KR20180038031A

KR20180038031A - 프로브 핀 및 그것을 사용한 검사 장치

Info

Publication number: KR20180038031A
Application number: KR1020187006632A
Authority: KR
Inventors: 히로타다 데라니시; 다카히로 사카이
Original assignee: 오므론 가부시키가이샤
Priority date: 2016-02-15
Filing date: 2017-01-05
Publication date: 2018-04-13
Also published as: US10557867B2; CN108027391A; WO2017141561A1; CN108027391B; JP2017146118A; TW201730566A; US20180340957A1; KR101959696B1; JP6610322B2

Abstract

프로브 핀이, 중심축을 따라 신축하는 탄성 통상체와, 탄성 통상체의 일단부로부터 중심축을 따라 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제1 플런저와, 탄성 통상체의 타단부로부터 중심축을 따라 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제2 플런저를 구비하고, 제1 플런저와 제2 플런저가, 탄성 통상체의 내부에서 중심축을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결되어 있다. 제1 플런저 본체에, 탄성 통상체의 외부로부터 내부를 향해서 끝이 가늘어져 있음과 함께, 탄성 통상체의 내부에서 제2 플런저 본체에 접촉 가능하게 배치되어, 제1 플런저 및 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과, 제1 단자부와 경사면과의 사이에 배치되어, 탄성 변형 가능한 탄성부가 설치되어 있다.

Description

프로브 핀 및 그것을 사용한 검사 장치

본 발명은 프로브 핀 및 그것을 사용한 검사 장치에 관한 것이다.

종래, IC 칩 등의 반도체 집적 회로의 전기 특성 검사에는, 프로브 핀을 사용한 검사 장치가 사용된다. 이러한 검사 장치는, 복수의 프로브 핀을 피검사물에 눌러서 피검사물이 도통하는지 여부를 검사한다. 그리고, 이러한 검사 장치에 사용되는 프로브 핀으로서는, 예를 들어 특허문헌 1을 들 수 있다.

특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 도전성 접촉자 홀더에 수납된 제1 플런저와 제2 플런저가, 서로 결합하도록 반원기둥 형상으로 잘라 내어져 있다. 그리고, 스프링 부재의 축심 방향으로 미끄럼 이동함에 따라서 제1, 제2 플런저간의 접촉 면적이 증가하는 것이 개시되어 있다(특허문헌 1의 도 1 참조).

국제 공개 공보 WO2008/136396

그러나, 특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 제1 플런저와 제2 플런저가, 스프링 부재의 축심 방향으로 미끄럼 이동할 뿐이므로, 서로 압접하지 않아, 원하는 접촉압이 얻어지지 않는다.

또한, 최근 들어 반도체 집적 회로의 소형화가 진행됨에 따라, 상기 검사 장치에서도, 반도체 집적 회로의 보다 좁은 간격으로 배치된 검사 부위를 검사할 수 있을 것이 요청되고 있으며, 이러한 요청에 부응하고자, 검사 장치에 사용되는 프로브 핀도 새로운 소형화 또는 박형화가 요청되고 있는데, 특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 금후 더욱 프로브 핀이 소형화 또는 박형화했을 경우에, 접촉 신뢰성을 높이기 위해서 증가할 수 있는 접촉 면적에 한계가 있다.

이 때문에, 특허문헌 1의 프로브 핀에서는, 높은 접촉 안정성을 얻는 것이 어려울 경우가 있다.

본 발명은, 상기 문제점을 감안하여, 소형화 또는 박형화해도 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있는 프로브 핀 및 이 프로브 핀을 사용한 검사 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 일 양태의 프로브 핀은, 상기 과제를 해결하기 위해,

중심축을 따라 신축하는 탄성 통상체와,

상기 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부로 연장된 도전성의 제1 플런저와,

상기 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부로 연장된 도전성의 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 중심축을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결된 프로브 핀이며,

상기 제1 플런저가,

상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제1 플런저 본체와,

상기 제1 플런저 본체에 접속되어 상기 탄성 통상체의 외부에 배치된 제1 단자부를

갖고,

상기 제2 플런저가,

상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제2 플런저 본체와,

상기 제2 플런저 본체에 접속되어 상기 탄성 통상체의 외부에 배치된 제2 단자부를

갖고,

상기 제1 플런저 본체에,

상기 탄성 통상체의 외부로부터 내부를 향해서 끝이 가늘어지고 있음과 함께, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 제2 플런저 본체에 접촉 가능하게 배치되고, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 상기 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과,

상기 제1 단자부와 상기 경사면과의 사이에 배치되어, 탄성 변형 가능한 탄성부가

설치되어 있다.

또한, 본 발명의 일 양태의 검사 장치는,

하우징과,

상기 하우징 내에 수납된 상기 프로브 핀을

구비한다.

상기 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저 및 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과, 제1 유지부와 경사면과의 사이에 배치되어 탄성을 갖는 탄성부와에 의해, 제1 플런저의 제2 플런저에 대한 접촉압이 높아진다. 이에 의해, 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있는 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 제1 플런저 및 제2 플런저가 간단한 구성을 취하기 때문에, 폭, 길이 등, 제1 플런저의 설계의 자유도가 증가하여, 소형화 또는 박형화에 대응한 프로브 핀을 용이하게 실현할 수 있다.

상기 형태의 검사 장치에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 소형화 또는 박형화해도 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있고, 반도체 집적 회로의 보다 좁은 간격으로 배치된 검사 부위도 검사할 수 있다.

도 1은 본 발명에 나타내는 제1 실시 형태를 나타내는 프로브 핀을 내장한 검사 장치의 단면도이다.
도 2의 (A)는 본 발명에 따른 제1 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 2의 (B)는 도 2의 (A)에 나타내는 제1 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 2의 (C)는 도 2의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 3은 도 2의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 4의 (A)는 본 발명에 따른 제2 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 4의 (B)는 도 4의 (A)에 나타내는 제2 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 4의 (C)는 도 4의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 플런저 본체와 제2 플런저의 제2 플런저 본체와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 5는 도 4의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 6의 (A)는 본 발명에 따른 제3 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 6의 (B)는 도 6의 (A)에 나타내는 제3 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 6의 (C)는 도 6의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 7은 도 6의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 8의 (A)는 본 발명에 따른 제4 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 8의 (B)는 도 8의 (A)에 나타내는 제4 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 8의 (C)는 도 8의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 9는 도 8의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 10의 (A)는 본 발명에 따른 제5 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 10의 (B)는 도 10의 (A)에 나타내는 제5 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 10의 (C)는 도 10의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 11은 도 10의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 12의 (A)는 본 발명에 따른 제6 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 12의 (B)는 도 12의 (A)에 나타내는 제6 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 12의 (C)는 도 12의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 13은 도 12의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.
도 14의 (A)는 본 발명에 따른 제7 실시 형태의 프로브 핀을 도시하는 사시도이다. 도 14의 (B)는 도 14의 (A)에 나타내는 제7 실시 형태를 나타내는 프로브 핀으로부터 코일 스프링을 제거한 사시도이다. 도 14의 (C)는 도 14의 (B)에 나타내는 제1 플런저의 제1 걸림 결합부와 제2 플런저의 제2 걸림 결합부와의 걸림 결합 상태를 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 15는 도 14의 (A)에 나타내는 프로브 핀의 분해 사시도이다.

