JP2001324515A - 電子部品検査用コンタクトプローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】集積回路チップのプローブテストに用いるスプ
リングプローブは、バレル内に収容したコイルスプリン
グでプローブを付勢する構造であるから、十分に小径化
できず、多数のスプリングプローブを狭ピッチで配置す
ることができず、部品数も多く製作費を低減するのが難
しい。 【解決手段】 コンタクトプローブ装置１の保持体３の
各辺の近傍部に多数の偏平スリット５を３０〜４０μｍ
位の狭ピッチで１列状に形成し、その偏平スリット５
に、ターミナルとバネ部とコンタクトプローブとを一体
化した平面的な構造のプローブ体４のバネ部１１を収容
し、ターミナル１０の下端部を保持体３の上面に接着固
定し、外側面を閉塞板６で覆った。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】 本発明は、集積回路チップ
やフラットパネルディスプレイやプリント基板などの電
子部品のプローブテストに用いるコンタクトプローブ装
置に関し、特にバネ部と一体的に平面的に形成してなる
コンタクトプローブを複数備えたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】 従来、前記の種々の電子部品のプロー
ブテストに用いる為に、複数のスプリングプローブを備
えた装置が種々実用化されている（例えば、実開平６−
２８７４号公報、特開平７−１９００５号公報参照）。
従来のスプリングプローブにおいては、筒状のバレルに
コンタクトプローブを部分的に摺動自在に挿入し、バレ
ル内に装着した細径線材からなるコイルスプリングによ
りコンタクトプローブを進出方向へ弾性付勢している。

【０００３】従来のコンタクトプローブ装置では、前記
のような多数のスプリングプローブを絶縁材料製の保持
体に１列状に装着し、各スプリングプローブのターミナ
ルにソケットを介して導線を接続した状態で、電子部品
のプローブテストに供する。ここで、最近では、集積回
路の回路の線幅がサブミクロン（例えば、０．４〜０．
２μｍ）になり、集積回路の集積度が極端に高まってき
た。その結果、集積回路チップの被測定端子間の間隔が
７０〜５０μｍ、将来的には３０μｍ程度まで狭ピッチ
になりつつある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】 従来のスプリングプ
ローブにおいては、コイルスプリングを仮に直径３０μ
ｍの細径線材で形成したとしても、コイルスプリングの
外径が９０〜１００μｍ位になり、このコイルスプリン
グを収容する筒状のバレルの外径が１００μｍ以上にな
ってしまう。そのため、多数のスプリングプローブを狭
ピッチ（例えば、１００〜５０μｍ）に装着したコンタ
クトプローブ装置を提供することが殆ど困難であり、集
積度の高い集積回路チップのプローブテストに対応でき
ないという問題ある。

【０００５】更に、プローブテストの際、スプリングプ
ローブのコイルスプリングに通電する構造のスプリング
プローブにおいては、プローブテスト時にコイルスプリ
ングが著しく圧縮状態になると、コイルスプリングの導
通長さが変化して電気抵抗が変化してしまうため、プロ
ーブテストの信頼性が低下するという問題もある。ま
た、従来のスプリングプローブは、部品数が多く構造も
複雑で製作コストが高価になるという問題もある。

【０００６】本発明の目的は、電子部品検査用構造プロ
ーブ装置において、コンタクトプローブとバネ部とター
ミナルとを含むプローブ体を平面的な構造にして狭ピッ
チで配設可能にすること、前記プローブ体の構造を簡単
化にすること、等である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】 請求項１の電子部品検
査用構造プローブ装置は、電子部品検査用の複数のコン
タクトプローブを備えたコンタクトプローブ装置におい
て、狭ピッチで少なくとも１列状に配設された複数のプ
ローブ体を備え、各プローブ体は、ターミナルと、弾性
を有し且つ共通の平面内に位置する複数の湾曲部又は屈
曲部を有するバネ部と、コンタクトプローブとを細径の
弾性導体線により一体的に形成してなることを特徴とす
るものである。

