TWI418820B - 檢查用治具及接觸件 - Google Patents

Description

檢查用治具及接觸件

本發明係關於將預先設定在被檢查物之檢查對象部上的檢查點與用來實施該檢查的檢查裝置進行電連接的檢查用治具，尤其有關可輕易地進行四端子測定的檢查用接觸件，及使用該接觸件的檢查用治具。

本發明之檢查用治具，對於被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置對既定之檢查位置供給電力或電氣信號，並從檢查對象部檢測出電氣信號，藉此可檢測出檢查對象部的電氣特性，或者進行動作試驗。

此種被檢查物可列示如：印刷配線基板、撓性基板、陶瓷多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器用的電極板、及半導體封裝用的封裝基板或膜式載體等各種基板，或者半導體晶圓、半導體晶片或晶片尺寸封裝(CSP，Chip size package)等之半導體裝置。

本說明書中，將該等上述被檢查物總稱為「被檢查物」，將形成在被檢查物的檢查對象部稱為「檢查部」。又，在檢查部設定用以實際檢查該檢查部之電氣特性的檢查點，並使接觸件壓接於該檢查點，藉以檢測出檢查部的電氣特性。

以往，於被檢查物之一實施形態即電路基板上形成有複數配線。該配線形成用來供給電力或流過電氣信號，以使搭載在電路基板上的電氣、電子零件具有所希望之功能。因此，已知配線不良會導致電路基板的動作不良。

為了解決此種問題，已多次有人提出對於如形成在電路基板或半導體裝置等被檢查物之配線的對象部是否良好進行判定的檢查裝置的發明。

此種檢查裝置為了對於例如為被檢查物之基板上所形成的配線是否良好進行判斷，使用具備有與預先設定在配線上之複 數檢查點分別連接的複數接觸件(探針)的檢查用治具來實施檢查。

此種檢查用治具之接觸件的一端被壓接在配線(檢查部)上的檢查點，另一端被壓接在與基板檢查裝置電氣連接的電極部。然後，藉由該檢查用治具，從基板檢查裝置供給用以測定配線之電氣特性的電流或電壓，並且往基板檢查裝置發送從配線所檢測出的電氣信號。

近年來，由於技術的進步，半導體裝置小型化，基板小型化，基板上的配線隨之也形成得更細微且複雜。隨著如此基板之配線不斷細微化及複雜化，檢查用治具所具有的接觸件也須要進行接觸件本身的細線化、接觸件間的間距狹小化、多針化及簡潔化。

尤其，在對細微化及複雜化之被檢查物的對象部進行測定時，由於對象部與接觸件接觸時所產生之接觸電阻值的影響大，因此實施四端子測定法。在該四端子測定法中，須要在檢查點配置電流供給用與電壓檢測用之兩組電氣獨立的接觸件。因此，需要比起通常情況更細線化的接觸件。

在此，例如專利文獻1所揭示之檢查用治具的接觸件具備：筒狀構件之第一電極部、及與該第一電極部內部絕緣而配置在其內部的第二電極部，並形成為第一電極部及第二電極部同時與檢查點接觸。

然而，專利文獻1所揭示的檢查用治具由於以使用繞線的螺旋彈簧形成，因此難以形成具有比繞線直徑之四倍左右小的直徑的線圈，而極難形成外徑在100μm以下的繞線螺旋彈簧，並極難組裝成檢查用治具。即使能夠形成，就製造成本而言，利用到2000~4000支檢查用治具也過於昂貴，而有不實用的問題。

【專利文獻1】日本特開2005-249447號公報

本發明提供檢查用治具，其具備四端子測定用的接觸件，該接觸件能因應基板之細微化及複雜化，並具有零件個數減少之簡潔化構造。

為解決上述課題，依本發明之檢查用治具，其特徵為：包含：連接電極體，具備有與檢查裝置電連接的複數之電極部；第一筒體，呈筒形且具有導電性，其上方端壓接於該電極部；第二筒體，呈筒形且具有導電性，其從該第一筒體的下方端開口部突出，並以與該第一筒體電連接方式同軸地配置在該第一筒體內，並且第二筒體之上方端配置在該第一筒體的內部，而第二筒體之下方端壓接於該檢查部；第三筒體，呈筒形且具有導電性，其與該第一筒體及該第二筒體未電性連接，且同軸地收納在該第一筒體及該第二筒體的內部，並且第三筒體之上方端壓接於該電極部，而第三筒體之下方端壓接於該檢查部；第一板狀構件，設有用來將該第二筒體與第三筒體各自的下方端引導至該檢查點的第一導引孔；及第二板狀構件，設有用來將該第一筒體與該第三筒體各自的上方端引導至該電極部的第二導引孔，且第二板狀構件配置成與該第一板狀構件隔開既定之間隔；其中該第一筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀的第一缺口部，該第三筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀的第二缺口部，且該第一筒體在比該第一缺口部靠下方端側的位置設有用來與該第二筒體固定的第一固定部。

該第一導引孔可具有比該第一筒體之外徑小且比第二筒體之外徑稍微大的孔徑。在此，「比第二筒體之外徑大的孔徑」意味著「比第二筒體之外徑稍微大的孔徑」。至於對「稍微」的上限與下限，屬於能以熟悉本技藝之士的水平依環境加以變更的設計事項。以下在本說明書中相同。

該第三筒體可形成為設於該第三筒體之下方側的一個缺口部存在於第一導引孔的內部。

該第一導引孔可具有：第一導引上孔，具有比該第一筒體之外徑稍微大的孔徑；及第一導引下孔，與該第一導引上孔連通連結，並且具有比該第一筒體之外徑小且比該第二筒體之外徑稍微大的孔徑。在此，「比第一筒體之外徑大的孔徑」意味著「比第一筒體之外徑稍微大的孔徑」。至於對「稍微」的上限與下限，屬於能以熟悉本技藝之士的水平依環境加以變更的設計事項。以下在本說明書中相同。

該第三筒體可在其上方端與下方端之間的筒壁部以彼此隔開距離的方式設有螺旋狀的兩個第二缺口部，並且在該兩個第二缺口部之間設有用來與該第二筒體固定的第二固定部。

該第三筒體可形成為第二缺口部配置成相對於該第三筒體之中心呈大致對稱的形狀。在此，「相對於第三筒體之中心呈對稱」意味著「包含相對於第三筒體之中心呈大致對稱的對稱」。至於對「大致」的上限與下限，屬於可以熟悉本技藝之士的水平依環境加以變更的設計事項。以下在本說明書中相同。

又，依本發明之接觸件係使用於檢查用治具，該檢查用治具將具有被檢查對象即檢查部的被檢查物、與用來檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置二者電連接；該接觸件之特徵為：包含：第一筒體，呈筒形且具有導電性，其上方端壓接於該電極部；第二筒體，呈筒形且具有導電性，其從該第一筒體的下方端開口部突出，並以與該第一筒體電連接方式同軸地配置在該第一筒體內，並且第二筒體之上方端配置在該第一筒體的內部，而第二筒體之下方端壓接於該檢查部；及第三筒體，呈筒形且具有導電性，其與該第一筒體及該第二筒體均未電性連接，且同軸地收納在該第一筒體及該第二筒體的內部，並且第三筒體之上方端壓接於該電極部，而第三筒體之下方端壓接於該檢查部；其中該第一筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀的第一缺口部，該第三筒體在其上方端與下方端之間的 筒壁部以彼此隔開距離的方式設有螺旋狀的兩個第二缺口部；且該第一筒體在比第一缺口部靠下方端側的位置設有用來與該第二筒體固定的第一固定部，該第三筒體在兩個第二缺口部之間設有用來與該第二筒體固定的第二固定部。

