TW202009491A - 探針及具備該探針之檢測插座 - Google Patents

Abstract

本發明所要解決的問題在於提供一種探針及具備該探針之檢測插座，該探針可容易地對應於大量生產，能夠降低製造成本，並且能夠得到對於檢測用基板的焊墊等的電極的穩定的接觸狀態。 為了解決此問題，本發明的探針(100)，具備：第一接觸端子(10)，其接觸待檢測體(4)的焊料球(5)；第二接觸端子(20)，其接觸印刷基板(6)的焊墊(7)；及，螺旋彈簧(81)，其以使這些接觸端子(10、20)分開的方式進行賦能；其中，第一接觸端子(10)是藉由利用棒狀的金屬構件來形成的第一接觸元件(11)而構成；第二接觸端子(20)是藉由利用板狀的金屬構件來形成的2個接觸元件(21A、21B)而構成，該2個接觸元件(21A、21B)在摩擦接觸第一接觸元件(11)的一部分的狀態下夾持該第一接觸元件(11)。

Description

探針及具備該探針之檢測插座

本發明關於探針及具備該探針之檢測插座。

在檢測半導體積體電路等的待檢測體的電特性時，使用探針來使待檢測體與測定器側的檢測用基板作電性連接。此種探針，具備：第一接觸端子，其接觸被設置在待檢測體上的電極；第二接觸端子，其接觸被設置在檢測用基板上的焊墊(land)；及，彈性體，其卡合在第一接觸端子和第二接觸端子上，並以使第一接觸端子與第二接觸端子分開的方式進行賦能(energize)。又，已知一種探針，具備：第一接觸端子，其具有圓柱狀部；及，第二接觸端子，其具有被形成有孔之圓筒狀部；並且，該探針是將第一接觸端子的圓柱狀部插入第二接觸端子的圓筒狀部的孔中而構成(例如，參照專利文獻1)。

[先前技術文獻] (專利文獻) 專利文獻1：日本特開2010-256251號公報

[發明所欲解決的問題] 上述專利文獻1所記載的探針，其被形成在第二接觸端子的圓筒狀部中的孔，被要求具有高精度的內徑和同軸度，並且其內周面被要求具有高平滑度。因此，當藉由切削加工來形成這種孔時，加工時間會變長，所以會導致量產性降低並且製造成本上升的問題。又，上述專利文獻1記載的探針，其接觸到檢測用基板的焊墊上之第二接觸端子的接觸部是一處，所以例如當有絕緣性的異物被夾在該接觸部與檢測用基板的焊墊之間的情況，接觸狀態可能變得不穩定。

於是，本發明的目的在於提供一種探針及具備該探針之檢測插座，該探針可容易地大量生產並能夠降低製造成本，並且能夠得到對於檢測用基板的焊墊等的電極的穩定的接觸狀態。

[解決問題的技術手段] (1)關於本發明的探針，是使第一電極與第二電極作電性連接之探針，其特徵在於，具備：第一接觸端子，其接觸前述第一電極；第二接觸端子，其接觸前述第二電極；及，彈性體，其卡合在前述第一接觸端子和前述第二接觸端子上，並以使前述一接觸端子與前述第二接觸端子分開的方式進行賦能；其中，前述第一接觸端子是藉由利用棒狀的金屬構件來形成的第一接觸元件而構成，該第一接觸元件設置有與前述第一電極接觸的第一接觸部；前述第二接觸端子是藉由利用板狀的金屬構件來形成的複數個第二接觸元件而構成，該等複數個第二接觸元件設置有與前述第二電極接觸的第二接觸部，並在摩擦接觸前述第一接觸元件的一部分的狀態下夾持該第一接觸元件；前述第一接觸元件與前述第二接觸元件，能夠一邊相互地摩擦接觸，一邊以相對地接近或遠離前述第一電極和前述第二電極的方式移動；前述彈性體是藉由螺旋彈簧而構成，該螺旋彈簧被設置成包圍前述第一接觸元件和前述第二接觸元件的至少一部分，該螺旋彈簧使前述第一接觸元件的前述第一接觸部彈性地壓抵前述第一電極，並且使前述第二接觸元件的前述第二接觸部彈性地壓抵前述第二電極。

藉由此構成，關於本發明的探針的第二接觸端子，是藉由利用板狀的金屬構件來形成的複數個第二接觸元件而構成，該等第二接觸元件夾持第一接觸端子的第一接觸元件，所以當製造該第二接觸元件時，不需要如具有圓筒狀部之先前的第二接觸端子那樣地進行開孔加工，所以例如能夠使用製造成本比較便宜的沖壓加工或蝕刻加工等的加工技術而容易地製造，其結果是可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。又，關於本發明的探針的第二接觸端子，具有複數個第二接觸元件，所以接觸到檢測用基板的焊墊等的電極上之第二接觸部也具有複數個，因此關於本發明的探針，即使當1個第二接觸部以不穩定的狀態來接觸第二電極的狀況產生時，也能夠使其他的第二接觸部確實地接觸第二電極，所以能夠得到對於第二電極的穩定的接觸狀態。

