JP2020193828A - プローブピンおよびｉｃソケット - Google Patents

Abstract

【課題】板状体で構成された接触部材とバレルの内側面との摺動接触部が接触不良を起こしにくいプローブピンを提供する。【解決手段】板状体からなり導電性を有する第１プランジャー１１の端部に位置する延長端子１１４はスプリング１４に接触するパイプ材１５の内部に位置するため、第１プランジャー１１がバレル１３に対してプローブピン１の中心軸方向に変動する際にはパイプ材１５の外側面とバレル１３の内側面とが摺動接触構造を構成する。プローブピンの延長端子は、パイプ材１５に代えて、スプリングの第１密着巻き部の内部に位置してもよい。【選択図】図１

Description

本発明は、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ、集積回路）の検査などに使用されるプローブピンおよびＩＣソケットに関する。

多数の端子を備えるＩＣを検査するときには、ＩＣにおける隣接する端子同士での電気的な接続（短絡）を抑制しつつ、ＩＣの各端子と、ＩＣを検査するための検査装置（ＩＣテスター）に接続された検査用基板における各端子に対応する電極とを電気的に接続するために、各端子に対応するプローブピンを備えたＩＣソケットが使用される。

プローブピンの代表的な構成は、両端が部分的に閉塞されつつ開口された管状体と、この管状体の内部に配置されたコイルバネと、このコイルバネに付勢されながら前記の部分的な閉塞部に係止された状態で管状体から部分的に突出する二つの接触部材とからなる。

また、ＩＣソケットは、一般的にはプラスチックなどの絶縁性の剛体からなり、検査対象物であるＩＣの端子に対応した配列の貫通孔を有するハウジングを備え、ハウジングの貫通孔内にプローブピンが保持される。本明細書においては、ハウジングにプローブピンが保持された組立体をＩＣソケットと呼ぶ。

一般的に上記二つの接触部材は、旋盤により切削加工した円柱体が使用されるが、接触部材を板状体で構成したプローブピンもある。板状体の接触部材を製造する方法としては、板材をプレス加工する方法、板材をエッチング加工する方法、あるいは電鋳めっきにより厚めっきで形成する方法などがある。電鋳めっきにより形成された部材はＭＥＭＳとも呼ばれる。部材の一部をＭＥＭＳで構成したプローブピンの一例としては、特許文献１に開示されたプローブピンがある。

特許文献１のプローブピンは、検査対象物に接触する第１接点部を有する第１接触子と、検査基板に接触する第２接点部を有する第２接触子と、前記第１接触子と前記第２接触子との間に配置され、前記第１接触子と前記第２接触子とを互いに離反する方向にバネ付勢する蛇腹弾性体とを含み、それらの少なくとも１つがＭＥＭＳ要素技術によって形成されるＭＥＭＳ型プランジャと、前記ＭＥＭＳ型プランジャが伸縮可能に収納され、同じくＭＥＭＳ要素技術によって形成されるＭＥＭＳ型バレルと、を備えることを特徴とするＭＥＭＳ型プローブ、である。

特開２０１８−１９７７１４号公報

しかしながら、特許文献１のプローブピンは、バネ付勢する蛇腹弾性体もＭＥＭＳ要素技術によって形成されるため、一般的なコイルスプリングの材料であるピアノ線と同等の弾性を有するＭＥＭＳ材料が必要となるが、代表的なＭＥＭＳ材料はニッケルであり、添加剤を加えても、ピアノ線と同等の弾性を得ることは難しい。そのため、ＭＥＭＳ要素技術によって形成された蛇腹弾性体は、蛇腹弾性体が伸縮した時に、繰り返し荷重に対して十分な寿命回数を得られないおそれがある。さらに、特許文献１のプローブピンは、ＭＥＭＳ型プランジャがＭＥＭＳ型バレルの内側面と摺動接触するが、ＭＥＭＳ型プランジャは角部が極めて鋭利に形成されるため、ＭＥＭＳ型プランジャがＭＥＭＳ型バレルの内側面と摺動接触したときに、ＭＥＭＳ型プランジャの角部によりＭＥＭＳ型バレルの内側面が傷付き、例えばＭＥＭＳ型バレルの内側面に形成された金メッキ層が剥離し、ＭＥＭＳ型プランジャとＭＥＭＳ型バレルの内側面との接点部が接触不良を起こすおそれがある。

