WO2017141561A1 - プローブピンおよびそれを用いた検査装置 - Google Patents

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WO2017141561A1
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plunger
probe pin
elastic
central axis
main body
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宏真 寺西
貴浩 酒井
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オムロン株式会社
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    • H01R2201/00—Connectors or connections adapted for particular applications
    • H01R2201/20—Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Definitions

  • the present invention relates to a probe pin and an inspection apparatus using the probe pin.
  • an inspection device using a probe pin is used for electrical characteristic inspection of a semiconductor integrated circuit such as an IC chip.
  • Such an inspection apparatus presses a plurality of probe pins against an object to be inspected to inspect whether the object to be inspected is conductive.
  • patent documents 1 are mentioned, for example.
  • the first plunger and the second plunger housed in the conductive contact holder are cut out in a semi-cylindrical shape so as to engage with each other. It is disclosed that the contact area between the first and second plungers increases as the spring member slides in the axial direction (see FIG. 1 of Patent Document 1).
  • the inspection apparatus is also required to be able to inspect inspection parts arranged at narrower intervals in the semiconductor integrated circuit.
  • the probe pin used in the inspection apparatus is also required to be further reduced in size or thickness.
  • the contact reliability is improved.
  • the contact area that can be increased is limited.
  • an object of the present invention is to provide a probe pin that can exhibit high contact stability even if it is reduced in size or thickness, and an inspection apparatus using the probe pin.
  • the probe pin of one aspect of the present invention is to solve the above-described problem,
  • a conductive first plunger extending from one end of the elastic cylindrical body along the central axis into the elastic cylindrical body;
  • the first plunger and the second plunger are probe pins connected to be relatively movable along the central axis inside the elastic cylindrical body
  • the first plunger comprises: A first plunger body disposed inside the elastic cylindrical body; A first terminal connected to the first plunger body and disposed outside the elastic cylindrical body;
  • the second plunger comprises: A second plunger body disposed inside the elastic tubular body; A second terminal portion connected to the second plunger body and disposed outside the elastic cylindrical body; Have In the first plunger body,
  • the taper is tapered from the outside to the inside of the elastic cylindrical body, and is disposed so as to be
  • the inspection apparatus of one aspect of the present invention includes A housing; The probe pin housed in the housing; Is provided.
  • the probe pin of the above aspect it is disposed between the inclined surface biased in the direction intersecting the central axis by the relative movement of the first plunger and the second plunger, and the first holding portion and the inclined surface.
  • the contact portion of the first plunger with respect to the second plunger is increased by the elastic portion having elasticity.
  • first plunger and the second plunger have a simple configuration, the degree of freedom in designing the first plunger, such as width and length, is increased, and a probe pin corresponding to a reduction in size or thickness can be easily realized.
  • the probe pin can exhibit high contact stability even if it is reduced in size or thickness, and can also inspect inspection sites arranged at narrower intervals in the semiconductor integrated circuit.
  • FIG. 2A is a perspective view showing the probe pin of the first embodiment according to the present invention.
  • FIG. 2B is a perspective view of the probe pin according to the first embodiment shown in FIG.
  • FIG. 2C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • FIG. 4A is a perspective view showing a probe pin of a second embodiment according to the present invention.
  • FIG. 4B is a perspective view of the probe pin according to the second embodiment shown in FIG. FIG.
  • FIG. 4C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first plunger main body of the first plunger and the second plunger main body of the second plunger shown in FIG. 4B.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • FIG. 6A is a perspective view showing a probe pin according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6B is a perspective view in which the coil spring is removed from the probe pin according to the third embodiment shown in FIG.
  • FIG. 6C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG. 6B.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG. FIG.
  • FIG. 8A is a perspective view showing a probe pin of a fourth embodiment according to the present invention.
  • FIG. 8B is a perspective view in which the coil spring is removed from the probe pin according to the fourth embodiment shown in FIG.
  • FIG. 8C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG. 8B.
  • FIG. 9 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • FIG. 10A is a perspective view showing a probe pin of a fifth embodiment according to the present invention.
  • FIG. 10B is a perspective view in which the coil spring is removed from the probe pin according to the fifth embodiment shown in FIG. FIG.
  • FIG. 10C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG.
  • FIG. 11 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • FIG. 12A is a perspective view showing a probe pin according to the sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 12B is a perspective view of the probe pin according to the sixth embodiment shown in FIG.
  • FIG. 12C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG.
  • FIG. 13 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • FIG. 14A is a perspective view showing a probe pin according to a seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 14B is a perspective view of the probe pin according to the seventh embodiment shown in FIG.
  • FIG. 14C is a partially enlarged perspective view showing an engagement state between the first engagement portion of the first plunger and the second engagement portion of the second plunger shown in FIG.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view of the probe pin shown in FIG.
  • the probe pin 15 according to the first embodiment of the present invention is used in a state of being housed in a housing 20, for example, and constitutes an inspection apparatus 10 together with the housing 20.
  • this inspection apparatus 10 two probe pins 15 are accommodated as an example.
  • the inspection apparatus 10 inspects electrical characteristics of a semiconductor integrated circuit such as an IC chip with high inspection accuracy.
  • the housing 20 has a base 21 and a cover 25 attached to the base 21, and the probe pin 15 is held by these.
  • the base 21 is provided with two storage portions each including a storage hole 22 and a first terminal hole 23 connected to the storage hole 22.
  • Each storage hole 22 and each first terminal hole 23 are provided in parallel along the Y1 and Y2 directions of the base 21. That is, the storage portion penetrates the base 21 in the Y1 and Y2 directions.
  • Each storage hole 22 and each first terminal hole 23 has a substantially circular cross section (cross section along the X1 and X2 directions). In the cross section, the diameter of each storage hole 22 is larger than the diameter of each first terminal hole 23.
  • Each storage hole 22 has a diameter capable of storing a first holding portion 36 of the probe pin 15 described later.
  • each storage hole 22 When the probe pin 15 is stored in each storage hole 22, a second terminal portion 42 of the probe pin 15 described later projects from the first terminal hole 23 to the outside of the housing 20.
  • the diameter of each storage hole 22 is larger than the diameter of each first terminal hole 23, whereby an annular step is formed at the opening edge 24 of each first terminal hole 23.
  • the annular stepped portion is formed at the opening edge 27 of each second terminal hole 26 to be described later in contact with a second holding portion 46 of the probe pin 15 described later when the probe pin 15 is stored in the storage portion.
  • the probe pin 15 can be held together with the annular step portion.
  • the base 21 is a resin molded product having heat resistance, for example.
  • the cover 25 is a plate-shaped resin molded product having a planar shape that covers the surface of the base 21 in the Y1 direction, as shown in FIG.
  • the cover 25 is provided with second terminal holes 26 at predetermined positions, that is, at two positions that can be connected to the storage holes 22 when the cover 25 is attached to the base 21.
  • Each second terminal hole 26 has a substantially circular cross section, and its diameter is smaller than each storage hole 22 of the base 21.
  • Each second terminal hole 26 accommodates the probe pin 15 in the accommodation hole 22 of the base 21 and the first terminal portion 32 of the probe pin 15 described later from the second terminal hole 26 when the cover 25 is attached. It protrudes to the outside of the housing 20.
  • each storage hole 22 is larger than the diameter of each second terminal hole 26, whereby an annular step portion is formed at the opening edge 27 of each second terminal hole 26.
  • the annular step portion is formed at the opening edge portion 24 of each first terminal hole 23 in contact with a first holding portion 36 of the probe pin 15 described later when the probe pin 15 is accommodated in the accommodating portion. The probe pin 15 can be held together with the annular step portion.
  • the probe pin 15 includes a first plunger 30, a second plunger 40, and a coil spring 50 as an example of an elastic cylindrical body.
  • the first plunger 30 extends from one end of the coil spring 50 (the upper end in FIG. 2) along the central axis a of the coil spring 50 (along the Z1 and Z2 directions) to the inside of the coil spring 50 (that is, the elastic cylindrical body). (Internal space).
  • the second plunger 40 extends from the other end (lower end in FIG. 2) of the coil spring 50 to the inside of the coil spring 50 (that is, the internal space of the elastic cylindrical body) along the central axis a of the coil spring 50.
  • the probe pin 15 has the first plunger 30 and the second plunger 40 inserted from both ends of the coil spring 50 along the center axis a of the coil spring 50, and the center axis of the coil spring 50 is inside the coil spring 50. It is connected (engaged) so as to be relatively movable along a.
  • the first plunger 30 is a conductive plate-shaped metal member having a rectangular cross section. As shown in FIG. 3, the first plunger body 31, the first terminal portion 32, and the pair of first holding portions 36. With.
  • the first plunger main body 31 is disposed inside the coil spring 50.
  • the first terminal portion 32 extends in the Z1 direction from the upper end of the first plunger main body 31, is disposed outside the coil spring 50, and has a pointed tip.
  • the pair of first holding portions 36 protrudes in the X1 and X2 directions from the boundary portion between the first terminal portion 32 and the first plunger main body 31, respectively.
  • the portion of the first terminal portion 32 where the first holding portion 36 is provided has a width dimension (dimensions in the X1 and X2 directions) wider than that of the first terminal portion 32.
  • the first plunger 30 has a constant thickness dimension (dimensions in the Y1 and Y2 directions).
  • the first plunger main body 31 has a substantially linear shape protruding from the approximate center of the first terminal portion 32 in the Z2 direction.
  • the first plunger main body 31 includes a first elastic portion 33, a first inclined surface 35, a first engaging portion 34, and a first contact surface 37.
  • the first elastic portion 33 constitutes a base portion of the first plunger main body 31, that is, a base portion from which the first plunger main body 31 protrudes, and protrudes (projects) from the approximate center of the first terminal portion 32 in the X1 direction. It is curved.
  • the first elastic portion 33 is formed such that the width in the X1 and X2 directions of the surfaces in the Y1 and Y2 directions is smaller than the other portions of the first plunger main body 31, and the width direction (X1 and X2 Direction). That is, the first elastic portion 33 has springiness (elasticity) when elastically deformed in the width direction.
  • the first elastic portion 33 is disposed between the first terminal portion 32 and the first inclined surface 35.