該第三筒體可形成為第二缺口部配置成相對於該第三筒體之中心呈大致對稱的形狀。

又，依本發明之接觸件係使用於檢查用治具，該檢查用治具將具有被檢查對象即檢查部的被檢查物，與用來檢查該檢查部之電氣特性的檢查裝置二者電連接；該接觸件之特徵為：包含：內側接觸件，由導電性的筒狀構件形成，且該內側接觸件之一方端壓接於電極部，另一方端壓接於檢查點；及外側接觸件，由導電性的筒狀構件形成，並將該內側接觸件以非導電狀態收納於內部，且該外側接觸件之一方端壓接於電極部，另一方端壓接於檢查點；而且該內側接觸件與該外側接觸件在該一方端與另一方端之間的筒壁部設有螺旋狀的缺口部，且該外側接觸件之筒狀構件的外側壁面形成為從該另一方端側朝該一方端側逐漸變大，或者呈階梯狀變大。

依請求項1所記載之發明，藉由使用導電性的第一筒體、以比該第一筒體突出的方式收納於第一筒體之內部的導電性的第二筒體、及收納於該第二筒體之內部的導電性的第三筒體，使本檢查用治具所包含的接觸件具有配置在同軸上的兩個端子(外側接觸件與內側接觸件)。又，收納於第一筒體內部的第二筒體之下方端、及收納於第二筒體內部的第三筒體之下方端與檢查部側接觸，而將第二筒體收納於內部的第一筒體之上方端、及收納於第二筒體內部的第三筒體之上方端與電極部側接觸，因此能使上方端(電極部側)的2個端子之間距相較於下方端(檢查部側)的2個端子之間距為寬，故能避免電極部的間距狹小化，並且還能有效地使用於小間距的檢查點。而且，藉由使第二筒體成為第一筒體與第三筒體的導引件，能確保接觸件的強度，並且可使雙方確實地垂直伸 縮。又，由於兩個接觸件由一體型的三個筒狀構件形成，因此能減少零件個數並簡潔化。

依請求項2所記載之發明，在接觸件受保持於檢查用治具時，該接觸件的第一筒體下方端與第一板狀構件的上表面接觸，藉此能防止接觸件脫落。

依請求項3所記載之發明，由於設在第三筒體之下方側的一個缺口部存在於第一導引孔的內部，因此形成該第一導引孔的第一板狀構件可引導該缺口部的伸縮動作，能穩定地進行伸縮動作。

依請求項4所記載之發明，在接觸件受保持於檢查用治具時，該接觸件的第一筒體之下方端與形成第一導引下孔的第一板狀構件之上表面(第一導引上孔與第一導引下孔的分界面)接觸，藉此能將接觸件高精度地保持在適當的位置，並且能將接觸件保持成第二筒體下方端及第三筒體下方端可與檢查點接觸。

依請求項5所記載之發明，由於在第三筒體上夾著第二固定部而形成有兩個缺口部，故上方端側的缺口部依來自電極部的推壓力而伸縮，下方端側的缺口部則依來自檢查點的推壓力而伸縮，因此能實現各缺口部獨立地伸縮的功能。

依請求項6所記載之發明，由於在第三筒體以相對於第三筒體之中心呈大致對稱形狀的方式配置有第二缺口部，因此在組裝接觸件時無須區分第三筒體的上方端與下方端，能縮短接觸件的製作所需要的時間。

依請求項7及9所記載之發明，利用導電性的第一筒體、以比該第一筒體之開口突出的方式收納於第一筒體之內部的導電性的第二筒體、及收納於該第二筒體之內部的導電性的第三筒體，將檢查用治具之接觸件的上方端與下方端配置在同軸上。又，收納於第一筒體內部的第二筒體之下方端、及收納於第二筒體內部的第三筒體之下方端與檢查部側接觸，而將第二筒體收納於內部的第一筒體之上方端、及收納於第二筒體內部 的第三筒體之上方端與電極部側接觸，因此能使上方端(電極部側)的2個端子之間距相較於下方端(檢查部側)的2個端子之間距為寬，故能避免電極部的間距狹小化，並且還能有效地使用於小間距的檢查點。而且，藉由使第二筒體成為第一筒體與第三筒體的導引件，能確保接觸件的強度，並且可使雙方確實地垂直伸縮。又，由於兩個接觸件由一體型的三個筒狀構件形成，因此能減少零件個數並簡潔化。

依請求項8所記載之發明，由於在第三筒體以相對於第三筒體之中心呈大致對稱形狀的方式配置有第二缺口部，因此在組裝接觸件時無須區分第三筒體的上方端與下方端，能縮短接觸件的製作所需要的時間。

(實施發明之最佳形態)

以下對用以實施本發明的實施形態進行說明。

圖1係顯示依本發明之檢查用治具之一實施形態的概略構成圖。依本發明之檢查用治具1包含：複數之接觸件2；保持體3，將該等接觸件2保持成多針狀；連接電極體4，支撐該保持體3，並具有與各接觸件2接觸而成為導通狀態的電極部41(參照圖5)；及導線部5，從電極部41延伸設置而與之電連接。

又，圖1顯示3根接觸件作為複數之接觸件2，並顯示分別對應的3根導線部5，但其等並不限於3根，可根據檢查對象之基板所設定的檢查點來決定。

本發明之主要特徵在於：利用三個導電性筒狀構件中的兩個作為第一接觸件，利用其餘的一個筒狀構件作為第二接觸件，而使用作具有外側接觸件與內側接觸件此二接觸件的接觸件，藉此能夠利用於四端子測定。

藉由如此構成，外側接觸件的下端(第二筒體的下端)和內側接觸件的下端(第三筒體的下端)與檢查點接觸，而外側接觸件的上端(第一筒體的上端)和內側接觸件的上端(第三筒體的上端) 與電極部接觸。

首先說明本發明之第一實施形態的接觸件(以下稱第一接觸件)。圖2係本發明之第一接觸件的概略剖面圖，圖3係顯示構成第一接觸件的外側接觸件的分解剖面圖，3(a)顯示第一筒體，3(b)顯示第二筒體，3(c)顯示在第一筒體內配置有第二筒體的狀態，圖4係第三筒體的概略剖面圖。

如上所述，該第一接觸件2具有外側接觸件21與內側接觸件22，且在外側接觸件21之內部，內側接觸件22以與外側接觸件21絕緣的狀態配置。

外側接觸件21具有第一筒體211與第二筒體212，而內側接觸件22由第三筒體213形成。第一接觸件2如圖2所示，最外側配置有外側接觸件21的第一筒體211，第一筒體211之內側配置有外側接觸件21的第二筒體212，而最內側配置有第三筒體213。如此第一接觸件2係由直徑不同的三個筒狀構件配置成同心軸狀所構成。

