JP5378273B2 - コンタクトプローブ及びソケット、チューブ状プランジャの製造方法、並びにコンタクトプローブの製造方法 - Google Patents
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Description
図13は、従来のコンタクトプローブの構成の一例を示す概略断面図である。本図に示すコンタクトプローブ800は、2つのプランジャ809,810の内側にコイルスプリング803を挿入したものである。一方のプランジャ809は、検査対象物804(DUT)のハンダボール805とのコンタクト用である。他方のプランジャ810は、検査用基板807(DUTボード)のコンタクトパッド806とのコンタクト用である。プランジャ809,810は共に、先端内面が底となる袋穴形状である。コイルスプリング803は、両端がそれぞれプランジャ809,810の先端内面に当接して抜けが防止され、かつプランジャ809,810を離れる方向に付勢する。これにより、プランジャ809,810は、検査対象物804のハンダボール805及び検査用基板807のコンタクトパッド806との接触力を得る。通常は複数のコンタクトプローブ800がハウジング8に支持される。
図15は、従来のコンタクトプローブの構成の別の例を示す概略断面図である。本図に示すコンタクトプローブ900では、図13に示したものと異なり、プランジャ811,812は袋穴形状でなく先端が開口して内側に曲がっている。このようなプランジャは、図16(A)に示すようなプレス加工で打ち抜いた板状の金属母材920を、図16(B)に示すような形状に丸め加工した後で金鍍金を施すことで得られる。
電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部でかつ内側に曲がって前記コイルスプリングを係止する係止部を成している。
電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部であり、かつ側面が内側に曲がって前記コイルスプリングを係止する係止部を成している。
電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部であり、
前記チューブ状プランジャを径方向に貫通して前記コイルスプリングを係止する係止部材を有する。
電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの外側にあり、前記チューブ状プランジャの外側面の係止部が前記コイルスプリングを係止する。
電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
第1及び第2のチューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、一端が前記第1のチューブ状プランジャの係止部で係止され、他端が前記第2のチューブ状プランジャの係止部で係止され、かつ前記第1及び第2のチューブ状プランジャを相互に離間する方向に付勢し、
前記第1及び第2のチューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングは前記第1及び第2のチューブ状プランジャの内側にあり、
前記第1及び第2のチューブ状プランジャは、それぞれの一方の端部が接続部であり、かつ側面の一部が内側に曲がっていて前記コイルスプリングを係止する係止部を成し、
前記第2のチューブ状プランジャは、他方の端部が前記第1のチューブ状プランジャの内側にあり、前記第1のチューブ状プランジャに対して相対的に摺動可能かつ抜止めされている。
少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記チューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程とを有する。
側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記チューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程とを有する。
前記曲げ加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分を内側に曲げ、
前記凸部加工工程では、前記曲げ加工工程よりも後に、前記小径化工程で小径化した部分から末端側を、一部が大径の凸部となるように所定長に渡って小径化するとよい。
前記曲げ加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分を内側に曲げ、
前記曲げ加工工程の後かつ前記凸部加工工程の前に、前記小径化工程で小径化した部分から末端側を所定長に渡って小径化する外径加工工程を実行し、
前記凸部加工工程では前記外径加工工程で小径化した部分の外側面に凸部を形成するとよい。
前記曲げ加工工程及び前記凸部加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記凸部加工工程では前記小径化工程で小径化した部分の外側面に凸部を形成し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分の先端部を内側に曲げるとよい。
前記凸部加工工程では、チューブ状金属材料の先端部を、一部が大径の凸部となるように所定長に渡って小径化し、