【０００８】各プローブ体は、ターミナルと、弾性を有
し且つ共通の平面内に位置する複数の湾曲部又は屈曲部
を有するバネ部と、コンタクトプローブとを細径の弾性
導体線により一体的に形成してなるので、プローブ体を
平面的な構造に構成し、プローブ体の最小幅をそれを構
成する弾性導体線の直径と同じ大きさに構成することが
できる。 そのため、複数の平面的な構成のプローブ体
を、それらの最小幅の方向が列方向に向くように１列状
に狭ピッチにて配設することができる。

【０００９】例えば、前記弾性導体線として例えば直径
３０μｍのものを適用する場合には、プローブ体の最小
幅を３０μｍに構成できるから、プローブ体の表面間の
間隔を例えば５μｍとすると、複数のプローブ体を３５
μｍピッチで１列状に配設することができる。尚、上記
の場合、プローブ体のバネ部の幅（プローブ体の最大
幅）は弾性導体線の直径の数倍の大きさになるため、プ
ローブ体を複数列配設する場合のプローブ体の列間間隔
は３０μｍの数倍の大きさになる。但し、変更形態の図
１０に示すようなプローブ体を適用する場合には、複数
列のプローブ体の列間間隔を狭ピッチにすることができ
る。

【００１０】ここで、前記複数のプローブ体を支持する
絶縁材料製の保持体を設け、この保持体に複数の偏平ス
リットを狭ピッチで少なくとも１列状に形成し、各偏平
スリット内にプローブ体のバネ部を配設した場合（請求
項２）には、バネ部の姿勢を一定の姿勢に保持でき、複
数のプローブ体のバネ部の相互干渉を防止することがで
きる。

【００１１】前記プローブ体は、ほぼ対称な１対のバネ
部であって両方の端部同士が固着された１対のバネ部を
有する場合（請求項３）には、コンタクトプローブが被
測定端子に接触してバネ部が弾性変形する際に、コンタ
クトプローブが片方へ傾いたりすることがなく、中立位
置を保持する。

【００１２】前記複数のプローブ体を支持する平行な１
対の相離隔した保持体を設け、プローブ体のバネ部を１
対の保持体間に配置し、プローブ体のターミナルを一方
の保持体の細孔に挿通させて保持するとともに、コンタ
クトプローブを他方の保持体の細孔に挿通させて突出さ
せた場合（請求項４）には、プローブ体のターミナルを
一方の保持体で位置規制し、コンタクトプローブを他方
の保持体で位置規制することができるから、バネ部が弾
性変形しても、コンタクトプローブの軸心に直交する方
向へのコンタクトプローブの位置変動を確実に防止する
ことができ、複数のコンタクトプローブを予め設定した
位置に整列させておくことができる。

【００１３】前記１対の保持体が絶縁材料で構成され、
前記プローブ体の少なくともバネ部には絶縁被膜が形成
された場合（請求項５）には、隣接するプローブ体のバ
ネ部同士が仮に接触しても、電気的に導通することがな
く、作動安定性を確保することができる。

【００１４】前記１対の保持体が絶縁材料で構成され、
前記プローブ体のバネ部同士間には絶縁シートが配設さ
れた場合（請求項６）には、隣接するプローブ体のバネ
部同士が接触するのを確実に防止することができ、バネ
部の姿勢や向きを絶縁シートにより規制することができ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】 以下、本発明の実施の形態につ
いて説明する。本実施形態に係る電子部品検査用コンタ
クトプローブ装置は、電子部品としての集積回路チップ
のプローブテストに用いるものである。

【００１６】図１、図２に示すように、このコンタクト
プローブ装置１は、アーム２に固定された平面視正方形
状で板状の保持体３と、この保持体３の４つの辺の近傍
部に夫々１列状に狭ピッチで配設された多数のプローブ
体４を備えている。保持体３は、セラミック材料製の所
定の厚さの板状体（例えば、縦横の寸法が共に１０〜２
０ｍｍ、厚さ寸法が５ｍｍ）で水平姿勢に配置されてい
る。保持体３を構成するセラミック材料は、ジルコニ
ア、アルミナ、窒化珪素などの何れかであることが望ま
しいが、これらのセラミック材料に限定される訳ではな
い。