第一筒體211形成外側接觸件21的一部份，並形成外側接觸件21之抵接於電極部的部位。該第一筒體211係三個筒狀構件中具有最大直徑的筒狀構件。該第一筒體211具有既定之長度，並形成為具有兩端開口部之導電性之中空狀的圓柱形狀(筒形)。該第一筒體211之一端開口部與後述的電極部41接觸，藉此能將電極部與外側接觸件21電連接。

第一筒體211由第一前端部211a、第一缺口部211b、第一固定部211c及第一後端部211d各部位形成(參照圖3(a))。第一前端部211a、第一缺口部211b及第一後端部211d由於以同一筒狀構件形成各個部位，因此各個部位具有相同的外徑與內徑，第一固定部211c形成於該筒狀構件的壁面。本發明之第一筒體211，藉由在一根筒狀構件的壁面設置螺旋狀的缺口而形成缺口部，並將夾著該缺口部的兩個筒狀構件分別形成為第一前端部與第一後端部。又，該第一缺口部211b的長度並無特別限定，但須要將長度調整成具有所希望之伸縮長，且只要第一筒 體211的強度夠，也可遍及第一筒體211的大致全長而形成缺口部。

第一前端部211a具有與電極部41抵接之一邊形成開口的上端面，該第一前端部211a的上端面相當於第一筒體211的上方端。第一前端部211a被貫通支撐於後述第二板狀構件32之第二導引孔321的內部，而被引導至既定的第一電極部411。第一前端部211a在長軸方向上的長度並無特別限定，但較佳係形成得比第二板狀構件32的厚度長。第一前端部211a之下端與後述第一缺口部211b之上端連通連結。

第一缺口部211b形成在第一前端部211a與第一後端部211d之間，且第一缺口部211b的上端與第一前端部211a的下端連通連結，而第一缺口部211b的下端與後述第一後端部211d的上端連通連結。如上所述，該第一缺口部211b係藉由沿著作為第一筒體的筒狀構件之壁面形成螺旋狀的缺口而形成。藉由如此在第一筒體211形成螺旋狀的缺口，使該第一缺口部211b作為在第一筒體之長軸方向上伸縮的伸縮部而發揮功能。又，該缺口部211b所具有的伸縮特性，可藉由缺口部之寬或長與筒狀構件之厚度的調整、筒狀構件之材料的種類、對筒狀構件施加的各種處理(熱處理或化學處理等)、或者各種機械加工處理(塑性加工等)來加以適當調整，且由使用者適當調整。又，缺口部在圖中設有一個，但也可設置複數個。

第一後端部211d的上端與第一缺口部211b的下端連通連結，且第一後端部211d的下端開口部相當於第一筒體211的下方端。關於該第一後端部211d，第一板狀件31與第一後端部211d的下方面相抵接。因此，第一筒體211中，作為其上方端的第一前端部211a之上方面與電極部抵接，作為其下方端的第一後端部211d之下方面與第一板狀構件31抵接(參照圖5)。第一後端部211d在長軸方向上的長度形成為具有如上述地第一後端部211d之下方面能抵接於第一板狀構件31的長度。又，該第一後端部211d設置成使後述第二筒體從該第一後端部211d的開口部突出。

第一固定部211c將第一筒體211與第二筒體212電連接。該第一固定部211c形成於第一後端部211d。該圖3(a)所示之第一固定部211c，顯示藉由從第一筒體211(第一後端部211d)側往第二筒體212側進行推壓而形成第一後端部211d往內側彎曲的凹部的狀態。又，該凹部係用以於已將第二筒體212配置在第一筒體211內部後的情況下固定第一筒體211與第二筒體212而形成，但也可事先形成於第一筒體211。又，該凹部係為了固定第一筒體211與第二筒體212，在藉由從外側(第一筒體211)往內側(第二筒體212)進行推壓(斂縫)來加以固定的情況下所形成。

利用第一固定部211c的第一及第二筒體的固定方法並不限於該斂縫方法，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏結劑等其他固定方法。又，在第一筒體211與第二筒體212的固定方法係採用焊接等將第一筒體211與第二筒體212電連接的固定方法之情況下，不須利用焊錫或導線等加以電連接，但採用不將第一筒體211與第二筒體212電連接的固定方法之情況下，也可利用焊錫或導線等將例如第一筒體211與第二筒體212電連接。

如上所述，第一筒體211可由一根導電性的筒狀構件形成，形成為例如外徑40~250μm、內徑30~240μm、壁厚5~50μm。

第一筒體211在長軸方向上的長度較佳係形成得比後述第一板狀構件31與第二板狀構件32之間隔和第一導引上孔311之深度的合計長度稍長。其原因為：在第一接觸件2受保持於保持體3時，第一缺口部211b收縮而成為偏壓狀態，使第一筒體211之上端形成始終壓接於電極部的狀態。

第一筒體211之上端與電極部接觸，而與第一筒體211電連接的第二筒體212配置成從第一筒體211之下端突出。第一筒體211與第二筒體212以導電性材料形成。作為該材料，只要是具有導電性的材料即可，並無特別限定，可例示如鎳、鎳合金或鈀合金。

第一前端部211a、第一缺口部211b及第一後端部211d分別配置於第一筒體211，但該等部位也可配置成相對於第一筒體211 位於對稱位置。在如此配置的情況下，第一筒體211將具有對稱的形狀，而上下方向的差異消除，因此組裝變得容易。

第二筒體212形成外側接觸件21之一部份，並且係外側接觸件21之用以與檢查點抵接的構件。該第二筒體212具有三個筒狀構件內大致中間大小的直徑，也具有既定之長度，並且由導電性材料形成。該第二筒體212形成為具有兩端開口之中空狀的圓柱形狀(筒形)。第二筒體212配置成其下方端與檢查點接觸，而上方端始終位於第一筒體211之內部。又，外側接觸件21使用彼此電連接的第一筒體211與第二筒體212，而電極部41與第一筒體211導通接觸，檢查點與第二筒體212導通接觸，藉此將檢查點與電極部電連接。

該第二筒體212具有第二前端部212a、第二固定部212b及第二後端部212c。第二前端部212a與第二後端部212c由一根筒狀構件形成，具有相同的外徑與內徑，而第二固定部212b形成在該筒狀構件的壁面上。

第二前端部212a係形成第二筒體212之筒狀構件的一方端部，且從後述第二固定部212b到電極部側的部位相當於該第二前端部212a。該第二前端部212a始終收納配置在第一筒體211內。為了將該第二前端部212a如上述地始終收納於第一筒體211內，第二前端部212a的長度須要形成為如下的長度：即使在藉由第一筒體211所設有之第一缺口部211b的伸縮功能而使第一筒體211縮短的情況下，該第二前端部212a也不會從第一筒體211的上方端突出。

第二後端部212c係形成第二筒體212之筒狀構件的另一方端部，且從後述第二固定部212b到檢查點側的部位相當於該第二後端部212c，該第二後端部212c的另一開口部作為外側接觸件21的下方端而與檢查點導通接觸。第二後端部212c的長度須要形成為如上述地比第一筒體211之第一後端部211d的另一開口部突出配置的長度。

