KR102560331B1 - 탄성력 조절이 가능한 포고 핀 - Google Patents

탄성력 조절이 가능한 포고 핀 Download PDF

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Abstract

접촉하는 방향에 따라 탄성력 조절이 가능한 포고 핀이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 하우징; 측정 대상물에 직접 접촉하도록 상기 하우징의 단부에 장착된 플런저 핀; 및 상기 플런저 핀이 측정 대상물에 접촉하도록 탄성력을 제공하도록 상기 하우징 내부에 설치된 스프링;을 포함하고, 상기 하우징의 일측에는 상기 스프링의 제1 위치가 눌려 고정될 수 있도록 내측으로 돌출된 국부 고정부가 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀이 제공된다.

Description

탄성력 조절이 가능한 포고 핀 {Pogo pin with adjustable spring force}
본 발명은 포고 핀에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접촉하는 방향에 따라 탄성력 조절이 가능한 포고 핀에 관한 것이다.
일반적으로, 포고 핀은 내부에 스프링이 장착되고 스프링의 탄성력에 의해 양쪽 또는 한쪽에 설치된 플런저 핀이 대상물에 접촉하도록 하는 부품이다.
일반적으로, 스프링 프로브 핀, 일명 포고 핀(Pogo Pin)은 반도체 웨이퍼, LCD 모듈, 카메라 모듈, 이미지센서 및 반도체 패키지 등의 검사 장비를 비롯하여, 각종 소켓, 핸드폰의 배터리 연결부 등에 널리 사용되는 부품이다.
종래 포고 핀은 등록특허 10-1330999호에 개시되어 있다. 종래 포고 핀은, 상부접속 부, 하부접속부, 상부접속부와 하부접속부에 탄성력을 가하는 스프링, 상부접속부와 하부접속부의 일부 및 스프링을 수용하는 원통형 몸체로 이루어진다. 이러한 종래의 포고 핀의 상부접속부과 하부접속부는 일부가 원통형 몸체에 걸려 원통형 몸체로부터 외부로 이탈이 방지되며, 상부접속부과 하부접속부의 사이에 설치되는 스프링에 의해 탄성력을 받도록 구성되어 있다. 종래의 포고 핀은 피검사체가 손상을 입지 않도록 스프링이 완충 역할을 하며, 스프링이 원통형 몸체, 하우징과 같은 배럴 내부로 들어가야 하므로 소형화가 필요한 검사 기구이다.
종래 기술에 따른 포고 핀은 내부에 스프링 하나에 상하부에 플런저 핀이 탄성력을 제공받는 형태이기 때문에 스프링의 탄성력은 고르게 상하부 플런저 핀에 전달되므로 상하부의 접촉 대상물의 사정에 상관없이 동일한 탄성력이 가해지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 상하부의 접속부와 주변 환경에 따라 상하부 접속부에 서로 다른 탄성력을 제공할 수 있는 탄성력 조절이 가능한 포고 핀을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 하우징; 측정 대상물에 직접 접촉하도록 상기 하우징의 단부에 장착된 플런저 핀; 및 상기 플런저 핀이 측정 대상물에 접촉하도록 탄성력을 제공하도록 상기 하우징 내부에 설치된 스프링;을 포함하고, 상기 하우징의 일측에는 상기 스프링의 제1 위치가 눌려 고정될 수 있도록 내측으로 돌출된 국부 고정부가 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀이 제공된다.
이때, 상기 플런저 핀은 상기 하우징의 상하부에 각각 설치될 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부는 상기 하우징의 제1 위치에 적어도 하나 이상의 점 형태로 이루어질 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부가 복수개 형성된 경우에는 제1 위치는 하우징의 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 동일한 높이에 형성될 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향 또는 평행한 방향으로 선 형태로 적어도 하나 이상이 형성될 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 하우징 전체 둘레에 걸쳐 형성될 수 있다.