(2)關於本發明的探針，其中，前述第二接觸端子的前述各第二接觸元件，是利用平面狀的金屬板來形成。

藉由此構成，關於本發明的探針，其構成第二接觸端子的第二接觸元件，是利用平面狀的金屬板來形成，所以當製造該第二接觸元件時，不需要如具有先前的圓筒狀部之第二接觸端子那樣地進行開孔加工，所以例如能夠使用製造成本比較便宜的沖壓加工或蝕刻加工等的加工技術而容易地製造，其結果是可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。

(3)關於本發明的探針，其中，前述第二接觸端子，是藉由以夾持前述第一接觸元件的方式配置的2個前述第二接觸元件而構成。

藉由此構成，關於本發明的探針的第二接觸端子，是藉由2個第二接觸元件而構成，所以第二接觸端子是簡單的構成，因此可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。

(4)關於本發明的探針，其中，前述第二接觸端子，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件的方式配置的3個以上的前述第二接觸元件而構成。

藉由此構成，關於本發明的探針的第二接觸端子，是藉由3個以上的第二接觸元件來包圍並夾持第一接觸元件而構成，所以第一接觸元件不會產生搖晃，而能夠確實且穩定地被支持在規定的位置。

(5)關於本發明的探針，其中，前述第二接觸端子的前述各第二接觸元件，具有內表面是凹狀的橫剖面形狀；並且，前述第二接觸端子，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件的方式配置的複數個前述第二接觸元件而構成。

藉由此構成，關於本發明的探針，其藉由具有內表面是凹狀的橫剖面形狀之複數個第二接觸元件來包圍並夾持第一接觸元件而構成，所以第一接觸元件不會產生搖晃，而能夠確實且穩定地被支持在規定的位置。

(6)關於本發明的探針，其中，前述螺旋彈簧，具有：緊密捲繞部，其線材被緊密地捲繞；及，寬鬆捲繞部，其以比該緊密捲繞部更大的間距來使線材被分離地捲繞；並且，前述緊密捲繞部，被設置成包圍藉由前述複數個第二接觸元件來夾持前述第一接觸元件之部分。

藉由此構成，關於本發明的探針，在螺旋彈簧中的比寬鬆捲繞部具有更強的彈性的緊密捲繞部，其包圍藉由複數個第二接觸元件來夾持第一接觸元件之部分，所以第二接觸元件不容易從第一接觸元件上分離而更確實地得到第一接觸元件與第二接觸元件的摩擦接觸的狀態，並且能夠藉由緊密捲繞部來抑制第一接觸元件的傾斜。

(7)關於本發明的檢測插座，其特徵在於，具備：上述本發明的探針；及，框體，其形成有收納前述探針之收納部。

藉由此構成，能夠提供一種關於本發明的檢測插座，該檢測插座具備的探針可容易地大量生產，能夠降低製造成本，並且能夠得到對於檢測用基板的焊墊等的電極的穩定的接觸狀態。

[發明的效果] 依據本發明，能夠提供一種探針及具備該探針之檢測插座，該探針可容易地對應於大量生產，能夠降低製造成本，並且能夠得到對於檢測用基板的焊墊等的電極的穩定的接觸狀態。

(第一實施形態) 以下，針對本發明的第一實施形態，一邊參照圖式一邊進行說明。 首先，針對構成進行說明。

第1圖(A)、第1圖(B)，表示具備關於第一實施形態的探針100之檢測插座200。又，第2圖表示沿著第1圖(A)的a-a線的剖面，第3圖表示構成關於第一實施形態的探針100的第一接觸端子10和第二接觸端子20。

又，第4圖(A)、第4圖(B)，表示關於第一實施形態的檢測插座200的使用狀態，亦即，藉由關於第一實施形態的探針100來使待檢測體4的焊料球5與印刷基板6的焊墊7作電性連接，並檢測待檢測體4的電特性的狀態。此處，焊料球5，構成在本發明中的第一電極，焊墊7構成在本發明中的第二電極。又，待檢測體4是半導體積體電路等。

如第4圖所示，待檢測體4被配置在第4圖的檢測插座200的上方，焊料球5被形成在待檢測體4的與檢測插座200相對向的面上。又，印刷基板6被配置在第4圖的檢測插座200的下方，焊墊7被形成在印刷基板6的與檢測插座200相對向的面上。在印刷基板6上，連接有來自未圖示的電流供給電路或電壓測定電路的配線等。

如第1圖所示，關於第一實施形態的檢測插座200，具備：探針100；及，框體300，其形成有收納探針100之收納部33。另外，在第1圖中僅圖示1個探針100，但是檢測插座200，也可以是在共通的框體300中支持有複數根探針100之構成。

如第1圖所示，框體300，具有利用電性絕緣材料來形成的第一框體部31和第二框體部32。第一框體部31和第二框體部32，利用未圖示的螺絲來固定。如第4圖所示，第一框體部31被配置在待檢測體4側，第二框體部32被配置在印刷基板6側。在第一框體部31中，形成有沿著第4圖中的從待檢測體4朝向印刷基板6的方向延伸的貫通孔31a；在第二框體部32中，形成有與第一框體部31的貫通孔31a同心狀的貫通孔32a。在框體300中，藉由這些貫通孔31a、32a來形成收納部33，該收納部33收納探針100。又，在第一框體部31的貫通孔31a的外部側，亦即在待檢測體4側的開口的邊緣，形成有環狀的突起部31b；在第二框體部32的貫通孔32a的外部側，亦即在印刷基板6側的開口的邊緣，形成有環狀的突起部32b。