第二固定部212b將第一筒體211與第二筒體212電連接。該 第二固定部212b形成在與上述第一固定部211c相同的位置。第二固定部212b較佳係形成在從第二筒體212之中央偏離的位置(圖3中係比中央靠下方側的位置)。其目的為：將第二固定部212b形成在與第一後端部211d上所配置之第一固定部211c的位置對應的位置。藉由如此固定第一筒體211與第二筒體212，而由於第一固定部211c位在比第一缺口部211b下方端側的第一後端部211d上，因此藉由第一缺口部211b的伸縮，使第二前端部212a於第一筒體211的內部空間中相對移動。又，圖3(b)所示之第二固定部212b顯示成往內側彎曲的內側凹部，該內側凹部係用以於已將第二筒體212收納在第一筒體211內部後的情況下固定第一筒體211、第二筒體212及第三筒體213而形成，但也可事先形成於第二筒體212。又，該內側凹部係為了固定第一筒體211與第二筒體212，在藉由從外側(第一筒體211)往內側(第二筒體212)進行推壓(斂縫)來加以固定的情況下所形成。該第一及第二筒體的固定方法並不限於該斂縫方法，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏結劑等其他固定方法。

第二筒體212可由一根導電性的筒狀構件形成，形成為例如外徑20~220μm、內徑10~200μm、壁厚5~50μm。

第二筒體212也可以相對於中心呈點對稱或者相對於中心軸呈線對稱的方式配置各個部位而形成。於如此形成為對稱之形狀的情況下，在製造外側接觸件21時，可無上下之分地利用第二筒體212。

與第一筒體211相同，第二筒體212也由導電性材料形成。作為該材料，只要是具有導電性的材料即可，並無特別限定，可例示如鎳、鎳合金或鈀合金。

如圖3(c)所示，第一筒體211與第二筒體212藉由配置成一側係第一筒體211突出，且另一側係第二筒體212突出，而形成為外側接觸件21。第一筒體211與第二筒體212由於以第一固定部211c與第二固定部212b電連接而固定，因此藉由使第一筒體211的上方端與電極部接觸，並使第二筒體212的下 方端與檢查點接觸，能作為將電極部與檢查點電連接的接觸件而發揮功能。

接著，對於作為形成第一接觸件2之內側接觸件22的第三筒體213進行說明(參照圖4)。該第三筒體213形成內側接觸件22，並且形成內側接觸件22之抵接於電極部與檢查點的部位。該第三筒體213係三個筒狀構件中具有最小直徑的筒狀構件。該第三筒體213具有既定之長度，並且形成為具有兩端開口之導電性的中空狀的圓柱形狀(筒形)。

第三筒體213由第三前端部213a、第二缺口部213b、中間部213c、第三固定部213d、第三缺口部213e及第三後端部213f各個部位形成(參照圖4)。第三前端部213a、第二缺口部213b、中間部213c、第三缺口部213e及第三後端部213f，由於各個部位由同一筒狀構件形成，因此各個部位具有相同的外徑與內徑，而第三固定部213d形成於該筒狀構件的壁面。本發明之第三筒體213，藉由在一根筒狀構件的壁面設置螺旋狀的缺口而形成缺口部，並將夾著該缺口部的兩個筒狀構件分別形成為第三前端部213a與第三後端部213f。又，該第二缺口部213b及第三缺口部213e的長度並無特別限定，但須要將長度調整成具有所希望之伸縮長，且只要第三筒體213的強度夠，也可遍及第三筒體213的大致全長而形成缺口部。

第三前端部213a具有與電極部41抵接之上方形成開口的上端面，該第三前端部213a的上端面相當於內側接觸件22的上方端。第三前端部213a被貫通支撐於後述第二板狀構件32之第二導引孔321的內部，而被引導至既定的第二電極部412。第三前端部213a在長軸方向上的長度並無特別限定，但較佳係形成得比第二板狀構件32的厚度長。第三前端部213a之下端與後述第二缺口部213b之上端連通連結。

第二缺口部213b形成在第三前端部213a與中間部213c之間，且第二缺口部213b的上端與第三前端部213a的下端連通連結，而第二缺口部213b的下端與後述中間部213c的上端連 通連結。如上所述，該第二缺口部213b係藉由沿著作為第三筒體的筒狀構件之壁面形成螺旋狀的缺口而形成。藉由如此在第三筒體213形成螺旋狀的缺口，使該第二缺口部213b作為在第三筒體之長軸方向上伸縮的伸縮部而發揮功能。又，該缺口部213b所具有的伸縮的特性，可藉由缺口部之寬或長與筒狀構件之厚度的調整、筒狀構件之材料的種類、對筒狀構件施加的各種處理(熱處理或化學處理等)、或者各種機械加工處理(塑性加工等)來加以調整，且由使用者適當調整。又，該缺口部213b在圖中設有一個，但也可設置複數個。

中間部213c形成在第三筒體213的第二缺口部213b與第三缺口部213e之間，且中間部213c之上端與第二缺口部213b之下端連通連結，而中間部213c之下端與後述第三缺口部213e之上端連通連結。該中間部213c具有後述第三固定部213d，且電性絕緣地與第一筒體211及第二筒體212固定。

第三固定部213d以絕緣狀態固定第二筒體212與第三筒體213。該第三固定部213d形成於中間部213c。該圖4所示之第三固定部213d係藉由從第二筒體212(第二後端部212c)側往第三筒體213側推壓來進行固定。又，該固定部係用以於已將第三筒體213配置在第二筒體212內部後的情況下固定第二筒體212與第三筒體213而形成，但也可事先形成於第三筒體213。又，該固定部係為了固定第二筒體212與第三筒體213，在藉由從外側(第二筒體212)往內側(第三筒體213)進行推壓(斂縫)來加以固定的情況下所形成。

利用第三固定部213d的第二及第三筒體的固定方法並不限於該斂縫方法，也可使用黏結劑等其他固定方法。但是，第二筒體212與第三筒體213由於必須以絕緣狀態固定，因此不可採用電連接的固定方法。

第三缺口部213e形成在中間部213c與第三後端部213f之間，且第三缺口部213e的上端與中間部213c的下端連通連結，而第三缺口部213e的下端與後述第三後端部213f的上端連通連 結。如上所述，該第三缺口部213e係藉由沿著作為第三筒體的筒狀構件之壁面形成螺旋狀的缺口而形成。藉由如此在第三筒體213形成螺旋狀的缺口，使該第三缺口部213e作為在第三筒體之長軸方向上伸縮的伸縮部而發揮功能。又，該缺口部213e所具有的伸縮特性，可藉由缺口部之寬或長與筒狀構件之厚度的調整、筒狀構件之材料的種類、對筒狀構件施加的各種處理(熱處理或化學處理等)、或者各種機械加工處理(塑性加工等)來加以適當調整，且由使用者適當調整。又，第三缺口部在圖中設有一個，但也可設置複數個。