  • the first inclined surface 35 is provided on the free end side of the surface in the X2 direction of the first plunger body 31, that is, on the distal end side of the first plunger body 31.
  • the first inclined surface 35 is inclined so as to taper toward the free end of the first plunger main body 31.
  • the first inclined surface 35 is tapered from the outside to the inside of the coil spring 50 and is disposed so as to be in contact with a second plunger body 41 of the second plunger 40 described later inside the coil spring 50.
  • the first plunger 30 and the second plunger 40 are configured to be biased in a direction intersecting the central axis a of the coil spring 50 by relative movement of the first plunger 30 and the second plunger 40.
  • the first engaging portion 34 protrudes in the X2 direction from the surface in the X2 direction where the first inclined surface 35 of the free end portion of the first inclined surface 35 is provided, and has a substantially triangular shape. As shown in FIG. 3, the first contact surface 37 is formed on a surface of the first engagement portion 34 facing the Y1 direction.
  • the 1st plunger main body 31 whole has a substantially linear shape from the 1st elastic part 33 to a free end part, you may incline toward X2 direction. Further, the boundary portion between the first inclined surface 35 and the first engagement portion 34 may be designed to be positioned at least in the X2 direction with respect to the central axis a. In addition, each part of the 1st plunger 30 and the 1st plunger main body 31 is integrally molded.
  • the second plunger 40 has the same shape as the first plunger 30 as shown in FIG. That is, the second plunger 40 includes a second plunger main body 41, a second terminal portion 42, and a second holding portion 46, and the second plunger main body 41 includes a second elastic portion 43 and a second inclined portion. It has the surface 45, the 2nd engaging part 44, and the 2nd contact surface 47, The description of the 1st plunger 30 is used for description of the 2nd plunger 40.
  • the first engagement portion 34 of the first plunger 30 and the second engagement portion 44 of the second plunger 40 are within the coil spring 50 and the first engagement portion.
  • the projection direction (X2 direction) of 34 and the projection direction (Y2) of the second engagement portion 44 are engaged with each other (substantially orthogonal) (that is, the X1 and X2 directions are the thickness direction of the second plunger 40).
  • the Y1 and Y2 directions become the width direction of the second plunger 40).
  • the first plunger body 31 and the second plunger body 41 are in contact or pressure contact with each other with the first inclined surface 35 and the second contact surface 47, and at the same time with the second inclined surface 45 and the first contact surface 37. Contact or pressure contact.
  • the coil spring 50 is made of a metal wire having elasticity, and is formed by being spirally wound as shown in FIG.
  • the coil spring 50 has an inner diameter into which the first and second plunger bodies 31 and 41 of the first and second plungers 30 and 40 can be inserted, respectively, and the first holding portion 36 portion of the first plunger 30.
  • the 1st plunger 30 and the 2nd plunger 40 when the 1st plunger 30 and the 2nd plunger 40 are connected mutually, it compresses and the urging
  • the spring length may be adjusted.
  • first and second plungers 30 and 40 each have electrical conductivity, and may be formed by, for example, punching from a single plate material, or may be formed by electroforming.
  • the first and second plungers 30 and 40 may be subjected to surface treatment such as metal plating or conductive material coating on the surface of the non-conductive material as necessary.
  • the coil spring 50 may be a hollow elastic cylindrical body and may not have conductivity.
  • the surface of a cylindrical resin spring or cylindrical non-conductive elastic body may be subjected to a surface treatment such as metal plating or conductive material coating, or may be configured with a rubber tube. Good.
  • the first plunger body 31 of the first plunger 30 is inserted from one end of the coil spring 50 along the central axis a, and the first holding portion 36 is brought into contact with one end of the coil spring 50.
  • the second plunger body 41 of the second plunger 40 is inserted from the other end of the coil spring 50 along the central axis a.
  • the first inclined surface 35 of the first plunger body 31 and the second contact surface 47 of the second plunger body 41 come into contact with each other, and the first contact surface 37 of the first plunger body 31 and the second contact surface 47 of the second plunger body. Insert while adjusting so that the inclined surface 45 contacts.
  • the first inclined surface 35 of the first plunger 30 is inserted while adjusting so as to be orthogonal to the surface (the surface facing the Y2 direction) provided with the second engaging portion 44 of the second plunger main body 41. .
  • the first engaging portion 34 of the first plunger 30 and the second engaging portion 44 of the second plunger 40 are arranged in the coil spring 50 so that the protruding directions thereof are Engage in a substantially orthogonal state.
  • the first and second plungers 30 and 40 are integrated and can move relatively in a state of sliding contact along the central axis a of the coil spring 50.
  • the first inclined surface 35 is pressed against the second plunger body 41 via the second contact surface 47 and intersects the central axis a of the coil spring 50. Elastically deforms in the direction (X1 direction).
  • the second inclined surface 45 is pressed against the first plunger main body 31 via the first contact surface 37 and intersects the central axis a of the coil spring 50 (Y 1 Direction).
  • first plunger 30 and the second plunger 40 are in pressure contact with the first inclined surface 35 and the second contact surface 47, and the second inclined surface 45 and the first contact surface 37, respectively. , A stable electrical connection between the second plungers 30 and 40 can be maintained.
  • the probe pin 15 which can exhibit high contact stability is realizable.
  • first plunger 30 and the second plunger 40 have a simple configuration, the degree of freedom in designing the plunger such as width and length is increased, and the probe pin 15 corresponding to downsizing and thinning can be easily realized. .
  • the first plunger main body 31 and the second plunger main body 41 come into contact with each other through two adjacent surfaces. For this reason, the first plunger 30 and the second plunger 40 are less likely to drop off from each other, and the contact area is increased, so that the contact reliability is improved.
  • the elastic portion 33 of the first plunger main body 31 has a curved shape protruding in a direction orthogonal to the central axis a of the coil spring 50.
  • the elastic part 33 can be comprised with a material with small elastic force, and the freedom degree of material selection increases.
  • the first plunger 30 and the second plunger 40 have a first holding part 36 and a second holding part 46, respectively.
  • the coil spring 50 is unlikely to fall off, and the probe pin 15 can be easily handled in the assembly process.
  • the production efficiency of the probe pin 15 can be increased.
  • first plunger 30 and the second plunger 40 have the same shape, the manufacturing becomes easy and the manufacturing cost can be reduced.
  • the probe pin 15 may be in a state in which the coil spring 50 is compressed in the initial state (engaged state). That is, both ends of the coil spring 50 may bias the first holding portion 36 of the first plunger 30 and the second holding portion 46 of the second plunger in the Z1 and Z2 directions by the restoring force of the coil spring 50. . This facilitates handling of the probe pin 15 in the assembly process.
  • the two probe pins 15 assembled as described above are assembled in the two storage holes 22 of the base 21, respectively.
  • the second plunger 40 of each probe pin 15 is inserted from the second terminal portion 42 into each storage hole 22 of the base 21, and the second step is formed on the annular step portion formed at the opening edge portion 24 of the first terminal hole 23.
  • the holding part 46 is brought into contact.
  • the coil spring 50 is also housed in the housing hole 22 together.
  • the thickness of the bottom surface of the base 21 is designed such that the tip of the second terminal portion 42 protrudes from the lower surface of the base 21.
  • the cover 25 is overlapped with the surface of the base 21 in the Y1 direction.
  • the first terminal portion 32 of each probe pin 15 is inserted into each of the two second terminal holes 26 of the cover 25, and the first holding portion 36 is brought into contact with the opening edge portion 27 of the second terminal hole 26.
  • the probe pin 15 is held by the annular step formed at the opening edge 24 of the first terminal hole 23 and the annular step formed at the opening edge 27 of the second terminal hole 26.
  • the Each storage hole 22 of the base 21 communicates with each second terminal hole 26 of the cover 25. Then, the base 21 and the cover 25 are fixed by a known fixing method (not shown).
  • the two probe pins 15 are supported in the housing 20 so as to be movable in the Y1 and Y2 directions, respectively.
  • the thickness of the cover 25 is designed such that the tip of the first terminal portion 32 protrudes from the surface of the cover 25 in the Y1 direction.
  • a circuit board (not shown) is arranged in the Z2 direction of the inspection apparatus 10 assembled as described above.
  • an IC chip which is an inspection object (not shown) is arranged in the Z1 direction.
  • the conductive portion of the circuit board is disposed below the tip of the second terminal portion 42 of the second plunger 40.
  • the surface to be inspected of the IC chip is disposed above the tip of the first terminal portion 32 of the first plunger 30.
  • the circuit board moves in the Z1 direction and the IC chip moves in the Z2 direction, and the inspection apparatus 10 is sandwiched.
  • the conductive portion of the circuit board contacts the tip of the second terminal portion 42, and the surface to be inspected of the IC chip contacts the tip of the first terminal portion 32.
  • the tip of the first terminal portion 32 and the tip of the second terminal portion 42 are pushed into the housing 20, whereby the first plunger 30, the second plunger 40, Slide on each other.
  • the engagement between the first engaging portion 34 and the second engaging portion 44 is released, and the second plunger 40 is moved on the first inclined surface 35 of the first plunger 30 as shown in FIG.
  • the contact surface 47 slides in the Z1 direction.
  • the first contact surface 37 of the first plunger 30 slides in the Z2 direction on the second inclined surface 45 of the second plunger 40.
  • the first inclined surface 35 is inclined so as to expand toward the first engaging portion 34 of the first plunger main body 31 (so that the first plunger main body 31 tapers toward the Z2 direction). Therefore, as the second contact surface 47 slides in the Z1 direction (that is, as the first plunger 30 and the second plunger 40 approach each other), the first inclined surface 35 and the second contact surface 47 The contact pressure increases. Similarly, as the first contact surface 37 slides in the Z2 direction, the contact pressure between the second inclined surface 45 and the first contact surface 37 increases.
  • the first elastic part 33 of the first plunger main body 31 and the second elastic part 43 of the second plunger main body 41 are elastically deformed by sliding of the first and second plungers 30 and 40, and the first elastic part
  • the contact pressure is maintained by the elastic force of 33 and the second elastic portion 43. That is, according to the inspection apparatus 10, high contact stability can be exhibited by the probe pin 15.