かかる技術背景に鑑み、本発明は、上記の問題を解決し、筒形のバレルを備えるプローブピンであって、少なくとも一方の接触部材を板状体で構成しつつ、繰り返し荷重に対して十分な寿命回数を得ることが可能であり、また、板状体で構成された接触部材とバレルの内側面との摺動接触部が接触不良を起こす可能性が低減されたプローブピンを提供することを課題とする。

上記課題を解決するために提供される本発明は、一態様において、板状体からなり導電性を有する第１プランジャーと、導電性を有する第２プランジャーと、導電性を有する筒状であって、一方の端部側に前記第１プランジャーが位置し他方の端部側に前記第２プランジャーが位置し、前記第１プランジャー側に第１縮径部を有し、前記第２プランジャー側に第２縮径部を有するバレルと、前記バレルの内部で前記第１プランジャーに接する第１パイプ材と、前記バレルに内包され、前記第１プランジャーを前記第２プランジャーから離間させる向きに付勢するコイルスプリングと、を備えるプローブピンであって、前記第１プランジャーは、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との一方である第１電極に接触するための第１接触部と、前記第１接触部における前記第１電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第１挿入部と、前記第１挿入部側の端部において前記第１挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第１パイプ材の貫通孔に挿入された第１延長端子と、を備え、前記第１挿入部は、前記バレルにおける前記第１縮径部に対向する位置と前記第１延長端子側の端部との間に、前記第１縮径部に係止するための第１拡幅部を備え、前記第１拡幅部は、前記第１接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第１パイプ材を介して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第１パイプ材を押し戻すときに前記第１縮径部に接して前記第１接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、前記第１プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第１パイプ材の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成し、前記第２プランジャーは、その一部が前記第２縮径部によって係止されて前記バレルの内部に保持され、前記第１パイプ材および前記バレルを介して前記第１プランジャーに電気的に接続されることを特徴とするプローブピンである。

本発明は、他の一態様として、板状体からなり導電性を有する第１プランジャーと、導電性を有する第２プランジャーと、導電性を有する筒状であって、一方の端部側に前記第１プランジャーが位置し他方の端部側に前記第２プランジャーが位置し、前記第１プランジャー側に第１縮径部を有し、前記第２プランジャー側に第２縮径部を有するバレルと、前記バレルに内包され、前記第１プランジャーを前記第２プランジャーから離間させる向きに付勢し、前記第１プランジャー側の端部に第１密着巻き部を有するコイルスプリングと、を備えるプローブピンであって、前記第１プランジャーは、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との一方である第１電極に接触するための第１接触部と、前記第１接触部における前記第１電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第１挿入部と、前記第１挿入部側の端部において前記第１挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第１密着巻き部の内部に挿入された第１延長端子と、を備え、前記第１挿入部は、前記バレルにおける前記第１縮径部に対向する位置と前記第１延長端子側の端部との間に、前記第１縮径部に係止するための第１拡幅部を備え、前記第１拡幅部は、前記第１接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第１密着巻き部に接して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第１接触部を押し戻すときに前記第１縮径部に接して前記第１接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、前記第１プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第１密着巻き部の外側の面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成し、前記第２プランジャーは、その一部が前記第２縮径部によって前記バレルの内部に保持され、前記第１密着巻き部および前記バレルを介して、前記第１プランジャーに電気的に接続されることを特徴とするプローブピンである。

上記のプローブピンにおいて、前記第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、前記検査対象物の電極と前記検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、他方の端部に設けられ、前記バレルの貫通孔に前記第２プランジャー側から挿入される第２挿入部と、を備えてもよい。この場合において、前記第２挿入部は、前記第２接触部とは反対側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれて前記コイルスプリングを圧縮するときに前記第２縮径部から離間し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２接触部を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２挿入部の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成してもよい。

上記のプローブピンにおいて、前記プローブピンは前記バレルの内部で前記第２プランジャーに接する第２パイプ材をさらに備えていてもよい。この場合において、前記第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、前記第２接触部における前記第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、前記第２挿入部側の端部において前記第２挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第２パイプ材の貫通孔に挿入された第２延長端子と、を備え、前記第２挿入部は、前記第２延長端子側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第２パイプ材を介して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２パイプ材を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２パイプ材の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成してもよい。

上記のプローブピンにおいて、前記コイルスプリングは、前記第２プランジャー側の端部に第２密着巻き部を有していてもよい。この場合において、前記第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、前記第２接触部における前記第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、前記第２挿入部側の端部において前記第２挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第２密着巻き部の内部に挿入された第２延長端子と、を備え、前記第２挿入部は、前記第２延長端子側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第２密着巻き部に接して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２接触部を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２密着巻き部の外側の面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成してもよい。

