KR20190141116A

KR20190141116A - 프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치

Info

Publication number: KR20190141116A
Application number: KR1020190167468A
Authority: KR
Inventors: 나오야 사사노; 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이; 시훈 최
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-11
Filing date: 2019-12-16
Publication date: 2019-12-23
Also published as: KR102058152B1; KR102103370B1; KR20190085830A; CN111239447B; CN111033272A; KR101903319B1; CN111239447A; WO2019138505A1; CN111033272B; JP6908133B2; JPWO2019138505A1

Abstract

본 발명은 프로브 핀이 탄성부, 제1 접촉부 및 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가, 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 연장 방향의 일단부가 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와, 연장 방향의 일단부가 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부를 갖고, 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그, 검사 유닛 및 검사 장치 {PROBE PIN, INSPECTION JIG, INSPECTION UNIT AND INSPECTION APPARATUS}

본 발명은 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치에 관한 것이다.

카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로 그 제조 공정에 있어서 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판과 접속하기 위한 FPC 접촉 전극, 혹은 실장된 기판 대 기판 커넥터 등의 전극부와 검사 장치를 접속함으로써 행해진다.

이러한 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다. 상기 프로브 핀에서는, 사행부에 의해 각 콘택트와 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자의 사이의 접압을 확보하여, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대한 접촉 신뢰성을 높이고 있다.

일본 특허 공개 제2002-134202호 공보

근년, 전자 부품 모듈 사이에서 송수신되는 정보량의 증대 등에 수반하여, 전자 부품 모듈의 검사에 사용하는 프로브 핀에도 고주파 영역의 신호에 대응할 것이 요구되고 있다.

그러나, 특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 고주파 영역의 신호에 반드시 충분히 대응되었다고는 할 수 없어, 전자 부품 모듈의 검사시에 프로브 핀을 흐르는 고주파 영역의 신호의 손실이 커지는 경우가 있었다.

본 발명은, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛 및 이 검사 유닛을 구비한 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일례의 프로브 핀은,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,

상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판형 제1 접촉부와, 상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판형 제2 접촉부

를 구비하고,

상기 탄성부가,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,

상기 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 상기 제1 접촉부로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부

를 갖고,

상기 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 지그는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀을 수용 가능한 수용부를 갖는 하우징

을 구비하고,

상기 프로브 핀이, 상기 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 상기 수용부에 수용되어 있다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 유닛은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

또한, 본 발명의 일례의 검사 장치는,

상기 검사 유닛을 적어도 하나 구비했다.

상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와, 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 직선부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부와, 프로브 핀의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 만곡부의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부를 갖고, 만곡부의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 프로브 핀의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부와 제2 직선부의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부를 흐르는 고주파 영역의 신호의 제2 직선부를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 장치에 의하면, 상기 검사 유닛에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태의 검사 유닛을 도시하는 단면 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3의 프로브 핀의 평면도이다.
도 5는 도 3의 프로브 핀의 탄성부의 확대 평면도이다.
도 6은 비교예의 프로브 핀을 사용한 인서션 로스 및 리턴 로스의 측정 결과를 도시하는 도면이다.
도 7은 실시예의 프로브 핀의 프로브 핀을 사용한 인서션 로스 및 리턴 로스의 측정 결과를 도시하는 도면이다.
도 8은 도 3의 프로브 핀의 제1 변형예를 도시하는 탄성부의 확대 평면도이다.
도 9는 도 3의 프로브 핀의 제2 변형예를 도시하는 평면도이다.

이하, 본 발명의 일례를 첨부 도면에 따라 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, "상", "하", "우", "좌"를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은 본질적으로 예시에 지나지 않으며, 본 발명, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한하는 것을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.

본 발명의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은 도전성을 갖고, 예를 들어 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)에 수용된 상태에서 사용되어, 소켓(3)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 이 검사 지그(2)에는, 일례로서 복수의 가늘고 긴 박판형 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.

또한, 검사 지그(2)는 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 검사 유닛(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 일례로서 복수의 검사 지그(2)가 내장된 대략 직육면체형 베이스 하우징(4)을 구비하고 있다. 이 베이스 하우징(4)은, 대략 직사각형 판형 제1 하우징(5)과, 이 제1 하우징(5)의 판 두께 방향으로 적층된 제2 하우징(6)으로 구성되어 있다.