接著，針對關於第一實施形態的探針100的詳細構成進行說明。如第1圖所示，關於第一實施形態的探針100，具備：第一接觸端子10，其接觸待檢測體4的焊料球5；第二接觸端子20，其接觸印刷基板6的焊墊7；及，彈性體8，其卡合在第一接觸端子10和第二接觸端子20上，並以使第一接觸端子10與第二接觸端子20分開的方式進行賦能。

如第1圖和第3圖所示，第一接觸端子10是藉由利用棒狀的金屬構件來形成的1個第一接觸元件11而構成，在該第一接觸元件11上設置有與待檢測體4的焊料球5接觸的第一接觸部11e。第一接觸元件11，在第1圖和第3圖中，從上朝向下的方向上，亦即在第4圖中的從待檢測體4朝向印刷基板6的方向上，具有大徑部11a、口徑比大徑部11a更小的中徑部11b、及口徑比中徑部11b更小的小徑部11c，進一步在大徑部11a與中徑部11b之間具有凸緣部11d。大徑部11a、中徑部11b、小徑部11c及凸緣部11d被形成同心狀。又，大徑部11a和中徑部11b具有幾乎相同的長度。小徑部11c具有比大徑部11a和中徑部11b的合計長度稍微更長的長度。

第一接觸元件11，在大徑部11a的前端，具有接觸焊料球5之第一接觸部11e。第一接觸部11e，具有被形成在圓周方向上的複數個尖銳的突起11f；第一接觸部11e，以在這些突起11f的內側接觸焊料球5的方式而被構成。第一接觸元件11，被收納成：在框體300的收納部33中，在其凸緣部11d可卡合在突起部31b上的狀態下，能夠沿著收納部33的延伸方向移動。

如第1圖～第4圖所示，第二接觸端子20，藉由成對亦即相同構成的2個第二接觸元件21A、21B而構成。各第二接觸元件21A、21B，是利用平面狀的金屬板來形成，設置有與印刷基板6的焊墊7接觸的第二接觸部21e，且以在摩擦接觸第一接觸元件11的一部分的狀態下夾持該第一接觸元件11的方式來構成。這些第二接觸元件21A、21B，以夾持第一接觸元件11的小徑部11c的方式被配置在框體300的收納部33中。

如第1圖和第3圖所示，第二接觸元件21A、21B，各自具有第一板部21a、及被形成在第一板部21a的印刷基板6側的寬度比第一板部21a更大的第二板部21b，進一步在第一板部21a與第二板部21b之間具有寬度與第二板部21b相同程度的彈簧卡合部21c。又，第二接觸元件21A、21B，各自在第二板部21b的前端部具有寬度比第二板部21b更小的前端板部21d，且在前端板部21d的前端形成有半圓弧狀的第二接觸部21e，進一步在前端板部21d與第二板部21b之間的兩側部形成有段差部21f。

如第1圖和第2圖所示，第二接觸元件21A、21B，被配置成：在框體300的收納部33中，使第一板部21a朝向第一框體部31側且平行地夾住第一接觸元件11，且從第一板部21a遍及到彈簧卡合部21c的部分，夾持在第一接觸元件11中的小徑部11c的前端側的部分。又，第二接觸元件21A、21B，被收納成：在框體300的收納部33中，在其段差部21f可卡合在突起部32b上的狀態下，能夠沿著收納部33的延伸方向移動。如第2圖所示，關於第一實施形態的探針100，其第一接觸元件11的小徑部11c變成可接觸第二接觸元件21A、21B的寬度方向的中央部分。

在如第4圖所示的檢測插座200的使用狀態中，第一接觸元件11與第二接觸元件21A、21B，能夠一邊相互地摩擦接觸，一邊以相對地接近或遠離待檢測體4的焊料球5和印刷基板6的焊墊7的方式移動。

如第1圖所示，關於第一實施形態的彈性體8，藉由螺旋彈簧81而構成，該螺旋彈簧81使第一接觸元件11的第一接觸部11e彈性地壓抵待檢測體4的焊料球5，並且使第二接觸元件21A、21B的各第二接觸部21e彈性地壓抵印刷基板6的焊墊7。螺旋彈簧81，具有被捲繞的線材之間的間距(節距，Pitch)幾乎是等間距地分離的形態。

關於第一實施形態的探針100，藉由螺旋彈簧81來導通第一接觸元件11與第二接觸元件21A、21B。藉此，關於第一實施形態的探針100，其被構成：使第一接觸元件11的第一接觸部11e所接觸的待檢測體4的焊料球5，與第二接觸元件21A、21B的各第二接觸部21e所接觸的印刷基板6的焊墊7導通。