上記のプローブピンにおいて、前記第１電極は前記検査対象物の電極であってもよく、この場合には、前記第２電極は前記検査用基板の電極となる。

本発明によれば、筒形のバレルを備えるプローブピンであって、少なくとも一方の接触部材を板状体で構成しつつ、繰り返し荷重に対して十分な寿命回数を得ることが可能であり、また、板状体で構成された接触部材とバレルの内側面との摺動接触部が接触不良を起こす可能性が低減されたプローブピンが提供される。

図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係るプローブピン１の、第１プランジャー１１の板面に平行な面の断面図であり、図１（ｂ）は、第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。 図２は、本発明の第１実施形態に係るプローブピン１を保持したＩＣソケット３が検査用基板５に載置され、さらに検査対象物であるＩＣ４を検査している状態を示す、プローブピン１が備える第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。 図３（ａ）は、本発明の第１実施形態の変形例に係るプローブピン１の、第１プランジャー１１の板面に平行な面の断面図であり、図３（ｂ）は、第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。 図４（ａ）は、本発明の第１実施形態の別の変形例に係るプローブピン１の、第１プランジャー１１の板面に平行な面の断面図であり、図４（ｂ）は、第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。 図５（ａ）は、本発明の第２実施形態に係るプローブピン６の、第１プランジャー６１の板面に平行な面の断面図であり、図５（ｂ）は、第１プランジャー６１の板面と直交する面の断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明に係るプローブピンおよびＩＣソケットを説明する。

〔第１実施形態〕
本発明の第１実施形態に係るプローブピン１は、第１プランジャー１１、第２プランジャー１２、バレル１３、スプリング１４、パイプ材１５から構成される。図１（ａ）は、本発明の第１実施形態に係るプローブピン１の、第１プランジャー１１の板面に平行な面の断面図であり、図１（ｂ）は、第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。ここで第１プランジャー１１、第２プランジャー１２、バレル１３、パイプ材１５の材質は金属である。第１プランジャー１１は、図１に示したとおり板状体である。また、スプリング１４は、図１に示したとおりコイルバネが使用される。

第１プランジャー１１は、上記の通り板状体であり、また、バレル１３に対してプローブピン１の中心軸方向に変動可能である。第１プランジャー１１は、一方の端部に検査対象物の電極と接触するための第１接触部１１１を備え、他方にはバレル１３の内径側に挿入される第１挿入部１１２を備える。さらに、第１挿入部１１２側の端部には、第１挿入部１１２から延設された延長端子１１４を備える。延長端子１１４は、バレル１３の内部においてパイプ材１５の内径側に挿入され、パイプ材１５に内包される。また、バレル１３の内径側に挿入された第１挿入部１１２は、バレル１３の一方の端部近傍に形成された第１縮径部１３１と対向する位置に、第１縮径部１３１に係止するための突起部１１３を備える。

ここで第１プランジャー１１の製造方法は、板材をプレス加工してもよいし、板材をエッチング加工してもよい。あるいは、電鋳めっき法により厚めっきで板状体を形成してもよい。電鋳めっき法により形成された板状体は、広義にはＭＥＭＳの一種とみなされる。上述の通り、電鋳めっき法により形成された板状体の角部は極めて鋭利に形成され、電気カミソリのメッシュの製造方法として利用されることもある。

第２プランジャー１２は、本実施形態においては円柱体であり、また、第１プランジャー１１と同様に、バレル１３に対してプローブピン１の中心軸方向に変動可能である。第２プランジャー１２は、一方の端部に検査用基板５の電極と接触するための第２接触部１２１を備え、他方の端部にバレル１３の他方の端部の内径側に挿入される第２挿入部１２２を備える。また、バレル１３の内径側に挿入された第２挿入部１２２は、バレル１３のその他方の端部に形成された第２縮径部１３２と対向する位置に、第２縮径部１３２に係止するための段差部１２３を備える。

バレル１３は、外径と内径がほぼ一定の金属製の筒状の部材である。また、パイプ材１５も外径と内径がほぼ一定の金属製の筒状の部材である。パイプ材１５の外径はバレル１３の内径より小さく設定される。スプリング１４は、上記の通り、コイルバネが使用される。