【００１７】この保持体３の各辺の近傍部には、鉛直向
きの多数の偏平スリット５がその最小幅方向を各辺の方
向に向けて狭ピッチで１列状に形成されている。この偏
平スリット５の溝幅（最小幅）はプローブ体４の最小幅
よりも２μｍ程度大きく形成され、本実施形態のプロー
ブ体４は直径３０μｍの弾性導体線で構成されているた
め、偏平スリット５の溝幅は例えば３２μｍである。偏
平スリット５と偏平スリット５の間の壁部の厚さが例え
ば１０μｍであるとすると、多数の偏平スリット５の配
列ピッチは４２μｍである。これら偏平スリット５は例
えばワイヤカット放電加工により形成することができ
る。

【００１８】保持体３の各辺の多数の偏平スリット５に
夫々プローブ体４が配設されている。図３に示すよう
に、各プローブ体４は、ターミナル１０と、共通の平面
内に位置する複数の湾曲部１１ａを有し且つ弾性を有す
る１対のバネ部１１と、コンタクトプローブ１２とを直
径３０μｍの弾性導体線により一体的に形成してなる。
この弾性導体線は本実施形態の場合リン青銅の細径の線
材であるが、リン青銅の線材に限るものではなく、ステ
ンレス、ニッケル、その他線材にしてバネ部を形成可能
な種々の金属の細径の線材を適用してもよい。

【００１９】各プローブ体４において、ほぼ対称な１対
のバネ部１１の上端部同士が溶接や接着により固着さ
れ、ターミナル１０は折り曲げて並べた２本の弾性導体
線であって１対のバネ部１１に連なる２本の弾性導体線
で構成されている。各プローブ体４の１対のバネ部１１
の下端部同士が溶接や接着により固着され、一方のバネ
部１１からコンタクトプローブ１２が下方へ鉛直に延び
ており、ターミナル１０とコンタクトプローブ１２とは
ほぼ同一の鉛直軸線上にある。

【００２０】つまり、共通の１つの平面内で、１本の弾
性導体線を１筆書き状に折り曲げることで、１対のバネ
部１１とターミナル１０とコンタクトプローブ１２とが
一体的に平面的な構造に形成されている。コンタクトプ
ローブ１２の先端は尖った形に形成されている。図１、
図２、図４に示すように、各プローブ体４の最大幅は偏
平スリット５の最大幅とほぼ同幅で、各プローブ体４の
１対のバネ部１１が偏平スリット５内に丁度納まる大き
さになっている。

【００２１】保持体３の各辺の偏平スリット５の外周側
はセラミック製又は合成樹脂製の４枚の閉塞板６で封鎖
され、これら閉塞板６は接着により保持体３に固定され
ている。前記の閉塞板６を保持体３に固定後に、各偏平
スリット５にプローブ体４を挿入して１対のバネ部１１
を偏平スリット５内に収納し且つコンタクトプローブ１
２を保持体３の下方へ突出させた状態とし、ターミナル
１０の下端部を接着剤７で保持体３の上端面に固着する
ことにより、プローブ体４が保持体３に固定されている
（図４参照）。

【００２２】尚、全部のプローブ体４を装着し、それら
のターミナル１２を前記のように接着した状態で、それ
ら多数のコンタクトプローブ４の下端を塩酸の水平な液
面に浸漬することで、多数のコンタクトプローブ１２の
下端を同一水平面に揃えることも可能である。尚、各列
の全部のプローブ体４を装着してから、閉塞板６を取付
けることも可能である。

【００２３】このコンタクトプローブ装置１において、
保持体３の上面に突出する多数のターミナル１０の各々
には図示外のソケットを介して導体線が接続され、それ
ら導体線は検査装置制御ユニット接続され、その状態で
集積回路チップのプローブテストに供される。

【００２４】次に、この電子部品検査用コンタクトプロ
ーブ装置１の作用、効果について説明する。各プローブ
体４がターミナル１０と１対のバネ部１１とコンタクト
プローブ１２とを有し、これらが共通の平面内に納まる
薄い平面的な構造であり、保持体３の各辺の近傍部に多
数の偏平スリット５を狭ピッチで１列状に形成し、それ
ら多数の偏平スリット５に夫々プローブ体４のバネ部を
配設するため、多数のプローブ体４を狭ピッチで列状に
配設することができる。そのため、集積度の高い集積回
路チップにおける狭ピッチの被測定端子に対してプロー
ブステトを行うことのできるコンタクトプローブ装置を
実現できる。しかも、各プローブ体４において、バネ部
１１が少々弾性変形してもバネ部１１の通電長さが一定
で電気抵抗が変化しないため、信頼性の高い装置とな
る。