본 발명의 실시 형태를 설명하는 데 있어서, 도면에 표현된 구성을 설명하는 데 있어서, X, Y, Z 방향 등의 방향을 나타내는 용어, 및 그 밖의 방위를 나타내는 별도의 용어를 사용하는데, 이들 용어를 사용하는 목적은 도면을 통해서 실시 형태의 이해를 용이하게 하기 위해서이다. 따라서, 이들 용어는 본 발명의 실시 형태가 실제로 사용될 때의 방향을 나타내는 것이라고는 할 수 없다. 또한, 이들 용어에 의해 특허 청구 범위에 기재된 발명의 기술적 범위가 한정적으로 해석되어서는 안된다.

[제1 실시 형태]

도 1에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 제1 실시 형태의 프로브 핀(15)은, 예를 들어 하우징(20)에 수납된 상태로 사용되고, 하우징(20)과 함께 검사 장치(10)를 구성한다. 이 검사 장치(10)에는, 일례로서 2개의 프로브 핀(15)이 수납되어 있다.

또한, 본 실시 형태에 따른 검사 장치(10)는, 예를 들어 IC 칩 등의 반도체 집적 회로의 전기 특성을 높은 검사 정밀도로 검사하는 것이다.

하우징(20)은, 베이스(21)와, 이 베이스(21)에 설치된 커버(25)를 갖고, 이들에 의해 프로브 핀(15)이 유지되어 있다.

베이스(21)에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 수납 구멍(22)과 이 수납 구멍(22)에 접속된 제1 단자 구멍(23)으로 각각 구성된 2개의 수납부가 설치되어 있다. 각 수납 구멍(22)과 각 제1 단자 구멍(23)은, 베이스(21)의 Y1 및 Y2 방향을 따라서 평행하게 설치되어 있다. 즉, 수납부가 베이스(21)를 Y1 및 Y2 방향으로 관통하고 있다. 또한, 각 수납 구멍(22)과 각 제1 단자 구멍(23)은, 그 횡단면(X1 및 X2 방향을 따른 단면)이 대략 원 형상을 갖고 있다. 그리고, 횡단면에 있어서, 각 수납 구멍(22)의 직경은 각 제1 단자 구멍(23)의 직경보다도 크다. 각 수납 구멍(22)은, 후술하는 프로브 핀(15)의 제1 유지부(36)를 수납할 수 있는 직경을 갖고 있다. 각 수납 구멍(22)에 프로브 핀(15)을 수납하면, 후술하는 프로브 핀(15)의 제2 단자부(42)가 각 제1 단자 구멍(23)으로부터 하우징(20)의 외부에 돌출되도록 되어 있다. 또한, 각 수납 구멍(22)의 직경은, 각 제1 단자 구멍(23)의 직경보다도 크게 되어 있어, 이에 의해, 각 제1 단자 구멍(23)의 개구 에지부(24)에 환상 단차부가 형성되어 있다. 이 환상 단차부는, 수납부 내에 프로브 핀(15)을 수납했을 때, 후술하는 프로브 핀(15)의 제2 유지부(46)와 접촉하여, 후술하는 각 제2 단자 구멍(26)의 개구 에지부(27)에 형성되어 있는 환상 단차부와 함께 프로브 핀(15)을 유지할 수 있게 되어 있다. 또한, 베이스(21)는, 예를 들어 내열성을 구비한 수지 성형품이다.

커버(25)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스(21)의 Y1 방향의 면을 피복하는 평면 형상을 갖는 판상의 수지 성형품이다. 그리고, 커버(25)에는, 소정의 위치, 즉, 커버(25)를 베이스(21)에 설치했을 때 각 수납 구멍(22)에 접속 가능한 2개의 위치에 각각 제2 단자 구멍(26)이 마련되어 있다. 각 제2 단자 구멍(26)은, 그 횡단면이 대략 원 형상을 갖고, 그 직경이 베이스(21)의 각 수납 구멍(22)보다도 작다. 각 제2 단자 구멍(26)은, 프로브 핀(15)을 베이스(21)의 수납 구멍(22) 내에 수납하고, 커버(25)를 설치했을 때, 제2 단자 구멍(26)으로부터 후술하는 프로브 핀(15)의 제1 단자부(32)가 하우징(20)의 외부에 돌출되도록 되어 있다. 또한, 각 수납 구멍(22)의 직경은, 각 제2 단자 구멍(26)의 직경보다도 크게 되어 있어, 이에 의해, 각 제2 단자 구멍(26)의 개구 에지부(27)에 환상 단차부가 형성되어 있다. 이 환상 단차부는, 수납부 내에 프로브 핀(15)을 수납했을 때, 후술하는 프로브 핀(15)의 제1 유지부(36)와 접촉하여, 각 제1 단자 구멍(23)의 개구 에지부(24)에 형성되어 있는 환상 단차부와 함께 프로브 핀(15)을 유지할 수 있게 되어 있다.

본 실시 형태에 따른 프로브 핀(15)은, 도 2 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 플런저(30)와, 제2 플런저(40)와, 탄성 통상체의 일례인 코일 스프링(50)을 구비하고 있다. 제1 플런저(30)는, 코일 스프링(50)의 일단부(도 2의 상단부)로부터 코일 스프링(50)의 중심축(a)을 따라(Z1 및 Z2 방향을 따라) 코일 스프링(50)의 내부(즉, 탄성 통상체의 내부 공간)에 연장되어 있다. 제2 플런저(40)는, 코일 스프링(50)의 타단부(도 2의 하단부)로부터 코일 스프링(50)의 중심축(a)을 따라 코일 스프링(50)의 내부(즉, 탄성 통상체의 내부 공간)에 연장되어 있다. 또한, 프로브 핀(15)은, 코일 스프링(50)의 중심축(a)을 따라 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)가 코일 스프링(50)의 양단으로부터 삽입되어, 코일 스프링(50)의 내부에서 코일 스프링(50)의 중심축(a)을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결(걸림 결합)되어 있다.

제1 플런저(30)는, 도전성을 갖는 단면 직사각형의 판상의 금속 부재이며, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 플런저 본체(31)와, 제1 단자부(32)와, 한 쌍의 제1 유지부(36)를 구비한다. 제1 플런저 본체(31)는, 코일 스프링(50)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 제1 단자부(32)는, 제1 플런저 본체(31)의 상단으로부터 Z1 방향으로 연장되어, 코일 스프링(50)의 외부에 배치되어 있음과 함께, 그 선단 부분이 뾰족하게 되어 있다. 한 쌍의 제1 유지부(36)는, 제1 단자부(32)의 제1 플런저 본체(31)와의 경계 부분으로부터 X1 및 X2 방향으로 각각 돌출되어 있다. 즉, 제1 단자부(32)의 제1 유지부(36)가 설치되어 있는 부분은, 제1 단자부(32)보다도 넓은 폭 치수(X1 및 X2 방향의 치수)를 갖고 있다. 또한, 제1 플런저(30)는, 일정한 두께 치수(Y1 및 Y2 방향의 치수)를 갖고 있다.