プローブピン１は、バレル１３の一方の端部の内径側に第１プランジャー１１が備える第１挿入部１１２、および、パイプ材１５が挿入される。さらに、パイプ材１５は、第１プランジャー１１が備える第１挿入部１１２に延設された延長端子１１４を内包しつつ、パイプ材１５の一方の端部が、第１挿入部１１２が備える突起部１１３の第１接触部１１１とは反対側の端面と係止するように配置される。

また、プローブピン１は、バレル１３の他方の端部の内径側に第２プランジャー１２が備える第２挿入部１２２が挿入される。スプリング１４は、パイプ材１５と第２プランジャー１２が備える第２挿入部１２２との間に狭持される。

さらに、プローブピン１は、バレル１３におけるバレル１３に挿入された第１挿入部１１２が備える突起部１１３の第１接触部１１１側の端面が位置する部位の外側面の一部が、例えばプレス金型などにより押されて縮径され、第１縮径部１３１が形成される。第１プランジャー１１は、突起部１１３がバレル１３の第１縮径部１３１と係止することにより、バレル１３から容易に脱落することはない。また、バレル１３における第２プランジャー１２が備える第２挿入部１２２が挿入された側の端部も、例えばプレス金型などにより押されて縮径され、第２縮径部１３２が形成される。第２プランジャー１２は、段差部１２３がバレル１３の第２縮径部１３２と係止することにより、バレル１３から容易に脱落することはない。なお、第１縮径部１３１の形状は、図１に示した通り、バレル１３の内径側にリング状に突出させてもよいし、バレル１３の内径側に複数の突起を突出させてもよい。

このように配置、組み立てられた本発明の第１実施形態に係るプローブピン１においては、パイプ材１５の外側面とバレル１３の一方の端部近傍の内側面、および、第２プランジャー１２の第２挿入部１２２の外側面とバレル１３の他方の端部近傍の内側面が摺動接触構造を構成する。ここで第１プランジャー１１とパイプ材１５は電気的に導通しているので、この摺動接触構造により、第１プランジャー１１と第２プランジャー１２とは電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することが可能となる。

さらに、このように構成された本発明の第１実施形態に係るプローブピン１は、第１プランジャー１１が相対位置を変動したときに、第１プランジャー１１の鋭利な角部が、バレル１３の内側面におけるパイプ材１５の外側面と摺動接触する部位を傷付けることが回避され、摺動接触部が接触不良を起こすおそれが低減される。また、第１プランジャー１１は、第１プランジャー１１が備える第１挿入部１１２に延設された延長端子１１４がパイプ材１５の内径側に内包されているので、第１プランジャー１１がバレル１３に対して傾斜することも抑制される。なお、第１プランジャー１１が備える突起部１１３がバレル１３の内側面の一部を傷付ける可能性はあるが、円筒体であるパイプ材１５の外側面が摺動接触部であり、バレル１３の内側面の一部が傷付いても、摺動接触部が接触不良を起こすおそれは十分に低減される。

続いて、図２を用いて、本発明の第１実施形態に係るハウジング２、および、ＩＣソケット３の構造を説明する。図２は、本発明の第１実施形態に係るプローブピン１を保持したＩＣソケット３が検査用基板５に載置され、さらに検査対象物であるＩＣ４を検査している状態を示す、プローブピン１が備える第１プランジャー１１の板面と直交する面の断面図である。

ＩＣソケット３は、ハウジング２に設けられた複数の貫通孔２１のそれぞれにより、プローブピン１を、検査対象物であるＩＣ４に付設される電極に対応した位置に保持する。具体的には、ハウジング２は主面内方向に２分割される。貫通孔２１は、検査対象物であるＩＣ４に対向する面に設けられる第１開口部２１１および検査用基板５に対向する面に設けられる第２開口部２１２の孔径が、第１開口部２１１と第２開口部２１２との間に設けられる中空部２１３の孔径より小さく形成される。なお、図２に示した実施例においては、中空部２１３および第２開口部２１２は、その断面形状が円形であり、第１開口部２１１は、その断面形状が長方形である。上記、第１開口部２１１の孔径が中空部２１３の孔径より小さく形成されるとは、第１開口部２１１の短辺の長さが中空部２１３の直径より小さく形成されることを含むものとする。

第１開口部２１１と中空部２１３との境界には第１孔内段差部２１４が設けられ、第２開口部２１２と中空部２１３との境界には第２孔内段差部２１５が設けられる。プローブピン１は、バレル１３が中空部２１３に内包されつつ、第１孔内段差部２１４と第２孔内段差部２１５との間に狭持されることにより、貫通孔２１に保持される。