前記曲げ加工工程では前記凸部加工工程で小径化した部分の先端部を内側に曲げるとよい。
少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記チューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程で曲げた部分を一方への抜止めにして、前記チューブ状金属材料の内側にコイルスプリングの一方の端部を含む一部を挿入する挿入工程と、
前記挿入工程の後に、前記チューブ状金属材料の、前記曲げ加工工程で曲げた部分よりも前記コイルスプリングの他方の端部に近い側に、前記コイルスプリングの他方への抜止めを形成する抜止め加工工程とを有する。
側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記チューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程と、
前記曲げ加工工程で曲げた部分を一方への抜止めにして、前記チューブ状金属材料の内側にコイルスプリングの一方の端部を含む一部を挿入する挿入工程と、
前記挿入工程の後に、前記チューブ状金属材料の、前記曲げ加工工程で曲げた部分よりも前記コイルスプリングの他方の端部に近い側に、前記コイルスプリングの他方への抜止めを形成する抜止め加工工程とを有する。
少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無い大径の第1のチューブ状金属材料と、少なくとも内面に金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無い小径の第2のチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記第1及び第2のチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記第1のチューブ状金属材料の内側に前記第2のチューブ状金属材料の一方の端部を含む一部が存在し、かつ前記曲げ加工工程で曲げた部分を抜止めにして前記第1及び第2のチューブ状金属材料の内側にコイルスプリングが存在するように、前記第1及び第2のチューブ状金属材料並びに前記コイルスプリングを組み立てる組立工程とを有する。
側面に継ぎ目が無い大径の第1のチューブ状金属材料及び側面に継ぎ目が無い小径の第2のチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記第1及び第2のチューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程と、
前記第1のチューブ状金属材料の内側に前記第2のチューブ状金属材料の一方の端部を含む一部が存在し、かつ前記曲げ加工工程で曲げた部分を抜止めにして前記第1及び第2のチューブ状金属材料の内側にコイルスプリングが存在するように、前記第1及び第2のチューブ状金属材料並びに前記コイルスプリングを組み立てる組立工程とを有する。
図1は、本発明の実施の形態に係るチューブ状プランジャの製造方法1の工程説明図である。まず、図1(A)に示すように、チューブ状金属材料20を旋盤等の工作機械のチャック50で保持する。このチューブ状金属材料20は、例えば金クラッドチューブであり、同図又は図1(C)に拡大して示すように例えば銅又は銅合金等の導電性金属体である母材21の少なくとも内面に金層22を熱圧着等で備えたものである。なお、金層22に替えて、金以外の貴金属(白金、パラジウムその他)の層、あるいは貴金属を主成分とする貴金属合金(金合金、白金合金、パラジウム合金その他)の層としてもよい。以下、工程を順に説明する。
・曲げ加工工程… チューブ状金属材料20のうち小径化した部分を、例えば外側から押すことで図1(C)に示すように内側に曲げる。本工程では、小径化した部分は剛性が小さいため外側からのプレスにより曲がるものの、小径化していない部分は剛性が大きいため曲がらない。したがって、内側に曲げるべき部分のみを小径化しておくことで、外側からのプレスにより必要部分のみを内側に曲げることができて好都合である。このように先端を曲げることにより、ハンダボール等の対象物との接触性が良くなり、またチューブ状金属材料20の内側に挿入するコイルスプリングの抜止めにもなる。
・切断工程… チューブ状金属材料20を凸部加工工程で小径化した部分(所定長Yの範囲)の末端で図1(E)に示すように切断し、チューブ状プランジャが完成する。
図2は、本発明の実施の形態に係るチューブ状プランジャの製造方法2の工程説明図である。図2(A)〜(C)に示す各工程すなわち曲げ加工工程までの各工程は上述の製法1と同様である。ここでは、以降の工程について説明する。
・切断工程… チューブ状金属材料20を外径加工工程で小径化した部分(所定長Yの範囲)の末端で図2(E)に示すように切断する。
・凸部加工工程… 図2(F)に示すように、外径加工工程で小径化した部分の外側面に凸部41を例えば公知の板金加工技術(例えば特開2006−326662号公報に記載の技術)で形成し、チューブ状プランジャが完成する。この凸部41も、製法1で形成した凸部40と同様に、ハウジングからの抜止め、又は対を成すもう一方のチューブ状プランジャからの抜止めのために設けるものである。
