KR20210010110A

KR20210010110A - 프로브 핀

Info

Publication number: KR20210010110A
Application number: KR1020190087572A
Authority: KR
Inventors: 이대희
Original assignee: 이대희
Priority date: 2019-07-19
Filing date: 2019-07-19
Publication date: 2021-01-27

Abstract

본 발명은 폭방향으로 돌출된 스토퍼가 구비된 제1플런저와, 폭방향으로 돌출된 스토퍼가 구비되고 상기 제1플런저와 면접(面接)된 상태에서 제1플런저의 길이방향으로 슬라이딩하는 제2플런저와, 상기 제1플런저의 스토퍼와 제2플런저의 스토퍼 사이에 설치되어 제1플런저와 제2플런저에 탄성력을 제공하는 스프링으로 구성된 프로브 핀에 관한 것으로서, 특히 서로 면접되는 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면은 서로 형합되는 굴곡을 갖도록 형성되어 제1플런저와 제2플런저가 폭방향으로 슬라이딩되는 것이 방지됨으로써, 프로브 중심이 틀어지지 않고 일정하게 유지될 수 있는 효과가 있다.

Description

프로브 핀{A Probe Pin}

본 발명은 프로브 핀에 관한 것으로서, 특히 반도체 칩이나 웨이퍼와 같은 전자부품의 양품여부를 판별하기 위해 전자부품과 테스터를 서로 전기적으로 연결해주는 프로브 핀에 관한 것이다.

반도체 칩 또는 웨이퍼와 같은 반도체 디바이스는 불량여부를 판별하기 위한 소정의 테스트 과정을 거치게 된다.

반도체 디바이스 테스트를 위해 반도체 디바이스와 반도체 디바이스에 테스트 신호를 인가하기 위한 테스터를 서로 전기적으로 연결해주기 위하여 프로브 핀이 사용된다.

프로브 핀의 대표적인 구성은 도 1에 도시된 바와 같이, 제1플런저(1)와, 상기 제1플런저(1)와 면접되어 슬라이딩하는 제2플런저(2)와, 상기 제1플런저(1)와 제2플런저(2)에 탄성력을 제공하는 스프링(3)으로 이루어진다.

이렇게 구성되는 종래의 프로브 핀에서 스프링에 휨이 발생되면 프로브 핀의 중심이 틀어져서 정상적인 테스트 과정에 문제가 발생될 수 있을 뿐만 아니라, 제1플런저와 제2플런저가 길이방향이 아닌 폭방향으로 슬라이딩하여 제1플런저와 제2플런저가 틀어지는 문제점이 있다.

한국등록특허 10-1959696

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 제1플런저와 제2플런저의 슬라이딩이 한 방향으로만 진행되도록 유도하여 중심이 틀어지지 않고 일정하게 유지될 수 있는 프로브 핀을 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 의한 프로브 핀은 폭방향으로 돌출된 스토퍼가 구비된 제1플런저와, 폭방향으로 돌출된 스토퍼가 구비되고 상기 제1플런저와 면접(面接)된 상태에서 제1플런저의 길이방향으로 슬라이딩하는 제2플런저와, 상기 제1플런저의 스토퍼와 제2플런저의 스토퍼 사이에 설치되어 제1플런저와 제2플런저에 탄성력을 제공하는 스프링으로 구성된 것으로서; 서로 면접되는 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면은 서로 형합되는 굴곡을 갖도록 형성되어 제1플런저와 제2플런저가 폭방향으로 슬라이딩되는 것이 방지된다.

여기서, 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면은 어느 하나를 폭방향으로 180도 회전시켰을 때 서로 동일한 표면굴곡을 갖도록 형성된다.

한편, 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면이 면접했을 때의 접촉라인은 태극 문양의 곡선 굴곡 형태로 형성된다.

그리고, 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저와 제2플런저의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점점 낮아지다가 높아진 후 다시 낮아지는 형태로 굴곡이 형성될 수 있다.

또한, 상기 제1플런저의 접촉면과 상기 제2플런저의 접촉면이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저와 제2플런저의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점차로 높아지는 계단 형태로 굴곡이 형성될 수 있다.

또한, 상기 제1플런저와 제2플런저의 면접(面接)부위는 다른 부위보다 그 두께가 얇게 형성되고, 상기 제1플런저의 접촉면의 반대면과 상기 제2플런저의 접촉면의 반대면에는 각각 보강기둥이 일체로 형성된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 프로브 핀은 제1플런저와 제2플런저의 길이방향으로만 슬라이딩되고 폭방향으로는 슬라이딩되지 않기 때문에 프로브 중심이 틀어지지 않고 일정하게 유지될 수 있는 이점이 있다.