如第1圖所示，螺旋彈簧81，在壓縮狀態下，其一端卡合在第一接觸元件11的凸緣部11d上，其另一端卡合在第二接觸元件21A、21B的各彈簧卡合部21c上。藉此，螺旋彈簧81，被設置成：包圍第一接觸元件11中的從中徑部11b遍及到小徑部11c的大部分、及包圍第二接觸元件21A、21B的各第一板部21a。如第4圖所示，第一接觸元件11，利用螺旋彈簧81的賦能力(彈壓力)而使凸緣部11d卡合在第一框體部31的突起部31b的內部側的面上，並使大徑部11a從第一框體部31朝向待檢測體4突出。又，第二接觸元件21A、21B，其各段差部21f卡合在突起部32b的內部側的端緣上，並使第二接觸部21e從第二框體部32朝向印刷基板6突出。

接著，針對作用進行說明。 如上述構成的關於第一實施形態的檢測插座200的探針100的第二接觸端子20，是藉由利用平面狀的金屬板來形成的2個第二接觸元件21A、21B而構成，該2個第二接觸元件21A、21B夾持第一接觸端子10的第一接觸元件11。因此，當製造第二接觸元件21A、21B時，不需要如具有圓筒狀部之先前的第二接觸端子那樣地進行開孔加工，例如能夠使用製造成本比較便宜的沖壓加工或蝕刻加工等的加工技術而容易地製造，其結果是關於第一實施形態的探針100可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。又，關於第一實施形態的探針100的第二接觸端子20，由於其是藉由2個第二接觸元件21A、21B而構成，所以第二接觸端子20是簡單的構成，從此觀點來看，可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。

又，關於第一實施形態的探針100的第二接觸端子20，具有2個第二接觸元件21A、21B，所以具有2個第二接觸部21e來接觸印刷基板6的焊墊7。因此，例如即使當有絕緣性的異物被夾在一方的第二接觸元件21A的第二接觸部21e與焊墊7之間的情況，而導致該第二接觸部21e以不穩定的狀態來接觸焊墊7的狀況產生時，另一方的第二接觸元件21B的第二接觸部21e也能夠確實地接觸焊墊7，所以能夠得到對於焊墊7的穩定的接觸狀態。

接著，針對第一實施形態的變化例進行說明。 以下說明的變化例，與上述第一實施形態的不同點在於在上述第一實施形態中的構成第二接觸端子20的第二接觸元件。因此，在以下說明中，對與上述第一實施形態相同的構成元件賦予相同的符號，並僅說明與上述第一實施形態的不同點。

(變化例1) 針對變化例1，使用第5圖進行說明。在上述第一實施形態中的第二接觸端子20，是藉由平面狀的金屬板所構成的2個第二接觸元件21A、21B而構成，但是變化例1的第二接觸端子20，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件11的方式配置的由平面狀的金屬板所構成的3個前述第二接觸元件21A、21B、21C而構成。第二接觸元件21C，是與第二接觸元件21A、21B相同的構成。亦即，變化例1的第二接觸端子20，是在上述第一實施形態的第二接觸端子20中，追加第二接觸元件21C而構成。

如第5圖所示，在變化例1中，3個第二接觸元件21A、21B、21C被配置成在俯視圖中呈正三角形狀，這些第二接觸元件21A、21B、21C的寬度方向的中央部分，接觸第一接觸元件11的小徑部11c。

變化例1，藉由構成第二接觸端子20的3個第二接觸元件21A、21B、21C來包圍並夾持前述第一接觸元件11而構成，所以能夠使第一接觸元件11不會產生搖晃，而確實且穩定地支持在規定的位置。

另外，關於前述變化例1的第二接觸端子20，是利用平板狀的金屬板所構成的3個第二接觸元件21A、21B、21C而構成，但是關於本發明的探針的第二接觸端子，也可以藉由4個或其以上的數目的平板狀的金屬板所構成的第二接觸元件來包圍並夾持第一接觸元件11而構成。

(變化例2) 針對變化例2，使用第6圖進行說明。在變化例2中的第二接觸端子20，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件11的方式配置的具有內表面是凹狀的橫剖面形狀之2個第二接觸元件23A、23B而構成。變化例2的第二接觸元件23A、23B，能夠將上述第一實施型態的第二接觸元件21A，以寬度方向中央的中心線作為折彎線來進行折彎加工以形成近乎直角的角度，而具有V形狀的橫剖面。亦即，雖然省略圖示，但是變化例2的第二接觸元件23A、23B，與上述第一實施形態的第二接觸元件21A相同地具有第一板部21a、第二板部21b、彈簧卡合部21c、前端板部21d、段差部21f，並在該第二接觸元件23A、23B的前端具有接觸印刷基板6的焊墊7之第二接觸部21e。

如第6圖所示，在變化例2中，2個第二接觸元件23A、23B，被配置成使其凹谷側也就是內側相對向而包圍並夾持前述第一接觸元件11。又，第二接觸元件23A、23B，各自的外表面側的彎曲部的頂部和外表面側的兩側緣，抵接在螺旋彈簧81的內周面上。

變化例2，藉由具有內表面是凹狀的橫剖面形狀之2個第二接觸元件23A、23B來包圍並夾持前述第一接觸元件11而構成，所以能夠使第一接觸元件11不會產生搖晃，而確實且穩定地支持在規定的位置。