【００２５】各プローブ体４は１本の弾性導体線を折り
曲げて形成できるため、部品点数が最少の非常に簡単な
構造のものとなり、各プローブ体４を非常に安価に製作
することができるから、コンタクトプローブ装置１の製
作費を著しく低減することができる。各プローブ体４は
ほぼ対称の１対のバネ部１１を有し、これらバネ部１１
の上端部と下端部とが固着されているため、コンタクト
プローブ１２を被測定端子に押圧した際にもコンタクト
プローブ１２が鉛直姿勢を維持する。

【００２６】次に、前記実施形態を部分的に変更する変
更形態について説明する。 １）前記保持体３は、セラミック材料の他に、ポリイミ
ド、エポキシ樹脂などの合成樹脂材料で構成してもよ
い。前記閉塞板６も同様にポリイミド、エポキシ樹脂な
どの合成樹脂材料で構成することができる。前記実施形
態における種々の具体的な寸法などの数値は一例を示す
ものに過ぎず、これらの数値に限定されるものではな
い。

【００２７】２）前記プローブ体４に代わるプローブ体
１４として、図５に示すように、ターミナル１５と、共
通の平面内に位置する複数の湾曲部１６ａを有するバネ
部１６と、コンタクトプローブ１７とを前記同様の弾性
導体線で一体形成したものでもよい。或いは、図６に示
すように、図５のものと同様のプローブ体１４Ａにおい
てコンタクトプローブ１７Ａの下端に逆Ｖ状の係合部１
８を形成し、プローブテストの際その係合部１８を被測
定端子に係合させるように構成してもよい。

【００２８】３）図７に示すように、保持体３の各辺に
おいて、多数の偏平スリット５の上端面の半幅部分を塞
ぐセラミック製又は合成樹脂製の閉塞板８を設け、この
閉塞板８に各プローブ体４のターミナル１０の下端部を
接着にて固定するとともに、多数の偏平スリット５の上
端面の残りの半幅部分を接着剤７Ａで塞いだり、図示外
の閉塞板を併用して接着剤７Ａで塞いでもよい。そし
て、多数の偏平スリット５の下端面の半幅部分を塞ぐセ
ラミック製又は合成樹脂製の閉塞板９ａと、コンタクト
プローブ１２の通過孔を除く残りの半幅部分を塞ぐセラ
ミック製又は合成樹脂製の閉塞板９ｂを設けてもよい。

【００２９】４）図８に示すように、合成樹脂製の保持
体を適用することもできるが、この合成樹脂製の保持体
を製作する場合、例えば４０μｍの厚さの合成樹脂製
（例えば、ポリイミド）の膜体２０を成形する際に膜体
２０に約３０μｍの深さ（幅）の段落ち部２１を形成
し、その膜体２０を多数枚積層し接着することで、前記
偏平スリット５と同様の偏平スリットを有する保持体を
製作することができる。

【００３０】或いは、図９に示すように、合成樹脂製の
保持体を製作する場合、前記同様の厚さの合成樹脂製の
膜体２２を成形する際に、その膜体２２にプローブ体
４，１４のバネ部１１，１６を収容する凹部２３と上下
の細孔２４，２５を形成し、その膜体２２を多数枚積層
し接着することで、前記偏平スリット５に相当する凹部
２３を有する保持体を製作することができる。尚、セラ
ミック製の保持体であっても、前記と同様に段落ち部２
１や凹部２３を形成した多数の膜体を積層し接着するこ
とで製作することができる。

【００３１】５）図１０に示すように、前記保持体３と
同様の保持体４０の各片の近傍部には、前記１列のプロ
ーブ体４の代わりに、複数のプローブ体４１を平面的に
配置したプローブ体群４２が列方向に狭ピッチ（例えば
３０〜４０μｍ）にて配設されている。各プローブ体群
４２は、列間間隔を狭ピッチ（例えば３０〜４０μｍ）
にて配置された例えば４本のプローブ体４１を有する。