第三後端部213f的上端與第三缺口部213e的下端連通連結，第三後端部213f的下端開口相當於第三筒體213的下方端。因此，第三筒體213之作為上方端的第三前端部213a的上方面與電極部抵接，而第三筒體213之作為下方端的第三後端部213f的下方面與檢查點抵接。第三後端部213f在長軸方向上的長度如上所述般，形成為具有第三後端部213f之下方面能抵接於檢查點的長度。

第三筒體213可由一根導電性的筒狀構件形成，且形成為例如外徑20~220μm、內徑10~200μm、壁厚5~50μm。

第三筒體213在長軸方向上的長度較佳係形成得比後述第一板狀構件31的底面與第二板狀構件32的頂面之間的間隔稍長。其原因為：在第一接觸件2受保持於保持體3時，第二缺口部213b收縮而成為偏壓狀態，使第三筒體213之上端部形成始終壓接於電極部的狀態。

第三筒體213之上端與電極部接觸，下端與檢查點接觸，而藉由該第三筒體213實現檢查點與電極部之間的電導通。又，第三筒體213以導電性材料形成。作為該材料，只要是具有導電性的材料即可，並無特別限定，可例示如鎳、鎳合金或鈀合金。

第三前端部213a、第二缺口部213b、中間部213c、第三缺口部213e及第三後端部213f分別配置於第三筒體213，但該等 部位也可配置成相對於第三筒體213位於對稱位置。在如此配置的情況下，第三筒體213將具有對稱的形狀，而上下方向的差異消除，因此組裝變得容易。

第一接觸件2由於將作為內側接觸件的第三筒體213收納配置在外側接觸件(第一筒體211與第二筒體212)的內部，因此如圖4所示，較佳係在第三筒體213之筒狀構件部份的外側周緣形成絕緣被膜213g。該絕緣被膜213g可利用例如聚醯亞胺、聚四氟乙烯(PTFE)或環氧樹脂。該絕緣被膜213g之厚度形成為例如1~5μm。又，該絕緣被膜也可形成在缺口部的外側周緣。

該絕緣被膜213g於圖4的實施形態中係形成在第三筒體213的外側周緣，但也可形成在第二筒體212的內側周緣。

當第一接觸件2受推壓至檢查點或電極部時，外側接觸件21的下方端(第二筒體212的下方端)及內側接觸件22的下方端(第三筒體213的下方端)與檢查點抵接，而外側接觸件21的上方端(第一筒體211的上方端)及內側接觸件的上方端(第三筒體213的上方端)與電極部抵接。

如圖2所示，第三筒體213配置成從第一筒體211的上方端開口部與第二筒體212的下方端開口部突出，但第三筒體213也可配置成完全不突出。由於第一筒體211與第三筒體213均包含具有伸縮功能的缺口部，因此無論平面上任一個筒體突出，均可藉由在受檢查點或電極部推壓時缺口部充分地收縮，使第一筒體211及第二筒體212(外側接觸件)與第三筒體213(內側接觸件)二者抵接於檢查點或電極部。

圖5係顯示將第一接觸件2安裝於保持體的狀態的剖面圖。檢查用治具1具有用來保持第一接觸件2的保持體3。該保持體3具有第一板狀構件31與第二板狀構件32。

第一板狀構件31具有用來將第一接觸件2之下方端引導至檢查點的第一導引上孔311與第一導引下孔312。第一導引上孔311形成為具有比第一筒體211之外徑稍大的內徑。又，第一導引下孔312與第一導引上孔311連通連結，該第一導引下孔312 形成為具有比第一筒體211之外徑稍小且比第二筒體212之外徑稍大的內徑。

藉由如此形成第一導引上孔311與第一導引下孔312，在將第一接觸件2從後述第二導引孔321插入並保持於保持體3時，由於第一筒體211之第一後端部211d下端的外徑與第一導引下孔312之孔徑的差異，能將第一接觸件2卡止。而且，由於第一後端部211d之外徑與第一導引上孔311之內徑的差極小，因此能夠更高精度地將第一接觸件2保持於保持體3。

又，該第一板狀構件31的厚度並無特別限定，但較佳係形成為比第一後端部211d的長度短。此係為了使第一後端部211d能沿著第一導引上孔311確實地伸縮。

第二板狀構件32配置成與第一板狀構件31具有既定間隔，並且設有用來將第一接觸件2之上方端引導至電極部41的第二導引孔321。第二導引孔321形成為具有比第一筒體211之外徑稍大的孔徑。又，該第二板狀構件32的厚度並無特別限定，但較佳係形成為比第一前端部211a的長度短。此係為了將第一前端部211a沿著第二導引孔321確實地引導。又，第一板狀構件31的底面與第二板狀構件32的頂面之間的間隔並無特別限定，但較佳係配置成比第一接觸件2之長度(外側接觸件與內側接觸件之長度)稍短。

在將第一接觸件2裝著在保持體3時，使第一接觸件2的下端部穿過第二導引孔321，然後使該下端部穿過第一導引上孔311與第一導引下孔312而裝著。此時，第一接觸件2配置成從第一導引下孔312與第二導引孔321分別突出到外側。

在檢查用治具1的連接電極體4形成有與各第一接觸件2對應的電極部41。該電極部41具有與第一筒體211抵接而成為導通狀態的第一電極部411、以及與第三筒體213抵接而成為導通狀態的第二電極部412。

圖5所示之電極部41顯示有第一電極部411與第二電極部412，該等電極部分別以導線形成，且形成為各自的端面與各筒 體的端部接觸。第一電極部411及第二電極部412形成為與各個筒體接觸，且配置在最遠的位置(具有最大空間的位置)。

又，電極部41的構造除了圖5所示之構造外，還可使用例如同軸電纜之構造的電線，形成為筒狀之外部導體之內部同軸地配置有內部導體的同軸構造。又，內部導體可為實心的圓柱形狀，也可為中空的筒形。此時，該電極部的外部導體與第一電極部411對應，而內部導體與第二電極部412對應。

圖6係顯示使用第一接觸件的檢查用治具在檢查時之狀態的概略剖面圖。第一接觸件2在裝著於保持體3時，係從第二板狀構件32的第二導引孔321插入，並引導至第一板狀構件31的第一導引上孔311與第一導引下孔312。此時，第一接觸件2中，第一筒體211被卡止在第一導引上孔311與第一導引下孔312之孔徑不同的分界。

在將第一接觸件2插入保持體3之後，以第一接觸件2之上方端抵靠於電極部41的方式使第二板狀構件32與連接電極體4抵接。此時，由於第一接觸件2的外側接觸件21與內側接觸件22分別壓接於第一電極部411與第二電極部412，因此，各自的第一缺口部211b與第二缺口部213b收縮而成為偏壓狀態。因此，無論外側接觸件的下方端(第二筒體212之第二後端部212c的下端)與內側接觸件的下方端(第三筒體213之第三後端部213f的下方面)是否抵接於檢查點，外側接觸件與內側接觸件的上方端均始終與各個電極部41接觸。又，配置於內側接觸件22之下端側的第三缺口部213e於待檢查時形成自然長度的狀態，且僅在實際檢查時該缺口部沿第三筒體213的長軸方向收縮。又，外側接觸件的第一缺口部211b在外側接觸件的上方端(第一筒體211的上方端)壓接於電極部時收縮，但較佳係形成為在外側接觸件的下方端(第二筒體212的下方端)與檢查點接觸時同樣能收縮。