さらに、図２に示した検査対象物であるＩＣ４を検査している状態においては、プローブピン１の備えるスプリング１４が所定の長さまで圧縮され、ＩＣソケット３の各プローブピン１の第１接触部１１１と検査対象物であるＩＣ４の各端子との接点部分、および、第２接触部１２１と検査用基板５の各電極との接点部分には所定の接触圧力が加わり、電気的に安定した検査が可能となる。

以上説明したように、本発明の第１実施形態に係るプローブピン１は、板状体からなり導電性を有する第１プランジャー１１と、導電性を有する第２プランジャー１２と、導電性を有する筒状であって、一方の端部側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）に第１プランジャー１１が位置し他方の端部側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に第２プランジャー１２が位置し、第１プランジャー１１側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）に第１縮径部１３１を有し、第２プランジャー１２側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に第２縮径部１３２を有するバレル１３と、バレル１３の内部で第１プランジャー１１に接する第１パイプ材（パイプ材１５）と、バレル１３に内包され、第１プランジャー１１を第２プランジャー１２から離間させる向きに付勢するコイルスプリング（スプリング１４）と、を備える。

第１プランジャー１１は、一方の端部に設けられ、検査対象物（ＩＣ４）の電極と検査用基板５の電極との一方である第１電極（図１および図２では検査対象物（ＩＣ４）の電極）に接触するための第１接触部１１１と、第１接触部１１１における第１電極（検査対象物（ＩＣ４）の電極）に接触する側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）とは反対側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に設けられ、バレル１３の貫通孔に挿入された第１挿入部１１２と、第１挿入部１１２側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）の端部において第１挿入部１１２から延設され、バレル１３の内部において第１パイプ材（パイプ材１５）の貫通孔に挿入された第１延長端子（延長端子１１４）と、を備える。

第１挿入部１１２は、バレル１３における第１縮径部１３１に対向する位置と延長端子１１４側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）の端部との間に、第１縮径部１３１に係止するための第１拡幅部（突起部１１３）を備える。

第１拡幅部（突起部１１３）は、第１接触部１１１がバレル１３に近づくように押し込まれるときに第１パイプ材（パイプ材１５）を介してコイルスプリング（スプリング１４）を圧縮し、コイルスプリング（スプリング１４）の弾性回復力が第１パイプ材（パイプ材１５）を押し戻すときに第１縮径部１３１に接して第１接触部１１１のバレル１３からの離間距離を規制し、第１プランジャー１１がバレル１３に対してプローブピン１の中心軸方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に変動する際には第１パイプ材（パイプ材１５）の外側面とバレル１３の内側面とが摺動接触構造を構成する。

第２プランジャー１２は、その一部が第２縮径部１３２によって係止されてバレル１３の内部に保持され、パイプ材１５およびバレル１３を介して第１プランジャー１１に電気的に接続される。

〔第１実施形態の変形例〕
図１に例示した第１実施形態においては、第１縮径部１３１はバレル１３の端部近傍に形成され、第２縮径部１３２はバレル１３の端部に形成されているが、第１縮径部１３１はバレル１３の端部に形成されてもよいし、第２縮径部１３２はバレル１３の端部近傍に形成されてもよい。何れの場合も、第１プランジャー１１が備える突起部１１３の第１接触部１１１側の端面が第１縮径部１３１と係止し、第２プランジャー１２が備える段差部１２３が第２縮径部１３２と係止すればよい。また、上述の通り、端部近傍に縮径部を形成する場合は、縮径部の形状は、バレル１３の内径側にリング状に突出させてもよいし、バレル１３の内径側に複数の突起を突出させてもよい。第１実施形態の変形例の一例として、第２縮径部１３２はバレル１３の一方の端部に形成しつつ、第１縮径部１３１をバレル１３の他方の端部に形成したプローブピン１を図３に、第１縮径部１３１はバレル１３の一方の端部近傍に形成しつつ、第２縮径部１３２をバレル１３の他方の端部近傍に形成したプローブピン１を図４に示す。

〔第２実施形態〕
本発明の第２実施形態に係るプローブピン６は、第１プランジャー６１、第２プランジャー６２、バレル６３、スプリング６４から構成される。図５（ａ）は、本発明の第１実施形態に係るプローブピン６の、第１プランジャー６１の板面に平行な面の断面図であり、図５（ｂ）は、第１プランジャー６１の板面と直交する面の断面図である。なお、以下では第２実施形態について、第１実施形態とは異なる部分について説明する。特段説明のない構造、製造方法等は、上述した第１実施形態に係るプローブピン１と同様なので、ここでの説明を省略する。