소켓(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 각 프로브 핀(10)을 수용 가능한 복수의 수용부(7)를 갖고, 제1 하우징(5) 및 제2 하우징(6)으로 유지되어 있다. 각 수용부(7)는 소켓(3)과 베이스 하우징(4)의 제2 하우징(6)으로 둘러싸여 있고, 후술하는 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)가 소켓(3) 및 베이스 하우징(4)의 외부로 각각 노출된 상태에서 각 프로브 핀(10)을 수용 가능하게 구성되어 있다.

또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 접점부(121)는 일례로서 검사 장치의 기판(예를 들어, PCB 패드)(100)에 설치된 단자에 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접점부(131)는 일례로서 검사 대상물(예를 들어, 기판 대 기판(BtoB) 커넥터)(110)의 단자(120)에 접촉 가능하게 구성되어 있다.

각 프로브 핀(10)은, 도 3에 도시한 바와 같이 그 길이 방향(즉, 도 3의 상하 방향)을 따라 신축하는 탄성부(11)와, 탄성부(11)의 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판형 제1 접촉부(12)와, 탄성부(11)의 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판형 제2 접촉부(13)를 구비하고 있다. 이 프로브 핀(10)에서는, 예를 들어 전기 주조법으로 형성되며, 탄성부(11), 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)가 일체로 구성되어 있다.

탄성부(11)는, 도 4에 도시한 바와 같이 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향(즉, 도 4의 지면 관통 방향)으로부터 보아서 사행 형상을 갖고, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠 형상 탄성편)(21, 22)을 갖고 있다. 각 띠 형상 탄성편(21, 22)은 가늘고 긴 띠 형상을 갖고, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 일단부인 제1 단부(211)가 제1 접촉부(12)에 접속되며, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 타단부인 제2 단부(212)가 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.

상세하게는 도 5에 도시한 바와 같이, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)은 4개의 띠 형상의 직선부(즉, 제1 직선부(31, 32)와, 제2 직선부(51, 52)와, 제 3직선부(71, 72)와, 제4 직선부(91, 92))와, 3개의 띠 형상의 만곡부(즉, 제1 만곡부(41, 42)와, 제2 만곡부(61, 62)와, 제3 만곡부(81, 82))를 갖고 있다.

제1 직선부(31, 32)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제1 접촉부(12)에 접속되어 제1 단부(211, 221)를 구성하고 있다. 또한, 제1 직선부(31, 32)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교하는 방향)으로부터 제1 접촉부(12)에 접속되어 있다.

제1 만곡부(41, 42)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ1에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제1 만곡부(41, 42)는 그 연장 방향의 일단부가 제1 직선부(31, 32)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.

제2 직선부(51, 52)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제1 만곡부(41, 42)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제2 직선부(51, 52)는, 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제1 만곡부(41, 42)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제1 직선부(31, 32)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다.

제2 만곡부(61, 62)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)에 접근하는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ2에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제2 만곡부(61, 62)는 그 연장 방향의 일단부가 제2 직선부(51, 52)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.

제3 직선부(71, 72)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제2 만곡부(61, 62)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제3 직선부(71, 72)는 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제2 만곡부(61, 62)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제2 직선부(51, 52)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다.

제3 만곡부(81, 82)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출되고, 또한 90도보다도 크고 180도보다도 작은 중심각 θ3에 대한 원호를 따라 연장되어 있다. 또한, 제3 만곡부(81, 82)는 그 연장 방향의 일단부가 제3 직선부(71, 72)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다.

제4 직선부(91, 92)는, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 제3 만곡부(81, 82)의 그 연장 방향의 타단부에 접속되어 있다. 이 제4 직선부(91, 92)는, 그 연장 방향의 일단부로부터 타단부를 향함에 따라(즉, 제3 만곡부(81, 82)로부터 이격됨에 따라) 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서 제3 직선부(71, 72)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다. 또한, 제4 직선부(91, 92)는 그 연장 방향의 타단부가 제2 접촉부(13)에 접속되어, 제2 단부(212, 222)를 구성하고 있다. 또한, 제4 직선부(91, 92)는 프로브 핀(10)의 길이 방향으로부터 제2 접촉부(13)에 접속되어 있다.