図3は、本発明の実施の形態に係るチューブ状プランジャの製造方法3の工程説明図である。図3(A),(B)に示す各工程すなわち切込み加工工程までの各工程は上述の製法1と同様である。ここでは、以降の工程について説明する。
・切断工程… チューブ状金属材料20を外径加工工程で小径化した部分(所定長Yの範囲)の末端で図3(D)に示すように切断する。
・曲げ加工工程… チューブ状金属材料20のうち切込み30を入れた部分(先端から所定長Xの範囲の一部又は全部)を、図3(F)に示すように内側に曲げ、チューブ状プランジャが完成する。ここで、本製法における曲げ加工工程は、上記製法1及び2の場合と異なり、曲げる部分以外も既に小径化されているので、かしめ加工等によって行うとよい。なお、曲げ加工工程は凸部加工工程よりも先に行ってもよい。
図4は、本発明の実施の形態に係るチューブ状プランジャの製造方法4の工程説明図である。図4(A),(B)に示す各工程すなわち切込み加工工程までの各工程は上述の製法1と同様である。ここでは、以降の工程について説明する。
・切断工程… チューブ状金属材料20を凸部加工工程で小径化した部分(所定長Yの範囲)の末端で図4(D)に示すように切断する。
・曲げ加工工程… チューブ状金属材料20のうち切込み30を入れた部分(先端から所定長Xの範囲の一部又は全部)を図4(E)に示すように内側に曲げ、チューブ状プランジャが完成する。曲げ加工工程は、上述の製法3と同様に、かしめ加工等によって行うとよい。
図5は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第1構成例を示す断面図である。図6は、図5に示されるコンタクトプローブ100を複数本支持してなるソケット30の断面図である。
図6に示すように、ソケット300は、コンタクトプローブ100を複数本平行に配置するための空洞部32を所定間隔で有するハウジング31(絶縁支持体)を備え、各空洞部32にコンタクトプローブ100を挿入配置したものである。具体的には、第1及び第2のチューブ状プランジャ1,2とコイルスプリング3とを図5に示すように一体的に組み立ててコンタクトプローブ100を構成したものを、図6に示すようにハウジング31の空洞部32に挿入配置する。空洞部32の上端の開口側摺動支持部33は、第1のチューブ状プランジャ1の側面を摺動自在に支持(嵌合)する。空洞部32のうち開口側摺動支持部33を除く中間部35は、開口側摺動支持部33よりも大径で、凸部140が自由に動ける内周径となっている。空洞部32の開口側摺動支持部33は、凸部140に係合して第1のチューブ状プランジャ1の抜け出しを規制する。なお、ハウジング31は、コンタクトプローブ100を空洞部32内に組み込むために、あるいは空洞部32の深さを確保するために、複数層(図示の例では二層)重ね合わせた構造となっている。
図7は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第2構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ200は、第1構成例のコンタクトプローブ100と比較して、第2のチューブ状プランジャ2が無くなってコイルスプリング203の先端が検査用基板7との接続部品となっている点で主に相違し、その他の点は同様である。以下、相違点を中心に説明する。
図8は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第3構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ350は、第2構成例のコンタクトプローブ200と異なり、チューブ状プランジャ301を径方向に貫通する棒状の係止部材360を有し、係止部材360にコイルスプリング303(密着巻き部303a及び粗巻き部303bを有する)の末端が当接して係止されている。また、係止部材360のうちチューブ状プランジャ301の外側にある部分が、第2構成例の凸部140に替わってハウジング31からの抜止めを成している。そのため、チューブ状プランジャ301は、第2構成例の凸部140を有しない。本構成例のその他の点は、第2構成例のコンタクトプローブ200と同様である。本構成例も、第2構成例と同様の効果を奏することができる。
図9は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第4構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ400は、第2構成例のコンタクトプローブ200と異なり、チューブ状プランジャ401の側面の一部が内側に切り起こされて舌片部460を成しており、舌片部460にコイルスプリング303の末端が当接して係止されている。舌片部460は、凸部140よりもチューブ状プランジャ401の先端側にある。本構成例のその他の点は、第2構成例のコンタクトプローブ200と同様である。本構成例も、第2構成例と同様の効果を奏することができる。