  • the conductive part of the circuit board and the part to be inspected of the IC chip are electrically connected via the two probe pins 15, and a current flows through the IC chip.
  • the probe pin 15 can be produced that is smaller and thinner than the conventional probe pin. For this reason, the test
  • [Second Embodiment] 4 and 5 show a second embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the first embodiment is different from the first embodiment in that the first engaging portion is connected to the free end portions of the first plunger 30 and the second plunger 40 (the tip portion on the opposite side of the first terminal portion 32 of the first plunger body 31). 34 and the second engaging portion 44 are not provided.
  • the second elastic body 43 and the second inclined surface 45 are not provided in the second plunger main body 41.
  • the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the first plunger main body 31 has the first inclined surface 35 extending so as to taper toward the free end portion.
  • the second plunger main body 41 is configured by a flat plate having a rectangular cross section extending along the central axis a. Then, by relatively moving the first and second plungers 30 and 40, the first inclined surface 35 of the first plunger 30 and the flat surface 47a of the second plunger main body 41 slide, and the first elastic portion 33 is elastically deformed.
  • FIGS. 6 and 7 show a third embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the positional relationship between the first plunger 30 and the second plunger 40 is shown upside down.
  • the third embodiment is different from the first embodiment in that a second elastic portion is not provided in the second plunger main body 41 of the second plunger 40. Furthermore, another difference is that the second plunger main body 41 having a linear shape is not from the center of the second terminal portion 42 on the side where the second holding portion 46 is provided, but from the position eccentric from the central axis a in the X1 direction. Is extended along the Z2 direction.
  • the second plunger 40 is a rigid body.
  • the shape of the second plunger 40 becomes simple, and even a method other than the electroforming method can be easily manufactured.
  • [Fourth Embodiment] 8 and 9 show a fourth embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the difference from the first embodiment is that a first engagement portion 34 provided on the first inclined surface 35 of the first plunger body 31 and a second engagement portion 44 of the second plunger body 41 are provided. This is the point where the inclined surface 45 faces.
  • the first inclined surface 35 and the second tip surface 47b of the second engaging portion 44 are in pressure contact (contact), and the second inclined surface 45 and the first tip surface of the first engaging portion 34 are in contact. 37b comes into pressure contact (contact).
  • [Fifth Embodiment] 10 and 11 show a fifth embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the difference from the first embodiment is that the first elastic portion 33a and the second elastic portion 43a have a bellows shape that meanders along the direction of the central axis a.
  • each of the first elastic part 33a and the second elastic part 43a has a bellows shape, the stress applied to each elastic part 33a, 43a is easily dispersed and stress concentration is reduced. Since it hardly occurs, the probe pin 15 having a long lifetime can be obtained.
  • FIGSixth Embodiment 12 and 13 show a sixth embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the difference from the first embodiment is that the first elastic portion 33b and the second elastic portion 43b have a bellows shape that meanders along a direction orthogonal to the central axis a.
  • each of the first elastic portion 33b and the second elastic portion 43b has a bellows shape, the stress applied to each elastic portion 33b, 43b is easily dispersed, Since concentration does not easily occur, the probe pin 15 having a long lifetime can be obtained.
  • FIG. 14 and 15 show a seventh embodiment of the probe pin 15 according to the present invention.
  • the difference from the first embodiment is that the first plunger body 31 and the second plunger body 41 are provided with a first slit 33c and a second slit 43c extending along the central axis a, respectively.
  • the elastic force of the first plunger body 31 and the second plunger body 41 can be adjusted by adjusting the lengths of the first slit 33c and the second slit 43c.
  • the probe pin 15 which has a suitable elastic force according to a test
  • the slit is not limited to being provided in both the first plunger main body 31 and the second plunger main body 41, and may be provided in only one of them.
  • the probe pin 15 according to the embodiment of the present invention has been specifically described from the first embodiment to the seventh embodiment.
  • the present invention is not limited to the above embodiment, and departs from the gist.
  • Various modifications can be made without departing from the scope.
  • the present invention can be modified as follows, and these embodiments also belong to the technical scope of the present invention.
  • the inspection apparatus 10 may be provided with one or more accommodating portions in the housing 20 so that one or more probe pins 15 can be incorporated.
  • the base 21 and the cover 25 may have a detachable structure. Thereby, when only one probe pin 15 is broken, the cover 25 can be removed from the base 21 and the damaged probe pin 15 can be replaced.
  • the first plunger body 31 is not limited to a substantially linear shape.
  • the first plunger main body 31 may have a shape that is curved from its base to the free end.
  • the first plunger main body 31 may have a structure in which an elastic portion is provided on at least a part of the first plunger main body 31 and biased toward the second plunger 40.
  • the first and second plunger bodies 31 and 41 may have a rectangular cross section.
  • the first and second plunger bodies 31 and 41 are not limited to a rectangular cross section, and may have a square cross section.
  • first and second terminal portions 32 and 42 are not limited to a shape having a sharp tip.
  • a wave shape or a semicircular shape may be used, and various shapes can be selected in accordance with the shape of the inspection portion of the inspection object.
  • first plunger body 31 and the second plunger body 41 may have different length dimensions in the direction of the central axis a.
  • the elastic part can be enlarged by increasing the length of one plunger. For this reason, the stress concerning an elastic part can be disperse
  • the object to be inspected may be an electronic component such as a CPU chip.
  • the probe pin of the first aspect of the present invention is An elastic tubular body that expands and contracts along the central axis; A conductive first plunger inserted from one end of the elastic cylindrical body along the central axis; A conductive second plunger inserted along the central axis from the other end side of the elastic cylindrical body, The first plunger and the second plunger are probe pins that are held inside the elastic tubular body so as to be slidable with each other along the central axis, The first plunger is A first plunger main body extending along the central axis and positioned inside the elastic cylindrical body; An inclined surface that inclines so as to taper toward the free end of the first plunger body, An elastic portion that elastically deforms when the second plunger is in sliding contact with the inclined surface.
  • the probe pin of the first aspect is An elastic tubular body that expands and contracts along the central axis; A conductive first plunger extending from one end of the elastic cylindrical body along the central axis into the elastic cylindrical body; A conductive second plunger extending from the other end of the elastic cylindrical body along the central axis into the elastic cylindrical body,
  • the first plunger and the second plunger are probe pins connected to be relatively movable along the central axis inside the elastic cylindrical body,
  • the first plunger comprises: A first plunger body disposed inside the elastic cylindrical body; A first terminal connected to the first plunger body and disposed outside the elastic cylindrical body; Have
  • the second plunger comprises: A second plunger body disposed inside the elastic tubular body; A second terminal portion connected to the second plunger body and disposed outside the elastic cylindrical body; Have In the first plunger body,
  • the taper is tapered from the outside to the inside of the elastic cylindrical body, and is disposed so as to be able to contact the second plunger main body inside the elastic cylindrical body, and the relative
  • the elastic portion is elastically deformed, and the contact pressure between the first plunger and the second plunger is increased by the return force.
  • Contact stability is improved. That is, an inclined surface biased in a direction intersecting the central axis by the relative movement of the first plunger and the second plunger, and an elastic portion arranged between the first holding portion and the inclined surface and having elasticity. The contact pressure of the first plunger with respect to the second plunger is increased. Thereby, the probe pin which can exhibit high contact stability is realizable.
  • the first plunger and the second plunger have a simple configuration, the degree of freedom in designing the plunger such as width and length is increased, and a probe pin corresponding to downsizing and thinning can be easily realized.
  • the probe pin of the second aspect of the present invention is
  • the first plunger body is It has a rectangular cross section, Having the inclined surface on the short-side surface of the cross section of the first plunger body; A first engagement portion protruding from a free end of the inclined surface;
  • the second plunger is A second engagement portion that engages with the first engagement portion; The first engagement portion and the second engagement portion are engaged so that the second plunger contacts both the longitudinal surface of the first plunger main body and the inclined surface.
  • the probe pin of the second aspect of the present invention is The first plunger and the second plunger have a plate shape; A first engagement portion projecting from one surface of the first plunger main body is provided at a tip portion of the first plunger main body away from the first terminal portion; A second engagement portion that protrudes from one surface of the second plunger main body and is engageable with the first engagement portion is provided at a distal end portion of the second plunger main body that is separated from the second terminal portion. The first engaging portion and the second engaging portion engage with each other in a state where the protruding direction of the first engaging portion and the protruding direction of the second engaging portion intersect.
  • the shape of the probe pin is not complicated, it can be easily manufactured even by a method other than the electroforming method.
  • first engagement portion and the second engagement portion are engaged so that the second plunger contacts both the longitudinal surface of the cross section of the first plunger main body and the inclined surface. That is, when the first engaging portion and the second engaging portion are engaged, the first plunger main body and the second plunger main body come into contact with each other through two adjacent surfaces. For this reason, the first plunger and the second plunger are less likely to drop off from each other, and the contact area is increased, so that the contact reliability is improved.
  • the probe pin of the third aspect of the present invention is
  • the first plunger body is It has a rectangular cross section, Having the inclined surface on the short-side surface of the cross section of the first plunger body; A first engagement portion protruding from a free end of the inclined surface;
  • the second plunger is A second engagement portion that engages with the first engagement portion; The first engagement portion and the second engagement portion are engaged so that the second plunger contacts only the surface in the short direction of the cross section of the first plunger main body.
  • the probe pin of the third aspect of the present invention is The first plunger and the second plunger have a plate shape; A first engagement portion projecting from one surface of the first plunger main body is provided at a tip portion of the first plunger main body away from the first terminal portion; A second engagement portion that protrudes from one surface of the second plunger main body and is engageable with the first engagement portion is provided at a distal end portion of the second plunger main body that is separated from the second terminal portion.
  • the first engaging portion and the second engaging portion engage with each other in a state where the protruding direction of the first engaging portion and the protruding direction of the second engaging portion are parallel to each other.
  • the direction in which the first engagement portion is urged can be opposed to the direction in which the second engagement portion is urged.
  • the probe pin of the fourth aspect of the present invention is
  • the first plunger is A first terminal portion extending from the first plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis;
  • the elastic portion of the first plunger body is
  • the base of the first plunger main body has a narrow neck that curves so as to protrude in a direction perpendicular to the central axis.