또한, 제1플런저와 제2플런저의 접촉면에 형성된 굴곡라인에 의해 폭방향의 슬라이딩은 억제되고 길이방향으로의 슬라이딩이 유도되는 이점이 있다.

또한, 두께가 얇은 제1슬라이딩판과 제2슬라이딩판이 보강기둥이 일체로 형성되기 때문에, 두께를 보강하여 제품의 내구성 및 강성을 향상시킬 수 있고, 스프링과 제1플런저 및 스프링과 제2플런저 사이의 갭(Gap)을 줄여 제1플런저와 제2플런저가 제 위치에서 벗어나지 않도록 도움을 주는 이점이 있다.

도 1은 종래기술에 의한 프로브 핀을 보인 도.
도 2 내지 도 6은 본 발명에 의한 프로브 핀의 다양한 실시예를 보인 도.
도 7은 본 발명에 의한 프로브 핀에 보강기둥이 구비된 모습을 보인 도.

이하, 본 발명에 의한 프로브 핀의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2 내지 도 6은 본 발명에 의한 프로브 핀의 다양한 실시예를 보인 도이고, 도 7은 본 발명에 의한 프로브 핀에 보강기둥이 구비된 모습을 보인 도이다.

본 발명에 의한 프로브 핀은 폭방향으로 돌출된 스토퍼(11a)가 구비된 제1플런저(10)와, 폭방향으로 돌출된 스토퍼(21a)가 구비되고 상기 제1플런저(10)와 면접(面接)된 상태에서 제1플런저(10)의 길이방향으로 직선 슬라이딩하는 제2플런저(20)와, 상기 제1플런저(10)의 스토퍼(11a)와 제2플런저(20)의 스토퍼(21a) 사이에 설치되어 제1플런저(10)와 제2플런저(20)에 탄성력을 제공하는 스프링(30)으로 구성된다.

상기 제1플런저(10)는 제1접촉부(11)와, 상기 제1접촉부(11)의 끝단에서 일체로 연장 형성되는 제1슬라이딩판(12)으로 구성된다.

상기 제1접촉부(11)는 끝단이 뾰족하게 형성되어 외부 전기단자와 접촉되고, 뾰족한 부분의 반대쪽에 폭방향으로 돌출 형성된 스토퍼(11a)가 구비된다.

상기 제1슬라이딩판(12)은 제1플런저(10)가 제2플런저(20)와 면접되는 부위로서 그 두께는 다른 부위, 즉 제1접촉부(11)보다 절반정도로 얇게 형성되고, 상면이 굴곡을 갖도록 형성된다. 이렇게 굴곡이 형성되는 제1슬라이딩판(12)의 상면은 제2플런저(20)와의 접촉면(12a)으로서 역할을 수행한다.

그리고, 제1슬라이딩판(12)은 두께가 얇게 형성되기 때문에 강성이 낮을 수 있어서 도 7에 도시된 것처럼 접촉면(12a)의 반대면에 보강기둥(12b)을 일체로 형성시킨다.

상기 보강기둥(12b)은 제1슬라이딩판(12)의 저면에 돌출 형성되는 것으로서, 그 폭은 제1슬라이딩판(12)보다 약간 작게 형성되고 반원기둥에 유사한 형태로 형성된다.

상기 제2플런저(20)는 제2접촉부(21)와, 상기 제2접촉부(21)의 끝단에서 일체로 연장 형성되는 제2슬라이딩판(22)으로 구성된다.

상기 제2접촉부(21)는 끝단이 뾰족하게 형성되어 외부 전기단자와 접촉되고, 뾰족한 부분의 반대쪽에 폭방향으로 돌출 형성된 스토퍼(21a)가 구비된다.

상기 제2슬라이딩판(22)은 제2플런저(20)가 제1플런저(10)와 면접되는 부위로서 그 두께는 다른 부위, 즉 제2접촉부(21)보다 절반정도로 얇게 형성되고, 저면이 굴곡을 갖도록 형성된다. 이렇게 굴곡이 형성되는 제2슬라이딩판(22)의 저면은 제1플런저(10)와의 접촉면(22a)으로서 역할을 수행한다.

그리고, 제2슬라이딩판(22)은 두께가 얇게 형성되기 때문에 강성이 낮을 수 있어서 도 7에 도시된 것처럼 접촉면(22a)의 반대면에 보강기둥(22b)을 일체로 형성시킨다.

상기 보강기둥(22b)은 제2슬라이딩판(12)의 상면에 돌출 형성되는 것으로서, 그 폭은 제2슬라이딩판(22)보다 약간 작게 형성되고 반원기둥에 유사한 형태로 형성된다.