図10は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第5構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ500は、第1構成例のコンタクトプローブ100と異なり、コイルスプリング503が第2のチューブ状プランジャ502の外側かつ第1のチューブ状プランジャ501の内側にある。第1のチューブ状プランジャ501の末端はかしめられていない。第2のチューブ状プランジャ502は、第1のチューブ状プランジャ501を小径にしたものに相当する。なお、第2のチューブ状プランジャ502の内面は、摺動面(接触面)でないため金層は不要である。第2のチューブ状プランジャ502の凸部540は、コイルスプリング503の一端と当接して係止するとともに、ハウジング31からの抜止めにもなる。本構成例のその他の点は、第2構成例のコンタクトプローブ200と同様である。本構成例も、第2構成例と同様の効果を奏することができる。
図11は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第6構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ600は、第5構成例のコンタクトプローブ500と異なり、コイルスプリング603が第1及び第2のチューブ状プランジャ601,602の外側にある。コイルスプリング603の一端及び他端は、第1及び第2のチューブ状プランジャ601,602の凸部140,640と当接して係止されている。本構成例のその他の点は、第5構成例のコンタクトプローブ500と同様である。本構成例も、第5構成例と同様の効果を奏することができる。
図12は、本発明の実施の形態に係るコンタクトプローブの第7構成例を示す断面図である。本構成例のコンタクトプローブ700は、第2構成例のコンタクトプローブ200と異なり、コイルスプリング703の末端側がチューブ状プランジャ701(第2構成例のチューブ状プランジャ201と同様の構成)の外側にある。コイルスプリング703の末端はチューブ状プランジャ701の凸部140に当接して係止されている。なお、チューブ状プランジャ701の内面は、摺動面(接触面)でないため金層は不要である。
2 第2のチューブ状プランジャ
3 コイルスプリング
4 検査対象物
5 ハンダボール
6 コンタクトパッド
7 検査用基板
18,28 三角片
19 末端
20 チューブ状金属材料
21 母材
22 金層
30 切込み
40 凸部
100,200,・・・,700 コンタクトプローブ
140,240 凸部
300 ソケット
Claims (19)
- 電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部でかつ内側に曲がって前記コイルスプリングを係止する係止部を成している、コンタクトプローブ。 - 電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部であり、かつ側面が内側に曲がって前記コイルスプリングを係止する係止部を成している、コンタクトプローブ。 - 電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの内側にあり、
前記チューブ状プランジャは、一方の端部が一方の対象物との接続部であり、
前記チューブ状プランジャを径方向に貫通して前記コイルスプリングを係止する係止部材を有する、コンタクトプローブ。 - 電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
チューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、前記チューブ状プランジャに係止され、かつ一方の端部が前記チューブ状プランジャと当接して前記チューブ状プランジャを離れる方向に付勢して、
前記チューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングの一部が前記チューブ状プランジャの外側にあり、前記チューブ状プランジャの外側面の係止部が前記コイルスプリングを係止する、コンタクトプローブ。 - 請求項1から4のいずれかに記載のコンタクトプローブにおいて、前記コイルスプリングは、他方の端部を含む少なくとも一部が密着巻き部となっている、コンタクトプローブ。
- 電気的に相互接続するコンタクトプローブであって、
第1及び第2のチューブ状プランジャと、コイルスプリングとを備え、
前記コイルスプリングは、一端が前記第1のチューブ状プランジャの係止部で係止され、他端が前記第2のチューブ状プランジャの係止部で係止され、かつ前記第1及び第2のチューブ状プランジャを相互に離間する方向に付勢し、
前記第1及び第2のチューブ状プランジャの側面に継ぎ目が無く、
前記コイルスプリングは前記第1及び第2のチューブ状プランジャの内側にあり、
前記第1及び第2のチューブ状プランジャは、それぞれの一方の端部が接続部であり、かつ側面の一部が内側に曲がっていて前記コイルスプリングを係止する係止部を成し、
前記第2のチューブ状プランジャは、他方の端部が前記第1のチューブ状プランジャの内側にあり、前記第1のチューブ状プランジャに対して相対的に摺動可能かつ抜止めされている、コンタクトプローブ。 - 請求項1から6のいずれかに記載のコンタクトプローブを複数本絶縁支持体で支持してなるソケット。
- 少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記チューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程とを有する、チューブ状プランジャの製造方法。 - 側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記チューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程とを有する、チューブ状プランジャの製造方法。 - 請求項8又は9に記載の方法において、前記チューブ状金属材料の外側面に凸部を形成する凸部加工工程をさらに有する、チューブ状プランジャの製造方法。