이때, 상기 스프링은 탄성력을 제공하지 못하는 무효 권수가 하나 이상이 형성되고, 상기 무효 권수 중에 선택되는 하나 이상에 국부 고정부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부가 형성됨으로서 상하부에 밀착되는 상기 측정 대상물에 대한 상기 플런저 핀의 탄성력을 세팅하여 조절할 수 있다.
이때, 상기 포고 핀의 하우징에는 단턱부가 형성되고, 상기 단턱부는 포고 핀을 고정하기 위한 핀 고정부재에 고정될 수 있다.
이때, 상기 포고 핀의 하우징을 고정하는 핀 고정부재를 더 포함하고, 상기 핀 고정부재는 상기 하우징의 상하 단부가 걸리는 단턱부가 형성될 수 있다.
이때, 상기 포고 핀의 상하부에 플런저 핀이 각각 설치되고, 상기 상하부 핀 중에 하나의 핀은 항상 측정 대상물에 눌려 있는 상태로 설치될 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명의 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀은 케이싱에 국부 고정부를 형성하여 스프링을 그 부분을 기준으로 고정되도록 함으로써 상하부에 제공되는 탄성력을 원하는 대로 조절할 수 있다.
또한, 실제 현장에서는 포고 핀의 한쪽에 힘이 들어가지 않은, 스트로크(Stroke)가 부족한 상태에서 반대편만 스트로크가 들어갈 경우 힘이 작아지는 문제가 있는데, 본 발명은 반대편의 스트로크와 별개로 원하는 스트로크에 맞는 힘을 가지도록 세팅이 가능하다. 즉, 하부의 ㅅ트로크가 정상과 다르게 가해졌을 경우에는 하부 접촉에 문제가 생기고 상부에서 정상적인 스트로크를 가해도 하부와 연결된 힘이 가해짐으로 상부에도 문제가 발생하게 되는데, 반대로 상부에서 가해지는 스트로크가 다를 경우에도 하부에 배치되는 보드(Board)에 가해지는 힘이 달라지도록 세팅될 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 일부분의 사시도들이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 종단면도이다.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 부분 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 부분 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 도면에서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀을 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 포고 핀(10)은, 도 1 및 도 2를 참고하면, 하우징(11), 플런저 핀(12, 13) 및 스프링(20)을 포함한다.
상기 하우징(11)은 길이 방향으로 따라 연장된 원통형 형태로 이루어지고 도 1을 기준으로 상하부의 일부가 개방된 형태를 가지고 있다.
이때, 하우징(11)은 일반적으로 전기가 도통하는 재질인 금속 재질로 이루어지는 바, 외부에서 응력이 가해지면 휘어지거나 함몰되면 그 형태를 유지하는 소성(塑性) 성격을 가지고 있다. 따라서 후술하는 바와 같이 힘을 가해 국부 고정부를 형성하는 경우 그 형태를 계속 유지하게 된다.
상기 플런저 핀(12, 13)은, 도 1 및 도 2를 참고하면, 측정 대상물(1, 2)에 직접 접촉하도록 상기 하우징(11)의 단부에 장착될 수 있다.
이때, 플런저 핀(12, 13)은 몸체부인 일부는 하우징 내부에 은폐되어 있고, 나머지 일부인 핀부는 외부로 노출되어 있다. 몸체부의 경우에는 내부의 스프링(20)의 단부가 걸려 지지될 수 있는 형태와 직경 또는 두께를 가지고 있고, 핀부는 단부가 뾰족한 형태로 이루어져 측정 대상물(1, 2)에 접촉하게 된다. 물론 플런저 핀(12, 13)도 전기가 통하는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
상기 스프링(20)은, 도 2를 참고하면, 상기 플런저 핀(12, 13)이 측정 대상물(1, 2)에 접촉하도록 탄성력을 제공하도록 상기 하우징(11) 내부에 설치될 수 있다.
이때, 상기 하우징(11)의 일측에는 상기 스프링(20)의 제1 위치가 눌려 고정될 수 있도록 내측으로 돌출된 국부 고정부(10a)가 형성될 수 있다.