另外，關於前述變化例2的第二接觸元件23A、23B具有V形狀的橫剖面形狀，但是作為關於本發明的具有內表面是凹狀的橫剖面形狀之第二接觸元件，不受限於具有V形狀的橫剖面形狀，橫剖面形狀也可以是各種形狀，只要至少夾持第一接觸元件之內表面是凹狀的橫剖面形狀即可。

(第二實施形態) 接著，藉由第7圖來說明第二實施形態。 第二實施形態，是將上述第一實施形態中的螺旋彈簧81的形態加以改變而成，其他的構成是相同的，所以在以下說明中，對與上述第一實施形態相同的構成元件賦予相同的符號，並僅說明與上述第一實施形態的不同點。

在上述第一實施形態中的螺旋彈簧81，其被捲繞的線材之間的間距是幾乎以相等的間距來分離，但是如第7圖所示的第二實施形態中的螺旋彈簧81，具有：緊密捲繞部81a，其線材被緊密地捲繞；及，寬鬆捲繞部81b，其以比緊密捲繞部81a更大間距來使線材被分離地捲繞。寬鬆捲繞部81b，被設置在第一接觸元件11中的沒有被第二接觸元件21A、21B夾持的部分的周圍；緊密捲繞部81a，被設置成包圍第二接觸元件21A、21B的各第一板部21a的周圍，亦即包圍第二接觸元件21A、21B的夾持第一接觸元件11的小徑部11c之部分。關於第二實施形態的第二接觸端子20，被配置成第二接觸元件21A、21B的外表面側的側緣抵接在螺旋彈簧81的緊密捲繞部81a的內周面上。

關於第二實施形態的探針100，在螺旋彈簧81中的比寬鬆捲繞部81b具有更強的彈性的緊密捲繞部81a，具有包圍藉由2個第二接觸元件21A、21B來夾持第一接觸元件11之部分的構成。因此，在關於第二實施形態的探針100中，第二接觸元件21A、21B不容易從第一接觸元件11分離而能夠確實地得到第一接觸元件11與第二接觸元件21A、21B的摩擦接觸的狀態，並且能夠藉由緊密捲繞部81a來抑制第一接觸元件11的傾斜。

另外，關於第二實施形態的螺旋彈簧81，是將緊密捲繞部81a和寬鬆捲繞部81b作成一體構成，但是也可以使用緊密捲繞的彈簧來取代緊密捲繞部81a，並使用寬鬆捲繞的彈簧來取代寬鬆捲繞部81b而作成分成二個物體之構成。

(第三實施形態) 接著，藉由第8圖～第12圖來說明第三實施形態。 以下說明的第三實施形態，是將關於上述第一實施形態和第二實施形態的探針100中的第一接觸端子10與第二接觸端子20的接觸對象設置為相反而成，因此，在以下說明中，對與上述第一實施形態和第二實施形態相同的構成元件賦予相同的符號，並僅說明與上述第一實施形態和第二實施形態的不同點。

第8圖(A)和第8圖(B)，表示具備關於第三實施形態的探針100之檢測插座200。又，第9圖表示沿著第8圖(A)的f-f線的剖面，第10圖表示構成關於第三實施形態的探針100的第一接觸端子10和第二接觸端子20。

在第三實施形態中，設置有板狀的電極墊5B來取代在上述第一實施形態和第二實施形態中的待檢測體4上的焊料球5。又，與第一實施形態和第二實施形態同樣地將焊墊7B設置在印刷基板6上。在關於上述第一實施形態和第二實施形態的探針100中，第一接觸端子10被構成接觸到待檢測體4的焊料球5，第二接觸端子20被構成接觸到印刷基板6的焊墊7，但是在關於第三實施形態的探針100中，第一接觸端子10被構成接觸到印刷基板6的焊墊7B，第二接觸端子20被構成接觸到待檢測體4的電極墊5B。在第三實施形態中，焊墊7B構成本發明中的第一電極，電極墊5B構成本發明中的第二電極。

如第8圖和第10圖所示，關於第三實施形態的第一接觸端子10，是藉由利用棒狀的金屬構件來形成的1個第一接觸元件110而構成，在該第一接觸元件110上設置有與印刷基板6的焊墊7B接觸的第一接觸部110e。第一接觸元件110，在從印刷基板6朝向待檢測體4的方向上，具有大徑部110a、口徑比大徑部110a更小的中徑部110b、及口徑比中徑部110b更小的小徑部110c，進一步，在大徑部110a與中徑部110b之間具有凸緣部110d。大徑部110a、中徑部110b、小徑部110c及凸緣部110d被形成同心狀。又，中徑部110b具有大徑部110a的2倍程度的長度，小徑部110c具有比大徑部110a和中徑部110b的合計長度稍微更長的長度。

第一接觸元件110，在大徑部110a的前端，具有接觸焊墊7B之第一接觸部110e。如第8圖所示，大徑部110a的焊墊7B側的前端部被形成圓錐狀，且在其前端上形成有第一接觸部110e。第一接觸元件110，被收納成：在框體300的收納部33中，在凸緣部110d可卡合在突起部32b上的狀態下，能夠沿著收納部33的延伸方向移動。