또한, 제1 플런저 본체(31)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 단자부(32)의 대략 중앙으로부터 Z2 방향을 향해서 돌출되는 대략 직선 형상을 갖고 있다. 그리고, 제1 플런저 본체(31)는, 제1 탄성부(33)와, 제1 경사면(35)과, 제1 걸림 결합부(34)와, 제1 접촉면(37)을 구비하고 있다.

제1 탄성부(33)는, 제1 플런저 본체(31)의 기부, 즉 제1 플런저 본체(31)가 돌출되는 밑둥 부분을 구성하고, 제1 단자부(32)의 대략 중앙으로부터 X1 방향으로 밀어내듯이(돌출되듯이) 만곡되어 있다. 또한, 제1 탄성부(33)는, 그 Y1 및 Y2 방향의 면의 X1 및 X2 방향의 폭이 제1 플런저 본체(31)의 다른 부분보다도 작아지도록 형성되어 있고, 폭 방향(X1 및 X2 방향)으로 탄성 변형 가능하게 되어 있다. 즉, 제1 탄성부(33)는, 폭 방향으로 탄성 변형했을 경우에, 스프링성(탄성)을 갖는다. 이 제1 탄성부(33)는, 제1 단자부(32)와 제1 경사면(35)과의 사이에 배치되어 있다. 제1 경사면(35)은, 제1 플런저 본체(31)의 X2 방향의 면의 자유 단부측, 즉 제1 플런저 본체(31)의 선단측에 설치되어 있다. 그리고, 제1 경사면(35)은, 제1 플런저 본체(31)의 자유 단부를 향해서 끝이 가늘어지게 경사져 있다. 이 제1 경사면(35)은, 코일 스프링(50)의 외부로부터 내부를 향해서 끝이 가늘어지게 되어 있음과 함께, 코일 스프링(50)의 내부에서 후술하는 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41)에 접촉 가능하게 배치되고, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)의 상대적인 이동에 의해 코일 스프링(50)의 중심축(a)에 교차하는 방향으로 가압되도록 구성되어 있다. 제1 걸림 결합부(34)는, 제1 경사면(35)의 자유 단부의 제1 경사면(35)이 설치되어 있는 X2 방향의 면으로부터 X2 방향을 향해서 돌출되어, 대략 삼각형을 갖고 있다. 제1 접촉면(37)은, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 걸림 결합부(34)의 Y1 방향을 향한 면에 형성되어 있다.

또한, 제1 플런저 본체(31) 전체가, 제1 탄성부(33)로부터 자유 단부에 걸쳐서 대략 직선 형상을 갖지만, X2 방향을 향해서 경사져 있어도 된다. 또한, 제1 경사면(35)과 제1 걸림 결합부(34)와의 경계 부분이, 적어도 중심축(a)보다도 X2 방향으로 위치하도록 설계되어 있어도 된다. 또한, 제1 플런저(30) 및 제1 플런저 본체(31)의 각 부분은 일체 성형되어 있다.

제2 플런저(40)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 플런저(30)와 동일한 형상을 갖는다. 즉, 제2 플런저(40)는, 제2 플런저 본체(41)와, 제2 단자부(42)와, 제2 유지부(46)를 구비하고, 또한 제2 플런저 본체(41)는, 제2 탄성부(43)와, 제2 경사면(45)과, 제2 걸림 결합부(44)와, 제2 접촉면(47)을 갖고, 제2 플런저(40)의 설명은, 제1 플런저(30)의 설명을 원용한다.

또한, 도 2의 (C)에 도시하는 바와 같이, 제1 플런저(30)의 제1 걸림 결합부(34)와 제2 플런저(40)의 제2 걸림 결합부(44)는, 코일 스프링(50)의 내부에서, 제1 걸림 결합부(34)의 돌출 방향(X2 방향)과 제2 걸림 결합부(44)의 돌출 방향(Y2)이 교차(대략 직교)한 상태에서 걸림 결합한다(즉, X1 및 X2 방향이 제2 플런저(40)의 두께 방향이 되고, Y1 및 Y2 방향이 제2 플런저(40)의 폭 방향이 된다). 이때, 제1 플런저 본체(31)와 제2 플런저 본체(41)는, 제1 경사면(35)과 제2 접촉면(47)에서 접촉 또는 압접하고, 동시에, 제2 경사면(45)과 제1 접촉면(37)에서 접촉 또는 압접하고 있다.

코일 스프링(50)은, 탄성을 갖는 금속 선재로 구성되고, 도 3에 도시한 바와 같이, 나선 형상으로 감아서 형성되어 있다. 그리고, 코일 스프링(50)은, 제1 및 제2 플런저(30, 40)의 제1 및 제2 플런저 본체(31, 41)를 각각 삽입 가능한 내경을 갖고, 또한 제1 플런저(30)의 제1 유지부(36) 부분의 폭 치수보다도 작은 내경을 갖는다. 그리고, 코일 스프링(50)의 직경은 균일하고, 권선의 피치는 균일하다. 또한, 코일 스프링(50)의 내부에서, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)가 서로 연결되었을 때 압축되어, 코일 스프링(50)의 가압력이 제1 및 제2 플런저(30, 40)의 각각에 가해지도록, 스프링 길이를 조정해도 된다.

또한, 제1 및 제2 플런저(30, 40)는 각각 도전성을 갖고 있어, 예를 들어 각각 1매의 판재로부터 펀칭해서 형성해도 되고, 또는, 전기 주조로 형성해도 된다. 또한, 제1 및 제2 플런저(30, 40)는, 필요에 따라, 비도전성 재료의 표면에 금속 도금, 또는 도전재 코팅 등의 표면 처리를 행해도 된다.

또한, 코일 스프링(50)은, 중공의 탄성 통상체이면 되며, 도전성을 갖고 있지 않아도 된다. 예를 들어, 통상의 수지 스프링, 또는 통상의 비도전성 탄성체의 표면에, 금속 도금, 또는 도전재 코팅 등의 표면 처리를 행한 것이어도 되고, 고무 튜브로 구성한 것이어도 된다.

이어서, 프로브 핀(15)의 조립 방법을, 도 3을 사용해서 설명한다.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 플런저(30)의 제1 플런저 본체(31)를 코일 스프링(50)의 일단부로부터 중심축(a)을 따라 삽입하고, 제1 유지부(36)를 코일 스프링(50)의 일단부에 접촉시킨다.

한편, 코일 스프링(50)의 타단부로부터 중심축(a)을 따라 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41)를 삽입한다. 이때, 제1 플런저 본체(31)의 제1 경사면(35)과 제2 플런저 본체(41)의 제2 접촉면(47)이 접촉하고, 제1 플런저 본체(31)의 제1 접촉면(37)과 제2 플런저 본체의 제2 경사면(45)이 접촉하도록, 조정하면서 삽입한다.