이때, 상기 스프링(20)의 탄성력을 국부 고정부(10a)가 형성된 제1 위치를 기준으로 상하로 탄성력이 다르게 제공될 수 있다. 즉 국부 고정부(10a)가 도 2를 기준으로 중간 높이인 중앙에 형성된 경우에는 스프링(20)의 탄성력이 상하부 모두 동일하게 제공될 수 있고, 국부 고정부(10a)가 도 1과 같이 중간 높이 이하인 제1 위치가 하부쪽에 치우쳐서 형성된 경우에는 제1 위치 기준으로 하부보다 상부에서 탄성력이 크게 적용되어 상부 플런저 핀(12)에 하부 플런저 핀(13)보다 더 큰 탄성력이 작용하게 된다.
이때, 상기 플런저 핀(12, 13)은 상기 하우징(20)의 상하부에 각각 설치되어 있는 바, 한쪽에만 설치된 경우에는 국부 고정부(10a)를 형성할 수 있다.
이때, 상기 국부 고정부(10a)는 상기 하우징(11)의 제1 위치에 적어도 하나 이상의 점 형태로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 국부 고정부(10a)가 복수개 형성된 경우에는 제1 위치는 하우징(11)의 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 동일한 높이에 형성될 수 있다.
이때, 다른 실시예로서, 상기 국부 고정부(10b, 10c, 10d)는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향 또는 평행한 방향으로 선 형태로 적어도 하나 이상이 형성될 수 있다.
이때, 다른 실시예로서, 상기 국부 고정부(10c)는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 하우징 전체 둘레에 걸쳐 형성될 수 있다.
이때, 다른 실시예로서, 스프링(120)은 탄성력을 제공하지 못하는 무효 권수(120a, 120b, 120c)가 하나 이상이 형성되고, 상기 무효 권수 중에 선택되는 하나 이상에 국부 고정부가 형성될 수 있다.
도 1을 참고하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 사시도가 도시되어 있고, 도 2를 참고하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 종단면도가 도시되어 있다. 도 1에서 도면을 기준으로, 중앙에 케이싱(11)이 수직으로 도시되어 있고, 케이싱(11)의 상하부에 각각 플런저 핀(12, 13)이 돌출된 상태로 결합되어 있다. 이때, 케이싱(11)의 1/3 되는 높이에 국부 고정부(10a)가 형성되어 있다. 도 2를 참고하면, 케이싱(11) 상하부에 플런저 핀(12, 13)이 케이싱(11)의 외측 방향으로 스프링(20)의 탄성력을 제공받도록 설치되어 있다. 이때 국부 고정부(10a)는 외부의 시점에서는 함몰된 형태이고, 내부 시점에서는 돌출된 형태이다. 따라서 그 위치의 스프링(20) 몸체 사이에 돌출되어 들어감으로써 스프링(20)은 그 위치인 높이기를 기준으로 하는 제1 위치를 기준으로 상하부로 나뉘게 되고, 상부가 하부보다 스프링(20)의 권수가 많기 때문에 제1 위치를 기준으로 상부 플런저 핀(12)에 제공되는 탄성력이 하부 플런저 핀(13)에 제공되는 탄성력보다 크게 작용하게 된다. 물론 이와 반대로 제1 위치가 케이싱(11) 중간 높이 이상에 형성된 경우에는 하부 플런저 핀(13)의 탄성력이 강하게 제공될 수 있다. 이때, 통상 포고 핀(10)의 경우에는 반도체 패키지 검사 등에 많이 사용되는 바, 상부에는 반도체 패키지(1)가 하부에는 기판(2)이 배치되어 있다. 통상 포고 핀(10)은 반도체 검사장비의 프로브 카드에 아주 많은 수가 장착되고 기판과 반도체 패키지 웨이퍼 사이에 배치되어 웨이퍼를 검사하게 된다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 종단면도이다. 여기서는 국부 고정부(10a)가 180도 각도로 동일한 제1 위치의 높이 2개 형성된 경우이다. 이 외에도 국부 고정부(10a)를 여러 개 형성시킬 수 있음은 물론이다. 이렇게 국부 고정부(10a)를 점 형태로 복수개로 형성함으로써 확실하게 제1 위치에서 스프링(20)의 탄성력을 상하부로 나눌 수 있게 된다.