如第8圖和第10圖所示，關於第三實施形態的第二接觸端子20，藉由成對亦即相同構成的2個第二接觸元件210A、210B而構成。各第二接觸元件210A、210B，是利用平面狀的金屬板來形成，設置有與待檢測體4的電極墊5B接觸的第二接觸部210e，且以在摩擦接觸第一接觸元件110的一部分的狀態下夾持該第一接觸元件110的方式來構成。這些第二接觸元件210A、210B，以夾持第一接觸元件110的小徑部110c的方式被配置成在框體300的收納部33中。

如第8圖和第10圖所示，第二接觸元件210A、210B，各自具有第一板部210a、及被形成在第一板部210a的待檢測體4側的寬度比第一板部210a更大的第二板部210b，進一步在第一板部210a與第二板部210b之間，具有寬度與第二板部210b相同程度的彈簧卡合部210c。又，第二接觸元件210A、210B，各自在第二板部210b的前端部具有寬度比第二板部210b更小的前端板部210d，並在前端板部210d的前端形成有第二接觸部210e，進一步在前端板部210d與第二板部210b之間的兩側部形成有段差部210f。第二接觸部210e，具有2個尖銳的突起210g，第二接觸部210e以使電極墊5B接觸在這些突起210g上的方式來構成。

如第8圖所示，第二接觸元件210A、210B，被配置成：在框體300的收納部33中，使第一板部210a朝向第二框體部32側且平行地夾住第一接觸元件110，且從第一板部210a遍及到彈簧卡合部210c的部分，夾持在第一接觸元件110中的小徑部110c的前端側的部分。又，第二接觸元件210A、210B，被收納成：在框體300的收納部33中，在其段差部210f可卡合在突起部31b上的狀態下，能夠沿著收納部33的延伸方向移動。如第9圖所示，關於第三實施形態的探針100，其第一接觸元件110的小徑部110c變成可接觸第二接觸元件210A、210B的寬度方向的中央部分。

在如第8圖所示的檢測插座200的使用狀態中，關於第三實施形態的第一接觸元件110與第二接觸元件210A、210B，能夠一邊相互地摩擦接觸，一邊以相對地接近或遠離印刷基板6的焊墊7B和待檢測體4的電極墊5B的方式移動。

如第8圖所示，關於構成第三實施形態的彈性體8之螺旋彈簧81，藉由使第一接觸元件110的第一接觸部110e彈性地壓抵印刷基板6的焊墊7B，並且使第二接觸元件210A、210B的各第二接觸部210e彈性地壓抵待檢測體4的電極墊5B而構成。

關於第三實施形態的探針100，藉由螺旋彈簧81來導通第一接觸元件110與第二接觸元件210A、210B。藉此，關於第三實施形態的探針100，其被構成：使第一接觸元件110的第一接觸部110e所接觸的印刷基板6的焊墊7B，與第二接觸元件210A、210B的各第二接觸部210e所接觸的待檢測體4的電極墊5B導通。

如第8圖所示，螺旋彈簧81，在壓縮狀態下，其一端卡合在第一接觸元件110的凸緣部110d上，其另一端卡合在第二接觸元件210A、210B的各彈簧卡合部210c上。藉此，螺旋彈簧81，被設置成：包圍第一接觸元件110中的從中徑部110b遍及到小徑部110c的大部分、及包圍第二接觸元件210A、210B的各第一板部210a。

如第8圖所示，關於第三實施形態的螺旋彈簧81，與上述第二實施形態同樣，具有：緊密捲繞部81a，其線材被緊密地捲繞；及，寬鬆捲繞部81b，其以比緊密捲繞部81a更大的間距來使線材被分離地捲繞。在第三實施形態中，寬鬆捲繞部81b，被設置在第一接觸元件110中的沒有被第二接觸元件210A、210B夾持的部分的周圍；緊密捲繞部81a，被設置在第二接觸元件210A、210B的各第一板部210a的周圍。如第9圖所示，關於第三實施形態的第二接觸端子20，被配置成第二接觸元件210A、210B的外表面側的側緣抵接在螺旋彈簧81的緊密捲繞部81a的內周面上。

另外，螺旋彈簧81，是將緊密捲繞部81a和寬鬆捲繞部81b作成一體構成，但是也可以使用緊密捲繞的彈簧來取代緊密捲繞部81a，並使用寬鬆捲繞的彈簧來取代寬鬆捲繞部81b而作成分成二個物體之構成。

接著，針對作用進行說明。 關於上述第三實施形態的探針100的第二接觸端子20，是藉由利用平面狀的金屬板來形成的2個第二接觸元件210A、210B而構成，該2個第二接觸元件210A、210B夾持第一接觸端子10的第一接觸元件110。因此，當製造第二接觸元件210A、210B時，不需要進行開孔加工等，例如能夠使用製造成本比較便宜的沖壓加工或蝕刻加工等的加工技術而容易地製造。因此，關於第三實施形態的探針100可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。又，關於第三實施形態的探針100的第二接觸端子20，由於其是藉由2個第二接觸元件210A、210B而構成，所以第二接觸端子20是簡單的構成，從此觀點來看，可容易地大量生產，並能夠降低製造成本。