図５に示したとおり、スプリング６４は、第１プランジャー６１側の端部に密着巻き部６４１を備える。また、第１プランジャー６１が備える第１挿入部６１２に延設された延長端子６１４は、スプリング６４が備える密着巻き部６４１の内径側に内包される。

このように配置、組み立てられた本発明の第２実施形態に係るプローブピン６においては、スプリング６４が備える密着巻き部６４１の外側面とバレル６３の一方の端部近傍の内側面、及び、第２プランジャー６２の第２挿入部６２２の外側面とバレル６３の他方の端部近傍の内側面が摺動接触構造を構成する。ここで第１プランジャー６１とスプリング６４が備える密着巻き部６４１は電気的に導通しているので、この摺動接触構造により、第１プランジャー６１と第２プランジャー６２とは電気的接触を維持しつつ相対位置を変動することが可能となる。

さらに、このように構成された本発明の第２実施形態に係るプローブピン６は、第１プランジャー６１が相対位置を変動したときに、第１プランジャー６１の鋭利な角部が、バレル６３の内側面におけるスプリング６４が備える密着巻き部６４１の外側面と摺動接触する部位を傷付けることが回避され、摺動接触部が接触不良を起こすおそれが低減される。また、第１プランジャー６１は、第１プランジャー６１が備える第１挿入部６１２に延設された延長端子６１４がスプリング６４が備える密着巻き部６４１の内径側に内包されているので、第１プランジャー６１がバレル６３に対して傾斜することも抑制される。

以上説明したように、本発明の第２実施形態に係るプローブピン６は、板状体からなり導電性を有する第１プランジャー６１と、導電性を有する第２プランジャー６２と、導電性を有する筒状であって、一方の端部側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）に第１プランジャー６１が位置し他方の端部側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に第２プランジャー６２が位置し、第１プランジャー６１側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）に第１縮径部６３１を有し、第２プランジャー６２側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に第２縮径部６３２を有するバレル６３と、バレル６３に内包され、第１プランジャー６１を第２プランジャー６２から離間させる向きに付勢し、第１プランジャー６１側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ１側）の端部に第１密着巻き部（密着巻き部６４１）を有するコイルスプリング（スプリング６４）と、を備える。

第１プランジャー６１は、一方の端部に設けられ、検査対象物（ＩＣ４）の電極と検査用基板５の電極との一方である第１電極（図５では検査対象物（ＩＣ４）の電極）に接触するための第１接触部６１１と、第１接触部６１１における第１電極（図５では検査対象物（ＩＣ４）の電極）に接触する側とは反対側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）に設けられ、バレル６３の貫通孔に挿入された第１挿入部６１２と、第１挿入部６１２側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）の端部において第１挿入部６１２から延設され、バレル１３の内部において第１密着巻き部（密着巻き部６４１）の内部に挿入された第１延長端子（延長端子６１４）と、を備える。

第１挿入部６１２は、バレル６３における第１縮径部６３１に対向する位置と第１延長端子（延長端子６１４）側（Ｚ１−Ｚ２方向Ｚ２側）の端部との間に、第１縮径部６３１に係止するための第１拡幅部（突起部６１３）を備える。

第１拡幅部（突起部６１３）は、第１接触部６１１がバレル６３に近づくように押し込まれるときに第１密着巻き部（密着巻き部６４１）に接してコイルスプリング（スプリング６４）を圧縮し、コイルスプリング（スプリング６４）の弾性回復力が第１接触部６１１を押し戻すときに第１縮径部６３１に接して第１接触部６１１のバレル１３からの離間距離を規制する。

第１プランジャー６１がバレル６３に対してプローブピン１の中心軸方向（Ｚ１−Ｚ２方向）に変動する際には第１密着巻き部（密着巻き部６４１）の外側の面とバレル６３の内側面とが摺動接触構造を構成する。

第２プランジャー６２は、その一部が第２縮径部６３２によってバレル６３の内部に保持され、第１密着巻き部（密着巻き部６４１）およびバレル６３を介して、第１プランジャー６１に電気的に接続される。

以上説明した各実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、第２プランジャーは、第１プランジャーと同様に板状体であってもよい。その場合、第２プランジャーにも延長端子を設け、第２プランジャー側にもパイプ材を挿入するか、あるいは、スプリングの第２プランジャー側にも密着巻き部を設けてもよい。