상기 프로브 핀(10)에서는, 제1 직선부(31, 32) 및 제4 직선부(91, 92)는, 제2 만곡부(61, 62)의 곡률 중심을 통과하며 또한 프로브 핀(10)의 길이 방향에 직교하는 방향으로 연장되는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제2 직선부(51, 52) 및 제3 직선부(71, 72)는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되고, 제1 만곡부(41, 42) 및 제3 만곡부(81, 82)는 직선(L1)에 대하여 대칭으로 배치되어 있다.

또한, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(즉, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 제1 단부(211, 221) 및 제2 단부(212, 222) 사이의 경로의 연장 방향에 직교하는 폭 방향의 길이)(W1, W2)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 또한, 도 5에는 일례로서 제1 만곡부(41, 42) 사이의 직선 거리를 최단 거리(W5)로서 나타내고 있다.

제1 접촉부(12)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제1 단부(111)에 접속되어 있다. 제1 접촉부(12)의 연장 방향의 타단부에는 제1 접점부(121)가 마련되어 있다. 또한, 제2 접촉부(13)는, 도 4에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되고, 그 연장 방향의 일단부가 탄성부(11)의 제2 단부(112)에 접속되어 있다. 제2 접촉부(13)의 연장 방향의 타단부에는 제2 접점부(131)가 마련되어 있다.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 각각은, 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되는 가상 직선(L2)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 탄성부(11)의 각 직선부(31, 32, 51, 52, 71, 72, 91, 92)와, 제1 만곡부(41, 42) 및 제3 만곡부(81, 82)는 가상 직선(L2)에 대하여 동일한 측(즉, 제1 접촉부(12)의 폭 방향의 일방측)에 배치되고, 제2 만곡부(61, 62)는 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)의 사이이며 또한 가상 직선(L2)을 따라 직렬적으로 배치되어 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 접촉부(12)의 그 연장 방향의 중간부에 있어서의 폭 방향의 일방측에는 지지부(122)가 마련되어 있다. 지지부(122)는 제1 접촉부(12)의 판 두께 방향으로부터 보아서, 제1 접촉부(1)로부터 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향(예를 들어, 직교 방향)이며 또한 가상 직선(L3)에 대한 제1 직선부(31, 32)측을 향해 돌출되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이 소켓(3)의 수용부(7)에 프로브 핀(10)을 수용했을 때, 제1 접촉부(12)의 지지부(122)는 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 접점부(121)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 제2 하우징(6)의 제1 하우징(5)에 대향하는 면에 맞닿도록 구성되어 있다. 또한, 프로브 핀(10)은, 그 길이 방향에 있어서의 제2 접점부(131)측의 면이 수용부(7)를 구성하는 소켓(3)의 제2 하우징(6)에 대향하는 면에 띠 형상 탄성편(21)의 제4 직선부(91)가 맞닿도록 구성되어 있다. 즉, 제1 접촉부(12)의 지지부(122) 및 띠 형상 탄성편(21)의 제4 직선부(91)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성되어 있다.

소켓(3)의 수용부(7)에 수용된 상태에 있어서도, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3은 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.

또한, 제1 접촉부(12)의 지지부(122)를 생략하여, 띠 형상 탄성편(21)의 제1 직선부(31)가 제2 하우징(6)의 제1 하우징(5)에 대향하는 면에 맞닿도록 구성해도 된다. 즉, 띠 형상 탄성편(21)의 제1 직선부(31) 및 제4 직선부(91)에 의해 프로브 핀(10)이 수용부(7)의 내부에서 지지되도록 구성해도 된다.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 접촉부(13)의 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 탄성부(11)측의 단부에는 제2 접촉부(13)를 판 두께 방향으로 관통하는 관통 구멍부(132)가 마련되어 있다. 이 관통 구멍부(132)는 프로브 핀(10)의 긴 방향으로 연장되어, 띠 형상 탄성편(21, 22)의 사이의 간극(23)에 접속되어 있다. 이 관통 구멍부(132)에 의해 제2 접촉부(13)에 발생하는 응력을 분산시키고 있다.

그런데, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도 이하인 경우, 제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)를 직렬적으로 배치할 수 없고, 또한 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 탄성력을 구비한 탄성부(11)를 얻는 것이 곤란해진다.

또한, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 180도 이상인 경우, 제1 직선부(31, 32)와 제2 직선부(51, 52)의 사이에 충분한 거리를 마련할 수 없기 때문에, 예를 들어 제1 직선부(31, 32)를 흐르는 고주파 영역의 신호가 제2 직선부(51, 52)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대하여 간섭하여, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감하는 것이 곤란해진다.