  • the probe pin of the fourth aspect of the present invention is
  • the elastic part of the first plunger main body has a curved shape protruding in a direction orthogonal to the central axis.
  • the elastic part can be made of a material having a small elastic force. Therefore, the freedom degree of material selection increases.
  • the probe pin of the fifth aspect of the present invention is
  • the first plunger is A first terminal portion extending from the first plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis;
  • the elastic portion of the first plunger body is The bellows shape meanders along the axial direction of the central axis from the base of the first plunger body.
  • the probe pin of the fifth aspect of the present invention is
  • the elastic portion of the first plunger body has a bellows shape that meanders along the central axis.
  • the elastic part since the elastic part has a bellows shape, the elastic part can be elastically deformed with a small urging force. In addition, since the stress applied to the elastic portion can be dispersed, a probe pin having a long life can be realized.
  • the probe pin of the sixth aspect of the present invention is
  • the first plunger is A first terminal portion extending from the first plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis;
  • the elastic portion of the first plunger body is The bellows shape meanders along the direction orthogonal to the central axis from the base of the first plunger body.
  • the probe pin of the sixth aspect of the present invention is
  • the elastic portion of the first plunger body has a bellows shape that meanders along a direction orthogonal to the central axis.
  • the elastic portion since the elastic portion has a bellows shape, the elastic portion can be elastically deformed with a small urging force. In addition, since the stress applied to the elastic portion can be dispersed, a probe pin having a long life can be realized.
  • the probe pin of the seventh aspect of the present invention is
  • the first plunger is A first terminal portion extending from the first plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis;
  • the first plunger body is A slit extending from the base portion along the axial direction of the central axis is provided.
  • the probe pin of the seventh aspect of the present invention is
  • the first plunger body has a slit extending along the central axis.
  • the elastic force of the first plunger body can be adjusted by the slit. For this reason, a probe pin having an appropriate elastic force can be realized for each inspection device used.
  • the probe pin of the eighth aspect of the present invention is
  • the first plunger is A first terminal portion extending from the first plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis;
  • the first terminal portion is It has a rectangular cross section, A holding portion that protrudes from a surface in a short-side direction of the cross section of the base portion of the first terminal portion and holds an end portion of the elastic cylindrical body is provided.
  • the probe pin of the eighth aspect of the present invention is
  • the first plunger comprises:
  • the elastic tubular body is provided at a boundary portion between the first plunger main body and the first terminal portion, extends in a direction intersecting the central axis, and comes into contact with the one end of the elastic cylindrical body to prevent the elastic cylindrical body from coming off. It further has the 1st holding part to hold.
  • the elastic cylindrical body is not easily dropped by the first holding portion, handling in the assembly process is facilitated. As a result, production efficiency can be increased.
  • the probe pin of the ninth aspect of the present invention is
  • the second plunger is A second plunger main body extending along the central axis and having a rectangular cross section in sliding contact with the first plunger inside the elastic cylindrical body; A second terminal portion extending from the second plunger main body to the outside of the elastic cylindrical body along the central axis.
  • the probe pin of the ninth aspect of the present invention is
  • the second plunger comprises: Provided at a boundary portion between the second plunger main body and the second terminal portion, extends in a direction intersecting the central axis, and comes into contact with the other end of the elastic cylindrical body to exit the elastic cylindrical body. It further has a second holding part for holding and holding.
  • the elastic cylindrical body is not easily dropped by the first holding part and the second holding part, handling in the assembling process becomes easier. As a result, production efficiency can be further increased.
  • the probe pin of the tenth aspect of the present invention is
  • the first plunger main body and the second plunger main body have different lengths in the axial direction of the central axis.
  • the probe pin of the tenth aspect of the present invention is The length of the first plunger body along the central axis is different from the length of the second plunger body along the central axis.
  • the elastic portion can be enlarged and the stress applied to the elastic portion can be dispersed. As a result, a probe pin with a long lifetime can be obtained.
  • the probe pin of the eleventh aspect of the present invention is The second plunger has the same shape as the first plunger according to any one of claims 1 to 10.
  • the probe pin of the eleventh aspect of the present invention is The first plunger and the second plunger have the same shape.
  • the shape of the second plunger can be variously changed, the shape of the second plunger can be flexibly changed according to an arbitrary elastic force.
  • a part of the probe pin according to any one of claims 1 to 11 is housed in a housing.
  • the inspection apparatus is The probe pin; A housing that houses the probe pin therein; Is provided.
  • the probe pin can exhibit high contact stability.
  • probe pins that are smaller and thinner than conventional probe pins can be produced, so that inspection sites arranged at narrower intervals in a semiconductor integrated circuit can also be inspected.
