第1端部は前記第2の隣り合う溝のうちの第1溝に配置され、前記第4接点の前記第1端部は前記第2の隣り合う溝のうちの第2溝に配置され、
前記第3接点の前記第2端部は前記第2の互いに離間する開口のうちの第1開口に配置され、前記第4接点の前記第2端部は前記第2の互いに離間する開口のうちの第2開口に配置されることを特徴とする請求項5記載のプローブモジュール。 - 電子デバイスの検査用のプローブモジュールの製造方法であって、
第1直線に沿う第1方向に伸長する第1端部、前記第1方向と反対の且つ第2直線に沿う第2方向に直線的に伸長する第2端部、および前記第1端部及び前記第2端部の間に延在する第3湾曲部を各々含む少なくとも2つの接点を、前記第1直線及び前記第2直線と直角の方向に該少なくとも2つの接点が互いに離間するように配置することを含み、
前記第1直線は前記第2直線から離間するとともに前記第2直線と平行であることを特徴とする製造方法。 - 前記少なくとも2つの接点は互いに噛み合わされる第1接点及び第2接点を含み、各前記第3湾曲部は蛇行形状を有し、
前記配置することは、
前記第1接点と前記第2接点の各々を隣り合わせて絶縁物の絶縁面に連結して第1接点層を形成し、
前記第1接点層を形成した後に、前記絶縁物をモジュール台の取付面に連結することを含み、
前記第1接点及び前記第2接点の前記第3湾曲部が前記絶縁面と前記取付面に包囲され、前記第1接点及び前記第2接点の前記第1端部が前記モジュール台及び前記絶縁物の外へ伸長し、前記第1接点及び前記第2接点の前記第2端部が前記モジュール台及び前記絶縁物の外へ伸長するように、前記絶縁物が前記取付面に連結されることを特徴とする請求項9記載の製造方法。 - 前記少なくとも2つの接点は互いに噛み合わされる第3接点及び第4接点を含み、
前記配置することは、
前記第3接点と前記第4接点の各々を前記絶縁物の第2絶縁面に連結して第2接点層を形成し、
前記第2接点層を形成し前記絶縁物を前記取付面に連結した後に、前記絶縁物を介して前記取付面にカバーを取り付けることを含み、
前記第3接点及び前記第4接点の前記第3湾曲部が前記第2絶縁面と前記カバーに包囲され、前記第3接点及び前記第4接点の前記第1端部が前記カバー及び前記絶縁物の外へ伸長し、前記第3接点及び前記第4接点の前記第2端部が前記カバー及び前記絶縁物の外へ伸長するように、前記カバーが前記取付面に取り付けられることを特徴とする請求項10記載の製造方法。 - 前記少なくとも2つの接点は互いに噛み合わされる第3接点及び第4接点を含み、
前記配置することは、
前記絶縁物を前記取付面に連結する前に前記第1接点層に隣接する絶縁シートを配置し、
前記絶縁物を前記取付面に連結する前に前記第3接点と前記第4接点の各々を隣り合わせて前記絶縁シートに連結して第2接点層を形成することを含み、
前記絶縁シートは前記第1接点層の接点と前記第2接点層の接点との間の接触を防止する形状を有し、
前記第3接点及び前記第4接点の前記第3湾曲部が前記絶縁面と前記カバーに包囲され、前記第3接点及び前記第4接点の前記第1端部が前記第1接点及び前記第2接点の前記第1端部と同じ方向へ前記モジュール台及び前記絶縁物の外まで伸長し、前記第3接点及び前記第4接点の前記第2端部が前記第1接点及び前記第2接点の前記第2端部と同じ方向へ前記モジュール台及び前記絶縁物の外まで伸長するように、前記絶縁物が前記モジュール台の前記取付面に取り付けられることを特徴とする請求項10記載の製造方法。
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