이에 비해, 상기 프로브 핀(10)에서는, 탄성부(11)가 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부(111)가 제1 접촉부(12)에 접속된 제1 직선부(31, 32)와, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 직선부(31, 32)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제1 만곡부(41, 42)와, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장되어 연장 방향의 일단부가 제1 만곡부(41, 42)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부(51, 52)를 갖고, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부(31, 32)와 제2 직선부(51, 52)의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부(31, 32)를 흐르는 고주파 영역의 신호 제2 직선부(51, 52)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

여기서, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3이 모두 180도인 프로브 핀(10)(이하, 비교예의 프로브 핀이라고 함)과, 각 만곡부(41, 42, 61, 62, 81, 82)의 중심각 θ1, θ2, θ3이 모두 150도인 프로브 핀(10)(이하, 실시예의 프로브 핀이라고 함)에 대하여 인서션 로스 및 리턴 로스를 측정했다.

도 6에 도시한 바와 같이, 비교예의 프로브 핀에서는 14.28Gbps의 신호에 대하여 -1dB의 인서션 로스가 발생하고, 13.40Gbps의 신호에 대하여 -10dB의 리턴 로스가 발생했다. 한편, 도 7에 도시한 바와 같이, 실시예의 프로브 핀에서는 30.60Gbps의 신호에 대하여 -1dB의 인서션 로스가 발생하고, 30.24Gbps의 신호에 대하여 -10dB의 리턴 로스가 발생했다. 즉, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 프로브 핀(10)을 구성함으로써, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있었다.

또한, 상기 프로브 핀(10)에 의하면 탄성부(11)가 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편으로 구성되고, 각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(W1, W2)이 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때여도 각 띠 형상 탄성편(21, 22)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛(2)을 실현할 수 있다.

또한, 상기 검사 유닛(1)은 검사 장치의 일부를 구성할 수 있다. 이러한 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.

탄성부(11)는, 제1 직선부(31, 32), 제1 만곡부(41, 42) 및 제2 직선부(51, 52)를 갖고, 제1 만곡부(41, 42)의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있으면 된다.

예를 들어, 탄성부(11)는, 도 8에 도시한 바와 같이 제1 직선부(31, 32), 제1 만곡부(41, 42) 및 제2 직선부(51, 52)만으로 구성해도 된다.

또한, 탄성부(11)는, 서로 간극(23)을 두고 배치된 2개의 띠 형상 탄성편(21, 22)을 갖는 경우로 제한되지 않는다. 탄성부(11)는, 예를 들어 도 9에 도시한 바와 같이 서로 간극을 두고 배치된 4개의 띠 형상 탄성편(21, 22, 24, 25)을 갖고 있어도 되고, 도시하고 있지 않으나 1개의 띠 형상 탄성편을 갖고 있어도 된다.

각 띠 형상 탄성편(21, 22)의 폭(W1, W2)은, 인접하는 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작은 경우로 한정되지 않으며, 커도 된다.

제1 접촉부(12) 및 제2 접촉부(13)는, 프로브 핀(10)의 설계 등에 따라 그 형상 등을 적절히 변경할 수 있다. 예를 들어, 제2 접촉부(13)는 도 9에 도시한 바와 같이 프로브 핀(10)의 길이 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 다리부(133, 134)의 선단부 각각에 마련해도 된다. 즉, 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 형상 및 위치 등을 적절히 변경할 수 있다.

검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)은, 검사 장치 혹은 검사 대상물의 다양한 형태에 따라 그 구성을 적절히 변경할 수 있다. 즉, 검사 지그(2) 및 베이스 하우징(4)을 범용화하여, 검사 유닛(1)(나아가서는 검사 장치)의 생산성을 향상시킬 수 있다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 일례로서 참조 부호도 덧붙여 기재한다.