  • the probe pin of the present invention is not limited to the inspection apparatus of the above embodiment, and may be applied to other inspection apparatuses or electronic devices.
  • the inspection apparatus of the present invention can be used, for example, for inspection of electrical characteristics of a semiconductor integrated circuit such as an IC chip.

Landscapes

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Abstract

プローブピンが、中心軸に沿って伸縮する弾性筒状体と、弾性筒状体の一端から中心軸に沿って弾性筒状体の内部に延びた導電性の第１プランジャと、弾性筒状体の他端から中心軸に沿って弾性筒状体の内部に延びた導電性の第２プランジャと、を備え、第１プランジャと第２プランジャとが、弾性筒状体の内部で中心軸に沿って相対的に移動可能に連結されている。第１プランジャ本体に、弾性筒状体の外部から内部に向かって先細りになっていると共に、弾性筒状体の内部で第２プランジャ本体に接触可能に配置され、第１プランジャおよび第２プランジャの相対的な移動により中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、第１端子部と傾斜面との間に配置され、弾性変形可能な弾性部と、が設けられている。

Description

プローブピンおよびそれを用いた検査装置
　本発明は、プローブピンおよびそれを用いた検査装置に関する。
　従来、ＩＣチップなどの半導体集積回路の電気特性検査には、プローブピンを用いた検査装置が使用される。このような検査装置は、複数のプローブピンを被検査物に押し当てて被検査物が導通するか否かを検査する。そして、このような検査装置に使用されるプローブピンとしては、例えば、特許文献１が挙げられる。
　特許文献１のプローブピンでは、導電性接触子ホルダに収納された第１プランジャと第２プランジャとが、相互に係合するように半円柱状に切り欠かれている。そして、バネ部材の軸心方向に摺動するにつれて第１，第２プランジャ間の接触面積が増加することが開示されている（特許文献１の図１参照）。
国際公開公報ＷＯ２００８／１３６３９６
　しかしながら、特許文献１のプローブピンでは、第１プランジャと第２プランジャとが、バネ部材の軸心方向に摺動するだけであるので、互いに圧接することがなく、所望の接触圧が得られない。
　また、近年、半導体集積回路の小型化が進むにつれ、前記検査装置においても、半導体集積回路のより狭い間隔で配置された検査部位を検査できることが要請されており、このような要請に答えるべく、検査装置に使用されるプローブピンもさらなる小型化あるいは薄型化が要請されているが、特許文献１のプローブピンでは、今後さらにプローブピンが小型化あるいは薄型化した場合に、接触信頼性を高めるために増加できる接触面積に限りがある。
　このため、特許文献１のプローブピンでは、高い接触安定性を得ることが難しい場合がある。
　本発明は、前記問題点に鑑み、小型化あるいは薄型化しても、高い接触安定性を発揮できるプローブピンおよびこのプローブピンを用いた検査装置を提供することを課題とする。
　本発明の一態様のプローブピンは、前記課題を解決すべく、
　中心軸に沿って伸縮する弾性筒状体と、
　前記弾性筒状体の一端から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第１プランジャと、
　前記弾性筒状体の他端から前記中心軸に沿って挿前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第２プランジャと、を備え、
　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、前記弾性筒状体の内部で前記中心軸に沿って相対的に移動可能に連結されたプローブピンであって、
　前記第１プランジャが、
　前記弾性筒状体の内部に配置された第１プランジャ本体と、
　前記第１プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第１端子部と、
を有し、
　前記第２プランジャが、
　前記弾性筒状体の内部に配置された第２プランジャ本体と、
　前記第２プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第２端子部と、
を有し、
　前記第１プランジャ本体に、
　前記弾性筒状体の外部から内部に向かって先細りになっていると共に、前記弾性筒状体の内部で前記第２プランジャ本体に接触可能に配置され、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャの相対的な移動により前記中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、
　前記第１端子部と前記傾斜面との間に配置され、弾性変形可能な弾性部と、
が設けられている。
　また、本発明の一態様の検査装置は、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内に収納された前記プローブピンと、
を備える。
　前記態様のプローブピンによれば、第１プランジャおよび第２プランジャの相対的な移動により中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、第１保持部と傾斜面との間に配置され弾性を有する弾性部とにより、第１プランジャの第２プランジャに対する接触圧が高まる。これにより、高い接触安定性を発揮できるプローブピンを実現できる。
　また、第１プランジャおよび第２プランジャが簡単な構成を採るため、幅、長さ等、第１プランジャの設計の自由度が増し、小型化あるいは薄型化に対応したプローブピンを容易に実現できる。
　前記態様の検査装置によれば、前記プローブピンにより、小型化あるいは薄型化しても高い接触安定性を発揮でき、半導体集積回路のより狭い間隔で配置された検査部位も検査できる。
本発明に示す第１実施形態を示すプローブピンを組み込んだ検査装置の断面図である。 図２（Ａ）は、本発明に係る第１実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）に示す第１実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図２（Ｃ）は、図２（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図２（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図４（Ａ）は、本発明に係る第２実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示す第２実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）に示す第１プランジャの第１プランジャ本体と第２プランジャの第２プランジャ本体との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図４（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図６（Ａ）は、本発明に係る第３実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に示す第３実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図６（Ｃ）は、図６（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図６（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図８（Ａ）は、本発明に係る第４実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示す第４実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図８（Ｃ）は、図８（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図８（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図１０（Ａ）は、本発明に係る第５実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図１０（Ｂ）は、図１０（Ａ）に示す第５実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図１０（Ｃ）は、図１０（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図１０（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図１２（Ａ）は、本発明に係る第６実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）に示す第６実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図１２（Ｃ）は、図１２（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図１２（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。 図１４（Ａ）は、本発明に係る第７実施形態のプローブピンを示す斜視図である。図１４（Ｂ）は、図１４（Ａ）に示す第７実施形態を示すプローブピンからコイルばねを除いた斜視図である。図１４（Ｃ）は、図１４（Ｂ）に示す第１プランジャの第１係合部と第２プランジャの第２係合部との係合状態を表す部分拡大斜視図である。 図１４（Ａ）に示すプローブピンの分解斜視図である。
　本発明の実施形態を説明するにあたり、図面に表された構成を説明する上で、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向等の方向を表す用語、および、その他方位を示す別の用語を使用するが、これらの用語を使用する目的は図面を通じて実施形態の理解を容易にするためである。したがって、これらの用語は本発明の実施形態が実際に使用されるときの方向を示すものとは限らない。また、これらの用語によって特許請求の範囲に記載された発明の技術的範囲が限定的に解釈されるべきではない。
　[第１実施形態]
　図１に示すように、本発明に係る第１実施形態のプローブピン１５は、例えばハウジング２０に収納された状態で使用され、ハウジング２０と共に検査装置１０を構成する。この検査装置１０には、一例として２本のプローブピン１５が収納されている。
　なお、本実施形態に係る検査装置１０は、例えば、ＩＣチップなどの半導体集積回路の電気特性を高い検査精度で検査するものである。
　ハウジング２０は、ベース２１と、このベース２１に取り付けられたカバー２５とを有し、これらによってプローブピン１５が保持されている。
　ベース２１には、図１に示すように、収納孔２２とこの収納孔２２に接続された第１端子孔２３とでそれぞれ構成された２つの収納部が設けられている。各収納孔２２と各第１端子孔２３とは、ベース２１のＹ１およびＹ２方向に沿って平行に設けられている。すなわち、収納部がベース２１をＹ１およびＹ２方向に貫通している。また、各収納孔２２と各第１端子孔２３とは、その横断面（Ｘ１およびＸ２方向に沿った断面）が略円形状を有している。そして、横断面において、各収納孔２２の直径は各第１端子孔２３の直径よりも大きい。各収納孔２２は、後述のプローブピン１５の第１保持部３６を収納できる直径を有している。各収納孔２２にプローブピン１５を収納すると、後述のプローブピン１５の第２端子部４２が各第１端子孔２３からハウジング２０の外部に突出するようになっている。また、各収納孔２２の直径は、各第１端子孔２３の直径よりも大きくなっており、これにより、各第１端子孔２３の開口縁部２４に環状段部が形成されている。この環状段部は、収納部内にプローブピン１５を収納したときに、後述のプローブピン１５の第２保持部４６と接触して、後述の各第２端子孔２６の開口縁部２７に形成されている環状段部と共にプローブピン１５を保持できるようになっている。なお、ベース２１は、例えば、耐熱性を備えた樹脂成形品である。
　カバー２５は、図１に示すように、ベース２１のＹ１方向の面を被覆する平面形状を有する板状の樹脂成形品である。そして、カバー２５には、所定の位置、すなわち、カバー２５をベース２１に取り付けたときに各収納孔２２に接続可能な２つの位置にそれぞれ第２端子孔２６が設けられている。各第２端子孔２６は、その横断面が略円形状を有し、その直径がベース２１の各収納孔２２よりも小さい。各第２端子孔２６は、プローブピン１５をベース２１の収納孔２２内に収納して、カバー２５を取り付けたときに、第２端子孔２６から後述のプローブピン１５の第１端子部３２がハウジング２０の外部に突出するようになっている。また、各収納孔２２の直径は、各第２端子孔２６の直径よりも大きくなっており、これにより、各第２端子孔２６の開口縁部２７に環状段部が形成されている。この環状段部は、収納部内にプローブピン１５を収納したときに、後述のプローブピン１５の第１保持部３６と接触して、各第１端子孔２３の開口縁部２４に形成されている環状段部と共にプローブピン１５を保持できるようになっている。