바꾸어 말하면, 제1 플런저(30)의 제1 경사면(35)이, 제2 플런저 본체(41)의 제2 걸림 결합부(44)를 설치한 면(Y2 방향을 향한 면)과 직교하도록 조정하면서 삽입한다.

이에 의해, 도 2의 (C)에 도시하는 바와 같이, 코일 스프링(50)의 내부에서 제1 플런저(30)의 제1 걸림 결합부(34)와 제2 플런저(40)의 제2 걸림 결합부(44)가, 각각의 돌출 방향이 대략 직교한 상태에서 걸림 결합한다.

이상에 의해, 제1, 제2 플런저(30, 40)는 일체로 되어, 코일 스프링(50)의 중심축(a)을 따라 미끄럼 접촉한 상태에서 상대적으로 이동할 수 있다. 또한, 이때, 제1 플런저(30)의 제1 탄성부(33)는, 제1 경사면(35)이 제2 접촉면(47)을 통해 제2 플런저 본체(41)에 압박되어, 코일 스프링(50)의 중심축(a)에 교차하는 방향(X1 방향)으로 탄성 변형한다. 또한, 제2 플런저(40)의 제2 탄성부(43)는, 제2 경사면(45)이 제1 접촉면(37)을 통해 제1 플런저 본체(31)에 압박되어, 코일 스프링(50)의 중심축(a)에 교차하는 방향(Y1 방향)으로 탄성 변형한다.

이 경우, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)는, 제1 경사면(35)과 제2 접촉면(47), 및 제2 경사면(45)과 제1 접촉면(37)이 각각에서 압접하여, 제1, 제2 플런저(30, 40) 사이에 안정된 전기적 접속 상태를 유지할 수 있다.

즉, 상기 프로브 핀(15)에 의하면, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)의 상대적인 이동에 의해 코일 스프링(50)의 중심축(a)에 교차하는 방향으로 가압되는 제1 경사면(35)과, 제1 유지부(36)와 제1 경사면(35)과의 사이에 배치되어 탄성을 갖는 제1 탄성부(33)에 의해, 제1 플런저(30)의 제2 플런저(40)에 대한 접촉압이 높아진다. 마찬가지로, 제2 경사면(45)과 제2 탄성부(43)에 의해, 제2 플런저(40)의 제1 플런저(30)에 대한 접촉압이 높아진다. 이에 의해, 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있는 프로브 핀(15)을 실현할 수 있다.

또한, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)가 간단한 구성을 갖기 때문에, 폭, 길이 등, 플런저의 설계 자유도가 증가하여, 소형화, 박형화에 대응한 프로브 핀(15)을 용이하게 실현할 수 있다.

또한, 제1 걸림 결합부(34)와 제2 걸림 결합부(44)가 걸림 결합했을 때, 제1 플런저 본체(31)와 제2 플런저 본체(41)가, 서로 인접하는 2개의 면을 통해 접촉한다. 이 때문에, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)가 서로 탈락하기 어려워짐과 함께, 접촉 면적이 넓어지므로, 접촉 신뢰성이 향상된다.

또한, 제1 플런저 본체(31)의 탄성부(33)가, 코일 스프링(50)의 중심축(a)과 직교하는 방향으로 밀어내는 만곡 형상을 갖고 있다. 이에 의해, 탄성부(33)를 탄성력이 작은 재질로 구성할 수 있어, 재료 선택의 자유도가 증가한다.

또한, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)가 제1 유지부(36) 및 제2 유지부(46)를 각각 갖는다. 이에 의해, 코일 스프링(50)이 탈락하기 어려워지므로, 조립 공정에서의 프로브 핀(15)의 취급이 용이해진다. 그 결과, 프로브 핀(15)의 생산 효율을 높일 수 있다.

또한, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)가 동일 형상을 가지므로, 제조가 용이해지고, 또한 제조 비용을 저감할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 프로브 핀(15)은, 그 초기 상태(걸림 결합 상태)일 때, 코일 스프링(50)이 압축된 상태이어도 된다. 즉, 코일 스프링(50)의 복귀력에 의해, 코일 스프링(50)의 양단이 제1 플런저(30)의 제1 유지부(36)와 제2 플런저의 제2 유지부(46)를 Z1 및 Z2 방향으로 가압하고 있어도 된다. 이에 의해, 조립 공정에서의 프로브 핀(15)의 취급이 용이해진다.

이어서, 검사 장치(10)의 제조 방법에 대해서 도 1을 사용해서 설명한다.

먼저, 상술한 바와 같이 조립해서 만들어진 2개의 프로브 핀(15)을 베이스(21)의 2개의 수납 구멍(22)에 각각 내장한다.

즉, 베이스(21)의 각 수납 구멍(22)에 각 프로브 핀(15)의 제2 플런저(40)를 제2 단자부(42)로부터 삽입하여, 제1 단자 구멍(23)의 개구 에지부(24)에 형성되어 있는 환상 단차부에 제2 유지부(46)를 맞닿게 한다. 이때, 코일 스프링(50)도 함께 수납 구멍(22) 내부에 수납된다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스(21)의 저면의 두께 치수는, 제2 단자부(42)의 선단이 베이스(21)의 하면으로부터 돌출되도록 설계되어 있다.

이어서, 커버(25)를 베이스(21)의 Y1 방향의 면에 중첩시킨다. 이때, 커버(25)의 2개의 제2 단자 구멍(26)의 각각에 각 프로브 핀(15)의 제1 단자부(32)를 삽입하고, 제2 단자 구멍(26)의 개구 에지부(27)에 제1 유지부(36)를 맞닿게 한다. 이에 의해, 제1 단자 구멍(23)의 개구 에지부(24)에 형성되어 있는 환상 단차부와, 제2 단자 구멍(26)의 개구 에지부(27)에 형성되어 있는 환상 단차부에서, 프로브 핀(15)이 유지된다. 또한, 베이스(21)의 각 수납 구멍(22)은, 커버(25)의 각 제2 단자 구멍(26)과 연통하고 있다. 그리고, 도시하지 않은 공지된 고정 방법에 의해 베이스(21)와 커버(25)가 고정된다. 이에 의해, 하우징(20) 내에서 2개의 프로브 핀(15)이 각각 Y1, Y2 방향으로 이동 가능하게 지지된다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 커버(25)의 두께 치수는, 제1 단자부(32)의 선단이 커버(25)의 Y1 방향의 면으로부터 돌출되도록 설계되어 있다.

이어서, 검사 장치(10)의 사용 방법에 대해서, 도 1을 사용해서 설명한다.

먼저, 상술한 바와 같이 조립된 검사 장치(10)의 Z2 방향으로 도시하지 않은 회로 기판을 배치한다. 한편, Z1 방향으로 도시하지 않은 검사 대상물인 IC 칩을 배치한다. 이때, 회로 기판은, 그 도전부가, 제2 플런저(40)의 제2 단자부(42)의 선단 하방에 배치된다. 또한, IC 칩은, 그 피검사면이, 제1 플런저(30)의 제1 단자부(32)의 선단 상방에 배치된다.