【００３２】各プローブ体４１は、ターミナル４３と、
２つの屈曲部４４ａを共通の平面内に納まるように形成
して弾性を付与したバネ部４４と、コンタクトプローブ
４５とを一体的に形成したもので、前記プローブ体４と
同様に、細径（例えば３０μｍ）の弾性導体線（例えば
リン青銅の線材）で平面的な構造に構成されている。各
プローブ体４１において、ターミナル４３は保持体４０
に形成した細孔に挿通され、保持体０の上面に接着剤４
６にて固定されている。コンタクトプローブ４１は保持
体４０に形成した鉛直な細孔に挿通されて上下方向に摺
動自在に案内されている。

【００３３】各プローブ体４１のバネ部４４の水平部４
４ｂの長さは例えば６００〜１０００μｍであり、プロ
ーブテスト時にコンタクトプローブ４５はバネ部４４の
弾性変形を介して被測定端子に追従して約３００μｍ程
度上昇可能になっている。４つのプローブ体４１の４つ
のバネ部４４を収容する前記偏平スリット５と同様に偏
平な収容空間４７が形成されている。この保持体４０
は、例えば図９に示したのと同様の方法で収容空間４７
と複数の細孔を形成した合成樹脂製の膜体を積層するこ
とで製作することができる。

【００３４】尚、プローブ体群４２に配置するプローブ
体４１の数は４本に限るものではなく、数１０本、数１
００本まで増やすことができる。但し、保持体４０の厚
さは必要に応じて大きくしてもよく、また、プローブ体
群４２を複数列配設してもよい。

【００３５】次に、別実施形態のコンタクトプローブ装
置について説明する。図１１、図１２に示すように、こ
の電子部品検査用構成プローブ装置３０は、平面視正方
形状の板状の１対の保持体３１と、その４辺の各々の近
傍部に狭ピッチで１列状に配設された多数のプローブ体
１４とを有する。上下１対の保持体３１は平行に上下に
所定距離だけ相離隔して配設され、これら保持体３１は
絶縁性のあるセラミック材料（絶縁材料）で構成されて
いる。１対の保持体３１の４辺の各々の近傍部には、直
径が例えば３２μｍの多数の細孔３２が、例えば３５μ
ｍの狭ピッチで１列状に形成されている（図１２参
照）。上下１対の保持体３１の１辺側の側面がアーム３
３の先端の連結部材３４に固定されている。

【００３６】プローブ体１４としては図５に示すプロー
ブ体１４が適用される。各プローブ体１４は、ターミナ
ル１５と、共通の平面内に位置する複数の湾曲部１６ａ
を有するバネ部１６と、コンタクトプローブ１７とを細
径の弾性導体線により一体的に形成してなる。細径の弾
性導体線としては、前記のプローブ体４と同様に、例え
ば３０μｍの直径のリン青銅の線材が適用されるため、
バネ部１６は上下方向に弾性を有する。

【００３７】このプローブ体１４のバネ部１６を１対の
保持体３１間に配置し、プローブ体１４のターミナル１
５を上側の保持体３１の細孔３２に挿通させて保持する
とともに、コンタクトプローブ１７を下側の保持体３１
の細孔３２に挿通させて突出させた状態にしてプローブ
体１４を１対の保持体３１に装着する。

【００３８】ここで、プローブ体１４の少なくともバネ
部１６には絶縁被膜（例えばエナメル被膜など）が形成
され、隣接するプローブ体１４のバネ部１６とバネ部１
６とが接触して電気的に導通しないようになっている。
さらに、各辺における１列状の多数のプローブ体１４
は、前記のプローブ体４と同様に鉛直且つ平行に配設さ
れ、各プローブ体１４は、その最小幅の方向が列の方向
と一致する姿勢に配設されている。プローブ体１４の鉛
直軸回りの回転を禁止する為に、各プローブ体１４のタ
ーミナル１５の途中部が上側の保持体３１に接着剤３５
により接着固定されている。尚、各プローブ体１４のタ
ーミナル１５には図示外のソケットを介して検査装置制
御ユニットから延びる導体線が接続される。