　本実施形態に係るプローブピン１５は、図２ないし図３に示すように、第１プランジャ３０と、第２プランジャ４０と、弾性筒状体の一例のコイルばね５０とを備えている。第１プランジャ３０は、コイルばね５０の一端（図２の上端）からコイルばね５０の中心軸ａに沿って（Ｚ１およびＺ２方向に沿って）コイルばね５０の内部（すなわち、弾性筒状体の内部空間）に延びている。第２プランジャ４０は、コイルばね５０の他端（図２の下端）からコイルばね５０の中心軸ａに沿ってコイルばね５０の内部（すなわち、弾性筒状体の内部空間）に延びている。また、プローブピン１５は、コイルばね５０の中心軸ａに沿って第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とをコイルばね５０の両端から挿入されて、コイルばね５０の内部でコイルばね５０の中心軸ａに沿って相対的に移動可能に連結（係合）されている。
　第１プランジャ３０は、導電性を有する断面矩形の板状の金属部材であって、図３に示すように、第１プランジャ本体３１と、第１端子部３２と、一対の第１保持部３６とを備える。第１プランジャ本体３１は、コイルばね５０の内部に配置されている。また、第１端子部３２は、第１プランジャ本体３１の上端からＺ１方向に延び、コイルばね５０の外部に配置されていると共に、その先端部分が尖っている。一対の第１保持部３６は、第１端子部３２の第１プランジャ本体３１との境界部分からＸ１およびＸ２方向に各々突出している。すなわち、第１端子部３２の第１保持部３６が設けられている部分は、第１端子部３２よりも広い巾寸法（Ｘ１およびＸ２方向の寸法）を有している。なお、第１プランジャ３０は、一定の厚さ寸法（Ｙ１およびＹ２方向の寸法）を有している。
　また、第１プランジャ本体３１は、図３に示すように、第１端子部３２の略中央からＺ２方向に向かって突出する略直線形状を有している。そして、第１プランジャ本体３１は、第１弾性部３３と、第１傾斜面３５と、第１係合部３４と、第１接触面３７とを備えている。
　第１弾性部３３は、第１プランジャ本体３１の基部、すなわち第１プランジャ本体３１が突出する根元の部分を構成し、第１端子部３２の略中央からＸ１方向にせり出す（突出する）ように湾曲している。また、第１弾性部３３は、そのＹ１およびＹ２方向の面のＸ１およびＸ２方向の幅が第１プランジャ本体３１の他の部分よりも小さくなるように形成されており、幅方向（Ｘ１およびＸ２方向）に弾性変形可能になっている。すなわち、第１弾性部３３は、幅方向に弾性変形した場合に、ばね性（弾性）を有する。この第１弾性部３３は、第１端子部３２と第１傾斜面３５との間に配置されている。第１傾斜面３５は、第１プランジャ本体３１のＸ２方向の面の自由端部側、すなわち第１プランジャ本体３１の先端側、に設けられている。そして、第１傾斜面３５は、第１プランジャ本体３１の自由端部に向かって先細りになるように傾斜している。この第１傾斜面３５は、コイルばね５０の外部から内部に向かって先細りになっていると共に、コイルばね５０の内部で後述する第２プランジャ４０の第２プランジャ本体４１に接触可能に配置され、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の相対的な移動によりコイルばね５０の中心軸ａに交差する方向に付勢されるように構成されている。第１係合部３４は、第１傾斜面３５の自由端部の第１傾斜面３５が設けられているＸ２方向の面からＸ２方向に向けて突出し、略三角形を有している。第１接触面３７は、図３に示すように、第１係合部３４のＹ１方向に向いた面に形成されている。
　なお、第１プランジャ本体３１全体が、第１弾性部３３から自由端部にかけて略直線形状を有するが、Ｘ２方向に向かって傾斜していてもよい。また、第１傾斜面３５と第１係合部３４との境界部分が、少なくとも中心軸ａよりもＸ２方向に位置するように設計されていてもよい。なお、第１プランジャ３０および第１プランジャ本体３１の各部分は一体成形されている。
　第２プランジャ４０は、図３に示すように、第１プランジャ３０と同一の形状を有する。すなわち、第２プランジャ４０は、第２プランジャ本体４１と、第２端子部４２と、第２保持部４６とを備え、また、第２プランジャ本体４１は、第２弾性部４３と、第２傾斜面４５と、第２係合部４４と、第２接触面４７とを有し、第２プランジャ４０の説明は、第１プランジャ３０の説明を援用する。
　なお、図２（Ｃ）に示すように、第１プランジャ３０の第１係合部３４と第２プランジャ４０の第２係合部４４とは、コイルばね５０の内部で、第１係合部３４の突出方向（Ｘ２方向）と第２係合部４４の突出方向（Ｙ２）とが交差（略直交）した状態で係合する（すなわち、Ｘ１およびＸ２方向が第２プランジャ４０の厚さ方向となり、Ｙ１およびＹ２方向が第２プランジャ４０の幅方向となる）。このとき、第１プランジャ本体３１と第２プランジャ本体４１とは、第１傾斜面３５と第２接触面４７とで接触または圧接し、同時に、第２傾斜面４５と第１接触面３７とで接触または圧接している。
　コイルばね５０は、弾性を有する金属線材で構成され、図３に示すように、螺旋状に巻いて形成されている。そして、コイルばね５０は、第１および第２プランジャ３０，４０の第１および第２プランジャ本体３１，４１をそれぞれ挿入可能な内径を有し、かつ、第１プランジャ３０の第１保持部３６部分の巾寸法よりも小さい内径を有する。そして、コイルばね５０の直径は一様であり、巻線のピッチは均一である。なお、コイルばね５０の内部において、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が相互に連結されたときに圧縮されて、コイルばね５０の付勢力が第１および第２プランジャ３０，４０の各々に加わるように、ばね長を調整してもよい。
　なお、第１および第２プランジャ３０，４０は各々導電性を有しており、例えば、それぞれ一枚の板材から打ち抜いて形成してもよく、あるいは、電気鋳造で形成してもよい。また、第１および第２プランジャ３０，４０は、必要に応じ、非導電性材料の表面に金属めっき、あるいは、導電材コーティング等の表面処理を行ってもよい。
　また、コイルばね５０は、中空の弾性筒状体であればよく、導電性を有していなくてもよい。例えば、筒状の樹脂ばね、あるいは、筒状の非導電性の弾性体の表面に、金属めっき、あるいは、導電材コーティング等の表面処理を行ったものでもよいし、ゴムチューブで構成したものでもよい。
　次に、プローブピン１５の組み立て方法を、図３を用いて説明する。
　まず、図３に示すように、第１プランジャ３０の第１プランジャ本体３１をコイルばね５０の一端から中心軸ａに沿って挿入し、第１保持部３６をコイルばね５０の一端に接触させる。
　一方、コイルばね５０の他端から中心軸ａに沿って第２プランジャ４０の第２プランジャ本体４１を挿入する。このとき、第１プランジャ本体３１の第１傾斜面３５と第２プランジャ本体４１の第２接触面４７とが接触し、第１プランジャ本体３１の第１接触面３７と第２プランジャ本体の第２傾斜面４５とが接触するように、調整しながら挿入する。
　換言すれば、第１プランジャ３０の第１傾斜面３５が、第２プランジャ本体４１の第２係合部４４を設けた面（Ｙ２方向を向いた面）と直交するように調整しながら挿入する。
　これにより、図２（Ｃ）に示すように、コイルばね５０の内部で第１プランジャ３０の第１係合部３４と第２プランジャ４０の第２係合部４４とが、それぞれの突出方向が略直交した状態で係合する。
　以上により、第１，第２プランジャ３０，４０は一体となり、コイルばね５０の中心軸ａに沿って摺接した状態で相対的に移動できる。また、このとき、第１プランジャ３０の第１弾性部３３は、第１傾斜面３５が第２接触面４７を介して第２プランジャ本体４１に押圧され、コイルばね５０の中心軸ａに交差する方向（Ｘ１方向）に弾性変形する。また、第２プランジャ４０の第２弾性部４３は、第２傾斜面４５が第１接触面３７を介して第１プランジャ本体３１に押圧され、コイルばね５０の中心軸ａに交差する方向（Ｙ１方向）に弾性変形する。
　この場合、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とは、第１傾斜面３５と第２接触面４７と、および、第２傾斜面４５と第１接触面３７とがそれぞれで圧接し、第１，第２プランジャ３０，４０間に安定した電気的接続状態を維持できる。
　すなわち、前記プローブピン１５によれば、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の相対的な移動によりコイルばね５０の中心軸ａに交差する方向に付勢される第１傾斜面３５と、第１保持部３６と第１傾斜面３５との間に配置され弾性を有する第１弾性部３３とにより、第１プランジャ３０の第２プランジャ４０に対する接触圧が高まる。同様に、第２傾斜面４５と第２弾性部４３とにより、第２プランジャ４０の第１プランジャ３０に対する接触圧が高まる。これにより、高い接触安定性を発揮できるプローブピン１５を実現できる。
　また、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が簡単な構成を有するため、幅、長さ等、プランジャの設計の自由度が増し、小型化、薄型化に対応したプローブピン１５を容易に実現できる。
　また、第１係合部３４と第２係合部４４とが係合したときに、第１プランジャ本体３１と第２プランジャ本体４１とが、相互に隣り合う２つの面を介して接触する。このため、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が相互に脱落しにくくなるとともに、接触面積が広くなるので、接触信頼性が向上する。
　また、第１プランジャ本体３１の弾性部３３が、コイルばね５０の中心軸ａと直交する方向にせり出す湾曲形状を有している。これにより、弾性部３３を弾性力の小さい材質で構成することができ、材料選択の自由度が増す。
　また、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が第１保持部３６および第２保持部４６をそれぞれ有する。これにより、コイルばね５０が脱落し難くなるいので、組立工程におけるプローブピン１５の取り扱いが容易になる。その結果、プローブピン１５の生産効率を高めることができる。
　また、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とが、同一形状を有するので、製造が容易になり、また、製造コストを低減できる。
　なお、前述の通り、プローブピン１５は、その初期状態（係合状態）のときに、コイルばね５０が圧縮された状態であってもよい。すなわち、コイルばね５０の復帰力により、コイルばね５０の両端が第１プランジャ３０の第１保持部３６と第２プランジャの第２保持部４６とをＺ１およびＺ２方向に付勢していてもよい。これにより、組立工程におけるプローブピン１５の取り扱いが容易になる。
　次に、検査装置１０の製造方法について図１を用いて説明する。
　まず、上述のように組み立て作られた２本のプローブピン１５をベース２１の２つの収納孔２２にそれぞれ組み込む。
　すなわち、ベース２１の各収納孔２２に各プローブピン１５の第２プランジャ４０を第２端子部４２から挿入し、第１端子孔２３の開口縁部２４に形成されている環状段部に第２保持部４６を当接させる。このとき、コイルばね５０も一緒に収納孔２２内部に収納される。なお、図１に示すように、ベース２１の底面の厚さ寸法は、第２端子部４２の先端がベース２１の下面から突出するように設計されている。
　次に、カバー２５をベース２１のＹ１方向の面に重ね合せる。このとき、カバー２５の２つの第２端子孔２６のそれぞれに各プローブピン１５の第１端子部３２を挿入し、第２端子孔２６の開口縁部２７に第１保持部３６を当接させる。これにより、第１端子孔２３の開口縁部２４に形成されている環状段部と、第２端子孔２６の開口縁部２７に形成されている環状段部とで、プローブピン１５が保持される。また、ベース２１の各収納孔２２は、カバー２５の各第２端子孔２６と連通している。そして、図示しない公知の固定方法によってベース２１とカバー２５が固定される。これにより、ハウジング２０内で２つのプローブピン１５がそれぞれＹ１，Ｙ２方向へ移動可能に支持される。なお、図１に示すように、カバー２５の厚さ寸法は、第１端子部３２の先端がカバー２５のＹ１方向の面から突出するように設計されている。
次に、検査装置１０の使用方法について、図１を用いて説明する。
　まず、上述のように組み立てられた検査装置１０のＺ２方向に図示しない回路基板を配置する。一方、Ｚ１方向に図示しない検査対象物であるＩＣチップを配置する。このとき、回路基板は、その導電部が、第２プランジャ４０の第２端子部４２の先端の下方に配置される。また、ＩＣチップは、その被検査面が、第１プランジャ３０の第１端子部３２の先端の上方に配置される。
　次に、回路基板がＺ１方向に、および、ＩＣチップがＺ２方向にそれぞれ移動し、検査装置１０を挟み込む。このとき、回路基板の導電部が第２端子部４２の先端に接触するとともに、ＩＣチップの被検査面が第１端子部３２の先端に接触する。さらに、回路基板とＩＣチップとを移動させると、第１端子部３２の先端と第２端子部４２の先端とがハウジング２０内部に押し込まれ、これにより、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とが互いに摺動する。このとき、第１係合部３４と第２係合部４４との係合は解除され、図３に示すように、第１プランジャ３０の第１傾斜面３５上を第２プランジャ４０の第２接触面４７がＺ１方向に摺動する。また、同様に、第２プランジャ４０の第２傾斜面４５上を第１プランジャ３０の第１接触面３７がＺ２方向に摺動する。
　そして、第１傾斜面３５は、第１プランジャ本体３１の第１係合部３４に向かって広がるように（Ｚ２方向に向かうに従って第１プランジャ本体３１が先細りになるように）傾斜している。このため、第２接触面４７がＺ１方向に摺動するにつれ（すなわち、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とが相互に接近するに従って）、第１傾斜面３５と第２接触面４７との間の接触圧が高まる。同様に、第１接触面３７がＺ２方向に摺動するにつれ、第２傾斜面４５と第１接触面３７との間の接触圧が高まる。
　このとき、第１プランジャ本体３１の第１弾性部３３と第２プランジャ本体４１の第２弾性部４３とは、第１および第２プランジャ３０，４０の摺動によって弾性変形し、第１弾性部３３および第２弾性部４３の弾性力により、接触圧が維持される。すなわち、前記検査装置１０によれば、前記プローブピン１５により、高い接触安定性を発揮できる。