이어서, 회로 기판이 Z1 방향으로, 및 IC 칩이 Z2 방향으로 각각 이동하여, 검사 장치(10)를 끼워 넣는다. 이때, 회로 기판의 도전부가 제2 단자부(42)의 선단에 접촉함과 함께, IC 칩의 피검사면이 제1 단자부(32)의 선단에 접촉한다. 또한, 회로 기판과 IC 칩을 이동시키면, 제1 단자부(32)의 선단과 제2 단자부(42)의 선단이 하우징(20) 내부에 압입되고, 이에 의해, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)가 서로 미끄럼 이동한다. 이때, 제1 걸림 결합부(34)와 제2 걸림 결합부(44)와의 걸림 결합은 해제되고, 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 플런저(30)의 제1 경사면(35) 상을 제2 플런저(40)의 제2 접촉면(47)이 Z1 방향으로 미끄럼 이동한다. 또한, 마찬가지로, 제2 플런저(40)의 제2 경사면(45) 상으로 제1 플런저(30)의 제1 접촉면(37)이 Z2 방향으로 미끄럼 이동한다.

그리고, 제1 경사면(35)은, 제1 플런저 본체(31)의 제1 걸림 결합부(34)를 향해서 넓어지도록(Z2 방향을 향함에 따라서 제1 플런저 본체(31)가 끝이 가늘어지게) 경사져 있다. 이 때문에, 제2 접촉면(47)이 Z1 방향으로 미끄럼 이동함에 따라(즉, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)가 서로 접근함에 따라), 제1 경사면(35)과 제2 접촉면(47)과의 사이의 접촉압이 높아진다. 마찬가지로, 제1 접촉면(37)이 Z2 방향으로 미끄럼 이동함에 따라, 제2 경사면(45)과 제1 접촉면(37)과의 사이의 접촉압이 높아진다.

이때, 제1 플런저 본체(31)의 제1 탄성부(33)와 제2 플런저 본체(41)의 제2 탄성부(43)는, 제1 및 제2 플런저(30, 40)의 미끄럼 이동에 의해 탄성 변형하고, 제1 탄성부(33) 및 제2 탄성부(43)의 탄성력에 의해 접촉압이 유지된다. 즉, 상기 검사 장치(10)에 의하면, 상기 프로브 핀(15)에 의해 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있다.

이에 의해, 2개의 프로브 핀(15)을 통해서 회로 기판의 도전부와 IC 칩의 피검사부가 전기적으로 접속되어, IC 칩에 전류가 흐른다. 그 결과, IC 칩의 내부 회로가 정상적으로 도통하는지 여부를 검사할 수 있어, IC 칩이 불량품인지 여부를 판별할 수 있다. 또한, 종래의 프로브 핀보다도 더욱 소형화, 박형화한 프로브 핀(15)을 생산할 수 있다. 이 때문에, 반도체 집적 회로의 보다 좁은 간격으로 배치된 검사 부위도 검사할 수 있다.

[제2 실시 형태]

도 4 및 5는, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제2 실시 형태를 나타내고 있다. 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제1 플런저(30) 및 제2 플런저(40)의 자유 단부(제1 플런저 본체(31)의 제1 단자부(32)의 반대측 선단부)에, 제1 걸림 결합부(34) 및 제2 걸림 결합부(44)를 각각 설치하지 않은 점이다. 또한, 다른 상위점은, 제2 플런저 본체(41)에, 제2 탄성부(43) 및 제2 경사면(45)을 설치하지 않은 점이다. 또한, 이하의 실시 형태에서, 상기 제1 실시 형태와 동일한 부분에는 동일한 참조 번호를 첨부하고, 상세한 설명을 생략한다.

즉, 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 플런저 본체(31)는, 그 자유 단부를 향해서 끝이 가늘어지도록 제1 경사면(35)이 연장되어 있다. 또한, 제2 플런저 본체(41)는, 중심축(a)을 따라 연장되는 단면 직사각 형상의 평판으로 구성되어 있다. 그리고, 제1 및 제2 플런저(30, 40)를 상대적으로 이동시킴으로써, 제1 플런저(30)의 제1 경사면(35)과 제2 플런저 본체(41)의 평탄면(47a)이 미끄럼 이동하여, 제1 탄성부(33)를 탄성 변형시킨다.

이에 의해, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)를 코일 스프링(50)의 내부에서 걸림 결합시킬 필요가 없으므로, 조립 작업이 용이하게 되어, 프로브 핀(15)의 생산 효율이 높아진다.

[제3 실시 형태]

도 6 및 7은, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제3 실시 형태를 나타내고 있다. 또한, 제3 실시 형태는, 설명의 편의상, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)의 위치 관계를 상하 반대로 도시하고 있다.

제3 실시 형태가 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제2 플런저(40)의 제2 플런저 본체(41)에 제2 탄성부를 설치하지 않은 점이다. 또한, 다른 상위점은, 제2 단자부(42)의 제2 유지부(46)가 설치되어 있는 측의 중앙으로부터가 아니라, 중심축(a)으로부터 X1 방향으로 편심된 위치로부터 직선 형상의 제2 플런저 본체(41)를 Z2 방향을 따라서 연장시킨 점이다. 또한, 제2 플런저(40)는 강체이다.

이에 의해, 제2 플런저(40)의 형상이 간단해져, 전주법 이외의 방법으로도 용이하게 제조할 수 있다.

[제4 실시 형태]

도 8 및 9는, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제4 실시 형태를 나타내고 있다. 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제1 플런저 본체(31)의 제1 경사면(35)에 설치한 제1 걸림 결합부(34)와, 제2 플런저 본체(41)의 제2 걸림 결합부(44)를 설치한 제2 경사면(45)이 대향하는 점이다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제1 경사면(35)과 제2 걸림 결합부(44)의 제2 선단면(47b)이 압접(접촉)하고, 제2 경사면(45)과 제1 걸림 결합부(34)의 제1 선단면(37b)이 압접(접촉)한다.

이에 의해, 제1 걸림 결합부(34)가 가압되는 방향과 제2 걸림 결합부(44)가 가압되는 방향이 대향한다. 그 결과, 제1 경사면(35)과 제2 선단면(47b)과의 사이, 및 제2 경사면(45)과 제1 선단면(37b)과의 사이에서, 제1 탄성부(33) 및 제2 탄성부(43)의 스프링력(탄성력)에 의해, 제1 플런저(30)와 제2 플런저(40)와의 접촉면에 더 높은 접촉압을 가할 수 있으므로, 접촉 안정성을 향상시킬 수 있다.

[제5 실시 형태]

도 10 및 11은, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제5 실시 형태를 나타내고 있다. 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제1 탄성부(33a) 및 제2 탄성부(43a)가 중심축(a) 방향을 따라서 사행하는 주름 상자 형상을 갖는 점이다.