すなわち、第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、他方の端部に設けられ、バレルの貫通孔に第２プランジャー側から挿入される第２挿入部と、を備えてもよい。この場合において、第２挿入部は、第２接触部とは反対側の端部とバレルにおける第２縮径部に対向する位置との間に、第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備える。第２拡幅部は、第２接触部がバレルに近づくように押し込まれてコイルスプリングを圧縮するときに第２縮径部から離間し、コイルスプリングの弾性回復力が第２接触部を押し戻すときに第２縮径部に接して第２接触部のバレルからの離間距離を規制する。第２プランジャーがバレルに対してプローブピンの中心軸方向に変動する際には第２挿入部の外側面とバレルの内側面とが摺動接触構造を構成する。

あるいは、プローブピンはバレルの内部で第２プランジャーに接する第２パイプ材をさらに備え、第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、第２接触部における第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、第２挿入部側の端部において第２挿入部から延設され、バレルの内部において第２パイプ材の貫通孔に挿入された第２延長端子と、を備えていてもよい。この場合において、第２挿入部は、第２延長端子側の端部とバレルにおける第２縮径部に対向する位置との間に、第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備える。第２拡幅部は、第２接触部がバレルに近づくように押し込まれるときにパイプ材を介してコイルスプリングを圧縮し、コイルスプリングの弾性回復力が第２パイプ材を押し戻すときに第２縮径部に接して第２接触部のバレルからの離間距離を規制する。第２プランジャーがバレルに対してプローブピンの中心軸方向に変動する際には第２パイプ材の外側面とバレルの内側面とが摺動接触構造を構成する。

あるいは、コイルスプリングは、第２プランジャー側の端部に第２密着巻き部を有し、第２プランジャーは、板状体からなり、一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、第２接触部における第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、第２挿入部側の端部において第２挿入部から延設され、バレルの内部において第２密着巻き部の内部に挿入された第２延長端子と、を備えていてもよい。この場合において、第２挿入部は、第２延長端子側の端部とバレルにおける第２縮径部に対向する位置との間に、第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備える。第２拡幅部は、第２接触部がバレルに近づくように押し込まれるときに第２密着巻き部に接してコイルスプリングを圧縮し、コイルスプリングの弾性回復力が第２接触部を押し戻すときに第２縮径部に接して第２接触部のバレルからの離間距離を規制する。第２プランジャーがバレルに対してプローブピンの中心軸方向に変動する際には第２密着巻き部の外側の面とバレルの内側面とが摺動接触構造を構成する。

１、６ プローブピン
１１、６１ 第１プランジャー
１２、６２ 第２プランジャー
１３、６３ バレル
１４、６４ スプリング（コイルスプリング）
１５ パイプ材（第１パイプ材）
１１１、６１１ 第１接触部
１２１、６２１ 第２接触部
１１２、６１２ 第１挿入部
１２２、６２２ 第２挿入部
１１３、６１３ 突起部（第１拡幅部）
１１４、６１４ 延長端子（第１延長端子）
１２３、６２３ 段差部
１３１、６３１ 第１縮径部
１３２、６３２ 第２縮径部
６４１ 密着巻き部（第１密着巻き部）
２ ハウジング
２１ 貫通孔
２１１ 第１開口部
２１２ 第２開口部
２１３ 中空部
２１４ 第１孔内段差部
２１５ 第２孔内段差部
３ ソケット
４ ＩＣ
５ 検査用基板

Claims (6)