以上係對於第一實施形態之檢查用治具之構成的說明。

如上所述，該第一接觸件2由第一筒體211、第二筒體212 及第三筒體213構成，且分別以具有導電性的材料形成。該第一接觸件2因應被檢查物的微細化及複雜化，必須使接觸件本身細線化。另一方面，為了使接觸件在與保持體成直角的方向上伸縮，必須使探針本身具有伸縮功能。然而，若以習知使用繞線的螺旋彈簧來形成具有伸縮功能的部位，該部位的外徑將取決於繞線本身的直徑的大小。此意味著難以形成具有比繞線直徑的之四倍左右小的直徑的螺旋彈簧，尤其極難形成外徑在100μm以下的螺旋彈簧。又，即使能形成此種螺旋彈簧並製造接觸件，就組裝性或製造成本而言，在利用於由2000~4000根的接觸件構成的檢查用治具上也過於昂貴，而有不實用的問題。

因此，本發明中藉由利用如下述的製造方法，能夠更低價且輕易地製造微細的接觸件。該製造方法可揭示如下述兩個製造方法。

[製法例1]

(1)首先，準備用來形成第一筒體211之中空部的芯線(未圖示)。又，該芯線採用具有決定第一筒體211內徑之所希望的粗細以及導電性的芯線(例如直徑30μm的不銹鋼(SUS))。

(2)其次，在芯線(不銹鋼線)塗佈光阻被膜，覆蓋該芯線的周面。對該光阻的所希望之部份進行曝光、顯影、加熱處理來形成螺旋狀的遮罩。此時，例如可使芯線沿著中心軸旋轉，並利用雷射進行曝光來形成螺旋狀的遮罩。為形成本發明之第一筒體211，在既定之位置(第一筒體的大致中央部)形成缺口部(第一缺口部211b)。

(3)接著，對該芯線進行鍍鎳。此時，由於芯線具有導電性，因此未形成有光阻遮罩的部位會被鍍鎳。

(4)再來，去除光阻遮罩，抽出芯線，形成所希望之長度的第一筒體211。當然也可在將芯線完全抽出之後切斷筒體。

又，第一筒體211也可以下述方法製造。

[製法例2]

首先，如上所述，準備用來形成第一筒體211之中空部的 芯線(未圖示)。對該芯線鍍鎳達到所希望之厚度，以在芯線的周面形成鍍鎳層。

(2)其次，在該鍍鎳層的表面塗佈光阻。對該光阻的所希望之部份進行曝光、顯影、加熱處理來形成螺旋狀的遮罩。此時，例如可使芯線沿著中心軸旋轉，並利用雷射進行曝光而形成螺旋狀的遮罩。為形成本發明之第一筒體211，在既定之位置(第一筒體的大致中央部)形成缺口部(第一缺口部211b)。

(3)接著，將鍍鎳蝕刻去除。此時，未形成有光阻遮罩的部位的鍍鎳會被去除。

(4)再來，去除光阻遮罩，抽出芯線，形成所希望之長度的第一筒體211。當然也可在將芯線完全抽出之後切斷筒體。

習知的採用繞線的螺旋彈簧方式，取決於繞線材料的直徑，而難以形成具有比該直徑之四倍左右小的直徑的線圈，極難形成100μm以下的螺旋彈簧。依上述製法而製得的本發明之第一筒體211，由於在對芯線鍍鎳而形成所希望之形狀後，抽出芯線而製造得出，因此相較於習知的採用繞線的螺旋彈簧方式，能使彈簧材料的壁厚減薄，同時能高精度且自如地一併製造細小的外徑及內徑。

又，在[製法例1]及[製法例2]中，當然也可為了切斷筒體而形成光阻遮罩。

第一筒體211的製造方法如上所述，至於本發明中之第二筒體212的製造方法，則除了不須形成光阻遮罩以及筒狀構件的直徑或內徑不同之外，其他均與第一筒體211的製造方法相同，因此省略其說明。

本發明之第三筒體213形成為2個缺口部(第二缺口部213b與第三缺口部213e)具有既定之距離(與中間部213c之長度對應的距離)。因此，形成光阻遮罩的部位與個數不同。又，筒狀構件的直徑與內徑也與第一筒體不同。除了該等事項以外，均與第一筒體211的製造方法相同，因此省略製造方法的說明。

接下來，對第二實施形態的檢查用治具1’進行說明。圖7 係本發明之第二實施形態的接觸件(第二接觸件)的概略剖面圖。圖8係使用第二接觸件的檢查用治具的概略剖面圖。圖9係顯示使用第二接觸件的檢查用治具之動作狀態的概略剖面圖。該第二接觸件2’的基本構成形成為與上述第一接觸件2大致相同的構成，係具有構成外側接觸件21的第一筒體211’及第二筒體212，與作為內側接觸件22的第三筒體223。而且，第二接觸件2’以如下方式形成：在第一筒體211’的內部收納第二筒體212而作為外側接觸件21，並在第二筒體212的內部收納作為內側接觸件22的第三筒體223(參照圖7)。又，第二接觸件2’與第一接觸件2具有類似的構成，因此在下述說明中說明不同的構成，而省略說明相同的結構。

第一接觸件2與第二接觸件2’主要的不同點為第一筒體211’在長軸方向上的長度，且第二接觸件2’之第一筒體211’形成為相較於第一接觸件2之第一筒體211在長軸方向上的長度短。尤其，該第二接觸件2’之第一後端部211d’形成為相較於第一接觸件2之第一後端部211d在長軸方向上的長度短。

又，圖7所示之第二接觸件2’的實施例中，形成於內側接觸件22之第三筒體223的缺口部設有三個，但只要以後述第三固定部223f為分界而在第三筒體223的上端部側與下端部側分別形成有至少一個缺口部即可。圖7所示之第二接觸件2’中，在第三固定部223f的上端部側形成有第二缺口部223b與第三缺口部223d兩個缺口部，在第三固定部223f之下端部側形成有第四缺口部223g一個缺口部。又，第二缺口部223b與第三缺口部223d產生用以將內側接觸件22壓接於電極部的推壓力，而第四缺口部223g產生用以將內側接觸件22壓接於檢查點的推壓力。

如上所述，第二接觸件2’具有第三固定部223f，且該第三固定部223f形成於第二中間部223e(參照圖7)。該第三固定部223f係以非導電狀態固定第三筒體223與第二筒體212的部位。又，第一筒體211’與第二筒體212導通連接並利用第一固 定部211c與第二固定部212b加以固定，而且第二筒體212與第三筒體223由該第三固定部223f固定，因此第一至第三筒體被固定成一體。

圖7所示之第三固定部223f，顯示在第二中間部223e的壁面往內側彎曲的凹部形狀，且該凹部係於將第三筒體223收納於第二筒體212內部之後所形成，而非事先形成於第三筒體223。又，該凹部係為了將第一筒體211’、第二筒體212及第三筒體223固定成一體而藉由從最外側的第一筒體211’側朝內側進行擠壓(斂縫)所形成。該第一至第三筒體的固定方法並不限於該斂縫方法，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏結劑等其他固定方法。又，該固定方法也可以在固定第二筒體與第三筒體後將第一筒體固定於該第二筒體與第三筒體的方式分成兩階段進行。