본 발명의 제1 형태의 프로브 핀(10)은,

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부(11)와,

상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제1 단부(111)에 접속된 판형 제1 접촉부(12)와,

상기 제1 접촉부(12)에 대하여 직렬적으로 배치되며, 상기 탄성부(11)의 상기 길이 방향의 제2 단부(112)에 접속된 판형 제2 접촉부(13)

를 구비하고,

상기 탄성부(11)가,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부(31)와,

상기 길이 방향에 교차하는 방향이며 또한 상기 제1 접촉부(12)로부터 이격되는 방향으로 돌출된 원호형으로 연장되어 있음과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 직선부(31)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 만곡부(41)와,

상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 만곡부(41)의 그 연장 방향의 타단부에 접속된 제2 직선부(51)

를 갖고,

상기 만곡부(41)의 중심각 θ1이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 구성되어 있다.

제1 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 프로브 핀(10)의 길이 방향에 있어서의 제1 직선부(31)와 제2 직선부(51)의 사이에 거리를 마련할 수 있으므로, 예를 들어 제1 직선부(31)를 흐르는 고주파 영역의 신호의 제2 직선부(51)를 흐르는 고주파 영역의 신호에 대한 간섭을 저감할 수 있다. 그 결과, 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성을 확보하면서, 고주파 영역의 신호의 손실을 저감할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제2 형태의 프로브 핀(10)은,

상기 탄성부(11)가 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22)으로 구성되고,

상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22)의 각각의 폭(W1, W2)이 인접하는 상기 복수의 띠 형상 탄성편(21, 22) 사이의 최단 거리(W3)보다도 작아지도록 구성되어 있다.

제2 형태의 프로브 핀(10)에 의하면, 예를 들어 제1 접점부(121) 및 제2 접점부(131)의 각각이 검사 대상물 및 검사 장치에 대하여 접촉하여 각 띠 형상 탄성편(21, 22)이 프로브 핀(10)의 길이 방향으로 압축되었을 때에도 각 띠 형상 탄성편(21, 22)끼리의 접촉을 방지할 수 있으며, 높은 접촉 신뢰성을 확보할 수 있는 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제3 형태의 검사 지그(2)는,

상기 프로브 핀(10)과,

상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 수용부(7)를 갖는 소켓(3)

을 구비하고,

상기 프로브 핀(10)이, 상기 만곡부(41)의 중심각이 90도보다도 크고 180도보다도 작아지도록 상기 수용부(7)에 수용되어 있다.

제3 형태의 검사 지그(2)에 의하면, 프로브 핀(10)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.

본 발명의 제4 형태의 검사 유닛(1)은,

상기 검사 지그를 적어도 하나 구비했다.

제4 형태의 검사 유닛(1)에 의하면, 검사 지그(2)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 유닛(2)을 실현할 수 있다.

본 발명의 제5 형태의 검사 장치는,

상기 검사 유닛(1)을 적어도 하나 구비했다.

제4 형태의 검사 장치에 의하면, 검사 유닛(1)에 의해 검사 대상물 및 검사 장치에 대한 접촉 신뢰성이 높고, 검사 대상물 및 검사 장치에 접속한 경우의 고주파 영역의 신호의 손실이 적은 검사 장치를 실현할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 상이한 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명의 프로브 핀은, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 지그는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 유닛은, 예를 들어 액정 패널의 검사 장치에 적용할 수 있다.

본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 액정 패널의 검사에 사용할 수 있다.

1 : 검사 유닛
2 : 검사 지그
3 : 소켓
4 : 베이스 하우징
5 : 제1 하우징
6 : 제2 하우징
7 : 수용부
10 : 프로브 핀
11 : 탄성부
111 : 제1 단부
112 : 제2 단부
12 : 제1 접촉부
121 : 제1 접점부
13 : 제2 접촉부
131 : 제2 접점부
132 : 관통 구멍부
133, 134 : 다리부
21, 22, 24, 25 : 띠 형상 탄성편
211, 221 : 제1 단부
212, 222 : 제2 단부
23 : 간극
31, 32 : 제1 직선부
41, 42 : 제1 만곡부
51, 52 : 제2 직선부
61, 62 : 제2 만곡부
71, 72 : 제3 직선부
81, 82 : 제3 만곡부
91, 92 : 제4 직선부
100 : 기판
110 : 검사 대상물
120 : 단자
θ1, θ2, θ3 : 중심각
L1, L2 : 직선
Wl, W2 : 폭
W3 : 최단 거리