【００３９】次に、この電子部品検査用コンタクトプロ
ーブ装置３０の作用、効果について説明する。各プロー
ブ体１４がターミナル１５とバネ部１６とコンタクトプ
ローブ１７とを有し、これらが共通の平面内に納まる薄
い平面的な構造であるから、上下１対の保持体３１の各
辺の近傍部に多数のプローブ１４を狭ピッチ（例えば、
３５μｍ）で列状に配設することができる。そのため、
集積度の高い集積回路チップにおける狭ピッチの被測定
端子に対してプローブステトを行うことのできるコンタ
クトプローブ装置を実現できる。しかも、各プローブ体
４において、バネ部１６が少々弾性変形してもバネ部１
６の通電長さが一定で電気抵抗が変化しないため、信頼
性の高い装置となる。

【００４０】各プローブ体１４は１本の弾性導体線を折
り曲げて形成できるため、部品点数が最少の非常に簡単
な構造のものとなり、各プローブ体１４を非常に安価に
製作することができるから、コンタクトプローブ装置３
０の製作費を著しく低減することができる。しかも、プ
ローブ体１４のターミナル１５とコンタクトプローブ１
７とを上下１対の保持体３１に支持させた構造にしたの
で、プローブ体１４を支持する保持体３１の構造が非常
に簡単になり、前記の実施形態における偏平スリット５
を形成する必要もないから、コンタクトプローブ装置３
０の製作費を著しく低減することができる。

【００４１】ここで、前記プローブ体１４が回転しない
ように接着剤３５で固定されているから、バネ部１６の
表面に形成する絶縁被膜を省略することも可能である。
その場合、隣接するプローブ体１４のバネ部１６とバネ
部１６の間に絶縁シートを配設することが望ましい。

【００４２】

【発明の効果】 請求項１の発明によれば、複数のプロ
ーブ体の各々は、ターミナルと、弾性を有し且つ共通の
平面内に位置する複数の湾曲部又は屈曲部を有するバネ
部と、コンタクトプローブとを細径の弾性導体線により
一体的に形成してなるので、プローブ体を平面的な構造
に構成することができ、プローブ体の最小幅をそれを構
成する弾性導体線の直径と同じ大きさに構成することが
できる。その結果、複数の平面的な構成のプローブ体
を、それらの最小幅の方向が列方向に向くように１列状
に狭ピッチにて配設することができる。

【００４３】各プローブ体を１本の弾性導体線により構
成することができるので、部品数も少なく、構造も簡単
化し、製作コストを著しく低減することができる。ま
た、各プローブ体のバネ部は圧縮状態となっても、通電
時の導通長さは変化しないため、プローブテストの信頼
性を高めることも可能である。

【００４４】請求項２の発明によれば、保持体に複数の
偏平スリットを狭ピッチで少なくとも１列状に形成し、
各偏平スリット内にプローブ体のバネ部を配設するた
め、偏平スリットでもってバネ部の姿勢を一定の姿勢に
保持でき、複数のプローブ体のバネ部の相互干渉を防止
できる。その他請求項１と同様の効果を奏する。

【００４５】請求項３の発明によれば、前記プローブ体
は、ほぼ対称な１対のバネ部であって両方の端部同士が
固着された１対のバネ部を有するので、コンタクトプロ
ーブが被測定端子に接触してバネ部が弾性変形する際
に、コンタクトプローブが片方へ傾いたりすることがな
く中立位置を保持する。その他請求項２と同様の効果を
奏する。

【００４６】請求項４の発明によれば、平行な１対の相
離隔した保持体を設け、プローブ体のバネ部を１対の保
持体間に配置し、プローブ体のターミナルを一方の保持
体の細孔に挿通させて保持するとともに、コンタクトプ
ローブを他方の保持体の細孔に挿通させて突出させるた
め、プローブ体のターミナルを一方の保持体で位置規制
し、コンタクトプローブを他方の保持体で位置規制でき
るから、バネ部が弾性変形しても、コンタクトプローブ
の軸心に直交する方向へのコンタクトプローブの位置変
動を確実に防止でき、複数のコンタクトプローブを予め
設定した位置に整列させておくことができる。その他請
求項１と同様の効果を奏する。