又，關於第三實施形態的探針100的第二接觸端子20，具有2個第二接觸元件210A、210B，所以具有2個第二接觸部210e來接觸待檢測體4的電極墊5B。因此，例如即使當有絕緣性的異物被夾在一方的第二接觸元件210A的第二接觸部210e與電極墊5B之間的情況，而導致該第二接觸部210e以不穩定的狀態來接觸電極墊5B的狀況產生時，另一方的第二接觸元件210B的第二接觸部210e也能夠確實地接觸電極墊5B，所以能夠得到對於電極墊5B的穩定的接觸狀態。

又，關於第三實施形態的探針100，在螺旋彈簧81中的比寬鬆捲繞部81b具有更強的彈性的緊密捲繞部81a，具有包圍藉由2個第二接觸元件210A、210B來夾持第一接觸元件110之部分的構成。因此，在關於第三實施形態的探針100中，第二接觸元件210A、210B不容易從第一接觸元件110分離而能夠確實地得到第一接觸元件110與第二接觸元件210A、210B的摩擦接觸的狀態，並且能夠藉由緊密捲繞部81a來抑制第一接觸元件110的傾斜。

(變化例) 在第三實施形態中，也能夠同樣地適用上述第一實施形態的變化例1、2。亦即，如第11圖所示，在第三實施形態中，由平面狀的金屬板構成的3個第二接觸元件210A、210B、210C被配置成在俯視圖中呈正三角形狀，藉此能夠構成藉由該3個第二接觸元件210A、210B、210C來夾持第一接觸元件110的小徑部110c。第二接觸元件210C，與第二接觸元件210A、210B是相同的構成。

在如第11圖所示的變化例中，藉由構成第二接觸端子20的3個第二接觸元件210A、210B、210C來包圍並夾持前述第一接觸元件110，所以能夠使第一接觸元件110不會產生搖晃，而確實且穩定地支持在規定的位置。

又，如第12圖所示，在第三實施形態中，是能夠藉由2個第二接觸元件230A、230B來夾持第一接觸元件110的小徑部11c之構成，該2個第二接觸元件230A、230B，具有V形狀的橫剖面且將其凹谷側也就是內側配置成相對向。第二接觸元件230A、230B，能夠將上述第三實施型態的第二接觸元件210A，以寬度方向中央的中心線作為折彎線來進行折彎加工以形成近乎直角的角度，雖然省略圖示，但是與第二接觸元件210A相同地具有第一板部210a、第二板部210b、彈簧卡合部210c、前端板部210d、段差部210f，並在該第二接觸元件230A、230B的前端具有第二接觸部210e，該第二接觸部210e具備的2個突起210g接觸待檢測體4的電極墊5B。

在如第12圖所示的變化例中，藉由具有內表面是凹狀的橫剖面形狀之2個第二接觸元件230A、230B來包圍並夾持第一接觸元件110而構成，所以能夠使第一接觸元件110不會產生搖晃，而確實且穩定地支持在規定的位置。

[產業利用性] 關於本發明的探針及具備該探針之檢測插座，可容易地大量生產，並能夠降低製造成本，並且能夠得到對於檢測用基板的焊墊等的電極的穩定的接觸狀態，所以有益於當檢測半導體積體電路等的電特性時所使用的探針及具備該探針之檢測插座。

4‧‧‧待檢測體5‧‧‧焊料球(第一電極)5B‧‧‧電極墊(第二電極)6‧‧‧印刷基板7‧‧‧焊墊(第二電極)7B‧‧‧焊墊(第一電極)8‧‧‧彈性體10‧‧‧第一接觸端子11、110‧‧‧第一接觸元件11a、110a‧‧‧大徑部11b、110b‧‧‧中徑部11c、110c‧‧‧小徑部11d、110d‧‧‧凸緣部11e、110e‧‧‧第一接觸部11f、210g‧‧‧突起20‧‧‧第二接觸端子21A、21B、21C、23A、23B、210A、210B、210C、230A、230B‧‧‧第二接觸元件21a、210a‧‧‧第一板部21b、210b‧‧‧第二板部21c、210c‧‧‧彈簧卡合部21d、210d‧‧‧前端板部21e、210e‧‧‧第二接觸部21f、210f‧‧‧段差部31‧‧‧第一框體部31a‧‧‧第一框體部的貫通孔31b‧‧‧第一框體部的突起部32‧‧‧第二框體部32a‧‧‧第二框體部的貫通孔32b‧‧‧第二框體部的突起部33‧‧‧收納部81‧‧‧螺旋彈簧81a‧‧‧緊密捲繞部81b‧‧‧寬鬆捲繞部100‧‧‧探針200‧‧‧檢測插座300‧‧‧框體a-a、b-b、c-c、d-d、e-e、f-f‧‧‧剖面線