도 4를 참고하면, 본 발명의 다른 실시예들에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀의 일부분의 사시도가 도시되어 있다. (a)의 경우에는 국부 고정부(10b)가 일자형으로 하나 함몰된 형태를 취하게 되고, 이것은 도 1 및 도 2에 도시된 국부 고정부(10a)와 거의 유사하나 도면을 기준으로 수평 방향으로 일자형으로 형성되어 있기 때문에 하나의 점으로 국부 고정부(10a)를 형성한 경우보다 스프링(20)의 국부 고정 신뢰도 면에서 매우 높다. (b)의 경우에는 케이싱(11) 길이 방향에 대하여 수직 방향, 즉 도면 기준으로 수평 방향으로 국부 고정부(10c)가 케이싱(11) 둘레에 링 형태로 전체에 걸쳐 형성된 경우이다. 이러한 경우에는 물론 (a)의 경우보다 스프링 고정 신뢰도가 더 높을 수 있다. 다만 응력 피로 안정성을 고려해야 할 것이다. (c)의 경우에는 (a)의 경우보다 신뢰도를 더 높일 수 있도록 2줄로 국부 고정부(10c)를 형성한 경우이다. (d)의 경우에는 일자형으로 국부 고정부(10d)를 길이 방향을 따라 2개 이상, 복수개 형성한 경우이다. 이렇게 도면 상 세로 방향, 즉 길이 방향을 따라 국부 고정부를 형성한 경우에도 동일하게 상하부로 제공되는 탄성력을 조절할 수 있게 된다.
한편, 도 5를 참고하면, 본 발명의 제3 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 종단면도가 도시되어 있다. 본 발명에서는 케이싱(11)과, 케이싱(11) 상부에 스프링(120)에 의해 탄성력을 제공받는 플런저 핀(12, 13)을 포함하되, 스프링(120)은 탄성력을 제공하지 못하는 소위 무효 권수(120a, 120b, 120c)가 하나 이상이 형성되고, 상기 무효 권수(120a, 120b, 120c) 중에 선택되는 하나 이상에 국부 고정부가 형성될 수 있다. 이때 스프링(120)의 몸체가 일부 밀착되어 탄성력을 제공하지 못하는 소위 무효 권수(120a, 120b, 120c)가 케이싱(11)을 높이에 따라 특정 위치(A, B, C)에 형성됨으로써 복수개의 분할 수 할 수 있도록 미리 스프링(11)에 형성되어 있고, 이를 바탕으로 작업자 또는 사용자가 원하는 무효 권수 위치(120a, 120b, 120c)에 제1 위치를 상정하고, 그 부분에 국부 고정부를 형성할 수 있다. 이때 이렇게 무효 권수(120a, 120b, 120c) 부분을 소비자의 요구에 대응하여 미리 상정하여 제품을 출하함으로써 소비자가 원하는 무효 권수(120a, 120b, 120c) 부분에 다양한 형태의 국부 고정부를 형성할 수 있다. 무효 권수(120a, 120b, 120c) 부분에 국부 고정부를 형성하게 되면, 스프링(120)의 무효 권수 부분(120a, 120b, 120c)이 아닌 부분에 형성하는 경우보다 탄성력의 저하 또는 예측과 다른 탄성력의 변화를 감소시킬 수 있다.