제5 실시 형태의 프로브 핀(15)에서는, 제1 탄성부(33a) 및 제2 탄성부(43a)의 각각이 주름 상자 형상을 갖고 있으므로, 각 탄성부(33a, 43a)에 걸리는 응력이 분산되기 쉬워, 응력 집중이 발생하기 어려우므로, 수명이 긴 프로브 핀(15)이 얻어진다.

[제6 실시 형태]

도 12 및 13은, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제6 실시 형태를 나타내고 있다. 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제1 탄성부(33b) 및 제2 탄성부(43b)가 중심축(a)에 대하여 직교하는 방향을 따라서 사행하는 주름 상자 형상을 갖는 점이다.

이에 의해 제6 실시 형태의 프로브 핀(15)에서는, 제1 탄성부(33b) 및 제2 탄성부(43b)의 각각이 주름 상자 형상을 갖고 있으므로, 각 탄성부(33b, 43b)에 걸리는 응력이 분산되기 쉬워, 응력 집중이 발생하기 어려우므로, 수명이 긴 프로브 핀(15)이 얻어진다.

[제7 실시 형태]

도 14 및 15는, 본 발명에 따른 프로브 핀(15)의 제7 실시 형태를 나타내고 있다. 상기 제1 실시 형태와 서로 다른 점은, 제1 플런저 본체(31) 및 제2 플런저 본체(41)에, 중심축(a)을 따라 연장되는 제1 슬릿(33c) 및 제2 슬릿(43c)을 각각 마련한 점이다.

본 실시 형태에 따르면, 제1 슬릿(33c) 및 제2 슬릿(43c)의 길이를 조정함으로써, 제1 플런저 본체(31) 및 제2 플런저 본체(41)의 탄성력을 조정할 수 있다. 이 때문에, 검사 장치에 따라서 적절한 탄성력을 갖는 프로브 핀(15)을 제공할 수 있다. 또한, 슬릿은, 제1 플런저 본체(31) 및 제2 플런저 본체(41)의 양쪽에 설치하는 경우에 한하지 않고, 어느 한쪽에만 마련해도 된다.

이상과 같이 본 발명의 실시 형태에 따른 프로브 핀(15)을 제1 실시 형태부터 제7 실시 형태까지 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경해서 실시하는 것이 가능하다. 예를 들어, 다음과 같이 변형되어서 실시할 수 있으며, 이들 실시 형태도 본 발명의 기술적 범위에 속한다.

검사 장치(10)는, 그 하우징(20)에 하나 이상의 수용부를 설치하고, 하나 이상의 프로브 핀(15)을 내장하도록 해도 된다.

또한, 베이스(21)와 커버(25)는, 착탈 가능한 구조를 갖고 있어도 된다. 이에 의해, 프로브 핀(15)이 1개만 깨졌을 경우에 베이스(21)로부터 커버(25)를 떼어내고, 파손된 프로브 핀(15)을 교환할 수 있다.

제1 플런저 본체(31)는, 대략 직선 형상에 제한하지 않는다. 예를 들어, 제1 플런저 본체(31)는, 그 기부로부터 자유 단부까지 만곡된 형상을 갖고 있어도 된다. 또한, 제1 플런저 본체(31)는, 제1 플런저 본체(31)의 적어도 일부에 탄성부를 설치하여, 제2 플런저(40)에 가압하는 구조로 해도 된다. 그리고, 상기 제1 및 제2 플런저 본체(31, 41)는, 단면 직사각 형상이어도 되고, 예를 들어 단면 직사각형에 한하지 않고, 단면 정사각형이어도 된다.

또한, 제1 및 제2 단자부(32, 42)는, 선단이 뾰족한 형상에 제한하지 않는다. 예를 들어, 파형 형상, 반원 형상이어도 되고, 피검사물의 피검사부의 형상에 맞춰서 다양한 형상을 선택할 수 있다.

또한, 제1 플런저 본체(31)와 제2 플런저 본체(41)는, 중심축(a) 방향의 길이 치수가 상이해도 된다. 한쪽의 플런저의 길이 치수를 크게 함으로써, 탄성부를 크게 할 수 있다. 이 때문에, 탄성부에 걸리는 응력을 분산할 수 있어, 수명이 긴 프로브 핀이 얻어진다.

또한, 피검사물은, IC 칩 이외에, 예를 들어 CPU 칩 등의 전자 부품이어도 된다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명에서의 다양한 실시 형태를 상세하게 설명했지만, 마지막으로 본 발명의 다양한 형태에 대해서 설명한다.

본 발명의 제1 양태의 프로브 핀은,

중심축을 따라 신축하는 탄성 통상체와,

상기 탄성 통상체의 일단부측으로부터 상기 중심축을 따라 삽입되는 도전성의 제1 플런저와,

상기 탄성 통상체의 타단부측으로부터 상기 중심축을 따라 삽입되는 도전성의 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 중심축을 따라 서로 미끄럼 접촉 가능하게 유지되는 프로브 핀이며,

상기 제1 플런저는,

상기 중심축을 따라 연장되어, 상기 탄성 통상체의 내부에 위치하는 제1 플런저 본체와,

상기 제1 플런저 본체의 자유 단부를 향해서 끝이 가늘어지게 경사지는 경사면을 구비하고,

상기 제2 플런저가 상기 경사면을 미끄럼 접촉함으로써 탄성 변형하는 탄성부를 구비한다.

바꾸어 말하면, 제1 양태의 프로브 핀은,

중심축을 따라 신축하는 탄성 통상체와,

상기 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제1 플런저와,

상기 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제2 플런저를 구비하고,

상기 제1 플런저가,

상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제1 플런저 본체와,

갖고,

상기 제2 플런저가,

상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제2 플런저 본체와,

갖고,

상기 제1 플런저 본체에,

상기 탄성 통상체의 외부로부터 내부를 향해서 끝이 가늘어져 있음과 함께, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 제2 플런저 본체에 접촉 가능하게 배치되어, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 상기 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과,

설치되어 있다.

제1 양태의 프로브 핀에 의하면, 제2 플런저가 제1 플런저의 경사면을 미끄럼 접촉함에 따라서, 탄성부가 탄성 변형하고, 그 복귀력에 의해 제1 플런저와 제2 플런저와의 접촉압이 높아지므로, 접촉 안정성이 향상된다. 즉, 제1 플런저 및 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과, 제1 유지부와 경사면과의 사이에 배치되어 탄성을 갖는 탄성부에 의해, 제1 플런저의 제2 플런저에 대한 접촉압이 높아진다. 이에 의해, 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있는 프로브 핀을 실현할 수 있다.

또한, 제1 플런저 및 제2 플런저가 간단한 구성을 갖기 때문에, 폭, 길이 등, 플런저의 설계 자유도가 증가하여, 소형화, 박형화에 대응한 프로브 핀을 용이하게 실현할 수 있다.