不同於第一接觸件2，該第二接觸件2’的實施例係第三筒體223的絕緣被膜223i形成為覆蓋第三筒體223的整體表面，且分別形成於該筒狀構件(第三前端部223a、第三中間部223c、第二中間部223e及第三後端部223h)的表面、與缺口部部份(第二缺口部223b、第三缺口部223d及第四缺口部223g)的表面。該絕緣被膜223i亦如第一接觸件2之實施例所示，可僅在筒狀構件形成絕緣被膜，也可形成於第二筒體212的內側表面。

如圖7所示，第三筒體223配置成從第一筒體211’的上方端開口與第二筒體212的下方端開口突出，但第三筒體223也可配置成完全不突出。由於第一筒體211’與第三筒體223均包含具有伸縮功能的缺口部，因此無論平面上任一個筒體突出，均可藉由在受檢查點或電極部推壓時缺口部充分地收縮，使外側接觸件21與內側接觸件22抵接於檢查點或電極部。

該圖7所示之第二接觸件2’中，為固定第一筒體211’、第二筒體212及第三筒體223，在將三個筒狀構件配置於既定之位置後，從第一筒體211’的外側往內側進行推壓(斂縫)，藉以使各個筒狀構件成為一體並固定於同一部位。各該筒狀構件的固定 方法並不限於該斂縫方法，也可使用雷射焊接、電弧焊接或黏結劑等其他固定方法。又，可如上述地在將第一至第三筒體全部配置好後，對全部的筒體進行固定，也可在先對第一筒體及第二筒體進行固定後，再固定第三筒體。或者，也可在對第二筒體及第三筒體進行固定後，再固定第一筒體。又，第二筒體212與第三筒體223必須以非導電狀態固定。

圖8係顯示將第二接觸件2’安裝於保持體3的狀態的概略剖面圖。第二實施形態之檢查用治具1’係利用具有第一板狀構件33與第二板狀構件32的保持體3來保持第二接觸件2’而組裝。此時，不同於第一實施形態之檢查用治具1的情況，形成於第一板狀構件33的第一導引孔331僅形成具有既定孔徑的貫通孔。

該第一板狀構件33的第一導引孔331形成為具有比第一筒體211’之外徑稍小而比第二筒體212之外徑稍大的孔徑。藉由如此形成第一導引孔331，使第二接觸件2’被第一筒體211’與第二筒體212之間的段差所卡止。亦即，雖然第二筒體212能通過第一板狀構件33的第一導引孔331，但第一筒體211’無法通過該第一導引孔331，而能藉由該第一導引孔331防止第二接觸件2’脫落。

又，此時，第二接觸件2’較佳係以第三筒體223之第四缺口部223g存在於第一導引孔331內部而卡止的方式形成第一後端部211d’。藉由如此形成第二接觸件2’，能增加第二筒體212與第三筒體223插入第一導引孔331的部位，且可在實施檢查時使第二後端部212c與第三後端部223h高精度地抵接於檢查點。

在將第二接觸件2’保持於保持體3後，以第二接觸件2’之上方端抵靠於電極部41的方式使第二板狀構件32與連接電極體4抵接。此時，由於第二接觸件2’的第一筒體211’與第三筒體223分別壓接於第一電極部411與第二電極部412，因此具有伸縮功能的各個第一缺口部211b、第二缺口部223b及第三缺口 部223d收縮而成為偏壓狀態，無論第一筒體211’之第一前端部211a與第三筒體223之第三前端部223a是否抵接於檢查點，各個筒體均始終與各個電極部41接觸。又，配置於下方側之第三筒體223的第四缺口部223g於待檢查時形成自然長度的狀態，且僅在實際檢查時該缺口部伸縮。

在採用具有第二接觸件2’的檢查用治具實施檢查的情況下，第二及第三筒體的下方端與檢查點抵接。此時，由於第二筒體212已利用第二固定部212b與第一筒體211’固定，因此第一筒體211’所具有的第一缺口部211b收縮，而第三筒體223中第四缺口部223g收縮。

以上係對於第二實施形態之檢查用治具的說明。

再來，對第三實施形態之接觸件(第三接觸件)進行說明。該第三接觸件2”具有與第二接觸件2’之構成大致相同的構成，因此以下以其不同的構成為中心作說明。圖10所示之第三接觸件2”相較於第二接觸件2’，連接固定第一筒體211’、第二筒體212’與第三筒體223的固定部位不同。於該第三接觸件2”形成有以導通狀態連接固定第一筒體211’與第二筒體212’的第一固定部211c與第二固定部212b，且形成有以非導通狀態連接固定第二筒體212’與第三筒體223的第三固定部212b’與第四固定部223f。該等固定部如圖10所示，第一筒體211’與第二筒體212’的固定部位以及第二筒體212’與第三筒體223的固定部位的位置並不設定在同一位置，而設定在不同的位置。藉由如此進行固定，由於先固定第三筒體與第二筒體，然後將第一筒體固定於該等筒體而組裝接觸件，因此能將各組裝步驟分工化進行，使組裝步驟變得容易。

又，該等固定部的固定方法可利用上述方法，在此省略其說明。

圖10之第三接觸件2”中，該等固定部形成為配置於第三筒體223之第二中間部223e的位置，藉由在該位置形成各個固定部，使得位於較該位置靠上端部側的缺口部產生往電極部41 壓接的推壓力，並使得位於較該位置靠下端部側的缺口部產生往檢查點壓接的推壓力。

如上述所說明，本發明之第一至第三接觸件由三個筒體形成，因此能使接觸件之下方端(檢查點)的兩個端子的間距相較於接觸件之上方端(電極部)的兩個端子的間距為窄。又，藉由使第二筒體成為第一筒體與第三筒體的導引件，能確保接觸件的強度，並且可使雙方確實地垂直伸縮。而且，能減少形成於用來保持接觸件的保持體之導引孔的數目，也可減少組裝工時。

以上係對於第三實施形態之檢查用治具的說明。

又，也可在該等第一至第三接觸件的上端部與下端部之前端形成如尖銳形狀的推拔部，或者形成具有複數凸部的冠冕狀。

第一至第三接觸件係藉由組合三個筒狀構件而形成，但也可在最內側配置作為內側接觸件的筒狀構件，並且如以第二筒體與第一筒體形成的外側接觸件般，組合複數直徑逐漸增大的筒狀構件來作為外側接觸件。