第1圖是表示具備關於本發明的第一實施形態的探針之檢測插座的圖；其中，第1圖(A)是該檢測插座的縱剖面圖，第1圖(B)是沿著第1圖(A)的b-b線的剖面圖。 第2圖是沿著第1圖(A)的a-a線的剖面圖。 第3圖是表示構成關於本發明的第一實施形態的探針的第一接觸端子和第二接觸端子的立體圖。 第4圖是表示關於本發明的第一實施形態的檢測插座的使用狀態的圖；其中，第4圖(A)是該檢測插座的縱剖面圖，第4圖(B)是沿著第4圖(A)的c-c線的剖面圖。 第5圖是表示關於本發明的第一實施形態的探針的變化例1的圖，是相當於沿著第1圖(A)的a-a線的橫剖面圖。 第6圖是表示關於本發明的第一實施形態的探針的變化例2的圖，是相當於沿著第1圖(A)的a-a線的橫剖面圖。 第7圖是表示具備關於本發明的第二實施形態的探針之檢測插座的使用狀態的圖；其中，第7圖(A)是該檢測插座的縱剖面圖，第7圖(B)是沿著第7圖(A)的d-d線的剖面圖。 第8圖是表示具備關於本發明的第三實施形態的探針之檢測插座的使用狀態的圖；其中，第8圖(A)是該檢測插座的縱剖面圖，第8圖(B)是沿著第8圖(A)的e-e線的剖面圖，第9圖是沿著第8圖(A)的f-f線的剖面圖。 第10圖是表示構成關於本發明的第三實施形態的探針的第一接觸端子和第二接觸端子的立體圖。 第11圖是表示關於本發明的第三實施形態的探針的變化例的圖，是相當於沿著第8圖(A)的f-f線的橫剖面圖。 第12圖是表示關於本發明的第三實施形態的探針的其他變化例的圖，是相當於沿著第8圖(A)的f-f線的橫剖面圖。

國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記) 無

國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記) 無

4‧‧‧待檢測體

5‧‧‧焊料球(第一電極)

6‧‧‧印刷基板

7‧‧‧焊墊(第二電極)

8‧‧‧彈性體

10‧‧‧第一接觸端子

11‧‧‧第一接觸元件

11a‧‧‧大徑部

11b‧‧‧中徑部

11c‧‧‧小徑部

11d‧‧‧凸緣部

11e‧‧‧第一接觸部

11f‧‧‧突起

20‧‧‧第二接觸端子

21A、21B‧‧‧第二接觸元件

21a‧‧‧第一板部

21b‧‧‧第二板部

21c‧‧‧彈簧卡合部

21d‧‧‧前端板部

21e‧‧‧第二接觸部

21f‧‧‧段差部

31‧‧‧第一框體部

31a‧‧‧第一框體部的貫通孔

31b‧‧‧第一框體部的突起部

32‧‧‧第二框體部

32a‧‧‧第二框體部的貫通孔

32b‧‧‧第二框體部的突起部

33‧‧‧收納部

81‧‧‧螺旋彈簧

100‧‧‧探針

200‧‧‧檢測插座

300‧‧‧框體

c-c‧‧‧剖面線

Claims (7)

1. 一種探針，是使第一電極與第二電極作電性連接之探針，其特徵在於，具備： 第一接觸端子，其接觸前述第一電極； 第二接觸端子，其接觸前述第二電極；及， 彈性體，其卡合在前述第一接觸端子和前述第二接觸端子上，並以使前述一接觸端子與前述第二接觸端子分開的方式進行賦能； 其中，前述第一接觸端子是藉由利用棒狀的金屬構件來形成的第一接觸元件而構成，該第一接觸元件設置有與前述第一電極接觸的第一接觸部； 前述第二接觸端子是藉由利用板狀的金屬構件來形成的複數個第二接觸元件而構成，該等第二接觸元件設置有與前述第二電極接觸的第二接觸部，並在摩擦接觸前述第一接觸元件的一部分的狀態下夾持該第一接觸元件； 前述第一接觸元件與前述第二接觸元件，能夠一邊相互地摩擦接觸，一邊以相對地接近或遠離前述第一電極和前述第二電極的方式移動； 前述彈性體是藉由螺旋彈簧而構成，該螺旋彈簧被設置成包圍前述第一接觸元件和前述第二接觸元件的至少一部分，該螺旋彈簧使前述第一接觸元件的前述第一接觸部彈性地壓抵前述第一電極，並且使前述第二接觸元件的前述第二接觸部彈性地壓抵前述第二電極。
2. 如請求項1所述之探針，其中，前述第二接觸端子的前述各第二接觸元件，是利用平面狀的金屬板來形成。
3. 如請求項2所述之探針，其中，前述第二接觸端子，是藉由以夾持前述第一接觸元件的方式配置的2個前述第二接觸元件而構成。
4. 如請求項2所述之探針，其中，前述第二接觸端子，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件的方式配置的3個以上的前述第二接觸元件而構成。
5. 如請求項1所述之探針，其中，前述第二接觸端子的前述各第二接觸元件，具有內表面是凹狀的橫剖面形狀；並且，前述第二接觸端子，是藉由以包圍並夾持前述第一接觸元件的方式配置的複數個前述第二接觸元件而構成。
6. 如請求項1所述之探針，其中，前述螺旋彈簧，具有：緊密捲繞部，其線材被緊密地捲繞；及，寬鬆捲繞部，其以比該緊密捲繞部更大的間距來使線材被分離地捲繞；並且，前述緊密捲繞部，被設置成包圍藉由前述複數個第二接觸元件來夾持前述第一接觸元件之部分。
7. 一種檢測插座，其特徵在於，具備： 如請求項1至6中任一項所述之探針；及， 框體，其形成有收納前述探針之收納部。

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