상기 스프링(30)은 제1플런저(10)의 제1슬라이딩판(12)과 상기 제2플런저(20)의 제2슬라이딩판(22)을 내부에 수용하고, 제1플런저(10)의 스토퍼(11a)와 제2플런저(20)의 스토퍼(21a) 사이에 설치되어 제1플런저(10)와 제2플런저(20)에 탄성력을 제공한다.

한편, 앞서 기재한 것처럼 제1플런저(10)의 제1슬라이딩판(12)과 제2플런저(20)의 제2슬라이딩판(22)은 서로 면접(面接)된 상태에서 일직선으로 슬라이딩되는데, 이때 슬라이딩되는 방향은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 길이방향이다.

즉, 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 제2플런저(20)의 접촉면(22a)은 면접되었을 때 서로 형합되는 굴곡을 갖도록 형성되어 제1플런저(10)와 제2플런저(20)가 폭방향으로 슬라이딩되는 것이 방지되고, 오로지 길이방향으로만 직선으로 슬라이딩되도록 한다.

좀 더 자세히 설명하면, 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 제2플런저(20)의 접촉면(22a)은 어느 하나를 폭방향으로 180도 회전시켰을 때 서로 동일한 표면굴곡을 갖도록 형성된다.

그 한 예로서 도 2를 살펴보면, 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 태극 문양의 곡선 굴곡 형태로 형성된다. 이러한 접촉라인은 제1플런저(10)의 제1슬라이딩판(12)의 상면과 제2플런저(20)의 제2슬라이딩판(22) 저면에 서로 대응되는 굴곡이 형성되어 밀착되기 때문에 형성된다.

그리고 도3을 살펴보면, 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점점 직선적으로 낮아지다가 어느 지점부터 점점 직선적으로 높아진 후 다시 어느 지점부터 점점 직선적으로 낮아지는 형태로 굴곡이 형성된다.

또한 도4와 도 5를 살펴보면, 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점차로 높아지는 계단 형태로 굴곡이 형성된다. 다만, 도 4에 도시된 접촉라인은 2개의 계단 형태의 라인이고, 도 5에 도시된 접촉라인은 3개의 계단 형태의 라인이다.

더불어 도 6을 살펴보면, 제1플런저(10)의 제1슬라이딩판(12) 단면을 한글의 'ㄱ'자와 유사한 형태로 형성시키고, 제2플런저(20)의 제2슬라이딩판(22) 단면을 한글의 'ㄴ'자와 유사한 형태로 형성시킨 후 제1슬라이딩판(12)과 제2슬라이딩판(22)을 포갠 것을 알 수 있다.

위와 같은 도면을 통해서 유추할 수 있듯이, 본 발명은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 폭방향으로 어떤 힘이 작용하더라도 제1슬라이딩판(12)과 제2슬라이딩판(22)에 형성된 굴곡에 의하여 제1플런저(10)와 제2플런저(20)가 쉽게 폭방향으로 움직이지 않게 된다.

10: 제1플런저 11: 제1접촉부
11a: 스토퍼 12: 제1슬라이딩판
12a: 접촉면 20: 제2플런저
21: 제1접촉부 21a: 스토퍼
22: 제2슬라이딩판 22a: 접촉면
30: 스프링

Claims

폭방향으로 돌출된 스토퍼(11a)가 구비된 제1플런저(10)와, 폭방향으로 돌출된 스토퍼(21a)가 구비되고 상기 제1플런저(10)와 면접(面接)된 상태에서 제1플런저(10)의 길이방향으로 슬라이딩하는 제2플런저(20)와, 상기 제1플런저(10)의 스토퍼(11a)와 제2플런저(20)의 스토퍼(21a) 사이에 설치되어 제1플런저(10)와 제2플런저(20)에 탄성력을 제공하는 스프링(30)으로 구성된 프로브 핀에 있어서,
서로 면접되는 상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)은 서로 형합되는 굴곡을 갖도록 형성되어 제1플런저(10)와 제2플런저(20)가 폭방향으로 슬라이딩되는 것이 방지되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1에 있어서,
상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)은 어느 하나를 폭방향으로 180도 회전시켰을 때 서로 동일한 표면굴곡을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 2에 있어서,
상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 태극 문양의 곡선 굴곡 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 2에 있어서,
상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점점 낮아지다가 높아진 후 다시 낮아지는 형태로 굴곡이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 2에 있어서,
상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)이 면접했을 때의 접촉라인은 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 일측 끝단에서 타측 끝단을 향해 점차로 높아지는 계단 형태로 굴곡이 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 제1플런저(10)와 제2플런저(20)의 면접(面接)부위는 다른 부위보다 그 두께가 얇게 형성되고,
상기 제1플런저(10)의 접촉면(12a)의 반대면과 상기 제2플런저(20)의 접촉면(22a)의 반대면에는 각각 보강기둥(12b,22b)이 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 핀.