　これにより、２つのプローブピン１５を介して回路基板の導電部とＩＣチップの被検査部とが電気的に接続され、ＩＣチップに電流が流れる。その結果、ＩＣチップの内部回路が正常に導通するか否かを検査でき、ＩＣチップが不良品か否かを判別できる。また、従来のプローブピンよりもさらに小型化、薄型化したプローブピン１５を生産できる。このため、半導体集積回路のより狭い間隔で配置された検査部位も検査できる。
　［第２実施形態］
　図４および５は、本発明にかかるプローブピン１５の第２実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の自由端部（第１プランジャ本体３１の第１端子部３２の反対側の先端部）に、第１係合部３４および第２係合部４４をそれぞれ設けていない点である。また、他の相違点は、第２プランジャ本体４１に、第２弾性部４３および第２傾斜面４５を設けていない点である。なお、以下の実施形態において、前記第１実施形態と同一の部分には同一の参照番号を付し、詳細な説明を省略する。
　すなわち、図５に示すように、第１プランジャ本体３１は、その自由端部に向かって先細りになるように第１傾斜面３５が延びている。また、第２プランジャ本体４１は、中心軸ａに沿って延びる断面矩形状の平板で構成されている。そして、第１および第２プランジャ３０，４０を相対的に移動させることによって、第１プランジャ３０の第１傾斜面３５と第２プランジャ本体４１の平坦面４７ａとが摺動し、第１弾性部３３を弾性変形させる。
　これにより、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とをコイルばね５０の内部で係合させる必要がないので、組立作業が容易となり、プローブピン１５の生産効率が高まる。
　［第３実施形態］
　図６および７は、本発明にかかるプローブピン１５の第３実施形態を示している。なお、第３実施形態は、説明の便宜上、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０との位置関係を上下逆に図示してある。
　第３実施形態が前記第１実施形態と相違する点は、第２プランジャ４０の第２プランジャ本体４１に第２弾性部を設けていない点である。さらに、他の相違点は、第２端子部４２の第２保持部４６が設けられている側の中央からではなく、中心軸ａからＸ１方向に偏心した位置から直線形状の第２プランジャ本体４１をＺ２方向に沿って延ばした点である。なお、第２プランジャ４０は剛体である。
　これにより、第２プランジャ４０の形状が簡単になり、電鋳法以外の方法であっても容易に製造することができる。
　［第４実施形態］
　図８および９は、本発明にかかるプローブピン１５の第４実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１プランジャ本体３１の第１傾斜面３５に設けた第１係合部３４と、第２プランジャ本体４１の第２係合部４４を設けた第２傾斜面４５とが対向する点である。なお、本実施形態では、第１傾斜面３５と第２係合部４４の第２先端面４７ｂとが圧接（接触）し、第２傾斜面４５と第１係合部３４の第１先端面３７ｂとが圧接（接触）する。
　これにより、第１係合部３４が付勢される方向と第２係合部４４が付勢される方向とが対向する。その結果、第１傾斜面３５と第２先端面４７ｂとの間、および、第２傾斜面４５と第１先端面３７ｂとの間で、第１弾性部３３および第２弾性部４３のばね力（弾性力）により、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０との接触面に、より高い接触圧を加えることができるので、接触安定性を向上させることができる。
　［第５実施形態］
　図１０および１１は、本発明にかかるプローブピン１５の第５実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１弾性部３３ａおよび第２弾性部４３ａが中心軸ａ方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する点である。
　第５実施形態のプローブピン１５では、第１弾性部３３ａおよび第２弾性部４３ａの各々が蛇腹形状を有しているので、各弾性部３３ａ、４３ａにかかる応力が分散し易く、応力集中が生じにくいので、寿命の長いプローブピン１５が得られる。
　［第６実施形態］
　図１２および１３は、本発明にかかるプローブピン１５の第６実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１弾性部３３ｂおよび第２弾性部４３ｂが中心軸ａに対して直交する方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する点である。
　これにより第６実施形態のプローブピン１５では、第１弾性部３３ｂおよび第２弾性部４３ｂの各々が蛇腹形状を有しているので、各弾性部３３ｂ、４３ｂにかかる応力が分散しやすく、応力集中が生じにくいので、寿命の長いプローブピン１５が得られる。
　［第７実施形態］
　図１４および１５は、本発明にかかるプローブピン１５の第７実施形態を示している。前記第１実施形態と相違する点は、第１プランジャ本体３１および第２プランジャ本体４１に、中心軸ａに沿って延びる第１スリット３３ｃおよび第２スリット４３ｃをそれぞれ設けた点である。
　本実施形態によれば、第１スリット３３ｃおよび第２スリット４３ｃの長さを調整することにより、第１プランジャ本体３１および第２プランジャ本体４１弾性力を調整できる。このため、検査装置に応じて適切な弾性力を有するプローブピン１５を提供できる。なお、スリットは、第１プランジャ本体３１および第２プランジャ本体４１の両方に設ける場合限らず、いずれか一方のみに設けてもよい。
　以上のように本発明の実施形態に係るプローブピン１５を第１実施形態から第７実施形態まで具体的に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々変更して実施することが可能である。例えば、次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
　検査装置１０は、そのハウジング２０に１以上の収容部を設けて、１以上のプローブピン１５を組み込めるようにしてもよい。
　また、ベース２１とカバー２５とは、着脱可能な構造を有していてもよい。これにより、プローブピン１５が１本だけ壊れた場合にベース２１からカバー２５を取外し、破損したプローブピン１５を交換できる。
　第１プランジャ本体３１は、略直線形状に限らない。例えば、第１プランジャ本体３１は、その基部から自由端部まで湾曲した形状を有していてもよい。なお、第１プランジャ本体３１は、第１プランジャ本体３１の少なくとも一部に弾性部を設け、第２プランジャ４０に付勢する構造としてもよい。そして、前記第１および第２プランジャ本体３１，４１は、断面矩形状であってもよく、例えば、断面長方形に限らず、断面正方形であってもよい。
　また、第１および第２端子部３２，４２は、先端が尖った形状に限らない。例えば、波形状、半円形状であってもよく、被検査物の被検査部の形状に合わせて種々の形状を選択できる。
　また、第１プランジャ本体３１と第２プランジャ本体４１とは、中心軸ａ方向の長さ寸法が異なっていてもよい。一方のプランジャの長さ寸法を大きくすることで、弾性部を大きくすることができる。このため、弾性部にかかる応力を分散でき、寿命の長いプローブピンが得られる。
　また、被検査物は、ＩＣチップ以外に、例えば、ＣＰＵチップ等の電子部品であってもよい。
　以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。
　本発明の第１態様のプローブピンは、
　中心軸に沿って伸縮する弾性筒状体と、
　前記弾性筒状体の一端側から前記中心軸に沿って挿入される導電性の第１プランジャと、
　前記弾性筒状体の他端側から前記中心軸に沿って挿入される導電性の第２プランジャと、を備え、
　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、前記弾性筒状体の内部で前記中心軸に沿って相互に摺接可能に保持されるプローブピンであって、
　前記第１プランジャは、
　前記中心軸に沿って延び、前記弾性筒状体の内部に位置する第１プランジャ本体と、
　前記第１プランジャ本体の自由端部に向かって先細りになるように傾斜する傾斜面と、を備え、
　前記第２プランジャが前記傾斜面を摺接することで、弾性変形する弾性部と、を備える。
　言い換えると、第１態様のプローブピンは、
　中心軸に沿って伸縮する弾性筒状体と、
　前記弾性筒状体の一端から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第１プランジャと、
　前記弾性筒状体の他端から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第２プランジャと、を備え、
　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、前記弾性筒状体の内部で前記中心軸に沿って相対的に移動可能に連結されたプローブピンであって、
　前記第１プランジャが、
　前記弾性筒状体の内部に配置された第１プランジャ本体と、
　前記第１プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第１端子部と、
を有し、
　前記第２プランジャが、
　前記弾性筒状体の内部に配置された第２プランジャ本体と、
　前記第２プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第２端子部と、
を有し、
　前記第１プランジャ本体に、
　前記弾性筒状体の外部から内部に向かって先細りになっていると共に、前記弾性筒状体の内部で前記第２プランジャ本体に接触可能に配置され、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャの相対的な移動により前記中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、
　前記第１端子部と前記傾斜面との間に配置され、弾性変形可能な弾性部と、
が設けられている。
　第１態様のプローブピンによれば、第２プランジャが第１プランジャの傾斜面を摺接するにつれて、弾性部が弾性変形し、その復帰力によって第１プランジャと第２プランジャとの接触圧が高まるので、接触安定性が向上する。すなわち、第１プランジャおよび第２プランジャの相対的な移動により中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、第１保持部と傾斜面との間に配置され弾性を有する弾性部とにより、第１プランジャの第２プランジャに対する接触圧が高まる。これにより、高い接触安定性を発揮できるプローブピンを実現できる。
　また、第１プランジャおよび第２プランジャが簡単な構成を有するため、幅、長さ等、プランジャの設計の自由度が増し、小型化、薄型化に対応したプローブピンを容易に実現できる。
　本発明の第２態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体は、
　断面矩形状であって、
　前記第１プランジャ本体の断面の短手方向の面に前記傾斜面を有し、
　前記傾斜面の自由端部から突出する第１係合部を備え、
　前記第２プランジャは、
　前記第１係合部に係合する第２係合部を備え、
　前記第２プランジャが、第１プランジャ本体の断面の長手方向の面と前記傾斜面との両方に接触するように、前記第１係合部と前記第２係合部とが係合する。
　言い換えれば、本発明の第２態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャおよび前記第２プランジャが板状を有し、
　前記第１プランジャ本体の前記第１端子部から離れた先端部に、前記第１プランジャ本体の一面から突出する第１係合部が設けられ、
　前記第２プランジャ本体の前記第２端子部から離れた先端部に、前記第２プランジャ本体の一面から突出しかつ前記第１係合部に係合可能な第２係合部が設けられ、
　前記第１係合部と前記第２係合部とは、前記第１係合部の突出方向と前記第２係合部の突出方向とが交差した状態で係合する。
　第２態様のプローブピンによれば、プローブピンの形状が複雑でないため、電鋳法以外の方法であっても容易に製造することができる。
　また、第２プランジャが、第１プランジャ本体の断面の長手方向の面と前記傾斜面との両方に接触するように、第１係合部と第２係合部とが係合する。すなわち、第１係合部と第２係合部とが係合したときに、第１プランジャ本体と第２プランジャ本体とが、相互に隣り合う２つの面を介して接触する。このため、第１プランジャおよび第２プランジャが相互に脱落しにくくなるとともに、接触面積が広くなるので、接触信頼性が向上する。
　本発明の第３態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体は、
　断面矩形状であって、
　前記第１プランジャ本体の断面の短手方向の面に前記傾斜面を有し、
　前記傾斜面の自由端部から突出する第１係合部を備え、
　前記第２プランジャは、
　前記第１係合部に係合する第２係合部を備え、
　前記第２プランジャが、前記第１プランジャ本体の断面の短手方向の面のみに接触するように、前記第１係合部と前記第２係合部とが係合する。
　言い換えると、本発明の第３態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャおよび前記第２プランジャが板状を有し、
　前記第１プランジャ本体の前記第１端子部から離れた先端部に、前記第１プランジャ本体の一面から突出する第１係合部が設けられ、
　前記第２プランジャ本体の前記第２端子部から離れた先端部に、前記第２プランジャ本体の一面から突出しかつ前記第１係合部に係合可能な第２係合部が設けられ、
　前記第１係合部と前記第２係合部とは、前記第１係合部の突出方向と前記第２係合部の突出方向とが平行な状態で係合する。
　第３態様のプローブピンによれば、第１係合部が付勢される方向と第２係合部が付勢される方向とを対向させることができる。これにより、第１プランジャと第２プランジャとの接触面に、より高い接触圧を加えることができるので、その結果、接触安定性を向上させることができる。
　本発明の第４態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャは、