1、1’‧‧‧檢查用治具

2、2’、2”‧‧‧接觸件

21‧‧‧外側接觸件

211、211’‧‧‧第一筒體

211a‧‧‧第一前端部

211b‧‧‧第一缺口部

211c‧‧‧第一固定部

211d、211d’‧‧‧第一後端部

212、212’‧‧‧第二筒體

212a‧‧‧第二前端部

212b‧‧‧第二固定部

212b’‧‧‧第三固定部

212c‧‧‧第二後端部

213‧‧‧第三筒體

213a‧‧‧第三前端部

213b‧‧‧第二缺口部

213c‧‧‧中間部

213d‧‧‧第三固定部

213e‧‧‧第三缺口部

213f‧‧‧第三後端部

213g‧‧‧絕緣被膜

22‧‧‧內側接觸件

223‧‧‧第三筒體

223a‧‧‧第三前端部

223b‧‧‧第二缺口部

223c‧‧‧第三中間部

223d‧‧‧第三缺口部

223e‧‧‧第二中間部

223f‧‧‧固定部

223g‧‧‧第四缺口部

223h‧‧‧第三後端部

223i‧‧‧絕緣被膜

3‧‧‧保持體

31‧‧‧第一板狀構件

311‧‧‧第一導引上孔

312‧‧‧第一導引下孔

32‧‧‧第二板狀構件

321‧‧‧第二導引孔

33‧‧‧第一板狀構件

331‧‧‧第一導引孔

4‧‧‧連接電極體

41‧‧‧電極部

411‧‧‧第一電極部

412‧‧‧第二電極部

5‧‧‧導線部

圖1係顯示依本發明之檢查用治具之一實施形態的概略構成圖。

圖2係本發明之第一實施形態的接觸件(第1接觸件)的概略剖面圖。

圖3(a)~3(c)係構成第一接觸件的外側接觸件的分解剖面圖；3(a)顯示第一筒體，3(b)顯示第二筒體，3(c)顯示在第一筒體內配置有第二筒體的狀態。

圖4係顯示內側接觸件(第三筒體)的概略剖面圖。

圖5係使用第一接觸件的檢查用治具的概略剖面圖。

圖6係顯示使用第一接觸件的檢查用治具在檢查時之狀態的概略剖面圖。

圖7係本發明之第二實施形態的接觸件(第二接觸件)的概略剖面圖。

圖8係使用第二接觸件的檢查用治具的概略剖面圖。

圖9係顯示使用第二接觸件的檢查用治具之動作狀態的概略剖面圖。

圖10係本發明之第三實施形態的接觸件(第三接觸件)的概略剖面圖。

1‧‧‧檢查用治具

2‧‧‧第一接觸件

211‧‧‧第一筒體

212‧‧‧第二筒體

213‧‧‧第三筒體

3‧‧‧保持體

31‧‧‧第一板狀構件

311‧‧‧第一導引上孔

312‧‧‧第一導引下孔

32‧‧‧第二板狀構件

321‧‧‧第二導引孔

4‧‧‧連接電極體

41‧‧‧電極部

411‧‧‧第一電極部

412‧‧‧第二電極部

Claims (9)

1. 一種檢查用治具，將具有被檢查對象即檢查點的被檢查物、與用來檢查該檢查點間之電氣特性的檢查裝置二者電連接；其特徵在於：包含：連接電極體，具備有與該檢查裝置電連接的複數之電極部；第一筒體，呈筒形且具有導電性，其上方端壓接於該電極部；第二筒體，呈筒形且具有導電性，其從該第一筒體的下方端開口部突出，並以與該第一筒體電連接方式同軸地配置在該第一筒體內，並且第二筒體之上方端配置在該第一筒體的內部，而該第二筒體之下方端壓接於該檢查點；第三筒體，呈筒形且具有導電性，其與該第一筒體及該第二筒體未電性連接，且同軸地收納在該第一筒體及該第二筒體內，並且第三筒體之上方端壓接於該電極部，而該第三筒體之下方端壓接於該檢查點；第一板狀構件，設有用來將該第二筒體與第三筒體各自的下方端引導至該檢查點的第一導引孔；及第二板狀構件，設有用來將該第一筒體與該第三筒體各自的上方端引導至該電極部的第二導引孔，且第二板狀構件配置成與該第一板狀構件隔開既定之間隔；其中該第一筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀的第一缺口部，該第三筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀的第二缺口部，且該第一筒體在比該第一缺口部靠下方端側的位置設有用來與該第二筒體固定的第一固定部。
2. 如申請專利範圍第1項之檢查用治具，其中，該第一導引孔具有比該第一筒體之外徑小且比第二筒體之外徑大的孔徑。
3. 如申請專利範圍第1或2項之檢查用治具，其中，該第三筒體形成為：設於該第三筒體之下方側的一個缺口部存在於該第一導引孔的內部。
4. 如申請專利範圍第1項之檢查用治具，其中，該第一導引孔具有：第一導引上孔，具有比該第一筒體之外徑大的孔徑；及第一導引下孔，與該第一導引上孔連通連結，並且具有比該第一筒體之外徑小且比該第二筒體之外徑大的孔徑。
5. 如申請專利範圍第1、2及4項中任一項之檢查用治具，其中，該第三筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部以彼此隔開距離的方式設有螺旋狀的兩個第二缺口部，並且在該兩個第二缺口部之間設有用來與該第二筒體固定的第三固定部。
6. 如申請專利範圍第1、2及4項中任一項之檢查用治具，其中，該第三筒體形成為第二缺口部配置成相對於該第三筒體之中心呈對稱的形狀。
7. 一種接觸件，使用於檢查用治具，該檢查用治具將具有被檢查對象即檢查點的被檢查物、與用來檢查該檢查點間之電氣特性的檢查裝置二者電連接；其特徵在於：包含：第一筒體，呈筒形且具有導電性，其上方端壓接於電極部；第二筒體，呈筒形且具有導電性，其從該第一筒體的另一方端開口部突出，並以與該第一筒體電連接方式同軸地配置在該第一筒體內，並且第二筒體之上方端配置在該第一筒體的內部，而第二筒體之下方端壓接於該檢查點；及第三筒體，呈筒形且具有導電性，其與該第一筒體及該第二筒體均未電性連接，且同軸地收納在該第一筒體及該第二筒體的內部，並且第三筒體之上方端壓接於該電極部，而第三筒體之下方端壓接於該檢查點；其中該第一筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部設有螺旋狀 的第一缺口部，該第三筒體在其上方端與下方端之間的筒壁部以彼此隔開距離的方式設有螺旋狀的兩個第二缺口部；且該第一筒體在比第一缺口部靠下方端側的位置設有用來與該第二筒體固定的第一固定部，該第三筒體在該兩個第二缺口部之間設有用來與該第二筒體固定的第三固定部。
8. 如申請專利範圍第7項之接觸件，其中，該第三筒體形成為第二缺口部配置成相對於該第三筒體之中心呈對稱的形狀。
9. 一種接觸件，使用於檢查用治具，該檢查用治具將具有被檢查對象即檢查點的被檢查物，與用來檢查該檢查點間之電氣特性的檢查裝置二者電連接；其特徵在於：包含：內側接觸件，由導電性的筒狀構件形成，且該內側接觸件之一方端壓接於電極部，另一方端壓接於檢查點；及外側接觸件，由導電性的筒狀構件形成，並將該內側接觸件以非導電狀態收納於其內部，且該外側接觸件之一方端壓接於電極部，另一方端壓接於檢查點；而且該內側接觸件與該外側接觸件在該一方端與另一方端之間的筒壁部設有螺旋狀的缺口部，且該外側接觸件之筒狀構件的外側壁面形成為從該另一方端側朝該一方端側逐漸變大，或者呈階梯狀變大。