- 請求項10に記載の方法において、
前記曲げ加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分を内側に曲げ、
前記凸部加工工程では、前記曲げ加工工程よりも後に、前記小径化工程で小径化した部分から末端側を、一部が大径の凸部となるように所定長に渡って小径化する、チューブ状プランジャの製造方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記曲げ加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分を内側に曲げ、
前記曲げ加工工程の後かつ前記凸部加工工程の前に、前記小径化工程で小径化した部分から末端側を所定長に渡って小径化する外径加工工程を実行し、
前記凸部加工工程では前記外径加工工程で小径化した部分の外側面に凸部を形成する、チューブ状プランジャの製造方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記曲げ加工工程及び前記凸部加工工程に先だってチューブ状金属材料の先端部を所定長に渡って小径化する小径化工程を実行し、
前記凸部加工工程では前記小径化工程で小径化した部分の外側面に凸部を形成し、
前記曲げ加工工程では前記小径化工程で小径化した部分の先端部を内側に曲げる、チューブ状プランジャの製造方法。 - 請求項10に記載の方法において、
前記凸部加工工程では、チューブ状金属材料の先端部を、一部が大径の凸部となるように所定長に渡って小径化し、
前記曲げ加工工程では前記凸部加工工程で小径化した部分の先端部を内側に曲げる、チューブ状プランジャの製造方法。 - 請求項8から14のいずれかに記載の方法において、前記チューブ状金属材料の先端部に所定数の切込みを入れる切込み加工工程をさらに有し、前記曲げ加工工程では前記切込み加工工程で切込みを入れた部分を内側に曲げる、チューブ状プランジャの製造方法。
- 少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記チューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程で曲げた部分を一方への抜止めにして、前記チューブ状金属材料の内側にコイルスプリングの一方の端部を含む一部を挿入する挿入工程と、
前記挿入工程の後に、前記チューブ状金属材料の、前記曲げ加工工程で曲げた部分よりも前記コイルスプリングの他方の端部に近い側に、前記コイルスプリングの他方への抜止めを形成する抜止め加工工程とを有する、コンタクトプローブの製造方法。 - 側面に継ぎ目が無いチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記チューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程と、
前記曲げ加工工程で曲げた部分を一方への抜止めにして、前記チューブ状金属材料の内側にコイルスプリングの一方の端部を含む一部を挿入する挿入工程と、
前記挿入工程の後に、前記チューブ状金属材料の、前記曲げ加工工程で曲げた部分よりも前記コイルスプリングの他方の端部に近い側に、前記コイルスプリングの他方への抜止めを形成する抜止め加工工程とを有する、コンタクトプローブの製造方法。 - 少なくとも内面に貴金属の層又は貴金属を主成分とする合金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無い大径の第1のチューブ状金属材料と、少なくとも内面に金の層を備えかつ側面に継ぎ目が無い小径の第2のチューブ状金属材料を準備する準備工程と、
前記第1及び第2のチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記第1のチューブ状金属材料の内側に前記第2のチューブ状金属材料の一方の端部を含む一部が存在し、かつ前記曲げ加工工程で曲げた部分を抜止めにして前記第1及び第2のチューブ状金属材料の内側にコイルスプリングが存在するように、前記第1及び第2のチューブ状金属材料並びに前記コイルスプリングを組み立てる組立工程とを有する、コンタクトプローブの製造方法。 - 側面に継ぎ目が無い大径の第1のチューブ状金属材料及び側面に継ぎ目が無い小径の第2のチューブ状金属材料の側面の一部を内側に曲げる曲げ加工工程と、
前記曲げ加工工程の後に、前記第1及び第2のチューブ状金属材料の少なくとも内面に貴金属又は貴金属を主成分とする合金の鍍金を施す鍍金工程と、
前記第1のチューブ状金属材料の内側に前記第2のチューブ状金属材料の一方の端部を含む一部が存在し、かつ前記曲げ加工工程で曲げた部分を抜止めにして前記第1及び第2のチューブ状金属材料の内側にコイルスプリングが存在するように、前記第1及び第2のチューブ状金属材料並びに前記コイルスプリングを組み立てる組立工程とを有する、コンタクトプローブの製造方法。
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