　前記第１プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第１端子部を備え、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部は、
　前記第１プランジャ本体の基部に、前記中心軸と直交する方向にせり出すように湾曲する細首部を有する。
　言い換えると、本発明の第４態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸と直交する方向に突出する湾曲形状を有している。
　第４態様のプローブピンによれば、弾性部を弾性力の小さい材質で構成することができる。したがって、材料選択の自由度が増す。
　本発明の第５態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャは、
　前記第１プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第１端子部を備え、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部は、
　前記第１プランジャ本体の基部から前記中心軸の軸心方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する。
　言い換えると、本発明の第５態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸に沿って蛇行する蛇腹形状を有する。
　第５態様のプローブピンによれば、弾性部が蛇腹形状を有するので、弾性部を小さな付勢力で弾性変形させることができる。また、弾性部にかかる応力を分散させることができるので、寿命の長いプローブピンを実現できる。
　本発明の第６態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャは、
　前記第１プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第１端子部を備え、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部は、
　前記第１プランジャ本体の基部から前記中心軸に対して直交する方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する。
　言い換えると、本発明の第６態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸に対して直交する方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する。
　第６態様のプローブピンによれば、弾性部が蛇腹形状を有するので、弾性部を小さな付勢力で弾性変形させることができる。また、弾性部にかかる応力を分散させることができるので、寿命の長いプローブピンを実現できる。
　本発明の第７態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャは、
　前記第１プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第１端子部を備え、
　前記第１プランジャ本体は、
　その基部から前記中心軸の軸心方向に沿って延びるスリットを有する。
　言い換えると、本発明の第７態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体が、前記中心軸に沿って延びるスリットを有する。
　第７態様のプローブピンによれば、スリットにより、第１プランジャ本体の弾性力を調整できる。このため、用いられる検査装置ごとに適切な弾性力のプローブピンを実現できる。
　本発明の第８態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャは、
　前記第１プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第１端子部を備え、
　前記第１端子部は、
　断面矩形状であって、
　前記第１端子部の基部の断面の短手方向の面から突出し、前記弾性筒状体の端部を保持する保持部を設けた。
　言い換えると、本発明の第８態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャが、
　前記第１プランジャ本体と前記第１端子部との境界部分に設けられ、前記中心軸に交差する方向に延びると共に、前記弾性筒状体の前記一端に接触して前記弾性筒状体を抜け止め保持する第１保持部をさらに有する。
　第８態様のプローブピンによれば、第１保持部により、弾性筒状体が脱落し難くなるので、組立工程における取り扱いが容易になる。その結果、生産効率を高めることができる。
　本発明の第９態様のプローブピンは、
　前記第２プランジャは、
　前記中心軸に沿って延び、かつ、前記弾性筒状体の内部で前記第１プランジャに摺接する断面矩形状の第２プランジャ本体と、
　前記第２プランジャ本体から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の外部へ延びる第２端子部と、を備える。
　言い換えると、本発明の第９態様のプローブピンは、
　前記第２プランジャが、
　前記第２プランジャ本体と前記第２端子部との境界部分に設けられ、前記中心軸に交差する方向に延びると共に、前記弾性筒状体の前記他端に接触して前記弾性筒状体を抜け止め保持する第２保持部をさらに有する。
　第９態様のプローブピンによれば、第１保持部および第２保持部により、弾性筒状体が脱落し難くなるので、組立工程における取り扱いがより容易になる。その結果、生産効率をより高めることができる。
　本発明の第１０態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体と前記第２プランジャ本体との前記中心軸の軸心方向の長さ寸法が異なる。
　言い換えると、本発明の第１０態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャ本体の前記中心軸沿いの長さと前記第２プランジャ本体の前記中心軸沿いの長さとが異なる。
　第１０態様のプローブピンによれば、例えば、第１プランジャの長さを第２プランジャよりも大きくすることで、弾性部を大きくして、弾性部にかかる応力を分散させることができる。その結果、寿命の長いプローブピンが得られる。
　本発明の第１１態様のプローブピンは、
　前記第２プランジャが、前記請求項１ないし１０のいずれかに記載の第１プランジャと同一形状を有する。
　言い換えると、本発明の第１１態様のプローブピンは、
　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、同一形状を有する。
　第１１態様のプローブピンによれば、第１プランジャと第２プランジャとが同一形状を有するので、製造が容易になり、また、製造コストを低減できる。なお、第２プランジャの形状を種々変更することができるので、任意の弾性力に応じて、第２プランジャの形状を柔軟に変更することができる。
　本発明の第１２態様の検査装置は、ハウジング内に請求項１ないし１１のいずれかに記載のプローブピンの一部が収納されている。
　言い換えると、本発明の第１２態様の検査装置は、
　前記プローブピンと、
　前記プローブピンを内部に収納するハウジングと、
を備える。
　第１２態様の検査装置によれば、前記プローブピンにより、高い接触安定性を発揮できる。また、従来のプローブピンよりもさらに小型化、薄型化したプローブピンを生産できるので、半導体集積回路のより狭い間隔で配置された検査部位も検査できる。
　なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本発明のプローブピンは、前記実施形態の検査装置に限らず、他の検査装置または電子機器に適用してもよい。
　また、本発明の検査装置は、例えば、ＩＣチップなどの半導体集積回路の電気特性検査に使用することができる。
　　１０　検査装置
　　１５　プローブピン
　　２０　ハウジング
　　２１　ベース
　　２２　収納孔
　　２３　第１端子孔
　　２４　第１端子孔２３の開口縁部
　　２５　カバー
　　２６　第２端子孔
　　２７　第２端子孔２６の開口縁部
　　３０　第１プランジャ
　　３１　第１プランジャ本体
　　３２　第１端子部
　　３３，３３ａ，３３ｂ　第１弾性部（弾性部）
　　３３ｃ　第１スリット
　　３４　第１係合部
　　３５　第１傾斜面（傾斜面）
　　３６　第１保持部
　　３７　第１接触面
　　３７ａ　第１傾斜面
　　３７ｂ　第１先端面
　　４０　第２プランジャ
　　４１　第２プランジャ本体
　　４２　第２端子部
　　４３，４３ａ，４３ｂ　第２弾性部
　　４３ｃ　第２スリット
　　４４　第２係合部
　　４５　第２傾斜面
　　４６　第２保持部
　　４７　第２接触面
　　４７ａ　平坦面
　　４７ｂ　第２先端面
　　５０　コイルばね（弾性筒状体）
　　ａ　中心軸

Claims (12)

  1. 　中心軸に沿って伸縮する弾性筒状体と、
    　前記弾性筒状体の一端から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第１プランジャと、
    　前記弾性筒状体の他端から前記中心軸に沿って前記弾性筒状体の内部に延びた導電性の第２プランジャと、を備え、
    　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、前記弾性筒状体の内部で前記中心軸に沿って相対的に移動可能に連結されたプローブピンであって、
    　前記第１プランジャが、
    　前記弾性筒状体の内部に配置された第１プランジャ本体と、
    　前記第１プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第１端子部と、
    を有し、
    　前記第２プランジャが、
    　前記弾性筒状体の内部に配置された第２プランジャ本体と、
    　前記第２プランジャ本体に接続され前記弾性筒状体の外部に配置された第２端子部と、
    を有し、
    　前記第１プランジャ本体に、
    　前記弾性筒状体の外部から内部に向かって先細りになっていると共に、前記弾性筒状体の内部で前記第２プランジャ本体に接触可能に配置され、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャの相対的な移動により前記中心軸に交差する方向に付勢される傾斜面と、
    　前記第１端子部と前記傾斜面との間に配置され、弾性変形可能な弾性部と、
    が設けられている、プローブピン。
  2. 　前記第１プランジャおよび前記第２プランジャが板状を有し、
    　前記第１プランジャ本体の前記第１端子部から離れた先端部に、前記第１プランジャ本体の一面から突出する第１係合部が設けられ、
    　前記第２プランジャ本体の前記第２端子部から離れた先端部に、前記第２プランジャ本体の一面から突出しかつ前記第１係合部に係合可能な第２係合部が設けられ、
    　前記第１係合部と前記第２係合部とは、前記第１係合部の突出方向と前記第２係合部の突出方向とが交差した状態で係合する、請求項１に記載のプローブピン。
  3. 　前記第１プランジャおよび前記第２プランジャが板状を有し、
    　前記第１プランジャ本体の前記第１端子部から離れた先端部に、前記第１プランジャ本体の一面から突出する第１係合部が設けられ、
    　前記第２プランジャ本体の前記第２端子部から離れた先端部に、前記第２プランジャ本体の一面から突出しかつ前記第１係合部に係合可能な第２係合部が設けられ、
    　前記第１係合部と前記第２係合部とは、前記第１係合部の突出方向と前記第２係合部の突出方向とが平行な状態で係合する、請求項１に記載のプローブピン。
  4. 　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸と直交する方向に突出する湾曲形状を有している、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のプローブピン。
  5. 　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸に沿って蛇行する蛇腹形状を有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のプローブピン。
  6. 　前記第１プランジャ本体の前記弾性部が、前記中心軸に対して直交する方向に沿って蛇行する蛇腹形状を有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のプローブピン。
  7. 　前記第１プランジャ本体が、前記中心軸に沿って延びるスリットを有する、請求項１ないし３のいずれか１項に記載のプローブピン。
  8. 　前記第１プランジャが、
    　前記第１プランジャ本体と前記第１端子部との境界部分に設けられ、前記中心軸に交差する方向に延びると共に、前記弾性筒状体の前記一端に接触して前記弾性筒状体を抜け止め保持する第１保持部をさらに有する、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のプローブピン。
  9. 　前記第２プランジャが、
    　前記第２プランジャ本体と前記第２端子部との境界部分に設けられ、前記中心軸に交差する方向に延びると共に、前記弾性筒状体の前記他端に接触して前記弾性筒状体を抜け止め保持する第２保持部をさらに有する、請求項８に記載のプローブピン。
  10. 　前記第１プランジャ本体の前記中心軸沿いの長さと前記第２プランジャ本体の前記中心軸沿いの長さとが異なる、請求項１ないし９のいずれか１項に記載のプローブピン。
  11. 　前記第１プランジャと前記第２プランジャとが、同一形状を有する、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載のプローブピン。
  12. 　請求項１ないし１１のいずれかに記載のプローブピンと、
    　前記プローブピンを内部に収納するハウジングと、
    を備える、検査装置。
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