본 발명의 제2 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체는,

단면 직사각 형상이며,

상기 제1 플런저 본체의 단면의 짧은 쪽 방향의 면에 상기 경사면을 갖고,

상기 경사면의 자유 단부로부터 돌출되는 제1 걸림 결합부를 구비하고,

상기 제2 플런저는,

상기 제1 걸림 결합부에 걸림 결합하는 제2 걸림 결합부를 구비하고,

상기 제2 플런저가, 제1 플런저 본체의 단면의 긴 쪽 방향의 면과 상기 경사면과의 양쪽에 접촉하도록, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부가 걸림 결합한다.

바꿔 말하면, 본 발명의 제2 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 판상을 갖고,

상기 제1 플런저 본체의 상기 제1 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제1 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되는 제1 걸림 결합부가 설치되고,

상기 제2 플런저 본체의 상기 제2 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제2 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되고, 또한 상기 제1 걸림 결합부에 걸림 결합 가능한 제2 걸림 결합부가 설치되고,

상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 걸림 결합부의 돌출 방향과 상기 제2 걸림 결합부의 돌출 방향이 교차한 상태에서 걸림 결합한다.

제2 양태의 프로브 핀에 의하면, 프로브 핀의 형상이 복잡하지 않기 때문에, 전주법 이외의 방법으로도 용이하게 제조할 수 있다.

또한, 제2 플런저가, 제1 플런저 본체의 단면의 긴 쪽 방향의 면과 상기 경사면과의 양쪽에 접촉하도록, 제1 걸림 결합부와 제2 걸림 결합부가 걸림 결합한다. 즉, 제1 걸림 결합부와 제2 걸림 결합부가 걸림 결합했을 때, 제1 플런저 본체와 제2 플런저 본체가, 서로 인접하는 2개의 면을 통해서 접촉한다. 이 때문에, 제1 플런저 및 제2 플런저가 서로 탈락하기 어려워짐과 함께, 접촉 면적이 넓어지므로, 접촉 신뢰성이 향상된다.

본 발명의 제3 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체는,

단면 직사각 형상이며,

상기 제2 플런저는,

상기 제2 플런저가, 상기 제1 플런저 본체의 단면의 짧은 쪽 방향의 면에만 접촉하도록, 상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부가 걸림 결합한다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제3 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 판상을 갖고,

상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 걸림 결합부의 돌출 방향과 상기 제2 걸림 결합부의 돌출 방향이 평행한 상태에서 걸림 결합한다.

제3 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 걸림 결합부가 가압되는 방향과 제2 걸림 결합부가 가압되는 방향을 대향시킬 수 있다. 이에 의해, 제1 플런저와 제2 플런저의 접촉면에, 더 높은 접촉압을 가할 수 있으므로, 그 결과, 접촉 안정성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 제4 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저는,

상기 제1 플런저 본체로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 외부에 연장되는 제1 단자부를 구비하고,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부는,

상기 제1 플런저 본체의 기부에, 상기 중심축과 직교하는 방향으로 밀어내듯이 만곡되는 가는 목부를 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제4 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축과 직교하는 방향으로 돌출되는 만곡 형상을 갖고 있다.

제4 양태의 프로브 핀에 의하면, 탄성부를 탄성력이 작은 재질로 구성할 수 있다. 따라서, 재료 선택의 자유도가 증가한다.

본 발명의 제5 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저는,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부는,

상기 제1 플런저 본체의 기부로부터 상기 중심축의 축심 방향을 따라 사행하는 주름 상자 형상을 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제5 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축을 따라 사행하는 주름 상자 형상을 갖는다.

제5 양태의 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 주름 상자 형상을 가지므로, 탄성부를 작은 가압력으로 탄성 변형시킬 수 있다. 또한, 탄성부에 걸리는 응력을 분산시킬 수 있으므로, 수명이 긴 프로브 핀을 실현할 수 있다.

본 발명의 제6 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저는,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부는,

상기 제1 플런저 본체의 기부로부터 상기 중심축에 대하여 직교하는 방향을 따라서 사행하는 주름 상자 형상을 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제6 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축에 대하여 직교하는 방향을 따라서 사행하는 주름 상자 형상을 갖는다.

제6 양태의 프로브 핀에 의하면, 탄성부가 주름 상자 형상을 가지므로, 탄성부를 작은 가압력으로 탄성 변형시킬 수 있다. 또한, 탄성부에 걸리는 응력을 분산시킬 수 있으므로, 수명이 긴 프로브 핀을 실현할 수 있다.

본 발명의 제7 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저는,

상기 제1 플런저 본체는,

그 기부로부터 상기 중심축의 축심 방향을 따라 연장되는 슬릿을 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제7 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체가, 상기 중심축을 따라 연장되는 슬릿을 갖는다.

제7 양태의 프로브 핀에 의하면, 슬릿에 의해, 제1 플런저 본체의 탄성력을 조정할 수 있다. 이 때문에, 사용되는 검사 장치마다 적절한 탄성력의 프로브 핀을 실현할 수 있다.

본 발명의 제8 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저는,

상기 제1 단자부는,

단면 직사각 형상이며,

상기 제1 단자부의 기부의 단면의 짧은 쪽 방향의 면으로부터 돌출되어, 상기 탄성 통상체의 단부를 유지하는 유지부를 설치하였다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제8 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저가,

상기 제1 플런저 본체와 상기 제1 단자부와의 경계 부분에 설치되고, 상기 중심축에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 상기 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉해서 상기 탄성 통상체를 빠지지 않게 유지하는 제1 유지부를 더 갖는다.

제8 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 유지부에 의해, 탄성 통상체가 탈락하기 어려워지므로, 조립 공정에서의 취급이 용이해진다. 그 결과, 생산 효율을 높일 수 있다.

본 발명의 제9 양태의 프로브 핀은,

상기 제2 플런저는,

상기 중심축을 따라 연장되고, 또한 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 제1 플런저에 미끄럼 접촉하는 단면 직사각 형상의 제2 플런저 본체와,

상기 제2 플런저 본체로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 외부에 연장되는 제2 단자부를 구비한다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제9 양태의 프로브 핀은,

상기 제2 플런저가,

상기 제2 플런저 본체와 상기 제2 단자부와의 경계 부분에 설치되고, 상기 중심축에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 상기 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉해서 상기 탄성 통상체를 빠지지 않게 유지하는 제2 유지부를 더 갖는다.

제9 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 유지부 및 제2 유지부에 의해, 탄성 통상체가 탈락하기 어려워지므로, 조립 공정에서의 취급이 보다 용이해진다. 그 결과, 생산 효율을 더욱 높일 수 있다.

본 발명의 제10 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체와 상기 제2 플런저 본체와의 상기 중심축의 축심 방향의 길이 치수가 상이하다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제10 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저 본체의 상기 중심축을 따른 길이와 상기 제2 플런저 본체의 상기 중심축을 따른 길이가 상이하다.

제10 양태의 프로브 핀에 의하면, 예를 들어 제1 플런저의 길이를 제2 플런저보다도 크게 함으로써, 탄성부를 크게 하여, 탄성부에 걸리는 응력을 분산시킬 수 있다. 그 결과, 수명이 긴 프로브 핀이 얻어진다.