1. 板状体からなり導電性を有する第１プランジャーと、
   導電性を有する第２プランジャーと、
   導電性を有する筒状であって、一方の端部側に前記第１プランジャーが位置し他方の端部側に前記第２プランジャーが位置し、前記第１プランジャー側に第１縮径部を有し、前記第２プランジャー側に第２縮径部を有するバレルと、
   前記バレルの内部で前記第１プランジャーに接する第１パイプ材と、
   前記バレルに内包され、前記第１プランジャーを前記第２プランジャーから離間させる向きに付勢するコイルスプリングと、
   を備えるプローブピンであって、
   前記第１プランジャーは、
   一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との一方である第１電極に接触するための第１接触部と、
   前記第１接触部における前記第１電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第１挿入部と、
   前記第１挿入部側の端部において前記第１挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第１パイプ材の貫通孔に挿入された第１延長端子と、を備え、
   前記第１挿入部は、前記バレルにおける前記第１縮径部に対向する位置と前記第１延長端子側の端部との間に、前記第１縮径部に係止するための第１拡幅部を備え、
   前記第１拡幅部は、前記第１接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第１パイプ材を介して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第１パイプ材を押し戻すときに前記第１縮径部に接して前記第１接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、
   前記第１プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第１パイプ材の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成し、
   前記第２プランジャーは、その一部が前記第２縮径部によって係止されて前記バレルの内部に保持され、前記第１パイプ材および前記バレルを介して前記第１プランジャーに電気的に接続されること
   を特徴とするプローブピン。
2. 板状体からなり導電性を有する第１プランジャーと、
   導電性を有する第２プランジャーと、
   導電性を有する筒状であって、一方の端部側に前記第１プランジャーが位置し他方の端部側に前記第２プランジャーが位置し、前記第１プランジャー側に第１縮径部を有し、前記第２プランジャー側に第２縮径部を有するバレルと、
   前記バレルに内包され、前記第１プランジャーを前記第２プランジャーから離間させる向きに付勢し、前記第１プランジャー側の端部に第１密着巻き部を有するコイルスプリングと、
   を備えるプローブピンであって、
   前記第１プランジャーは、
   一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との一方である第１電極に接触するための第１接触部と、
   前記第１接触部における前記第１電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第１挿入部と、
   前記第１挿入部側の端部において前記第１挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第１密着巻き部の内部に挿入された第１延長端子と、を備え、
   前記第１挿入部は、前記バレルにおける前記第１縮径部に対向する位置と前記第１延長端子側の端部との間に、前記第１縮径部に係止するための第１拡幅部を備え、
   前記第１拡幅部は、前記第１接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第１密着巻き部に接して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第１接触部を押し戻すときに前記第１縮径部に接して前記第１接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、
   前記第１プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第１密着巻き部の外側の面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成し、
   前記第２プランジャーは、その一部が前記第２縮径部によって前記バレルの内部に保持され、前記第１密着巻き部および前記バレルを介して、前記第１プランジャーに電気的に接続されること
   を特徴とするプローブピン。
3. 前記第２プランジャーは、板状体からなり、
   一方の端部に設けられ、前記検査対象物の電極と前記検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、
   他方の端部に設けられ、前記バレルの貫通孔に前記第２プランジャー側から挿入される第２挿入部と、を備え、
   前記第２挿入部は、前記第２接触部とは反対側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、
   前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれて前記コイルスプリングを圧縮するときに前記第２縮径部から離間し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２接触部を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、
   前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２挿入部の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成する、請求項１または請求項２に記載のプローブピン。
4. 前記プローブピンは前記バレルの内部で前記第２プランジャーに接する第２パイプ材をさらに備え、
   前記第２プランジャーは、板状体からなり、
   一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、
   前記第２接触部における前記第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、
   前記第２挿入部側の端部において前記第２挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第２パイプ材の貫通孔に挿入された第２延長端子と、を備え、
   前記第２挿入部は、前記第２延長端子側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、
   前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第２パイプ材を介して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２パイプ材を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、
   前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２パイプ材の外側面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成する、請求項１または請求項２に記載のプローブピン。
5. 前記コイルスプリングは、前記第２プランジャー側の端部に第２密着巻き部を有し、
   前記第２プランジャーは、板状体からなり、
   一方の端部に設けられ、検査対象物の電極と検査用基板の電極との他方である第２電極に接触するための第２接触部と、
   前記第２接触部における前記第２電極に接触する側とは反対側に設けられ、前記バレルの貫通孔に挿入された第２挿入部と、
   前記第２挿入部側の端部において前記第２挿入部から延設され、前記バレルの内部において前記第２密着巻き部の内部に挿入された第２延長端子と、を備え、
   前記第２挿入部は、前記第２延長端子側の端部と前記バレルにおける前記第２縮径部に対向する位置との間に、前記第２縮径部に係止するための第２拡幅部を備え、
   前記第２拡幅部は、前記第２接触部が前記バレルに近づくように押し込まれるときに前記第２密着巻き部に接して前記コイルスプリングを圧縮し、前記コイルスプリングの弾性回復力が前記第２接触部を押し戻すときに前記第２縮径部に接して前記第２接触部の前記バレルからの離間距離を規制し、
   前記第２プランジャーが前記バレルに対して前記プローブピンの中心軸方向に変動する際には前記第２密着巻き部の外側の面と前記バレルの内側面とが摺動接触構造を構成する、請求項１または請求項２に記載のプローブピン。
6. 前記第１電極は前記検査対象物の電極であり、前記第２電極は前記検査用基板の電極である、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のプローブピン。