Claims

길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 일단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 타단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 제2 접촉부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 가상 직선에 대하여 동일한 측에 배치되어 있거나, 또는 상기 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 탄성부의 일부가 상기 가상 직선상에 위치하도록 배치되어 있는, 프로브 핀에 있어서,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 직선부를 갖고,
상기 직선부는, 상기 프로브 핀이 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부
를 갖고,
상기 제1 직선부 및 상기 제2 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 제1 접촉부는,
상기 길이 방향으로 교차하는 방향이고 또한 상기 가상 직선에 대한 상기 직선부측을 향해 돌출되는 지지부를 더 갖고,
상기 지지부 및 상기 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 제1 접촉부로부터 상기 길이 방향으로 연장하는 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 가상 직선에 대하여 동일한 측에 배치되어 있거나, 또는 상기 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 탄성부의 일부가 상기 가상 직선상에 위치하도록 배치되어 있는 프로브 핀에 있어서,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 직선부
를 갖고,
상기 직선부는, 상기 프로브 핀이 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제4항에 있어서,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부
를 갖고,
상기 제1 직선부 및 상기 제2 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제4항에 있어서,
상기 제1 접촉부는,
상기 길이 방향으로 교차하는 방향이고 또한 상기 가상 직선에 대한 상기 직선부측을 향해 돌출되는 지지부를 더 갖고,
상기 지지부 및 상기 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 일단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 타단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 제1 접촉부에 있어서의 상기 길이 방향으로 교차하는 폭 방향의 일방측에 배치되어 있거나, 또는 상기 제1 접촉부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 탄성부의 일부가 상기 가상 직선상에 위치하도록 배치되어 있는, 프로브 핀에 있어서,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 직선부를 갖고,
상기 직선부는, 상기 프로브 핀이 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제7항에 있어서,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부
를 갖고,
상기 제1 직선부 및 상기 제2 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제7항에 있어서,
상기 제1 접촉부는,
상기 길이 방향으로 교차하는 방향이고 또한 상기 가상 직선에 대한 상기 직선부측을 향해 돌출되는 지지부를 갖고,
상기 지지부 및 상기 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 제1 접촉부에 있어서의 상기 길이 방향으로 교차하는 폭 방향의 일방측에 배치되어 있거나, 또는 상기 제1 접촉부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 탄성부의 일부가 상기 가상 직선상에 위치하도록 배치되어 있는, 프로브 핀에 있어서,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 직선부를 갖고,
상기 직선부는, 상기 프로브 핀이 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제10항에 있어서,
상기 복수의 띠 형상 탄성편의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제1 접촉부에 접속된 제1 직선부와,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 제2 직선부
를 갖고,
상기 제1 직선부 및 상기 제2 직선부가, 상기 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
길이 방향을 따라 신축하는 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제1 단부에 접속된 판상의 제1 접촉부와,
상기 제1 접촉부에 대하여 직렬적으로 배치되어 상기 탄성부의 상기 길이 방향의 제2 단부에 접속된 판상의 제2 접촉부
를 포함하고,
상기 탄성부가 상기 제1 접촉부에 있어서의 상기 길이 방향으로 교차하는 폭 방향의 일방측에 배치되어 있거나, 또는 상기 제1 접촉부로부터 상기 길이 방향으로 연장되는 가상 직선을 따라 배치되고 또한 상기 탄성부의 일부가 상기 가상 직선상에 위치하도록 배치되어 있는, 프로브 핀에 있어서,
상기 탄성부가,
서로 간극을 두고 배치된 복수의 띠 형상 탄성편을 갖고,
상기 복수의 띠 형상 탄성부의 각각이,
상기 길이 방향에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 그 연장 방향의 일단부가 상기 제2 접촉부에 접속된 직선부를 갖고,
상기 제1 접촉부는,
상기 길이 방향으로 교차하는 방향이며 또한 상기 가상 직선에 대한 직선부측을 향해 돌출되는 지지부를 갖고,
상기 직선부 및 상기 지지부가, 상기 프로브 핀이 소켓에 수용되었을 때 상기 길이 방향에서 상기 소켓의 내부에 접촉 가능하게 구성된, 프로브 핀.
제1항, 제4항, 제7항, 제10항 및 제12항 중 어느 하나의 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓
을 포함하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀을 수용되었을 때, 상기 직선부가, 상기 길이 방향에 있어서, 상기 소켓의 내면에 접촉하도록 구성된, 검사 지그.
제13항의 검사 지그를 적어도 하나 포함한, 검사 유닛.
제14항의 검사 유닛을 적어도 하나 포함한, 검사 장치.