본 발명의 제11 양태의 프로브 핀은,

상기 제2 플런저가, 상기 청구항 1 내지 10 중 어느 한 항에 기재된 제1 플런저와 동일 형상을 갖는다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제11 양태의 프로브 핀은,

상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가, 동일 형상을 갖는다.

제11 양태의 프로브 핀에 의하면, 제1 플런저와 제2 플런저가 동일 형상을 가지므로, 제조가 용이해지고, 또한 제조 비용을 저감할 수 있다. 또한, 제2 플런저의 형상을 다양하게 변경할 수 있으므로, 임의의 탄성력에 따라 제2 플런저의 형상을 유연하게 변경할 수 있다.

본 발명의 제12 형태의 검사 장치는, 하우징 내에 청구항 1 내지 11 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀의 일부가 수납되어 있다.

바꾸어 말하면, 본 발명의 제12 형태의 검사 장치는,

상기 프로브 핀과,

상기 프로브 핀을 내부에 수납하는 하우징을

구비한다.

제12 양태의 검사 장치에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 높은 접촉 안정성을 발휘할 수 있다. 또한, 종래의 프로브 핀보다도 더욱 소형화, 박형화한 프로브 핀을 생산할 수 있으므로, 반도체 집적 회로의 보다 좁은 간격으로 배치된 검사 부위도 검사할 수 있다.

또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하도록 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예와의 조합이 가능함과 함께, 서로 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.

본 발명은 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련해서 충분히 기재되어 있지만, 이 기술이 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정이 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.

[산업상 이용 가능성]

본 발명의 프로브 핀은, 상기 실시 형태의 검사 장치에 한하지 않고, 다른 검사 장치 또는 전자 기기에 적용해도 된다.

또한, 본 발명의 검사 장치는, 예를 들어 IC 칩 등의 반도체 집적 회로의 전기 특성 검사에 사용할 수 있다.

10 : 검사 장치 15 : 프로브 핀
20 : 하우징 21 : 베이스
22 : 수납 구멍 23 : 제1 단자 구멍
24 : 제1 단자 구멍(23)의 개구 에지부
25 : 커버 26 : 제2 단자 구멍
27 : 제2 단자 구멍(26)의 개구 에지부
30 : 제1 플런저 31 : 제1 플런저 본체
32 : 제1 단자부
33, 33a, 33b : 제1 탄성부(탄성부)
33c : 제1 슬릿 34 : 제1 걸림 결합부
35 : 제1 경사면(경사면) 36 : 제1 유지부
37 : 제1 접촉면 37a : 제1 경사면
37b : 제1 선단면 40 : 제2 플런저
41 : 제2 플런저 본체 42 : 제2 단자부
43, 43a, 43b : 제2 탄성부 43c : 제2 슬릿
44 : 제2 걸림 결합부 45 : 제2 경사면
46 : 제2 유지부 47 : 제2 접촉면
47a : 평탄면 47b : 제2 선단면
50 : 코일 스프링(탄성 통상체) a : 중심축

Claims

중심축을 따라 신축하는 탄성 통상체와,
상기 탄성 통상체의 일단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제1 플런저와,
상기 탄성 통상체의 타단부로부터 상기 중심축을 따라 상기 탄성 통상체의 내부에 연장된 도전성의 제2 플런저를 구비하고,
상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 중심축을 따라 상대적으로 이동 가능하게 연결된 프로브 핀이며,
상기 제1 플런저가,
상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제1 플런저 본체와,
상기 제1 플런저 본체에 접속되어 상기 탄성 통상체의 외부에 배치된 제1 단자부를
갖고,
상기 제2 플런저가,
상기 탄성 통상체의 내부에 배치된 제2 플런저 본체와,
상기 제2 플런저 본체에 접속되어 상기 탄성 통상체의 외부에 배치된 제2 단자부를
갖고,
상기 제1 플런저 본체에,
상기 탄성 통상체의 외부로부터 내부를 향해서 끝이 가늘어져 있음과 함께, 상기 탄성 통상체의 내부에서 상기 제2 플런저 본체에 접촉 가능하게 배치되어, 상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저의 상대적인 이동에 의해 상기 중심축에 교차하는 방향으로 가압되는 경사면과,
상기 제1 단자부와 상기 경사면과의 사이에 배치되어, 탄성 변형 가능한 탄성부가
설치되어 있는, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 판상을 갖고,
상기 제1 플런저 본체의 상기 제1 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제1 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되는 제1 걸림 결합부가 설치되고,
상기 제2 플런저 본체의 상기 제2 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제2 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되고, 또한 상기 제1 걸림 결합부에 걸림 결합 가능한 제2 걸림 결합부가 설치되고,
상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 걸림 결합부의 돌출 방향과 상기 제2 걸림 결합부의 돌출 방향이 교차한 상태에서 걸림 결합하는, 프로브 핀.
제1항에 있어서,
상기 제1 플런저 및 상기 제2 플런저가 판상을 갖고,
상기 제1 플런저 본체의 상기 제1 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제1 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되는 제1 걸림 결합부가 설치되고,
상기 제2 플런저 본체의 상기 제2 단자부로부터 이격된 선단부에, 상기 제2 플런저 본체의 일면으로부터 돌출되고, 또한 상기 제1 걸림 결합부에 걸림 결합 가능한 제2 걸림 결합부가 설치되고,
상기 제1 걸림 결합부와 상기 제2 걸림 결합부는, 상기 제1 걸림 결합부의 돌출 방향과 상기 제2 걸림 결합부의 돌출 방향이 평행한 상태에서 걸림 결합하는, 프로브 핀.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축과 직교하는 방향으로 돌출되는 만곡 형상을 갖고 있는, 프로브 핀.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축을 따라 사행하는 주름 상자 형상을 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 본체의 상기 탄성부가, 상기 중심축에 대하여 직교하는 방향을 따라서 사행하는 주름 상자 형상을 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 본체가, 상기 중심축을 따라 연장되는 슬릿을 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저가,
상기 제1 플런저 본체와 상기 제1 단자부와의 경계 부분에 설치되고, 상기 중심축에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 상기 탄성 통상체의 상기 일단부에 접촉해서 상기 탄성 통상체를 빠지지 않게 유지하는 제1 유지부를 더 갖는, 프로브 핀.
제8항에 있어서,
상기 제2 플런저가,
상기 제2 플런저 본체와 상기 제2 단자부와의 경계 부분에 설치되고, 상기 중심축에 교차하는 방향으로 연장됨과 함께, 상기 탄성 통상체의 상기 타단부에 접촉해서 상기 탄성 통상체를 빠지지 않게 유지하는 제2 유지부를 더 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저 본체의 상기 중심축을 따른 길이와 상기 제2 플런저 본체의 상기 중심축을 따른 길이가 상이한, 프로브 핀.
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저가, 동일 형상을 갖는, 프로브 핀.
제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 내부에 수납하는 하우징을
구비하는, 검사 장치.