한편, 도 6을 참고하면, 본 발명의 제4 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 부분 단면도가 도시되어 있다. 포고 핀(10)의 하우징(111)에는 단턱부(111a)가 형성되고, 상기 단턱부(111a)는 포고 핀(10)을 고정하기 위한 핀 고정부재(112)의 단턱부(112a)에 고정될 수 있다. 이러한 방식으로 포고 핀(10)의 하우징(111)이 핀 고정부재(112)에 고정될 수 있고, 이때에도 국부 고정부(10a)가 형성됨으로서 상하부에 밀착되는 측정 대상물(1, 2)에 대한 플런저 핀(12, 13)의 탄성력을 세팅하여 조절할 수 있게 된다.
한편, 도 7을 참고하면, 본 발명의 제5 실시예에 따른 탄성력 조절이 가능한 포고 핀(10)의 부분 단면도가 도시되어 있다. 여기서는 포고 핀(10)의 하우징(111)을 고정하는 핀 고정부재(112)를 더 포함하고, 상기 핀 고정부재(112)는 상기 하우징(111)의 상하 단부가 걸리는 단턱부(112a)가 형성될 수 있다. 또한, (a)의 경우에는 핀 고정부재(112)와 측정 대상물의 이동에 따라 상하부의 플런저 핀(12, 13)이 눌리게 될 수 있다. (b)의 경우에는 일반적인 경우로서, 포고 핀(12, 13)의 상하부에 플런저 핀(12, 13)이 각각 설치되고, 상기 상하부 플런저 핀(12, 13) 중에 하나의 핀은 항상 측정 대상물(2)에 눌려 있는 상태로 설치될 수 있다. 물론 이때에도 포고 핀(10)의 하우징(111)에 국부 고정부(10a)가 형성됨으로써 상하부에 밀착되는 측정 대상물에 대한 플런저 핀(12, 13)의 탄성력을 세팅하여 조절할 수 있다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
1 : 반도체 패키지
2 : 기판 10 : 포고 핀
10a, 10b, 10c, 10d : 국부 고정부
11 : 케이싱 12, 13 : 플런저 핀
20, 120 : 스프링 120a, 120b, 120c : 무효 권수

Claims (11)

  1. 하우징;
    측정 대상물에 직접 접촉하도록 상기 하우징의 단부에 장착된 플런저 핀; 및
    상기 플런저 핀이 측정 대상물에 접촉하도록 탄성력을 제공하도록 상기 하우징 내부에 설치된 스프링;을 포함하고,
    상기 하우징의 일측에는 상기 스프링의 제1 위치가 눌려 고정될 수 있도록 내측으로 돌출된 국부 고정부가 형성되고, 상기 국부 고정부가 형성됨으로써 상하부에 밀착되는 측정 대상물에 대한 상기 플런저 핀의 탄성력을 세팅하여 조절하는, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 플런저 핀은 상기 하우징의 상하부에 각각 설치된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 국부 고정부는 상기 하우징의 제1 위치에 적어도 하나 이상의 점 형태로 이루어진, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 국부 고정부가 복수개 형성된 경우에는 제1 위치는 하우징의 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 동일한 높이에 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 국부 고정부는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향 또는 평행한 방향으로 선 형태로 적어도 하나 이상이 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 국부 고정부는 상기 제1 위치가 길이 방향에 대하여 직각 방향으로 하우징 전체 둘레에 걸쳐 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 스프링은 탄성력을 제공하지 못하는 무효 권수가 하나 이상이 형성되고, 상기 무효 권수 중에 선택되는 하나 이상에 국부 고정부가 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  8. 삭제
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 포고 핀의 하우징에는 단턱부가 형성되고, 상기 단턱부는 포고 핀을 고정하기 위한 핀 고정부재에 고정된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 포고 핀의 하우징을 고정하는 핀 고정부재를 더 포함하고, 상기 핀 고정부재는 상기 하우징의 상하 단부가 걸리는 단턱부가 형성된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 포고 핀의 상하부에 플런저 핀이 각각 설치되고, 상기 상하부 핀 중에 하나의 핀은 항상 측정 대상물에 눌려 있는 상태로 설치된, 탄성력 조절이 가능한 포고 핀.
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