【００４７】請求項５の発明によれば、前記１対の保持
体が絶縁材料で構成され、プローブ体の少なくともバネ
部には絶縁被膜が形成されたため、隣接するプローブ体
のバネ部同士が仮に接触しても、電気的に導通すること
がなく、作動安定性を確保することができる。その他請
求項４と同様の効果を奏する。

【００４８】請求項６の発明によれば、前記１対の保持
体が絶縁材料で構成され、プローブ体のバネ部同士間に
は絶縁シートが配設されたので、隣接するプローブ体の
バネ部同士が接触するのを確実に防止することができ、
バネ部の姿勢や向きを絶縁シートにより規制することが
できる。その他請求項４と同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態のコンタクトプローブ装置の
斜視図である。

【図２】コンタクトプローブの要部拡大分解斜視図であ
る。

【図３】プローブ体の正面図である。

【図４】コンタクトプローブ装置の要部断面図である。

【図５】変更形態のプローブ体の正面図である。

【図６】変更形態のプローブ体の正面図である。

【図７】変更形態の図４相当図である。

【図８】変更形態の保持体を製作する為の膜体の分解斜
視図である。

【図９】変更形態の保持体を製作する為の膜体の分解斜
視図である。

【図１０】変更形態のコンタクトプローブ装置の要部の
縦断面図である。

【図１１】別実施形態のコンタクトプローブ装置の斜視
図である。

【図１２】図１２のコンタクトプローブ装置の要部断面
図である。

【符号の説明】

３ 保持体 ４，１４，１４Ａ，４１ プローブ体 ５ 偏平スリット １０，１５ ターミナル １１，１６，４４ バネ部 １１ａ，１６ａ 湾曲部 ４４ａ 屈曲部 １２，１７，４５ コンタクトプローブ ２１ 段落ち部 ２２ 凹部 ３１ 保持体 ３２ 細孔

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品検査用の複数のコンタクトプロ
   ーブを備えたコンタクトプローブ装置において、 狭ピッチで少なくとも１列状に配設された複数のプロー
   ブ体を備え、 各プローブ体は、ターミナルと、弾性を有し且つ共通の
   平面内に位置する複数の湾曲部又は屈曲部を有するバネ
   部と、コンタクトプローブとを細径の弾性導体線により
   一体的に形成してなることを特徴とする電子部品検査用
   コンタクトプローブ装置。
2. 【請求項２】 前記複数のプローブ体を支持する絶縁材
   料製の保持体を設け、この保持体に複数の偏平スリット
   を狭ピッチで少なくとも１列状に形成し、各偏平スリッ
   ト内にプローブ体のバネ部を配設したことを特徴とする
   請求項１に記載の電子部品検査用コンタクトプローブ装
   置。
3. 【請求項３】 前記プローブ体は、ほぼ対称な１対のバ
   ネ部であって両方の端部同士が固着された１対のバネ部
   を有すること特徴とする請求項２に記載の電子部品検査
   用コンタクトプローブ装置。
4. 【請求項４】 前記複数のプローブ体を支持する平行な
   １対の相離隔した保持体を設け、プローブ体のバネ部を
   １対の保持体間に配置し、プローブ体のターミナルを一
   方の保持体の細孔に挿通させて保持するとともに、コン
   タクトプローブを他方の保持体の細孔に挿通させて突出
   させたことを特徴とする請求項１に記載の電子部品検査
   用コンタクトプローブ装置。
5. 【請求項５】 前記１対の保持体が絶縁材料で構成さ
   れ、前記プローブ体の少なくともバネ部には絶縁被膜が
   形成されたことを特徴とする請求項４に記載の電子部品
   検査用コンタクトプローブ装置。
6. 【請求項６】 前記１対の保持体が絶縁材料で構成さ
   れ、前記プローブ体のバネ部同士間には絶縁シートが配
   設されたことを特徴とする請求項４に記載の電子部品検
   査用コンタクトプローブ装置。